CN108120754A - 生物传感器和在生物传感器的固体表面上形成探针的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了生物传感器和在生物传感器的固体表面上形成探针的方法。在生物传感器的固体表面上形成探针的方法包含以下步骤。将用保护基封端的单位共价结合于所述生物传感器的多个传感器单元之一的固体表面上，其中所述单位是核苷酸或氨基酸。进行至少一个循环，直到形成具有所需数目个单位的探针，一个循环包括以下步骤：辐照所述多个传感器单元之一，以去除单位的保护基；并且使以保护基封端的单位结合于脱保护的单位。辐照所述多个传感器单元之一以去除保护基，从而形成探针。

Description

生物传感器和在生物传感器的固体表面上形成探针的方法
相关申请的交叉引用
本申请要求2016年11月28日提交的美国临时申请序列号62/426,613的优先权权益。上文提及的专利申请的全部内容特此以引用的方式并入本文中并且成为说明书的一部分。
技术领域
本发明涉及生物传感器和在生物传感器的固体表面上形成探针的方法，具体来说，涉及生物传感器和在生物传感器的固体表面上就地合成探针的方法。
背景技术
生物芯片广泛用于遗传学研究、蛋白质组学研究、药物研究和临床检测。近年来，许多人致力于提高生物芯片的质量，如灵敏度、特异性、检测速度等。
生物芯片可以基于场效应晶体管(Field-effect transistor，FET)而形成，其特征在于高灵敏度、低样品量需求以及快速筛选。另外，生物芯片表面上的探针可以通过基于亚磷酰胺化学法的DNA合成、肽合成、点样或印刷等形成。然而，举例来说，在点样或印刷方法中，所形成的探针具有如序列类似和低变异的缺陷，因此不适于定制。另外，探针是以低密度形成的，这样无法实现高通量并且增加了检测的复杂性和成本。
发明内容
本发明提供一种生物传感器，其中探针共价结合于固体表面并在固体表面上就地合成，并且生物传感器具有良好的灵敏度和特异性。
本发明提供一种通过光刻在生物传感器的固体表面上形成探针的方法，其中生物传感器具有良好的灵敏度和特异性。
本发明提供一种生物传感器。生物传感器包含具有固体表面的检测平台和固定探针。固定探针共价结合于固体表面并且通过光刻工艺在固体表面上就地合成，并且固定探针能够杂交或结合于待检测的目标对象。
本发明提供一种在生物传感器的固体表面上形成探针的方法。将用保护基封端的单位共价结合于所述生物传感器的多个传感器单元之一的固体表面上，其中所述单位是核苷酸或氨基酸。进行至少一个循环，直到形成具有所需数目个单位的探针，一个循环包括以下步骤：辐照所述多个传感器单元之一，以去除单位的保护基；并且使以保护基封端的单位结合于脱保护的单位。辐照所述多个传感器单元之一以去除保护基，从而形成探针。
在本发明的一个实施例中，辐照所述多个传感器单元之一的步骤包含通过使用掩模曝露所述多个传感器单元之一来辐照所述多个传感器单元之一。
在本发明的一个实施例中，辐照所述多个传感器单元之一的步骤包含通过使用无掩模光刻辐照所述多个传感器单元之一。
在本发明的一个实施例中，保护基是光不稳定保护基或酸不稳定保护基。
在本发明的一个实施例中，光不稳定保护基或酸不稳定保护基包含2-(2-硝基苯基)丙氧基羰基(NPPOC)、α-甲基-2-硝基胡椒基氧基羰基(MeNPOC)、噻吩基-2-(2-硝基苯基)-丙氧基羰基(SPh-NPPOC)、2-(3,4-亚甲基二氧基-6-硝基苯基)丙氧基羰基(MNPPOC)、6-硝基藜芦基氧基羰基(NVOC)、二甲氧基苯偶姻碳酸酯基(DMBOC)、4,4'-二甲氧基三苯甲基(DMT)、叔丁氧基羰基(t-Boc)或其衍生物。
在本发明的一个实施例中，用于辐照所述多个传感器单元之一的光包含紫外(UV)光、极紫外(EUV)光或深紫外(deep UV)光。
在本发明的一个实施例中，探针用连接基团共价结合于所述多个传感器单元之一上。
在本发明的一个实施例中，探针包含单链DNA(ss-DNA)、微小RNA(miRNA)、适体、肽、蛋白质或抗体。
在本发明的一个实施例中，ss-DNA、miRNA或适体由核苷酸或核苷酸衍生物(如锁核酸(LNA)或具有甲基化磷酸或乙基化磷酸的核酸)合成。
在本发明的一个实施例中，肽、蛋白质或抗体由氨基酸或氨基酸衍生物合成。
在本发明的一个实施例中，探针包含抗体片段。
在本发明的一个实施例中，探针包含式(I)的中性DNA(N-DNA)探针：
其中n是1、2或3并且A、T、G和C是腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤和胞嘧啶。
在本发明的一个实施例中，探针包含式(II)的LNA：
其中N是腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤或胞嘧啶。
在本发明的一个实施例中，探针是无标记探针。
基于上述，本发明提供一种通过光刻在生物传感器的固体表面上就地形成探针的方法。由于探针是在固体表面上就地合成的，所以探针可易于根据需要而设计并且可以增加探针的密度。另外，掩模图案的设计规则是基于探针的序列，以便减少遮罩的数目并缩减光合成时间和成本。因此，可以实现生物传感器的灵敏度、特异性、迅速反应或低成本。
为了使得本发明的前述特征和优势更能够理解，下文详细描述实施例。
附图说明
包含附图以提供对本发明的进一步理解，且附图并入在本说明书中并构成本说明书的一部分。附图说明本发明的实施例，并且与描述一起用于解释本发明的原理。
图1A至图1N说明根据本发明的一些实施例在生物传感器的固体表面上形成探针的方法。
图2A至图2I说明根据本发明的一些实施例的掩模。
具体实施方式
下文阐述的具体实施方式打算作为根据本发明的各方面所提供的当前示例性装置的描述，并且不打算代表可以在本发明中制备或采用的仅有形式。应理解，实际上可以通过也打算涵盖在本发明的精神和范围内的不同实施例实现相同或等效的功能和组件。
除非另外定义，否则本文所用的所有技术和科学术语具有与本发明所属领域的一般技术人员通常所理解相同的含义。虽然可以在本发明的实践或测试中使用与所描述的那些方法、装置和材料类似或等效的任何方法、装置和材料，但是现在描述示例性方法、装置和材料。
本发明提供一种生物传感器。所述生物传感器包含晶片，晶片包含布置成阵列的多个芯片，并且每一个芯片包含至少一个传感器单元(也称为生物芯片)。因此，所述生物传感器是微阵列或纳米阵列生物芯片，并且微阵列或纳米阵列生物芯片是通过传统半导体工艺，如用于制造硅晶片的工艺制造的。晶片可以是硅晶片，并且具有例如2英寸、4英寸、6英寸、8英寸或12英寸的直径。在一些实施例中，在一个芯片中存在N×N个布置成阵列的传感器单元，并且N是1至1,000,000。每一个传感器单元具有晶体管，晶体管具有固体表面和在固体表面上就地合成的固定探针。在一些实施例中，晶体管具有纳米结构，并且是纳米线FET、MOSFET、延伸MOSFET或其它合适的晶体管。一般来说，晶体管包含衬底、置于衬底上的栅极、置于衬底上的源极和漏极、栅极与源极和漏极之间的栅极绝缘层。栅极置于栅极绝缘层的顶部上。在一些实施例中，源极和漏极的材料包含掺杂Si或其他合适的半导体材料。栅极绝缘层的材料包含氧化硅、氮化硅、氮氧化硅、聚合物等或其组合。沟道层是在晶体管的栅极绝缘层的顶部上。沟道层是半导体层或导电层，并且包含硅、碳、碳纳米管、锗、石墨烯、氧化石墨烯等或其组合。沟道层可以是微米点、纳米点、微线、纳米线或其它合适的结构。沟道层的尺寸可以在10纳米至200微米(即，长度，L)×1纳米至10微米(即，宽度，W)或10纳米至200微米(即，长度，L)×10纳米至200微米(即，宽度，W)的范围内。晶体管可以包含液体，其充当栅极且覆盖就地合成于微结构或纳米结构(如孔)中的探针，另外，晶体管可以包含在液体中的参考电极。
固定探针共价结合于沟道层的表面并且通过光刻工艺在沟道层上就地合成，并且固定探针能够杂交或结合于待检测的目标对象。在一些实施例中，传感器单元中探针的面积在例如10纳米至200微米×1纳米至10微米的范围内。固定探针包含ss-DNA、miRNA、适体、肽、蛋白质、抗体、抗体片段或其它合适的探针。基于序列，通过光刻使用核苷酸(即，腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤或胞嘧啶)或核苷酸衍生物(如LNA或具有甲基化磷酸或乙基化磷酸的核酸)化学合成ss-DNA、miRNA或适体，并且通过光刻使用氨基酸(即，Ala、Arg、Asn、Asp、Cys、Glu、Gln、Gly、His、lle、Leu、Lys、Met、Phe、Pro、Ser、Thr、Trp、Tyn或Val)化学合成肽、蛋白质或抗体。
在一些实施例中，固定探针是式(I)的N-DNA探针：
其中n是1、2或3并且每一个A、T、G和C是任何腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤和胞嘧啶。在一些实施例中，探针可以与待检测的互补靶核酸杂交。在一些实施例中，N-DNA经由甲基化、乙基化、丙基化或烷基化修饰DNA的磷酸主链上的带电荷氧离子(O-)，以使得主链在这一修饰后不带电荷或部分不带电荷，从而提高杂交效率、灵敏度并且使信号清晰。
在一些实施例中，固定探针包含式(II)的LNA：
其中N是腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤或胞嘧啶。
在一些实施例中，固定探针是无标记探针。在一些实施例中，固定探针的长度范围介于5至500个单位，并且所述单位是核苷酸或氨基酸。换句话说，固定探针具有5至500个核苷酸聚体或5至500个氨基酸残基。目标对象是样品中的分子，如ss-DNA、miRNA、适体、肽、蛋白质、抗体、抗原或其它合适的目标。在一些实施例中，当目标对象杂交或结合于固定探针时，固体表面的表面电荷变化，并且因此获得和测量到电信号。因此，检测到目标对象。
本发明还提供一种在生物传感器的固体表面上形成探针的方法。在一些实施例中，ssDNA探针用作固定探针，FET用作生物传感器的晶体管，并且本发明不受这一平台限制。图1A至图1N说明根据本发明的一些实施例在生物传感器的固体表面上形成探针的方法。
参照图1A，提供晶片100。晶片100包含多个芯片110，并且每一个芯片110包含M×M个布置成阵列的传感器单元120。随后，分别在传感器单元120上形成多个晶体管(未示出)，并且晶体管的顶部提供固体表面。在一些实施例中，晶片100是硅晶片，晶体管是FET并且通过例如传统半导体工艺制造。
随后，分别在传感器单元的固体表面上就地形成探针。应注意，为了清楚起见，示出了在四个传感器单元120-1、120-2、120-3、120-4上形成的探针，但是本发明不限于此。另外，以在一个传感器单元上仅形成一个探针为例，但是可以在一个传感器单元上形成多个探针。
参照图1B，以保护基封端的第一单位132-1*(即，受保护的第一单位)共价结合在传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3、传感器单元120-4中的至少一个上，其中所述第一单位132-1*是核苷酸。在一些实施例中，将第一单位132-1*涂布在固体表面上并经由连接基团附接到固体表面，并且第一单位132-1*也指代传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3、传感器单元120-4上的探针的第一单位。保护基是光不稳定保护基、酸不稳定保护基或能够通过光刻去除的其它合适的保护基。在一些实施例中，由于探针是ss-DNA、DNA适体等，所以第一单位132-1*是选自dATP、dCTP、dGTP和dTTP的脱氧核苷酸(dNTP)，并且保护基是2-(2-硝基苯基)丙氧基羰基(NPPOC)、á-甲基-2-硝基胡椒基氧基羰基(MeNPOC)、噻吩基-2-(2-硝基苯基)-丙氧基羰基(SPh-NPPOC)、2-(3,4-亚甲基二氧基-6-硝基苯基)丙氧基羰基(MNPPOC)、6-硝基藜芦基氧基羰基(NVOC)、二甲氧基苯偶姻碳酸酯基(DMBOC)、4,4'-二甲氧基三苯甲基(DMT)或其衍生物，诸如此类。在替代实施例中，由于探针是miRNA、RNA适体等，所以第一单位132-1*是选自ATP、CTP、GTP和UTP的核苷酸(NTP)，并且保护基是NPPOC基团、MeNPOC基团、SPh-NPPOC基团、MNPPOC基团、NVOC基团、DMBOC基团或DMT基团和其衍生物，诸如此类。在一些实施例中，传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3、传感器单元120-4上的探针的第一单位132-1*属于相同的类型并且因此在相同的步骤中同时形成，但是本发明不限于此。换句话说，在替代实施例中，传感器单元上的探针的至少两个第一单位可以不同，并且因此分别在不同的步骤中形成。
在探针的所有第一单位形成之后，进行形成探针的第二单位的方法。依据传感器单元上的探针的所需单位数目(即，N在5至500范围内)而定，重复用于形成单位的循环数次(即，N-1)，其包含曝光工艺、核苷酸偶合工艺、氧化工艺和干燥工艺。
参照图1C，辐照传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3、传感器单元120-4中的至少一个，以便从第一单位132-1*去除保护基以形成脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，提供掩模400以曝露传感器单元120-1并遮蔽其它传感器单元，如传感器单元120-2、传感器单元120-3、传感器单元120-4，并且随后提供光源辐照晶片100。自传感器单元120-1被掩模曝露起，辐照第一单位132-1*的保护基并去除保护基，以形成脱保护的第一单位132-1。在曝光法(也称为光脱保护工艺或阵列图案化工艺)中，辐照可以是例如在365纳米波长下，强度在7毫瓦/平方厘米至80毫瓦/平方厘米范围内并且辐照时间10秒至60秒的UV光曝露。在一实施例中，用以辐照的光可以是极紫外光、深紫外光或其他合适的光。此后，去除掩模400。在替代实施例中，曝光工艺可以通过使用无掩模光刻进行。
参照图1D，以保护基封端的第二单位132-2*(即，探针的受保护的第二单位)结合于传感器单元120-1上的脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，第二单位132-2*可以与第一单位132-1*相同或不同。由于其它传感器单元120-2、传感器单元120-3、传感器单元120-4上的第一单位132-1*受保护基保护，所以第二单位132-2*仅结合于传感器单元120-1上的脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，在结合后，进行氧化反应和干燥工艺。举例来说，氧化反应是碘氧化，如通过使用水和吡啶进行1秒至10秒。干燥工艺通过例如使用氦气进行10至30秒。
参照图1E，在利用第一单位132-1和第二单位132-2*部分合成传感器单元120-1上的探针后，辐照传感器单元120-2、传感器单元120-3、传感器单元120-4中的至少一个，以便从第一单位132-1*去除保护基以形成脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，提供掩模400以曝露传感器单元120-2并遮蔽其它传感器单元，如传感器单元120-1、传感器单元120-3、传感器单元120-4，并且随后提供光源辐照晶片100。自传感器单元120-2被掩模曝露起，辐照第一单位132-1*的保护基并去除。此后，去除掩模400。
参照图1F，以保护基封端的第二单位132'-2*(即，探针的受保护的第二单位)结合于传感器单元120-2上的脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，第二单位132'-2*不同于第二单位132-2*。由于传感器单元120-1上的第二单位132-2*和其它传感器单元120-3、传感器单元120-4上的第一单位132-1*受保护基保护，所以第二单位132'-2*仅结合于传感器单元120-2上的脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，在结合后，进行氧化反应和干燥工艺。
参照图1G，在利用第一单位和第二单位部分合成传感器单元120-1、传感器单元120-2上的探针后，辐照传感器单元120-3、传感器单元120-4中的至少一个，以便从第一单位132-1*去除保护基以形成脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，由于传感器单元120-3、传感器单元120-4上的探针的第二单位属于相同的种类，所以第二单位可以通过相同的曝光工艺和核苷酸偶合工艺同时形成。换句话说，传感器单元120-3、传感器单元120-4上的探针的第二单位132”-2*不同于传感器单元120-1、传感器单元120-2上的第二单位132-2*、第二单位132'-2*，并且因此它们不是在相同的步骤中形成的。具体来说，提供掩模400以曝露传感器单元120-3、传感器单元120-4并遮蔽其它传感器单元，如传感器单元120-1、传感器单元120-2，并且随后提供光源辐照晶片100。自传感器单元120-3、传感器单元120-4被掩模曝露起，辐照第一单位132-1*的保护基并去除。此后，去除掩模400。
参照图1H，各自以保护基封端的第二单位132”-2*(即，探针的受保护的第二单位)结合于分别在传感器单元120-3、传感器单元120-4上的脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，传感器单元120-3、传感器单元120-4上的探针的第二单位132”-2*不同于传感器单元120-1、传感器单元120-2上的第二单位132-2*、132'-2*。由于其它传感器单元120-1、传感器单元120-2上的第二单位132-2*、第二单位132'-2*受保护基保护，所以第二单位132”-2*仅结合于传感器单元120-3、传感器单元120-4上的脱保护的第一单位132-1。在一些实施例中，在结合后，进行氧化反应和干燥工艺。
在探针的所有第二单位形成之后，进行形成探针的第三单位的工艺。参照图1I，辐照传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3，以便从第二单位132-2*、第二单位132'-2*、第二单位132”-2*去除保护基以形成脱保护的第二单位132-2、第二单位132'-2、第二单位132”-2。在一些实施例中，提供掩模400以暴露传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3并遮蔽其它传感器单元，如传感器单元120-4，并且随后提供光源辐照晶片100。自传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3被掩模曝露起，辐照第二单位132-2*、第二单位132'-2*、第二单位132”-2*的保护基并去除。此后，去除掩模400。
参照图1J，以保护基封端的第三单位132-3*(即，探针的受保护的第三单位)结合于分别在传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3上的脱保护的第二单位132-2、第二单位132'-2、第二单位132”-2。由于传感器单元120-4上的第二单位132”-2*受保护基保护，所以第三单位132-3*仅结合于传感器单元120-1、传感器单元120-2、传感器单元120-3上的脱保护的第二单位132-2、第二单位132'-2、第二单位132”-2。在一些实施例中，在结合后，进行氧化反应和干燥工艺。
参照图1K，辐照传感器单元120-4，以便从第二单位132”-2*去除保护基以形成脱保护的第二单位132”-2。参照图1L，以保护基封端的第三单位132'-3*(即，探针的受保护的第三单位)结合于传感器单元120-4上的脱保护的第二单位132”-2。
参照图1M，在第N个受保护的单位132-N*、第N个受保护的单位132'-N*、第N个受保护的单位132”-N*、第N个受保护的单位132”'-N*结合于第(N-1)个单位132-(N-1)(未示出)之后。举例来说，在一些实施例中，第N个受保护的单位132-N*、第N个受保护的单位132'-N*、第N个受保护的单位132”-N*、第N个受保护的单位132”'-N*是不同的。在替代实施例中，探针的第N个受保护的单位可以属于相同的类型或部分不同。参照图1N，对第N个单位132-N*、第N个单位132'-N*、第N个单位132”-N*、第N个单位132”'-N*进行最终的曝光以形成第N个脱保护的单位132-N、第N个脱保护的单位132'-N、第N个脱保护的单位132”-N、第N个脱保护的单位132”'-N，从而形成探针130-1、探针130-2、探针130-3、探针130-4。探针130-1在传感器单元上就地形成，探针130-1包含N个单位并且是由第一单位132-1、第二单位132-2、第三单位(未示出)、…、第(N-1)个单位132-(N-1)(未示出)以及第N个单位132-N合成的。在一些实施例中，探针130-1、探针130-2、探针130-3、探针130-4的单位数目可以相同或不同。
在替代实施例中，由于探针是肽、蛋白质、适体、抗体等，所以单位是选自Ala、Arg、Asn、Asp、Cys、Glu、Gln、Gly、His、lle、Leu、Lys、Met、Phe、Pro、Ser、Thr、Trp、Tyn和Val的氨基酸，并且保护基是叔丁氧基羰基(t-Boc)、其衍生物，诸如此类。在这个实施例中，依据探针中所需的氨基酸残基数目(即，N个)而定，重复曝光工艺(也称为光脱保护工艺)、用于形成-NH2的中和工艺、氨基酸偶合工艺和干燥工艺数次(即，N-1次)。曝光工艺可以通过使用掩模光刻或无掩模光刻来进行。在曝光工艺中，辐照可以是例如在365纳米波长下，强度在7毫瓦/平方厘米至80毫瓦/平方厘米范围内并且辐照时间10秒至60秒的UV光曝露。举例来说，进行氨基酸偶合工艺10秒至60秒，并且通过使用氦气进行干燥工艺10秒至30秒。
图2A至图2I说明根据本发明的一些实施例的掩模。在一些实施例中，如图2A至图2I中所示，提供多个掩模400，并且每一个掩模400遮蔽至少一个芯片1-芯片6。通过随着图2A至图2I依次使用掩模400，在芯片1-芯片6上形成具有所需序列的探针。在一些实施例中，这些探针可以用作对照物，以便确保生物芯片的特异性和精确性。
总而言之，本发明提供一种通过光刻在生物传感器的固体表面上就地形成探针的方法。由于探针是在固体表面上就地合成的，所以探针可易于根据需要而设计并且可以增加探针的密度。此外，不同传感器单元上的探针的相同类型的单位可以同时形成，并且因此可以降低形成探针的成本和复杂性。另外，通过组合半导体技术和探针的就地合成，可以实现生物传感器的灵敏度、特异性、迅速反应或低成本。
所属领域的技术人员将显而易见的是，在不脱离本发明的范围或精神的情况下，可以对本发明的结构进行各种修改和变化。鉴于前文，希望本发明涵盖对本发明的修改和变化，条件是所述修改和变化属于所附权利要求及其等效物的范围内。

Claims (16)

1.一种生物传感器，其特征在于，包括：
具有固体表面的检测平台；以及
固定探针，其中所述固定探针共价结合于所述固体表面并且通过光刻工艺在所述固体表面上就地合成，并且所述固定探针能够杂交或结合于待检测的目标对象。
2.一种在生物传感器的固体表面上形成探针的方法，其特征在于，包括：
将以保护基封端的单位共价结合在所述生物传感器的多个传感器单元之一的固体表面上，其中所述单位是核苷酸或氨基酸；
进行至少一个循环，直到形成具有所需数目个单位的所述探针，所述一个循环包括以下步骤：
辐照所述多个传感器单元之一，以便去除所述单位的保护基；以及
将以所述保护基封端的单位结合于所述脱保护的单位；以及
辐照所述多个传感器单元之一以去除所述保护基，以便形成所述探针。
3.根据权利要求2所述的方法，其中所述辐照所述多个传感器单元之一的步骤包括通过使用掩模曝露所述多个传感器单元之一来辐照所述多个传感器单元之一。
4.根据权利要求2所述的方法，其中所述辐照所述多个传感器单元之一的步骤包括通过使用无掩模光刻辐照所述多个传感器单元之一。
5.根据权利要求2所述的方法，其中所述保护基是光不稳定保护基或酸不稳定保护基。
6.根据权利要求5所述的方法，其中所述光不稳定保护基或酸不稳定保护基包括2-(2-硝基苯基)丙氧基羰基、á-甲基-2-硝基胡椒基氧基羰基、噻吩基-2-(2-硝基苯基)-丙氧基羰基、2-(3,4-亚甲基二氧基-6-硝基苯基)丙氧基羰基、6-硝基藜芦基氧基羰基、二甲氧基苯偶姻碳酸酯基、4,4'-二甲氧基三苯甲基或叔丁氧基羰基。
7.根据权利要求2所述的方法，其中用于辐照所述多个传感器单元之一的光包括紫外光、极紫外光或深紫外光。
8.根据权利要求2所述的方法，其中所述探针用连接基团共价结合于所述多个传感器单元之一上。
9.根据权利要求2所述的方法，其中所述探针包括ss-DNA、miRNA、适体、肽、蛋白质或抗体。
10.根据权利要求9所述的方法，其中所述ss-DNA、miRNA或适体由核苷酸合成。
11.根据权利要求9所述的方法，其中所述肽、蛋白质或抗体由氨基酸合成。
12.根据权利要求2所述的方法，其中所述探针包括抗体片段。
13.根据权利要求2所述的方法，其中所述探针包括式(I)的中性DNA探针：
R＝CnH2n+1
其中n是1、2或3并且A、T、G和C是腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤和胞嘧啶。
14.根据权利要求2所述的方法，其中所述探针包括式(II)的锁核酸：
其中N是腺嘌呤、胸腺嘧啶、鸟嘌呤或胞嘧啶。
15.根据权利要求2所述的方法，其中所述探针包括具有甲基化磷酸或乙基化磷酸的核酸。
16.根据权利要求2所述的方法，其中所述探针是无标记探针。
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