背景技术
研磨抛光垫具有储存/运输抛光液、传递机械载荷、去除表面物质及维持抛光环境等功能。但随着研磨抛光加工的不断进行,研磨抛光垫表面产生残余物质,微孔的体积和数量减小,表面粗糙度降低。且表面发生分子重组现象,形成一定厚度的粙化层。从而导致抛光效率和抛光质量的降低。
为了消除以上现象,必须对抛光垫进行修整,以移除抛光垫表面的粙化层,改善抛光垫表面的粗糙度和储存浆料的能力。
目前传统的修整器主要是通过将金刚石丸片粘结于金属游星轮表面所形成。具有如下缺点:
1、单个金刚石丸片磨损后,无法进行单独更换。
2、金刚石丸片通过液体胶与金属游星轮表面的粘连,液体胶硬化后具有一定的厚度,故平面度较差。
3、对抛光垫进行修整时,其金刚石颗粒易脱落在抛光垫的表面,从而造成产品表面的刮伤。
发明内容
本发明的主要目的在于针对现有技术的不足,提供一种研磨抛光垫的修整器和修整方法,克服因脱落的金刚石颗粒残留于抛光垫的表面而造成产品表面的刮伤等问题,提高被修整产品的良率。
为实现上述目的,本发明采用以下技术方案:
一种研磨抛光垫的修整器,包括至少一个修整轮,所述修整轮由驱动装置驱动旋转,通过所述修整轮的修整面对待修整的研磨抛光垫进行修整,所述修整轮的修整面上分区域设置有至少一个金刚石修整区域和至少一个毛刷区域。
进一步地:
所述驱动装置包括内齿轮和外齿轮,所述至少一个修整轮为间隔分布在所述内齿轮和所述外齿轮之间的环形区域的多个游星轮,所述环形区域与待修整的研磨抛光垫的环形研磨面相对应,所述多个游星轮由所述内齿轮和所述外齿轮共同驱动。
包括至少三个所述游星轮。
所述金刚石修整区域和所述毛刷区域在所述修整面的环形区域内相间分布。
所述修整面包括均匀交替分布的两个所述金刚石修整区域和两个所述毛刷区域。
所述金刚石修整区域包括若干个固定有金刚石颗粒的金刚石丸片,所述毛刷区域包括若干个毛刷,所述金刚石丸片和所述毛刷以可拆卸的方式固定在所述修整面上,优选地,采用螺钉固定;优选地,金刚石颗粒焊接于不锈钢丸片上形成所述金刚石丸片。
所述金刚石丸片的直径为10-20mm、高度为5-15mm、每个丸片之间的距离为10~15mm。
所述毛刷包括刷体和刷丝,所述刷体的直径为5-20mm、高度为1-15mm,每个刷体之间的距离为10~15mm,所述刷丝的长度为1~15mm,所述刷丝的直径为0.3~0.5mm。
所述修整轮的上表面和下表面均具有所述修整面。
一种研磨抛光垫的修整方法,使用所述修整器对研磨抛光垫进行修整。
优选地,修整过程中以纯水作为介质,所述修整轮的转速为10~50RPM,所述修整轮对研磨抛光垫的压力为20~100kg力,一次修整的时间为5~20min。
本发明的有益效果:
本发明提供的研磨抛光垫的修整器,采用金刚石修整区域和毛刷相混合的结构,通过毛刷在研磨过程中的清扫作用,有效地降低了因脱落的金刚石颗粒残留于抛光垫的表面而造成产品表面的刮伤等问题。使用本发明修整器,对研磨抛光垫进行修整,能够提高研磨抛光垫的平面度,提高被修整产品的良率,且修整效率高,操作简单。
本发明优选的方案可以获得进一步的优点,例如,通过将金刚石丸片、毛刷以可拆卸的方式固定在所述修整面上,可以局部对各个金刚石丸片、毛刷进行单独的更换,从而保证了修整器的性能,以延长了修整器的寿命,降低了成本。而且,这种固定方式,避免了粘结固定方式因液体胶与修整器表面的粘连而产生的平面度差等缺陷。
具体实施方式
以下对本发明的实施方式作详细说明。应该强调的是,下述说明仅仅是示例性的,而不是为了限制本发明的范围及其应用。
参阅图1和图2,在一种实施例中,一种研磨抛光垫的修整器,包括至少一个修整轮,所述修整轮由驱动装置驱动旋转,通过所述修整轮的修整面对待修整的研磨抛光垫进行修整,所述修整轮的修整面上分区域设置有至少一个金刚石修整区域和至少一个毛刷区域。
参阅图1,在优选实施例中,所述驱动装置包括外齿轮1和内齿轮2,所述至少一个修整轮为间隔分布在所述内齿轮2和所述外齿轮1之间的环形区域的多个游星轮3,所述环形区域与待修整的研磨抛光垫的环形研磨面相对应,所述多个游星轮3在工作时由所述内齿轮和所述外齿轮共同驱动进行自转和围绕所述所述内齿轮的公转。
参阅图1,在更优选实施例中,修整器包括至少三个所述游星轮3。在一种较佳实施例中,修整器包括四个所述游星轮3。
参阅图2,在优选实施例中,所述修整轮的所述金刚石修整区域和所述毛刷区域在修整轮的修整面上的环形区域内相间分布。修整轮可以采用中空的环形轮。在更优选实施例中,所述修整面包括均匀交替分布的两个所述金刚石修整区域和两个所述毛刷区域。
参阅图1至图3,在优选实施例中,所述金刚石修整区域包括若干个固定有金刚石颗粒的金刚石丸片4,所述毛刷区域包括若干个毛刷5,所述金刚石丸片4和所述毛刷5以可拆卸的方式固定在所述修整面上。较佳地,可采用螺钉6固定所述金刚石丸片4和所述毛刷5。
在优选实施例中,金刚石颗粒焊接于不锈钢丸片上形成所述金刚石丸片4。
参阅图2,在优选实施例中,所述金刚石丸片4的直径为10-20mm、高度为5-15mm、每个丸片之间的距离为10~15mm。
参阅图2至图4,在优选实施例中,所述毛刷5包括刷体8和刷丝9,所述刷体的直径为5-20mm、高度为1-15mm,每个刷体之间的距离为10~15mm,所述刷丝的长度为5~15mm,所述刷丝的直径为0.3~0.5mm。
在优选实施例中,所述修整轮的上表面和下表面均具有所述修整面。工作时,将修整轮安放到下磨盘上,上磨盘下降至与修整器接触,修整器的上、下修整面可以对上、下磨盘进行修整。
在具体实施例中,游星轮的材质可为球墨铸铁、灰口铸铁、45#钢中的一种。游星轮外径尺寸为326mm,内径尺寸为226mm,高度为20mm。金刚石颗粒为单晶颗粒,利用镍基焊料将单晶金刚石颗粒硬焊于316不锈钢丸片上。毛刷包括刷体和刷丝。刷体的材质可为PA、POM、PS、ABS、铝、电木中的一种,直径为5-20mm、高度为1-15mm。每个刷体之间的距离为10~15mm。刷丝的材质优选为PP纤维。刷丝长度为5~15mm,刷丝直径为0.3~0.5mm。刷丝经捆扎整合在毛刷刷体表面。每束刷丝的直径为5~15mm,长度为1~15mm。可通过内六角螺钉将丸片、毛刷和游星轮进行固定。
在另一种实施例中,一种研磨抛光垫的修整方法,使用前述任一实施例的修整器对研磨抛光垫进行修整。
在优选实施例中,修整过程中以纯水作为介质,所述修整轮的转速为10~50RPM,所述修整轮对研磨抛光垫的压力为20~100kg力,一次修整的时间为5~20min。
具体地,该修整方法可包括以下步骤:
步骤一、将修整器均匀地固定于下磨盘处;
步骤二、将上磨盘下降至与修整器接触后,然后打开纯水喷注按钮;
步骤三、开始加工,加工转数10~50RPM,压力20~100kg力,时间5~20min;
步骤四、修盘完成,取下修整器。
实例1
修整器的设置如下:
金刚石丸片直径10mm,高度5mm,间距为15mm。毛刷直径为5mm,高度5mm,间距为15mm。
修整加工参数如下:
加工转数10RPM,压力30kg力,时间20min。
实例2
修整器的设置如下:
金刚石丸片直径10mm,高度5mm,间距为15mm。毛刷直径为8mm,高度6mm,间距为15mm。
修整加工参数如下:
加工转数15RPM,压力30kg力,时间20min。
实例3
修整器的设置如下:
金刚石丸片直径10mm,高度10mm,间距为15mm。毛刷直径为8mm,高度11mm,间距为15mm。
修整加工参数如下:
加工转数20RPM,压力35kg力,时间15min。
实例4
修整器的设置如下:
金刚石丸片直径10mm,高度10mm,间距为15mm。毛刷直径为10mm,高度11mm,间距为15mm。
修整加工参数如下:
加工转数20RPM,压力40kg力,时间15min。
实例5
修整器的设置如下:
金刚石丸片直径15mm,高度12mm,间距为15mm。毛刷直径为15mm,高度13mm,间距为15mm。
修整加工参数如下:
加工转数25RPM,压力30kg力,时间15min。
对比例
金刚石丸片直径15mm,高度5mm,每个丸片之间的距离为15mm。且金刚石丸片平均分布在内径326mm、内径226mm、高度20mm的金属游星轮上。加工转数30RPM,压力80kg力,时间20min。
表一各实施例与对比例的测试数据对比
|
实施一 |
实施二 |
实施三 |
实施四 |
实施五 |
对比例 |
抛光垫平面度(Um) |
5 |
5 |
3 |
3 |
5 |
10 |
抛光垫寿命(H) |
480 |
480 |
600 |
600 |
480 |
240 |
产品良率(%) |
90 |
92 |
98 |
98 |
95 |
80 |
以上内容是结合具体/优选的实施方式对本发明所作的进一步详细说明,不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,其还可以对这些已描述的实施方式做出若干替代或变型,而这些替代或变型方式都应当视为属于本发明的保护范围。