CN108008604B

CN108008604B - 一种防止刮擦掩膜版边缘设备

Info

Publication number: CN108008604B
Application number: CN201810004569.3A
Authority: CN
Inventors: 伍志军
Original assignee: Suzhou Saisen Electronic Technology Co ltd
Current assignee: Suzhou Saisen Electronic Technology Co ltd
Priority date: 2018-01-03
Filing date: 2018-01-03
Publication date: 2023-06-27
Anticipated expiration: 2038-01-03
Also published as: CN108008604A

Abstract

本发明公开了一种防止刮擦掩膜版边缘设备，包括掩膜版台面，所述掩膜版台面的顶部固定安装有六个固定销，且掩膜版台面的顶部放置有掩膜版，所述掩膜版与六个固定销均相配合，且掩膜版台面的一侧固定安装有竖直板，所述竖直板的顶部延伸至掩膜版台面的上方，且竖直板靠近掩膜版台面的一侧顶部焊接有顶板，所述顶板的底部开设有第一安装槽，且第一安装槽内安装有第一推杆电机，所述第一推杆电机的输出轴上焊接有横板，且横板的底部两侧均焊接有放置板，两个放置板相互靠近的一侧均开设有第二安装槽。本发明实用性高，通过移动板和风机，方便清除掩膜版上表面和下表面的灰尘，并且通过弹簧和盛装箱，方便在清除掩膜版的同时将掩膜版固定，提高掩膜版的稳定性。

Description

一种防止刮擦掩膜版边缘设备

技术领域

本发明涉及掩膜版边缘设备技术领域，尤其涉及一种防止刮擦掩膜版边缘设备。

背景技术

现有的掩膜版台面上面只有四个固定销，放置掩膜版时不能直接固定，要通过移动才能到达正确位置，这样掩膜版移动的时候就会产生很多刮擦发生，造成制品露光不良，品质问题，导致再作业的浪费了时间，增加了成本，因此非常有必要在掩膜版台面上面增加两个固定销，放置掩膜版时阻止了移动的，并且必须通过垂直放置才可以使掩膜版放置在正确的位置，但是掩膜版容易沾染灰尘，在垂直放置的时候不方便灰尘的清除，影响后续操作，并且增加两个固定销后掩膜版的稳定性不足，因此我们提出了一种防止刮擦掩膜版边缘设备用于解决上述问题。

发明内容

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种防止刮擦掩膜版边缘设备。

本发明提出的一种防止刮擦掩膜版边缘设备，包括掩膜版台面，所述掩膜版台面的顶部固定安装有六个固定销，且掩膜版台面的顶部放置有掩膜版，所述掩膜版与六个固定销均相配合，且掩膜版台面的一侧固定安装有竖直板，所述竖直板的顶部延伸至掩膜版台面的上方，且竖直板靠近掩膜版台面的一侧顶部焊接有顶板，所述顶板的底部开设有第一安装槽，且第一安装槽内安装有第一推杆电机，所述第一推杆电机的输出轴上焊接有横板，且横板的底部两侧均焊接有放置板，两个放置板相互靠近的一侧均开设有第二安装槽，所述第二安装槽内安装有第二推杆电机，且第二推杆电机的输出轴上焊接有推动板，所述横板的底部焊接有移动板，所述移动板位于两个放置板的同一侧，且移动板靠近放置板的一侧固定安装有两个风机，所述第二推杆电机位于两个风机之间，且掩膜版台面的顶部固定安装有固定板，所述固定板位于掩膜版的一侧，且固定板靠近掩膜版的一侧焊接有多个弹簧，多个弹簧的同一端焊接有同一个滑动板，所述滑动板靠近固定板的一侧固定安装有牵引绳，且固定板靠近滑动板的一侧开设有通孔，所述牵引绳远离滑动板的一端贯穿通孔并固定安装有浮块，且掩膜版台面的一侧固定安装有盛装箱，所述盛装箱内盛装有水，且浮块漂浮于水面上。

优选的，所述滑动板位于掩膜版的一侧，且滑动板与掩膜版相配合。

优选的，两个推动板对称设置，且推动板与掩膜版相配合。

优选的，所述掩膜版的高度与两个风机之间的距离相等，且两个风机与掩膜版相配合。

优选的，所述第一推杆电机的顶部焊接有第一安装板，且第一推杆电机通过第一安装板螺纹固定于第一安装槽的顶部内壁上。

优选的，两个第二推杆电机相互远离的一侧均焊接有第二安装板，且第二推杆电机通过第二安装板螺纹固定于第二安装槽远离第二安装槽开口的一侧内壁上。

优选的，所述弹簧的数量为八到十个，且八到十个弹簧位于同一水平轴线上。

优选的，所述掩膜版台面的一侧固定安装有斜杆，且斜杆远离掩膜版台面的一端安装有滑轮组，所述斜杆位于盛装箱的上方，且牵引绳与滑轮组滑动连接。

优选的，所述滑动板的底部安装有滑块，且掩膜版台面的顶部开设有滑槽，所述滑块与滑槽滑动连接。

优选的，所述浮块的重力比弹簧的弹力大，且移动板与水相配合。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：通过掩膜版台面、固定销、掩膜版、竖直板、顶板、第一安装槽、第一推杆电机、横板、放置板、第二安装槽、第二推杆电机、推动板、移动板和风机相配合，方便清除掩膜版上表面和下表面的灰尘，通过固定板、弹簧、滑动板、牵引绳、通孔、浮块、盛装箱、斜杆、滑轮组、滑块和滑槽相配合，方便在清除掩膜版的同时将掩膜版固定，提高掩膜版的稳定性。

本发明实用性高，通过移动板和风机，方便清除掩膜版上表面和下表面的灰尘，并且通过弹簧和盛装箱，方便在清除掩膜版的同时将掩膜版固定，提高掩膜版的稳定性。

附图说明

图1为本发明提出的一种防止刮擦掩膜版边缘设备的结构示意图；

图2为本发明提出的一种防止刮擦掩膜版边缘设备的掩膜版的局部结构示意图；

图3为本发明提出的一种防止刮擦掩膜版边缘设备的侧视结构示意图；

图4为本发明提出的一种防止刮擦掩膜版边缘设备的A部分的结构示意图；

图5为本发明提出的一种防止刮擦掩膜版边缘设备的B部分的结构示意图。

附图标记：

1掩膜版台面 2固定销 3掩膜版

4竖直板 5顶板 6第一安装槽

7第一推杆电机 8横板 9放置板

10第二安装槽 11第二推杆电机 12推动板

13移动板 14风机 15固定板

16弹簧 17滑动板 18牵引绳

19通孔 20浮块 21盛装箱

22斜杆 23滑轮组 24滑块

25滑槽

具体实施方式

下面结合具体实施例对本发明作进一步解说。

实施例

参照图1-5，本实施例中提出了一种防止刮擦掩膜版边缘设备，包括掩膜版台面1，掩膜版台面1的顶部固定安装有六个固定销2，且掩膜版台面1的顶部放置有掩膜版3，掩膜版3与六个固定销2均相配合，且掩膜版台面1的一侧固定安装有竖直板4，竖直板4的顶部延伸至掩膜版台面1的上方，且竖直板4靠近掩膜版台面1的一侧顶部焊接有顶板5，顶板5的底部开设有第一安装槽6，且第一安装槽6内安装有第一推杆电机7，第一推杆电机7的输出轴上焊接有横板8，且横板8的底部两侧均焊接有放置板9，两个放置板9相互靠近的一侧均开设有第二安装槽10，第二安装槽10内安装有第二推杆电机11，且第二推杆电机11的输出轴上焊接有推动板12，横板8的底部焊接有移动板13，移动板13位于两个放置板9的同一侧，且移动板13靠近放置板9的一侧固定安装有两个风机14，第二推杆电机11位于两个风机14之间，且掩膜版台面1的顶部固定安装有固定板15，固定板15位于掩膜版3的一侧，且固定板15靠近掩膜版3的一侧焊接有多个弹簧16，多个弹簧16的同一端焊接有同一个滑动板17，滑动板17靠近固定板15的一侧固定安装有牵引绳18，且固定板15靠近滑动板17的一侧开设有通孔19，牵引绳18远离滑动板17的一端贯穿通孔19并固定安装有浮块20，且掩膜版台面1的一侧固定安装有盛装箱21，盛装箱21内盛装有水，且浮块20漂浮于水面上，在掩膜版台面1、固定销2、掩膜版3、竖直板4、顶板5、第一安装槽6、第一推杆电机7、横板8、放置板9、第二安装槽10、第二推杆电机11、推动板12、移动板13和风机14配合之下，方便清除掩膜版3上表面和下表面的灰尘，在固定板15、弹簧16、滑动板17、牵引绳18、通孔19、浮块20、盛装箱21、斜杆22、滑轮组23、滑块24和滑槽25配合之下，方便在清除掩膜版3的同时将掩膜版3固定，提高掩膜版3的稳定性，本发明实用性高，通过移动板13和风机14，方便清除掩膜版3上表面和下表面的灰尘，并且通过弹簧16和盛装箱21，方便在清除掩膜版3的同时将掩膜版3固定，提高掩膜版3的稳定性。

本实施例中，滑动板17位于掩膜版3的一侧，且滑动板17与掩膜版3相配合，两个推动板12对称设置，且推动板12与掩膜版3相配合，掩膜版3的高度与两个风机14之间的距离相等，且两个风机14与掩膜版3相配合，第一推杆电机7的顶部焊接有第一安装板，且第一推杆电机7通过第一安装板螺纹固定于第一安装槽6的顶部内壁上，两个第二推杆电机11相互远离的一侧均焊接有第二安装板，且第二推杆电机11通过第二安装板螺纹固定于第二安装槽10远离第二安装槽10开口的一侧内壁上，弹簧16的数量为八到十个，且八到十个弹簧16位于同一水平轴线上，掩膜版台面1的一侧固定安装有斜杆22，且斜杆22远离掩膜版台面1的一端安装有滑轮组23，斜杆22位于盛装箱21的上方，且牵引绳18与滑轮组23滑动连接，滑动板17的底部安装有滑块24，且掩膜版台面1的顶部开设有滑槽25，滑块24与滑槽25滑动连接，浮块20的重力比弹簧16的弹力大，且移动板13与水相配合，在掩膜版台面1、固定销2、掩膜版3、竖直板4、顶板5、第一安装槽6、第一推杆电机7、横板8、放置板9、第二安装槽10、第二推杆电机11、推动板12、移动板13和风机14配合之下，方便清除掩膜版3上表面和下表面的灰尘，在固定板15、弹簧16、滑动板17、牵引绳18、通孔19、浮块20、盛装箱21、斜杆22、滑轮组23、滑块24和滑槽25配合之下，方便在清除掩膜版3的同时将掩膜版3固定，提高掩膜版3的稳定性，本发明实用性高，通过移动板13和风机14，方便清除掩膜版3上表面和下表面的灰尘，并且通过弹簧16和盛装箱21，方便在清除掩膜版3的同时将掩膜版3固定，提高掩膜版3的稳定性。

本实施例中，使用中，启动第二推杆电机11，第二推杆电机11的输出轴带动推动板12进行移动，使得两个推动板12将掩膜版3夹紧，启动第一推杆电机7，第一推杆电机7的输出轴带动横板8进行移动，横板8带动放置板9进行移动，启动风机14，方便清除掩膜版3上表面和下表面的灰尘，横板8同时带动移动板13进行移动，移动板13移动至盛装箱21内，使得盛装箱21内的水面上升，由于浮块20的重力比弹簧16的弹力大，此时浮块20随着水面上升，弹簧16由于自身的弹力推动滑动板17进行移动，使得滑动板17将掩膜版3夹紧，方便在清除掩膜版3的同时将掩膜版3固定，提高掩膜版3的稳定性，提高了掩膜版3的使用寿命避免了以后制品的不良和节约成本。

以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims

1.一种防止刮擦掩膜版边缘设备，包括掩膜版台面（1），其特征在于，所述掩膜版台面（1）的顶部固定安装有六个固定销（2），且掩膜版台面（1）的顶部放置有掩膜版（3），所述掩膜版（3）与六个固定销（2）均相配合，且掩膜版台面（1）的一侧固定安装有竖直板（4），所述竖直板（4）的顶部延伸至掩膜版台面（1）的上方，且竖直板（4）靠近掩膜版台面（1）的一侧顶部焊接有顶板（5），所述顶板（5）的底部开设有第一安装槽（6），且第一安装槽（6）内安装有第一推杆电机（7），所述第一推杆电机（7）的输出轴上焊接有横板（8），且横板（8）的底部两侧均焊接有放置板（9），两个放置板（9）相互靠近的一侧均开设有第二安装槽（10），所述第二安装槽（10）内安装有第二推杆电机（11），且第二推杆电机（11）的输出轴上焊接有推动板（12），所述横板（8）的底部焊接有移动板（13），所述移动板（13）位于两个放置板（9）的同一侧，且移动板（13）靠近放置板（9）的一侧固定安装有两个风机（14），所述第二推杆电机（11）位于两个风机（14）之间，且掩膜版台面（1）的顶部固定安装有固定板（15），所述固定板（15）位于掩膜版（3）的一侧，且固定板（15）靠近掩膜版（3）的一侧焊接有多个弹簧（16），多个弹簧（16）的同一端焊接有同一个滑动板（17），所述滑动板（17）靠近固定板（15）的一侧固定安装有牵引绳（18），且固定板（15）靠近滑动板（17）的一侧开设有通孔（19），所述牵引绳（18）远离滑动板（17）的一端贯穿通孔（19）并固定安装有浮块（20），且掩膜版台面（1）的一侧固定安装有盛装箱（21），所述盛装箱（21）内盛装有水，且浮块（20）漂浮于水面上；所述滑动板（17）位于掩膜版（3）的一侧，且滑动板（17）与掩膜版（3）相配合；两个推动板（12）对称设置，且推动板（12）与掩膜版（3）相配合；两个风机（14）与掩膜版（3）相配合；

所述浮块（20）的重力比弹簧（16）的弹力大，且移动板（13）与水相配合。

2.根据权利要求1所述的一种防止刮擦掩膜版边缘设备，其特征在于，所述第一推杆电机（7）的顶部焊接有第一安装板，且第一推杆电机（7）通过第一安装板螺纹固定于第一安装槽（6）的顶部内壁上。

3.根据权利要求1所述的一种防止刮擦掩膜版边缘设备，其特征在于，两个第二推杆电机（11）相互远离的一侧均焊接有第二安装板，且第二推杆电机（11）通过第二安装板螺纹固定于第二安装槽（10）远离第二安装槽（10）开口的一侧内壁上。

4.根据权利要求1所述的一种防止刮擦掩膜版边缘设备，其特征在于，所述弹簧（16）的数量为八到十个，且八到十个弹簧（16）位于同一水平轴线上。

5.根据权利要求1所述的一种防止刮擦掩膜版边缘设备，其特征在于，所述掩膜版台面（1）的一侧固定安装有斜杆（22），且斜杆（22）远离掩膜版台面（1）的一端安装有滑轮组（23），所述斜杆（22）位于盛装箱（21）的上方，且牵引绳（18）与滑轮组（23）滑动连接。

6.根据权利要求1所述的一种防止刮擦掩膜版边缘设备，其特征在于，所述滑动板（17）的底部安装有滑块（24），且掩膜版台面（1）的顶部开设有滑槽（25），所述滑块（24）与滑槽（25）滑动连接。