CN108015665A - 机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台 - Google Patents

机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台 Download PDF

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孙鹏
夏林华
赵雪峰
田国军
周维娜
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Abstract

本发明提供了一种机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台，设置有噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元，噪声传感器实时采集机台运行的噪音的音频信号，数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号，存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和波形图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常，反馈单元向所述控制单元反馈异常的音频信号，控制单元根据异常的音频信号进行异常处理，从而对机台异常进行实时有效的监测，及时侦测机台发生的异常状况，从而提高了机台的研磨效率。

Description

机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台
技术领域
本发明涉及半导体技术领域，具体涉及一种机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台。
背景技术
化学机械研磨(CMP)已经成为晶圆生产的一个常见的工艺步骤。尽管随着技术的进步，研磨机台得到很大的提高，但研磨的基本原理都相同，即在研磨液的辅助下，研磨头将晶圆压在研磨垫上面，利用摩擦力去除掉晶圆表面的部分薄膜。
CMP机台里面有数百个传感器用于检测研磨过程中的机台异常。这些传感器的侦测方法主要分成两种，压力检测和光学检测。通过这些传感器虽然能够发现大部分的机台异常，但对于一些未设计传感器的位置，或者这两种检测方法都无法实现有效侦测的情况，机台难以做到有异常就能及时发现。
因此，如何弥补现有侦测手段的不足，提供一种对化学机械研磨机台实时侦测的设备或方法是本领域技术人员亟待解决的问题。
发明内容
本发明的目的在于提供一种机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台，通过对研磨噪音的分析，实现机台异常的实时侦测。
为实现上述目的，本发明提供一种机械研磨机台异常侦测仪，包括：噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元；其中，
所述噪声传感器安装于所述机械研磨机台上，用于实时采集机台运行的噪音的音频信号；
所述数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号；
所述存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常；
所述反馈单元用于向所述控制单元反馈异常的音频信号；
所述控制单元根据异常的音频信号进行异常处理。
可选的，还包括灵敏度调节器，所述灵敏度调节器用于调节所述噪声传感器采集到的音频信号的强度，并传输至所述数模转换单元。
可选的，还包括与存储分析单元相连接的用户界面，所述用户界面用于输出所述振幅图谱、频率图谱以及音频信号。
可选的，还包括电源，所述电源分别向所述噪声传感器、灵敏度调节器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元、控制单元以及用户界面供电。
可选的，所述用户界面包括音频输出端口、频谱显示器与用户调试端口；其中，
所述音频输出端口用于连接耳机或者音频存储设备；
所述频谱显示器用于显示振幅图谱和频率图谱；
所述用户调试端口用于调试所述侦测仪的性能参数
可选的，所述灵敏度调节器内设置有增益开关。
可选的，所述频谱分析包括：根据数字信号中的波形信息，采用离散傅里叶变化法得到单位时间内的频率图谱。
可选的，所述化学机械研磨机台异常侦测仪首次使用时，采集一段时间内的音频信号作为基础噪音，通过所述基础噪音校订，确定所述基础噪音所在的频率范围，并收集所述基础噪音的振幅图形。
可选的，所述存储分析单元存储有所述基础噪音，所述存储分析单元采用减差法分析音频信号是否存在异常。
可选的，与所述基础噪音频率峰值位置相同或振幅图形匹配的噪音为正常噪音，与所述基础噪音频率峰值位置不同或振幅图形不匹配的噪音为异常噪音。
可选的，所述异常处理包括自动暂停机台和提醒用户检查异常原因。
相应的，本发明还提供一种机械研磨机台，包含上述机械研磨机台异常侦测仪，还包含研磨件，所述机械研磨机台异常侦测仪设置于所述研磨件周边。
相应的，本发明还提供一种机械研磨机台异常侦测方法，包括：
实时采集机台运行的噪音的音频信号；
将所述音频信号转化为数字信号；
对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常；
向所述控制单元反馈异常的音频信号；
根据异常的音频信号进行异常处理。
可选的，在实时采集机台运行的噪音的音频信号之后，还包括：调节采集到的音频信号的强度。
可选的，输出所述振幅图谱、频率图谱以及音频信号。
可选的，所述频谱分析包括：根据数字信号中的波形信息，采用离散傅里叶变化法得到单位时间内的频率图谱。
可选的，采集一段时间内的音频信号作为基础噪音，通过所述基础噪音校订，确定所述基础噪音所在的频率范围，并收集所述基础噪音的振幅图形。
可选的，所述存储分析单元存储有所述基础噪音，所述存储分析单元采用减差法分析音频信号是否存在异常。
可选的，与所述基础噪音频率峰值位置相同或振幅图形匹配的噪音为正常噪音，与所述基础噪音频率峰值位置不同或振幅图形不匹配的噪音为异常噪音。
可选的，所述异常处理包括自动暂停机台和提醒用户检查异常原因。
与现有技术相比，本发明提供的机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台，设置有噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元，噪声传感器实时采集机台运行的噪音的音频信号，数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号，存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和波形图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常，反馈单元向所述控制单元反馈异常的音频信号，控制单元根据异常的音频信号进行异常处理；本发明实时采集机台运行的噪音，绘制音频信号的频率图谱和振幅图谱，然后利用频率图谱的异常噪音峰，和振幅图谱的异常形态图形，进行机台异常的实时有效的监测，及时侦测机台发生的异常状况，从而提高了机台的研磨效率。
附图说明
图1为本发明一实施例所提供的机械研磨机台异常侦测仪的结构框图。
图2为本发明一实施例所提供的正常研磨状态下的噪音振幅图谱。
图3为本发明一实施例所提供的某噪音的频率图谱。
图4为本发明一实施例所提供的研磨液异常的振幅图谱。
图5为本发明一实施例所提供的机械研磨机台异常侦测方法的流程图。
具体实施方式
针对上述问题，为了弥补现有的气压侦测、激光侦测等侦测手段的不足，需要寻找另一种侦测方法。发明人发现，CMP机台研磨时的各个部件的运动都是周期性的机械运动，在研磨过程中，研磨头、研磨垫、研磨晶圆位置、润滑液流量相对固定。随着研磨的进行，理想情况下，机台会发出频率振幅相似的周期性的研磨噪音。这样就为异常噪音发现提供了可行性。
发明人经过进一步研究，提出了一种机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台，实时采集机台运行的噪音，绘制音频信号的频率图谱和振幅图谱，然后利用频率图谱的异常噪音峰，和振幅图谱的异常形态图形，进行机台异常的实时有效的监测，及时侦测机台发生的异常状况。这种侦测方法，较另外两种相比具有显著的优点。噪音侦测是一种宏观的检测，噪音的信息量很大，能够有效的发现很多没有传感器侦测的位置的异常，弥补压力和光学传感器的不足。噪音信号突变的解析，还能作为查找机台漏洞的有效手段。
为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容做进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。
其次，本发明利用示意图进行了详细的表述，在详述本发明实例时，为了便于说明，示意图不依照一般比例局部放大，不应对此作为本发明的限定。
本发明提供一种机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台，设置有噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元，噪声传感器实时采集机台运行的噪音的音频信号，数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号，存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常，反馈单元反馈异常的音频信号，控制单元根据异常的音频信号进行异常处理，从而实现对机械研磨机台异常的实时侦测，提高机台的研磨效率。
请参考图1，其为本发明一实施例所提供的机械研磨机台异常侦测仪的结构框图。如图1所示，本发明提供一种机械研磨机台异常侦测仪，包括：
噪声传感器10、数模(A/D)转换单元30、存储分析单元40、反馈单元50以及控制单元60；其中，所述噪声传感器10安装于所述机械研磨机台上，用于实时采集机台运行的噪音的音频信号；所述数模转换单元30将所述音频信号转化为数字信号；所述存储分析单元40对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常；所述反馈单元50用于向所述控制单元反馈异常的音频信号；所述控制单元60根据异常的音频信号进行异常处理。
所述机械研磨机台异常侦测仪还包括灵敏度调节器20，所述灵敏度调节器20用于调节所述噪声传感器10采集到的音频信号的强度，并传输至所述数模转换单元30。所述机械研磨机台异常侦测仪还包括与存储分析单元40相连接的用户界面70，所述用户界面70用于输出所述振幅图谱、频率图谱以及音频信号。本实施例中，所述用户界面70包括音频输出端口、频谱显示器与用户调试端口；所述音频输出端口用于连接耳机或者音频存储设备，用于输出音频信号；所述频谱显示器用于显示振幅图谱和频率图谱；所述用户调试端口用于调试所述侦测仪的性能参数，例如，可以调试所述噪声传感器10、灵敏度调节器20、数模(A/D)转换单元30、存储分析单元40、反馈单元50以及控制单元60等各部件的性能参数。所述机械研磨机台异常侦测仪还包括电源80，所述电源80为上述各部件供电。
具体的，所述噪声传感器10安装于所述机械研磨机台上，优选的，安装于所述机械研磨机台内距离研磨部件比较近的位置，即靠近研磨区域的位置，用于实时采集机台运行的噪音的音频信号，避免受到其他信号的干扰。所述灵敏度调节器20内设置有增益开关，用于调节采集到的音频信号的强度。所述数模转换单元30将所述音频信号转化为数字信号。所述存储分析单元40对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常。
所述存储分析单元40从数字信号中可以直接得出振幅图谱与波形信息，所述存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，所述频谱分析包括：根据数字信号中的波形信息，采用离散傅里叶变化法，将波形信号转换成频率图谱，最终得到两张图谱，一张是一定时间内的频率图谱，另一张是实时的振幅图谱。将这两张图谱作为噪音的特征图谱，用于机台异常的监测。
所述振幅图谱为实时侦测，用于检测当前机台噪音构成，显示一段时间内的采样振幅。图2显示了一段时间内采集的正常研磨状态下的基础噪音振幅图谱。所述频率图谱，选取固定时间间隔内的噪音频率组成，用于侦测异常噪音信号。图3显示了对某噪音信号进行频率分解得到的频率图谱。
所述机械研磨机台异常侦测仪首次使用时，需要在机械研磨基台在正常状态下，采集一段时间内的音频信号作为基础噪音，通过基础噪音校订，确定基础噪音所在的频率范围，并收集基础噪音的振幅图形。将采集到的振幅图谱和频率图谱做为基础噪音，并存储在所述存储分析单元40内，所述存储分析单元40采用减差法分析音频信号是否存在异常。和基础噪音频率峰值位置相同的视为正常噪音频率，反之属于异常噪音频率，当异常频率特征峰值明显，便显示机台研磨过程中出现明显异常状况。同样由采样噪音振幅图形匹配基础噪音库振幅图形，当出现和基础噪音库振幅图形差异明显的噪音振幅图谱时，也提示研磨机台出现异常。图4显示了一种情况下的噪音振幅图形变化，为研磨液异常波形图，其中，噪音振幅曲线的后半段超出了预定的范围，出现异常。
最后，当出现异常噪音时，所述反馈单元50用于向所述控制单元60反馈异常的音频信号；所述控制单元60根据异常的音频信号进行异常处理，从而实现对机械研磨机台异常的实时侦测，提高机台的研磨效率。所述异常处理包括自动暂停机台或提醒用户检查异常原因，或本领域技术人员已知的其他处理。
本发明通过对采集到的研磨声音的分析，实现对机台运行的有效监测，侦测机台发生的异常状况。这种侦测方法，较另外两种相比具有显著的优点。噪音侦测是一种宏观的检测，噪音的信息量很大，能够有效的发现很多没有传感器侦测的位置的异常，弥补压力和光学传感器的不足。噪音信号突变的解析，还能作为查找机台漏洞的有效手段。
相应的，本发明还提供一种机械研磨机台，包含上述的机械研磨机台异常侦测仪，还包含研磨件，所述机械研磨机台异常侦测仪设置于所述研磨件周边。所述机械研磨机台异常侦测仪实时采集所述机械研磨机台运行的噪音，绘制音频信号的频率图谱和振幅图谱，然后利用频率图谱的异常噪音峰，和振幅图谱的异常形态图形，进行机械研磨机台异常的实时有效的监测，及时侦测机械研磨机台发生的异常状况，提高机械研磨机台的研磨效率。
相应的，本发明还提供一种机械研磨机台异常侦测方法，请参考图5，其为本发明一实施例所提供的机械研磨机台异常侦测方法的流程图，结合图1与图5，所述的方法包括：
步骤S01：实时采集机台运行的噪音的音频信号；
步骤S02：将所述音频信号转化为数字信号；
步骤S03：对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常；
步骤S04：向所述控制单元反馈异常的音频信号；
步骤S05：根据异常的音频信号进行异常处理。
所述机械研磨机台异常侦测方法还包括：在实时采集机台运行的噪音的音频信号之后，调节采集到的音频信号的强度，然后再将所述音频信号转化为数字信号。所述机械研磨机台异常侦测方法还包括：输出所述振幅图谱、频率图谱以及音频信号。
所述存储分析单元40从数字信号中可以直接得出振幅图谱与波形信息，所述存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，所述频谱分析包括：根据数字信号中的波形信息，采用离散傅里叶变化法，将波形信号转换成频率图谱，最终得到两张图谱，一张是一定时间内的频率构成图谱，另一张是实时的振幅图谱。将这两张图谱作为噪音的特征图谱，用于机台异常的监测。
所述振幅图谱为实时侦测，用于检测当前机台噪音构成，显示一段时间内的采样振幅。所述频率图谱，选取固定时间间隔内的噪音频率组成，用于侦测异常噪音信号。
所述机械研磨机台异常侦测仪首次使用时，需要在机械研磨基台在正常状态下，采集一段时间内的音频信号作为基础噪音，通过基础噪音校订，确定基础噪音所在的频率范围，并收集基础噪音的振幅图形。将采集到的振幅图谱和频率图谱最为基础噪音，并存储在所述存储分析单元40内，所述存储分析单元40采用减差法分析音频信号是否存在异常。和基础噪音频率峰值位置相同的视为正常噪音频率，反之属于异常噪音频率，当异常频率特征峰明显，便显示机台研磨过程中出现明显异常状况。同样由采样噪音振幅图形匹配基础噪音库振幅图形，当出现和基础噪音库振幅图形差异明显的噪音振幅图谱时，也提示研磨机台出现异常。
最后，当出现异常噪音时，所述反馈单元50用于向所述控制单元60反馈异常的音频信号；所述控制单元60根据异常的音频信号进行异常处理，从而实现对机械研磨机台异常的实时侦测，提高机台的研磨效率。所述异常处理包括自动暂停机台或提醒用户检查异常原因，或本领域技术人员已知的其他处理。
综上所述，本发明提供的机械研磨机台异常侦测仪及侦测方法、机械研磨机台，设置有噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元，噪声传感器实时采集机台运行的噪音的音频信号，数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号，存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和波形图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常，反馈单元向所述控制单元反馈异常的音频信号，控制单元根据异常的音频信号进行异常处理；本发明实时采集机台运行的噪音，绘制音频信号的频率图谱和振幅图谱，然后利用频率图谱的异常噪音峰，和振幅图谱的异常形态图形，进行机台异常的实时有效的监测，及时侦测机台发生的异常状况，从而提高了机台的研磨效率。
上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims (20)

1.一种机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，包括：噪声传感器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元以及控制单元；其中，
所述噪声传感器安装于所述机械研磨机台上，用于实时采集机台运行的噪音的音频信号；
所述数模转换单元将所述音频信号转化为数字信号；
所述存储分析单元对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常；
所述反馈单元用于向所述控制单元反馈异常的音频信号；
所述控制单元根据异常的音频信号进行异常处理。
2.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，还包括灵敏度调节器，所述灵敏度调节器用于调节所述噪声传感器采集到的音频信号的强度，并传输至所述数模转换单元。
3.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，还包括与存储分析单元相连接的用户界面，所述用户界面用于输出所述振幅图谱、频率图谱以及音频信号。
4.如权利要求3所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，还包括电源，所述电源分别向所述噪声传感器、灵敏度调节器、数模转换单元、存储分析单元、反馈单元、控制单元以及用户界面供电。
5.如权利要求3所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，所述用户界面包括音频输出端口、频谱显示器与用户调试端口；其中，
所述音频输出端口用于连接耳机或者音频存储设备；
所述频谱显示器用于显示振幅图谱和频率图谱；
所述用户调试端口用于调试所述侦测仪的性能参数。
6.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，所述灵敏度调节器内设置有增益开关。
7.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，所述频谱分析包括：根据数字信号中的波形信息，采用离散傅里叶变化法得到单位时间内的频率图谱。
8.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，所述机械研磨机台异常侦测仪首次使用时，采集一段时间内的音频信号作为基础噪音，通过所述基础噪音校订，确定所述基础噪音所在的频率范围，并收集所述基础噪音的振幅图形。
9.如权利要求8所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，所述存储分析单元存储有所述基础噪音，所述存储分析单元采用减差法分析音频信号是否存在异常。
10.如权利要求9所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，与所述基础噪音频率峰值位置相同或振幅图形匹配的噪音为正常噪音，与所述基础噪音频率峰值位置不同或振幅图形不匹配的噪音为异常噪音。
11.如权利要求1所述的机械研磨机台异常侦测仪，其特征在于，所述异常处理包括自动暂停机台和提醒用户检查异常原因。
12.一种机械研磨机台，其特征在于，包含如权利要求1-11任一项所述的机械研磨机台异常侦测仪，还包含研磨件，所述机械研磨机台异常侦测仪设置于所述研磨件周边。
13.一种机械研磨机台异常侦测方法，其特征在于，包括：
实时采集机台运行的噪音的音频信号；
将所述音频信号转化为数字信号；
对所述数字信号进行存储并进行频谱分析，提取单位时间内的振幅图谱和频率图谱，并根据所述振幅图谱和频率图谱分析音频信号是否存在异常；
向所述控制单元反馈异常的音频信号；
根据异常的音频信号进行异常处理。
14.如权利要求13所述的机械研磨机台异常侦测方法，其特征在于，在实时采集机台运行的噪音的音频信号之后，还包括：调节采集到的音频信号的强度。
15.如权利要求13所述的机械研磨机台异常侦测方法，其特征在于，还包括：输出所述振幅图谱、频率图谱以及音频信号。
16.如权利要求13所述的机械研磨机台异常侦测方法，其特征在于，所述频谱分析包括：根据数字信号中的波形信息，采用离散傅里叶变化法得到单位时间内的频率图谱。
17.如权利要求13所述的机械研磨机台异常侦测方法，其特征在于，采集一段时间内的音频信号作为基础噪音，通过所述基础噪音校订，确定所述基础噪音所在的频率范围，并收集所述基础噪音的振幅图形。
18.如权利要求17所述的机械研磨机台异常侦测方法，其特征在于，所述存储分析单元存储有所述基础噪音，所述存储分析单元采用减差法分析音频信号是否存在异常。
19.如权利要求18所述的机械研磨机台异常侦测方法，其特征在于，与所述基础噪音频率峰值位置相同或振幅图形匹配的噪音为正常噪音，与所述基础噪音频率峰值位置不同或振幅图形不匹配的噪音为异常噪音。
20.如权利要求13所述的机械研磨机台异常侦测方法，其特征在于，所述异常处理包括自动暂停机台和提醒用户检查异常原因。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111457941A (zh) * 2020-04-01 2020-07-28 湖南二零八先进科技有限公司 一种基于声谱分析的陀螺安装效果评价方法和装置
CN111906691A (zh) * 2020-06-29 2020-11-10 长沙长泰机器人有限公司 一种基于机器听觉的封闭空间铸件打磨识别系统
EP4009126A1 (en) 2020-12-04 2022-06-08 United Grinding Group Management AG Method of operating a machine for a production facility

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102275131A (zh) * 2011-06-28 2011-12-14 上海三一精机有限公司 检测磨床加工状态的监控方法及监控系统
CN103631145A (zh) * 2013-12-11 2014-03-12 清华大学 基于监控指标切换的多工况过程监控方法和系统
CN104535176A (zh) * 2015-01-22 2015-04-22 珠海格力电器股份有限公司 振动和噪声检测装置和方法
CN105334460A (zh) * 2015-11-27 2016-02-17 浙江大学城市学院 基于噪声与振动分析的机器运行状态在线监测分析系统
CN105784401A (zh) * 2016-04-14 2016-07-20 浙江微碳科技股份有限公司 一种设备故障声频检测方法及其检测系统

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102275131A (zh) * 2011-06-28 2011-12-14 上海三一精机有限公司 检测磨床加工状态的监控方法及监控系统
CN103631145A (zh) * 2013-12-11 2014-03-12 清华大学 基于监控指标切换的多工况过程监控方法和系统
CN104535176A (zh) * 2015-01-22 2015-04-22 珠海格力电器股份有限公司 振动和噪声检测装置和方法
CN105334460A (zh) * 2015-11-27 2016-02-17 浙江大学城市学院 基于噪声与振动分析的机器运行状态在线监测分析系统
CN105784401A (zh) * 2016-04-14 2016-07-20 浙江微碳科技股份有限公司 一种设备故障声频检测方法及其检测系统

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111457941A (zh) * 2020-04-01 2020-07-28 湖南二零八先进科技有限公司 一种基于声谱分析的陀螺安装效果评价方法和装置
CN111906691A (zh) * 2020-06-29 2020-11-10 长沙长泰机器人有限公司 一种基于机器听觉的封闭空间铸件打磨识别系统
EP4009126A1 (en) 2020-12-04 2022-06-08 United Grinding Group Management AG Method of operating a machine for a production facility

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