CN108139353A - 感测装置及制造该感测装置的方法 - Google Patents

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Abstract

一种用于制造用于感测目标物质的装置的技术，包括：提供第一部件和第二部件(A，B)，第一部件和第二部件每个都包括支撑膜(22，30)，其中所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个工作电极(6)，所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个对电极(10，12)，所述第一部件和第二部件中的至少一个限定被支撑在相应支撑膜上的容纳屏障，并且所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的间隔件结构(16)的阵列；在所述第一部件上沉积一定体积的液体电解质(21)；将所述第二部件层压到所述第一部件上，以便将所述一定体积的液体电解质散布到由所述容纳屏障界定的液体电解质区域内由所述间隔件结构的阵列产生的空间中；其中所述液体电解质用于将在工作电极处目标物质的电化学反应的至少一种电化学反应产物运输到对电极，用于在对电极处的逆电化学反应。

Description

感测装置及制造该感测装置的方法
一些感测装置通过在电化学单元的电极处的目标物质(species)的电化学反应来操作。用于感测装置的电化学单元(electrochemical cell)常规地是通过用液体电解质填充预先准备好的壳体而形成的。固体电解质也已经被开发出来，它们更容易容纳在感测装置内；但固体电解质目前仅可用于有限范围的目标物质。
本申请的发明人已经认识到提供使用液体电解质的新型感测装置的挑战。
在此提供有一种制造用于感测目标物质的装置的方法，该方法包括：提供第一部件和第二部件，第一部件和第二部件每个都包括支撑膜，其中所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个工作电极，所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个对电极，所述第一部件和第二部件中的至少一个限定被支撑在相应支撑膜上的容纳屏障，并且所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的间隔件结构的阵列；在所述第一部件上沉积一定体积的液体电解质；将所述第二部件层压到所述第一部件，以便将所述一定体积的液体电解质散布在由所述容纳屏障界定的液体电解质区域内的由所述间隔件结构的阵列创建的空间中；其中所述液体电解质用于将在工作电极处目标物质的电化学反应的至少一种电化学反应产物运输到对电极，以用于在对电极处的逆电化学反应。
在此还提供有一种用于感测目标物质的装置，包括：层压在一起的第一部件和第二部件，第一部件和第二部件中的每个都包括相应的支撑膜，其中所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个工作电极，所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个对电极，所述第一部件和第二部件中的至少一个限定被支撑在相应支撑膜上的容纳屏障，并且所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的间隔件结构的阵列；其中装置还包括一定体积的液体电解质，其在由所述容纳屏障界定的液体电解质区域内的由所述间隔件结构的阵列创建的空间中散布；并且其中所述液体电解质用于将在工作电极处的目标物质的电化学反应的至少一种电化学反应产物运输到对电极，用于在对电极处的逆电化学反应。
根据一个实施例，容纳屏障至少部分地包括用于将第一部件和第二部件固定在一起的一个或多个粘合剂线。
根据一个实施例，方法包括在将所述第一部件和第二部件层压在一起之后固化一个或多个粘合剂线。
根据一个实施例，方法包括在相应的支撑膜上形成间隔件结构材料或其前驱体的可图案化层，以及在该相应的支撑膜上原位地图案化所述可图案化层，以形成所述间隔件结构的阵列。
根据一个实施例，方法包括在所述第一部件的近端处沉积所述液体电解质材料的线，并且在层压方向上将所述第二部件的逐渐远侧部分连续地层压到所述第一部件。
根据一个实施例，方法包括在层压之前将粘合剂施加到第一部件和第二部件中的至少一个；并且在层压方向上将所述第二部件的逐渐远侧部分连续地层压到所述第一部件；其中施加到所述第一部件和/或第二部件的所述粘合剂的至少一部分限定粘合剂的线区段的对的阵列，每个线区段的对在与所述层压方向相反的方向上汇聚到相应的交汇点。
根据一个实施例，所述线区段的对在所述对的远端处彼此接合。
根据一个实施例，所述线区段的对的阵列限定在基本垂直于所述层压方向的方向上延伸的至少一条连续的锯齿形线。
根据一个实施例，所述线区段的对的阵列至少由层压方向上的所施加的粘合剂的最远侧部分限定。
根据一个实施例，层压包括使用辊来连续地促使第二部件的逐渐远侧部分压靠第一部件，同时维持第二部件的在辊的上游的部分处于张力下，以及在释放辊压靠第二部件的力之前固化所施加的粘合剂的所述最远侧部分。
根据一个实施例，层压包括使用辊来连续地促使第二部件的逐渐远侧部分压靠第一部件，同时维持第二部件的在辊的上游的部分处于张力下，以及当辊与第二部件的完成部分接触时释放辊压靠第二部件的力，并且其中所述线区段的对的阵列由至少在所述完成部分中和/或至少在所述完成部分与最远侧液体电解质区域之间的部分中所施加的粘合剂限定。
根据一个实施例，所述线区段的对的阵列由至少在紧邻完成部分的上游的一部分中所施加的粘合剂限定。
根据一个实施例，方法包括在释放辊压靠第二部件的力之前，固化在所述完成部分中和/或至少在所述完成部分与最远侧液体电解质区域之间的所述部分中的粘合剂。
根据一个实施例，层压包括使用辊来连续地促使第二部件的逐渐远侧部分压靠第一部件，同时维持第二部件的在辊的上游的部分处于张力下；以及在释放辊压靠第二部件的力之前至少固化所施加的粘合剂的最远侧部分。
根据一个实施例，当释放辊压靠第二部件的力时，所施加的粘合剂的所述最远侧部分位于第二部件和辊的接触线处，或者当释放辊压靠第二部件的力时，所施加的粘合剂的所述最远侧部分位于最远侧液体电解质区域与第二部件和辊的所述接触线之间。
根据一个实施例，当释放辊压靠第二部件的力时，所述最远侧部分位于紧邻第二部件和辊的接触线的上游处。
根据一个实施例，第一部件和第二部件包括多个至少所述工作电极、所述对电极、所述容纳屏障、所述间隔件结构的阵列以及所述一定体积的液体电解质，用于形成多个感测装置；其中该方法包括根据这样的技术在层压方向上将第二部件的逐渐远侧部分连续地层压到第一部件：通过该技术，所述液体电解质材料在由至少两个感测装置的相应容纳屏障所容纳的至少两个液体电解质区域上散布；其中所述两个液体电解质区域在所述层压方向上串联布置；并且其中方法包括至少在层压方向上的所述两个液体电解质区域之间的中间区域中附加地设置所述间隔件结构。
根据一个实施例，所述间隔件结构附加地设置在所述中间区域的至少部分中，其中所述中间区域的该部分在层压方向上与所述两个液体电解质区域中近侧的一个直接相邻。
根据一个实施例，所述间隔件结构基本均匀地设置在层压方向上的所述中间区域的至少近侧一半之上。
根据一个实施例，所述间隔件结构基本均匀地设置在层压方向上的所述中间区域的至少远侧一半之上。
根据一个实施例，粘合剂被设置在所述第一部件和第二部件中的至少一个上，使得所述粘合剂位于所述中间区域的一部分而非全部之上，并且所述间隔件结构附加地设置在所述中间区域的粘合剂不位于其中的一部分中。
根据一个实施例，所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个参考电极。
以下仅参考附图通过示例的方式详细描述本申请的实施例，其中：
图1是根据依据本发明的技术的示例实施例的用于层压在一起以形成感测装置的两个部件的示意性平面图；
图2图示了用于制造图1的两个部件中的一个的技术的示例；
图3图示了用于制造图1的两个部件中的另一个的技术的示例；
图4图示了根据依据本发明的技术的示例实施例将图1的两个部件层压在一起以形成感测装置；
图5和6图示了用于在本发明的示例实施例中使用的层压技术的示例；以及
图7和8图示了用于在本发明的示例实施例中使用的粘合剂图案的示例。
根据依据本发明的技术的一个示例实施例，制造感测装置的过程包括以下描述的步骤。除非另有说明，否则这些步骤可以按照与以下它们如何呈现不同的次序执行。下面详细描述的示例针对由两个部件的层压制造单个感测装置的情况，但是如下面进一步提到的，可以使用相同的技术由两个部件的层压制造多个感测装置。
A.具体参考图3，平面化的柔性塑料基膜22(暂时且可逆地被支撑在厚度为例如大约50微米的更刚性载体(未示出)上)至少在要容纳液体电解质的区域中涂覆有一层电解质屏障材料24(诸如含氟聚合物)。这个疏水层24用于保护塑料基膜22免受液体电解质的化学侵蚀。
B.然后通过例如激光烧蚀或机械冲压对所得的涂覆的基膜2进行图案化，以在感测(工作)电极6所要位于的区域中形成完全延伸通过塑料基膜22和疏水层24的通孔26。
C.通过例如在形成通孔26的区域中在疏水层24上丝网印刷电极材料的浆料，形成多孔的感测电极6。感测电极6足够多孔，以允许目标气体从疏水层/塑料基膜中的通孔26扩散到感测电极材料与液体电解质20紧密接触的反应点(下面讨论)，但是感测电极6还防止液体电解质经由通孔26离开单元。多孔的感测电极可以包括具有多孔结构的支撑材料，该具有多孔结构的支撑材料在其孔内支撑促进目标物质与液体电解质20之间的电化学反应的催化剂材料的颗粒。感测电极6包括位于其中要容纳液体电解质的区域之外的部分8，用于形成经由第二部件B上的相应触点14到被支撑在第二部件B的支撑膜30上的读出电子芯片28的电连接。
D.具体参考图2，第二部件B的制造开始于至少在要容纳液体电解质的区域中用一层电解质屏障材料24(诸如含氟聚合物)涂覆柔性的塑料支撑膜30，以及然后，通过由例如气相沉积技术形成例如金属的覆盖层以及然后通过例如光刻来对覆盖层进行图案化，形成经图案化的参考电极10和对电极12以及相关联的路由电路系统10a、12a。依赖于目标气体的性质和目标气体在感测电极处的电化学反应，对电极可以由(比感测电极6的材料)更适合于逆电化学反应的不同的材料制成，该逆电化学反应平衡在感测电极6处的电化学反应。参考电极10和对电极12中的每个都设置有到容纳液体电解质的区域之外的相应触点的相应路由10a、12a，其中触点用于连接到例如包括读出电子器件的芯片28的相应输入端。限定参考电极10和对电极12的导体(例如，金属)层还限定了(i)当两个部件A、B层压在一起时变得电连接到第一部件上的触点8的触点14，以及(ii)从这个触点14到用于连接到包括读出电子器件的所述芯片28的相应输入端的触点的路由。
E.至少在要容纳液体电解质的区域中在经图案化的参考电极10和对电极12之上以及在电解质屏障层32的暴露区域之上，沉积间隔件结构材料或间隔件结构材料的前驱体的层34。然后通过光刻对这个层34进行图案化，以在间隔件的层中限定间隔件结构16的阵列，其在完成的装置中用于确保在感测电极6与参考电极10/对电极12之间的用于液体电解质材料的空间。间隔件结构用于在要被液体电解质占据的基本上整个区域之上维持感测电极与参考电极/对电极之间的基本均匀的间隔。用于形成间隔件结构的间隔件结构材料可以是抗液体电解质的化学侵蚀的任何材料。含氟聚合物材料可以适用于许多类型的液体电解质。使参考电极10与对电极12之间的最小分隔距离显著大于间隔件结构材料层的厚度，从而使得参考电极与对电极之间的最小分隔距离大于完成的装置中位于工作电极与对电极之间的电解质的厚度。间隔件结构16可以采取列或其它结构的形式。间隔件结构16的图案/形式可以在其中形成间隔件结构16的区域之间变化。
F.粘合剂18通过例如注射器分配被沉积为围绕间隔件结构16所位于的区域的周边，并且一定体积的电解质材料21在由粘合剂18界定并在最终产品中要由电解质占据的区域的近侧*部分处(如以下所讨论的，*表示在上部膜被层压到下部膜的方向上的近侧)被沉积为例电解质材料20的线。在图1中粘合剂18被示为简单的直线，但是如例如下面所讨论的那样，粘合剂可以根据更复杂的图案来分配。选择液体电解质的体积，使得当第一部件A和第二部件B被层压在一起时，存在足够的液体电解质以在由粘合剂18的线所界定的整个区域上完全填充间隔件结构16之间的空间。电解质材料的线在基本上垂直于将第一部件A层压到第二部件B的层压方向134的方向上延伸。图1中的线18a示出了当将第一部件A层压到第二部件B时第一部件A上的粘合剂的线的位置。
G.然后，将第一部件A逐渐层压到第二部件B上，通过例如将第一部件A的纵向连续的宽度区段滚压到第二部件B的纵向连续的宽度区段上。起作用以将第一部件和第二部件压在一起的压缩力用于在层压方向134上散布一定体积的电解质材料21(最初在第二部件上沉积为线20)。粘合剂18的线容纳电解质材料在第一部件A与第二部件B之间的散布。
层压过程涉及使用辊128连续地促使包括感测电极6的部件A的逐渐远侧部分压靠包括对电极10/参考电极12的第二部件B，同时部件A的近端固定到固定点136，以保持部件A在辊的上游的部分(即，部件A在辊128与固定点136之间的部分)处于张力中。层压过程继续进行，直到辊128位于粘合剂的最远侧部分120之上(或超出粘合剂的最远侧部分120)。
如上面所提到的，层压过程继续，直到辊128位于粘合剂的最远侧部分120之上(或超出粘合剂的最远侧部分120)。分配在这个区域120中的粘合剂包括限定了线区段的对(40，42)的阵列的连续线，每对都在与层压方向相反的方向上汇聚到交汇点。在图7和8中示出了两个示例。在图7的示例中，粘合剂的连续线包括两条交叉的锯齿形线，每条线在基本上垂直于层压方向的方向上延伸。在图8的示例中，粘合剂的连续线包括两条平行的、不相交的锯齿形线，每条线在基本上垂直于层压方向的方向上延伸。如图5和6中所示，这些锯齿形的粘合剂图案选择性地形成在层压完成和/或紧邻层压完成之处的上游的区域120中；它们不形成在部件A与B之间的任何其它部位。其上形成锯齿形图案的区域120延伸跨过部件A的整个宽度。锯齿形图案提供(在区域120中)延伸跨过部件A的基本整个宽度的连续且不间断的对角线区段的集合，而没有任何空间或横向线区段在对角线区段之间。横向宽度是指在垂直于层压方向的方向上的宽度。每个对角线区段40、42直接通向另一对角线区段40、42，而没有在垂直于层压方向的方向上延伸的任何介于中间的空间或横向线区段。
当辊128到达粘合剂的这个最远侧部分120时，在辊128压靠第一部件A的力被释放之前在至少这个最远侧部分120中的粘合剂通过紫外线(UV)辐射而被固化。在这个时候同时固化所有区域中的粘合剂会是优选的，即，除了最远侧区域120中的粘合剂之外，还固化更近侧区域中的粘合剂。图6示出了从第二部件B下方进行辐射的示例，但是可替代地或附加地，粘合剂可以从第一部件A上方暴露于UV。
本申请的发明人已经认识到在释放辊128压靠上部部件A的力之后出现在上部部件A的层压部分中的起皱的问题；并且还已经发现通过上述技术能够更好地防止这种起皱。不希望受理论束缚，认为图7和8中所示的种类的粘合剂图案是有效的，因为它们起作用以更好地防止在释放辊128压靠上部部件A的力时辊128下游的上部部件A的额外部分中的起皱(该额外部分从未处于张力下)传播超出远侧粘合剂部分120。
本申请的发明人已经发现，当对部件A使用具有大约40微米或更小厚度的塑料支撑膜时，这些技术对于减少起皱特别有效；当使用厚度大约为60微米或更大的塑料支撑膜时，起皱可以问题较小。减小两个部件A、B的厚度对制造柔性装置会是有益的；发现在弯曲层压复合物时较薄的膜一般在复合物内生成较小的应力。
如图1中所示，第一部件A具有较小的宽度(在垂直于滚压的层压方向134的方向上的尺寸)，使得在将第一部件A层压到第二部件B之后用于连接至读出电子器件芯片28的相应输入端的触点保持暴露。
H.在层压完成之后，粘合剂被固化，并且将组装好的装置从在生产过程期间支撑第二部件B的刚性载体126上拆下之前，至少第二部件B被修整成其最终的尺寸。
在操作中，例如可以通过控制电路系统来测量感测电极处的电化学反应的速率(其依赖于感测电极所暴露于的目标物质的浓度)，该控制电路系统控制通过电化学单元的电流以将感测电极和参考电极维持在相似的电位。将参考电极从涉及目标气体的电化学反应屏蔽，并且可以认为参考电极处于与电解质大致相同的电位。将感测电极和参考电极维持在相同电位所需的通过化学单元的电流水平是由感测电极处的电化学反应引起的感测电极与电解质之间的电位差的指示，并且因此是在感测电极处的目标气体的浓度的指示。
对于一氧化碳传感器的示例：一氧化碳在感测电极处与液体电解质中的水发生电化学反应，该感测电极包括例如用于电化学反应的铂催化剂，该电化学反应生成二氧化碳和氢离子。氢离子通过液体电解质被运输到对电极，在那里它们与溶解在液体电解质中的氧发生电化学反应而形成水。
上面已经针对三电极设计的示例描述了根据本发明实施例的制造方法，但是相同种类的制造方法也可以应用于其它电化学单元设计，诸如仅包括感测电极和对电极(没有参考电极)的那些设计，其中通过在感测电极处的电化学反应(以及在对电极处的逆反应)在电化学单元内生成的电流被用作感测电极处目标气体的浓度的指示。
在上述示例中，将一定体积的液体电解质21沉积为线，并且通过从液体电解质的线20所位于的第二部件B的端部起在第二部件上滚压第一部件A来执行层压。根据可替代的层压技术，液体电解质21被更加广泛地分配在由粘合剂18的线界定的整个区域上，以及然后，整个第一部件A基本上同时被下降到第二部件B上并且以单个动作被向下压靠于第二部件B，通过这个动作，液体电解质在由粘合剂18的线容纳的区域内的间隔件结构所创建的整个空间内均匀地散布。
在上述示例中，使用芯片28来提供读出电子器件。根据一个变型例，读出电子器件由沉积在塑料支撑膜30之上的经图案化的层的堆叠来限定，经图案化的层的堆叠包括一个或多个导体层、一个或多个半导体层以及一个或多个介电/绝缘/隔离层。
在上述示例实施例中，通过两个部件的层压来制造单个感测装置。但是，通过在第一部件A和第二部件B的支撑膜22、30上形成用于多个感测装置的所有元件，可以由于两个部件的层压而制造多于一个的感测装置。例如，可以在相对长片的塑料支撑膜22、30的多个位置上形成用于单个感测装置的上述元件的集合，使得经过处理的长片的塑料支撑膜的单个层压导致多个感测装置的产生，所述多个感测装置可以通过层压过程之后的切割彼此分离。在一个示例中，在层压方向上的连续的感测装置的感测区域(由相应粘合剂屏障18所容纳的液体电解质区域)之间的区域中形成额外的间隔件结构。本申请的发明人已经发现，在感测区域之间的中间区域中包括间隔件结构有助于防止粘合剂污染感测区域和/或在感测装置的部分中扩展过量的液体电解质。不希望受理论束缚，认为(一个或多个)中间区域中的这些附加间隔件结构是有效的，因为，通过为两个感测区域之间的过量液体电解质材料提供相对大体积的阱(well)，它们降低了来自一个感测区域的任何过量液体电解质材料散布到(在层压方向上的)下一个感测区域以及将粘合材料运载到(在层压方向上的)下一个感测区域的风险。如上面所提到的，间隔件结构16可以在不同的区域中具有不同的图案/形式。例如，间隔件结构16可以在感测区域中具有一种图案/形式，并且可以在感测区域之间的区域中具有另一种不同的图案/形式。例如，在提供两个感测区域之间用于过量液体材料的相对大体积的阱方面，感测区域之间的区域中的间隔件结构16的图案/形式可以(比感测区域中间隔件结构16的图案/形式)更好。
在上述示例实施例中，每个完成的单个感测装置包括单个感测单元(sensingcell)，该单个感测单元包括工作电极、对电极和参考电极以及与这三个电极接触的电解质。但是，单个感测装置可以包括多个感测单元，每个感测单元都包括(i)通常由相同的上部支撑膜和/或下部支撑膜支撑的相应的工作电极、对电极和参考电极的集合，以及(ii)容纳在相同的上部支撑膜和下部支撑膜之间并且与相应的工作电极、对电极和参考电极的集合接触的相应体积的液体电解质。例如，多个感测装置可以包括用于检测感测装置的不同区域处的相同目标物质的感测单元的阵列，由此感测装置的输出可以指示在感测装置的不同区域处目标物质的相对浓度，由此提供到目标物质的起源的高空间分辨率的路线。根据另一个示例，多个感测单元可以包括用于检测不同目标物质的感测单元的集合；每个感测单元将包括相应的工作电极、对电极和参考电极的集合以及相应类型的液体电解质，全都适于检测相应的目标物质。多个感测单元中的每一个可以具有相应的并行的读出电子器件集合，或者多个感测单元可以与单个的读出电子器件集合多路复用。
根据上述技制造的感测装置可以例如用作可穿带智能卡型传感器，用于例如工业安全应用，诸如向穿戴者提供一种或多种有害气体的过量水平的通知。

Claims (23)

1.一种制造用于感测目标物质的装置的方法，所述方法包括：
提供第一部件和第二部件，所述第一部件和第二部件每个都包括支撑膜，其中所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个工作电极，所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个对电极，所述第一部件和第二部件中的至少一个限定被支撑在相应支撑膜上的容纳屏障，并且所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的间隔件结构的阵列；在所述第一部件上沉积一定体积的液体电解质；将所述第二部件层压到所述第一部件，以便将所述一定体积的液体电解质散布在由所述容纳屏障界定的液体电解质区域内的由所述间隔件结构的阵列创建的空间中；其中所述液体电解质用于将在工作电极处目标物质的电化学反应的至少一种电化学反应产物运输到对电极，以用于在所述对电极处的逆电化学反应。
2.如权利要求1所述的方法，其中所述容纳屏障至少部分地包括用于将所述第一部件和第二部件固定在一起的一个或多个粘合剂线。
3.如权利要求2所述的方法，包括在将所述第一部件和第二部件层压在一起之后固化所述一个或多个粘合剂线。
4.如前述权利要求中任一项所述的方法，包括在相应的支撑膜上形成间隔件结构材料或其前驱体的可图案化层，以及在该相应的支撑膜上原位地图案化所述可图案化层，以形成所述间隔件结构的阵列。
5.如前述权利要求中任一项所述的方法，包括在所述第一部件的近端处沉积所述液体电解质材料的线，并且在层压方向上将所述第二部件的逐渐远侧部分连续地层压到所述第一部件。
6.如权利要求5所述的方法，包括在层压之前将粘合剂施加到所述第一部件和第二部件中的至少一个；并且在层压方向上将所述第二部件的逐渐远侧部分连续地层压到所述第一部件；其中施加到所述第一部件和/或第二部件的所述粘合剂的至少一部分限定粘合剂的线区段的对的阵列，每个线区段的对在与所述层压方向相反的方向上汇聚到相应的交汇点。
7.如权利要求6所述的方法，其中所述线区段的对在所述对的远端处彼此接合。
8.如权利要求6所述的方法，其中所述线区段的对的阵列限定在基本垂直于所述层压方向的方向上延伸的至少一条连续的锯齿形线。
9.如权利要求6至8中任一项所述的方法，其中所述线区段的对的阵列至少由层压方向上的所施加的粘合剂的最远侧部分限定。
10.如权利要求9所述的方法，其中所述层压包括使用辊来连续地促使所述第二部件的逐渐远侧部分压靠所述第一部件，同时维持所述第二部件的在所述辊的上游的部分处于张力下，以及在释放所述辊压靠所述第二部件的力之前固化所施加的粘合剂的所述最远侧部分。
11.如权利要求1所述的方法，其中所述层压包括使用辊来连续地促使所述第二部件的逐渐远侧部分压靠所述第一部件，同时维持所述第二部件的在所述辊的上游的部分处于张力下，以及当所述辊与所述第二部件的完成部分接触时释放所述辊压靠所述第二部件的力，并且其中所述线区段的对的阵列由至少在所述完成部分中和/或至少在所述完成部分与最远侧液体电解质区域之间的部分中所施加的粘合剂限定。
12.如权利要求11所述的方法，其中所述线区段的对的阵列由至少在紧邻完成部分的上游的一部分中所施加的粘合剂限定。
13.如权利要求11或权利要求12所述的方法，包括在释放所述辊压靠所述第二部件的力之前，固化至少在所述完成部分中和/或至少在所述完成部分与最远侧液体电解质区域之间的所述部分中的所述粘合剂。
14.如权利要求1所述的方法，其中层压包括使用辊来连续地促使所述第二部件的逐渐远侧部分压靠所述第一部件，同时维持所述第二部件的在辊的上游的部分处于张力下；以及在释放所述辊压靠所述第二部件的力之前至少固化所施加的粘合剂的最远侧部分。
15.如权利要求14所述的方法，其中，当释放所述辊压靠所述第二部件的力时，所施加的粘合剂的所述最远侧部分位于所述第二部件和所述辊的接触线处，或者当释放所述辊压靠所述第二部件的力时所施加的粘合剂的所述最远侧部分位于最远侧液体电解质区域与所述第二部件和所述辊的所述接触线之间。
16.如权利要求15所述的方法，其中，当释放所述辊压靠所述第二部件的力时，所述最远侧部分位于紧邻所述第二部件和所述辊的所述接触线的上游处。
17.如权利要求1所述的方法，其中所述第一部件和第二部件包括多个至少所述工作电极、所述对电极、所述容纳屏障、所述间隔件结构的阵列以及所述一定体积的液体电解质，用于形成多个感测装置；其中该方法包括根据这样的技术在层压方向上将所述第二部件的逐渐远侧部分连续地层压到所述第一部件：通过所述技术，所述液体电解质材料在由至少两个感测装置的相应容纳屏障所容纳的至少两个液体电解质区域上散布；其中所述两个液体电解质区域在所述层压方向上串联布置；并且其中所述方法包括至少在层压方向上的所述两个液体电解质区域之间的中间区域中附加地设置所述间隔件结构。
18.如权利要求17所述的方法，包括附加地在所述中间区域的至少部分中设置所述间隔件结构，其中所述中间区域的所述部分在层压方向上与所述两个液体电解质区域中近侧的一个直接相邻。
19.如权利要求17或权利要求18所述的方法，包括附加地至少在层压方向上的所述中间区域的近侧半部之上基本均匀地设置所述间隔件结构。
20.如权利要求17至19中任一项所述的方法，包括附加地至少在层压方向上的所述中间区域的远侧半部之上基本均匀地设置所述间隔件结构。
21.如权利要求17至20中任一项所述的方法，在所述第一部件和第二部件中的至少一个上设置粘合剂，使得所述粘合剂位于所述中间区域的一部分而非全部之上，并且其中所述间隔件结构附加地设置在所述中间区域的所述粘合剂不位于其中的一部分中。
22.如前述权利要求中任一项所述的方法，其中所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个参考电极。
23.一种用于感测目标物质的装置，包括：层压在一起的第一部件和第二部件，所述第一部件和第二部件中的每个都包括相应的支撑膜，其中所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个工作电极，所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的至少一个对电极，所述第一部件和第二部件中的至少一个限定被支撑在相应支撑膜上的容纳屏障，并且所述第一部件和第二部件中的至少一个包括被支撑在相应支撑膜上的间隔件结构的阵列；其中所述装置还包括一定体积的液体电解质，其在由所述容纳屏障界定的液体电解质区域内的由所述间隔件结构的阵列创建的空间中散布；并且其中所述液体电解质用于将在所述工作电极处的目标物质的电化学反应的至少一种电化学反应产物运输到所述对电极，用于在所述对电极处的逆电化学反应。
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