CN107971832A - 一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器。主要包括：磁铁盘旋转机构和磁铁盘竖直方向调整机构，磁铁盘旋转机构包括驱动电机、旋转轴、电机支座、磁铁盘、永磁铁簇；永磁铁簇固定安装在磁铁盘上，产生抛光所需磁场，磁铁盘与旋转轴固定连接，驱动电机带动旋转轴旋转，旋转轴带动磁铁盘旋转；磁铁盘竖直方向调整机构与磁铁盘固定连接，带动磁铁盘上下移动。本发明提供的机械旋转式脉冲磁场发生器可以均匀地形成大面积抛光区域，采用旋转磁铁盘的方式使静态磁场转变为动态脉冲磁场，可以迫使柔性抛光头中的磁链重新排布而实现磨粒的快速更新，加速了磨粒与工件表面的接触频率，减少了磨粒的磨损速度，提高了抛光效率。
Description
技术领域
本发明涉及超精密加工技术领域，尤其涉及一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器。
背景技术
磁流变抛光技术是利用磁流变抛光液在磁场中的流变特性进行抛光，磁流变抛光液在梯度磁场中会发生流变现象，形成具有粘塑性宾汉姆(Bingham)柔性凸起，当柔性凸起与待加工工件表面接触并发生相对运动时，会在工件表面产生很大的剪切力，该剪切力在磁流变抛光液中磨粒的作用下实现材料的去除。
磁流变抛光技术是20世纪90年代由Kordonski及其合作者将电磁学、流体动力学、分析化学、加工工艺学等相结合而提出的一种新型的光学表面加工方法，该方法具有抛光效果好、不产生次表面损伤、适合复杂表面加工等传统抛光所不具备的优点，已发展成为一种革命性光学表面加工方法，广泛应用于大型光学元件、半导体晶片、LED基板、液晶显示面板等的最后加工工序。
目前，现有技术中的一种采用磁流变抛光方法对平面工件进行加工时，主要采用以美国QED公司研制的各种型号磁流变机床，该方法的原理是把工件置于一圆弧形抛光盘上方，工件表面与抛光盘之间形成凹形间隙，抛光盘下方布置一个电磁铁磁极或者永磁体磁极，使凹形间隙处形成高强度梯度磁场。
上述现有技术中的磁流变抛光方法的缺点为：当磁流变液随抛光盘运动到工件与抛光盘形成的凹形空隙附近时形成柔性凸起“抛光缎带”，但“抛光缎带”与工件表面属于“斑点”局部接触，在加工过程中只能靠控制“斑点”沿工件表面按一定规律轨迹扫描才能实现整个表面的加工，轨迹扫描过程需要大量的时间，造成抛光效率低、加工形状精度不易保证的问题。
发明内容
本发明的实施例提供了一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，以实现对工件表面进行磁流变抛光处理。
为了实现上述目的，本发明采取了如下技术方案。
一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，包括：磁铁盘旋转机构和磁铁盘竖直方向调整机构，所述磁铁盘旋转机构包括驱动电机、旋转轴、电机支座、磁铁盘、永磁铁簇；
所述永磁铁簇固定安装在所述磁铁盘上，所述永磁铁簇产生抛光所需磁场，所述磁铁盘与所述旋转轴固定连接，所述驱动电机带动所述旋转轴旋转，所述旋转轴带动所述磁铁盘旋转；
所述磁铁盘竖直方向调整机构与所述磁铁盘固定连接，带动所述磁铁盘上下移动。
进一步地，所述磁铁盘竖直方向调整机构包括旋转手柄、滚珠丝杠、导轨、导轨支座；
所述导轨支座用于安装导轨，所述滚珠丝杠和所述导轨通过螺钉连接固定在所述电机支座上，所述滚珠丝杠的一端与所述磁铁盘通过螺钉固定连接，所述滚珠丝杠的另一端安装在所述导轨上，所述旋转手柄安装在所述滚珠丝杠的下端。
进一步地，通过旋转所述旋转手柄带动所述滚珠丝杠沿着所述导轨上下移动，所述滚珠丝杠进而带动所述磁极盘上下移动，从而调整所述磁极盘与待抛光工件之间的距离。
进一步地，所述磁铁盘为非导磁材料。
进一步地，所述永磁铁簇中的单个永磁铁为中空圆柱状铷铁硼，其磁化方向沿圆柱体轴向。
进一步地，所述永磁铁簇中的多个永磁铁均通过螺栓连接固定在非导磁材料制成的磁铁盘上。
进一步地，所述永磁铁簇以磁铁盘圆心为起始点，采用向日葵叶脉式分布。
进一步地，所述永磁铁簇的结构满足F R Yeatts叶序模型。
进一步地，所述永磁铁簇中的奇数序号永磁铁为N极向上，偶数序号永磁铁为S极向上。
进一步地，位于磁铁盘上方的磁流变抛光液在磁场的作用下发生流变现象，形成用于磁流变抛光的抛光头，所述抛光头中的磨粒在磁场盘旋转作用下更新。
由上述本发明的实施例提供的技术方案可以看出，本发明实施例提供的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，可以均匀地形成大面积抛光区域，采用旋转磁铁盘的方式使静态磁场转变为动态脉冲磁场，可以迫使柔性抛光头中的磁链重新排布而实现磨粒的快速更新，加速了磨粒与工件表面的接触频率，同时由于磨粒的及时更新也减少了磨粒的磨损速度，可以使得整个抛光过程中材料去除效率基本稳定，并且可以大幅度延长磁流变抛光液的使用寿命。
本发明附加的方面和优点将在下面的描述中部分给出，这些将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种平面磁流变抛光原理图；
图3为本发明实施例提供的一种抛光头在脉冲磁场作用下重新排列磁链实现磨粒更新的原理图；
图4为本发明实施例提供的一种磁铁盘上永磁铁沿向日葵叶脉式排布的分布图；
图中，驱动电机1、电机支座2、旋转轴3、磁铁盘4和永磁铁簇5；磁铁盘竖直方向调整机构包括旋转手柄9、滚珠丝杠6、导轨7和导轨支座8。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本发明，而不能解释为对本发明的限制。
本技术领域技术人员可以理解，除非特意声明，这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式。应该进一步理解的是，本发明的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件，但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。应该理解，当我们称元件被“连接”或“耦接”到另一元件时，它可以直接连接或耦接到其他元件，或者也可以存在中间元件。此外，这里使用的“连接”或“耦接”可以包括无线连接或耦接。这里使用的措辞“和/或”包括一个或更多个相关联的列出项的任一单元和全部组合。
本技术领域技术人员可以理解，除非另外定义，这里使用的所有术语(包括技术术语和科学术语)具有与本发明所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是，诸如通用字典中定义的那些术语应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义，并且除非像这里一样定义，不会用理想化或过于正式的含义来解释。
为便于对本发明实施例的理解，下面将结合附图以几个具体实施例为例做进一步的解释说明，且各个实施例并不构成对本发明实施例的限定。
为了提高抛光效率，本发明实施例提出了一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器以及相应的抛光方法，本发明实施例可以均匀地形成大面积抛光区域，并且抛光液中的磨粒在脉冲磁场的作用下能实现快速地更新，可以有效提高磁流变抛光的效率以及减少抛光液中磨粒的磨损，可以大幅度延长磁流变抛光液的使用寿命。同时，本发明实施例所得抛光工件表面质量高，无表面和亚表面损伤。
本发明实施例提出的一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器的结构示意图如图1所示，包括磁铁盘旋转机构和磁铁盘竖直方向调整机构，磁铁盘旋转机构包括驱动电机1、电机支座2、旋转轴3、磁铁盘4和永磁铁簇5；磁铁盘竖直方向调整机构包括旋转手柄9、滚珠丝杠6、导轨7和导轨支座8。
永磁铁簇5固定安装在磁铁盘4上，永磁铁簇5产生抛光所需磁场，磁铁盘4与旋转轴3通过焊接或者螺钉等固定连接。驱动电机1安装在电机支座2上，驱动电机1带动旋转轴3旋转，旋转轴3带动磁铁盘4旋转。磁铁盘竖直方向调整机构与所述磁铁盘4固定连接，带动所述磁铁盘4上下移动，从而调整磁铁盘4与待抛光工件之间的距离。
磁铁盘4为非导磁材料。单个永磁铁5为中空圆柱状铷铁硼，其磁化方向沿圆柱体轴向，永磁铁簇5中的多个永磁铁均通过螺栓连接固定在非导磁材料制成的磁铁盘上。抛光所需磁场由固定在磁铁盘4上的永磁铁簇5产生，磁场覆盖范围大，可形成大面积抛光区域，故主要用于平面磁流变抛光。抛光盘中的待抛光工件也必须为非导磁材料。
导轨支座8用于安装导轨7。滚珠丝杠6和导轨7通过螺钉连接固定在电机支座2上，滚珠丝杠6的一端与磁铁盘4通过螺钉固定连接，滚珠丝杠6的另一端安装在导轨7上，滚珠丝杠6可以沿着导轨7上下移动。滚珠丝杠6的下端安装有旋转手柄9，可以通过旋转所述旋转手柄9带动滚珠丝杠6沿着导轨7上下移动，滚珠丝杠6进而带动磁极盘4上下移动，从而调整磁极盘4和待抛光工件之间的距离，进而产生不同强度的磁场以适应不同的抛光工况。
本领域技术人员应能理解上述旋转手柄9、滚珠丝杠6、导轨7、导轨支座8和磁极盘4之间的连接方式仅为举例，其他现有的或今后可能出现的连接方式如可适用于本发明实施例，也应包含在本发明保护范围以内，并在此以引用方式包含于此。
图2为本发明实施例提供的一种平面磁流变抛光原理图，如图2所示，工作时，首先在抛光盘内入适量的磁流变抛光液，通过旋转手柄调整磁铁盘与抛光盘之间的距离，就可使磁流变抛光液在磁场作用下形成柔性抛光头，下压抛光盘中的待抛光工件，使得工件表面与柔性抛光头接触，随后在抛光盘转动、工件转动、磁铁盘转动的复合作用下，工件表面与柔性抛光头之间会产生很大的剪切力，该剪切力对工件表面的材料进行去除处理，实现对工件表面的抛光。
图3为本发明实施例提供的一种抛光头在脉冲磁场作用下重新排列磁链实现磨粒更新的原理图，如图3A所示，存在磁场时，磁流变抛光液内的磁性颗粒会在磁场作用下发生流变现象，构成链状排列，形成用于磁流变抛光的柔性抛光头，磁流变抛光液内的磨粒会浮于柔性抛光头表面；如图3B所示，无外加磁场时，磁性颗粒和磨粒会很快地均匀分散；如图3C所示，再次施加磁场时，磁性颗粒会很快地聚集形成链状结构，磨粒也会再次浮于抛光头表面。因此柔性抛光头内磨粒在磁铁盘转动形成的脉冲磁场作用下能实现快速的更新，使得抛光头具有自锐的特性，可以加速抛光头中磨粒与工件的接触频率，同时由于磨粒的及时更新也减少了磨粒的磨损速度，使得整个抛光过程中材料去除效率基本稳定，提高抛光效率。本发明实施例中的柔性抛光头可以均匀地形成大面积抛光区域，柔性抛光头与工件表面之间形成面接触，接触面积比现有技术中的点接触大很多。
图4为本发明实施例提供的一种磁铁盘上永磁铁沿向日葵叶脉式排布的分布图，如图4所示，本发明磁铁盘上众多永磁铁以磁铁盘圆心为起始点，沿向日葵叶脉式顺序排布，并且奇数序号永磁铁为N极向上，偶数序号永磁铁为S极向上，可在抛光区域形成均匀的梯度磁场，实现工件表面材料的均匀去除。
永磁铁簇的结构满足F R Yeatts叶序模型，F R Yeatts叶序模型为： 式中：θ是第n个凸起籽粒块的极坐标角度；R是第n个凸起的极坐标半径；R0是花朵或果实的半径，表示各磁铁所在位置的半径，R0是一个随着n均匀变化的量；k是叶序系数，由籽粒块大小决定。
本领域技术人员应能理解上述永磁铁簇采用日葵叶脉式排布的布置方式仅为举例，其他现有的或今后可能出现的永磁铁簇的布置方式如可适用于本发明实施例，也应包含在本发明保护范围以内，并在此以引用方式包含于此。
综上所述，本发明实施例提供的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，采用旋转磁铁盘的方式使静态磁场转变为动态脉冲磁场，可以迫使柔性抛光头中的磁链重新排布而实现磨粒的快速更新，加速了磨粒与工件表面的接触频率，同时由于磨粒的及时更新也减少了磨粒的磨损速度，可以使得整个抛光过程中材料去除效率基本稳定，并且可以大幅度延长磁流变抛光液的使用寿命。
本发明实施例提供的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器可以均匀地形成大面积抛光区域，柔性抛光头与工件表面之间接触面积大，特别适用于半导体晶片的平面抛光，所得抛光工件表面质量高，无表面和亚表面损伤。
本领域普通技术人员可以理解：附图只是一个实施例的示意图，附图中的模块或流程并不一定是实施本发明所必须的。
本领域普通技术人员可以理解：实施例中的装置中的部件可以按照实施例描述分布于实施例的装置中，也可以进行相应变化位于不同于本实施例的一个或多个装置中。上述实施例的部件可以合并为一个部件，也可以进一步拆分成多个子部件。
以上所述，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应该以权利要求的保护范围为准。
Claims (10)
1.一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，包括：磁铁盘旋转机构和磁铁盘竖直方向调整机构，所述磁铁盘旋转机构包括驱动电机、旋转轴、电机支座、磁铁盘、永磁铁簇；
所述永磁铁簇固定安装在所述磁铁盘上，所述永磁铁簇产生抛光所需磁场，所述磁铁盘与所述旋转轴固定连接，所述驱动电机带动所述旋转轴旋转，所述旋转轴带动所述磁铁盘旋转；
所述磁铁盘竖直方向调整机构与所述磁铁盘固定连接，带动所述磁铁盘上下移动。
2.根据权利要求1所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，所述磁铁盘竖直方向调整机构包括旋转手柄、滚珠丝杠、导轨、导轨支座；
所述导轨支座用于安装导轨，所述滚珠丝杠和所述导轨通过螺钉连接固定在所述电机支座上，所述滚珠丝杠的一端与所述磁铁盘通过螺钉固定连接，所述滚珠丝杠的另一端安装在所述导轨上，所述旋转手柄安装在所述滚珠丝杠的下端。
3.根据权利要求2所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，通过旋转所述旋转手柄带动所述滚珠丝杠沿着所述导轨上下移动，所述滚珠丝杠进而带动所述磁极盘上下移动，从而调整所述磁极盘与待抛光工件之间的距离。
4.根据权利要求1所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，所述磁铁盘为非导磁材料。
5.根据权利要求4所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，所述永磁铁簇中的单个永磁铁为中空圆柱状铷铁硼，其磁化方向沿圆柱体轴向。
6.根据权利要求5所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，所述永磁铁簇中的多个永磁铁均通过螺栓连接固定在非导磁材料制成的磁铁盘上。
7.根据权利要求1所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，所述永磁铁簇以磁铁盘圆心为起始点，采用向日葵叶脉式分布。
8.根据权利要求7所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，所述永磁铁簇的结构满足F R Yeatts叶序模型。
9.根据权利要求7所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，所述永磁铁簇中的奇数序号永磁铁为N极向上，偶数序号永磁铁为S极向上。
10.根据权利要求1至9任一项所述的用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器，其特征在于，位于磁铁盘上方的磁流变抛光液在磁场的作用下发生流变现象，形成用于磁流变抛光的抛光头，所述抛光头中的磨粒在磁场盘旋转作用下更新。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108857605A (zh) * | 2018-08-24 | 2018-11-23 | 辽宁科技大学 | 一种大口径长直管内表面磁力研磨装置及方法 |
| CN110202457A (zh) * | 2019-07-11 | 2019-09-06 | 辽宁科技大学 | 磁针磁力研磨长直管内表面的装置 |
| CN112476065A (zh) * | 2019-09-11 | 2021-03-12 | 长春工业大学 | 一种用于加工光学元件的非谐振振动辅助磁流变抛光装置及方法 |
| CN114571293A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-06-03 | 江苏克莱德激光技术有限责任公司 | 一种用于金属表面处理的磁流变抛光装置及其使用方法 |
| CN114986375A (zh) * | 2022-06-07 | 2022-09-02 | 重庆理工大学 | 一种磁流变抛光组件及磁流变抛光装置 |
Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6435948B1 (en) * | 2000-10-10 | 2002-08-20 | Beaver Creek Concepts Inc | Magnetic finishing apparatus |
| KR200334278Y1 (ko) * | 2003-08-19 | 2003-11-22 | 임상욱 | 자장을 이용한 거스러미 제거장치 |
| JP2007136637A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Utsunomiya Univ | 磁気援用微細研磨装置及び磁気援用微細研磨方法 |
| US20070150910A1 (en) * | 2005-12-26 | 2007-06-28 | Sony Corporation | Automatic balancing apparatus, rotating apparatus, disc drive apparatus, and balancer |
| CN202684651U (zh) * | 2012-08-24 | 2013-01-23 | 广东工业大学 | 一种集群磁流变-化学机械复合抛光装置 |
| CN103273385A (zh) * | 2013-06-09 | 2013-09-04 | 湖南大学 | 一种匀强磁场的面接触磁流变平面抛光装置及方法 |
| CN105458840A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-04-06 | 广东工业大学 | 一种静磁动场磁流变抛光机理试验装置及其加工方法 |
| CN106312796A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-01-11 | 广东工业大学 | 平坦化加工装置和单面及双面平坦化加工系统 |
| CN106938407A (zh) * | 2017-02-21 | 2017-07-11 | 广东工业大学 | 一种可控动磁场的动态磁流变抛光装置及其抛光方法 |
| CN207736015U (zh) * | 2017-08-04 | 2018-08-17 | 北京交通大学 | 一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器 |
-
2017
- 2017-08-04 CN CN201710662142.8A patent/CN107971832A/zh active Pending
Patent Citations (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6435948B1 (en) * | 2000-10-10 | 2002-08-20 | Beaver Creek Concepts Inc | Magnetic finishing apparatus |
| KR200334278Y1 (ko) * | 2003-08-19 | 2003-11-22 | 임상욱 | 자장을 이용한 거스러미 제거장치 |
| JP2007136637A (ja) * | 2005-11-22 | 2007-06-07 | Utsunomiya Univ | 磁気援用微細研磨装置及び磁気援用微細研磨方法 |
| US20070150910A1 (en) * | 2005-12-26 | 2007-06-28 | Sony Corporation | Automatic balancing apparatus, rotating apparatus, disc drive apparatus, and balancer |
| CN202684651U (zh) * | 2012-08-24 | 2013-01-23 | 广东工业大学 | 一种集群磁流变-化学机械复合抛光装置 |
| CN103273385A (zh) * | 2013-06-09 | 2013-09-04 | 湖南大学 | 一种匀强磁场的面接触磁流变平面抛光装置及方法 |
| CN105458840A (zh) * | 2015-12-29 | 2016-04-06 | 广东工业大学 | 一种静磁动场磁流变抛光机理试验装置及其加工方法 |
| CN106312796A (zh) * | 2016-10-20 | 2017-01-11 | 广东工业大学 | 平坦化加工装置和单面及双面平坦化加工系统 |
| CN106938407A (zh) * | 2017-02-21 | 2017-07-11 | 广东工业大学 | 一种可控动磁场的动态磁流变抛光装置及其抛光方法 |
| CN207736015U (zh) * | 2017-08-04 | 2018-08-17 | 北京交通大学 | 一种用于磁流变抛光的机械旋转式脉冲磁场发生器 |
Non-Patent Citations (5)
| Title |
|---|
| 张建川: "基于叶序理论掘进机截齿排布仿真研究", 中国优秀硕士学位论文全文数据库（电子期刊）, 15 May 2017 (2017-05-15), pages 24 - 25 * |
| 张田: "基于葵花籽粒结构的仿生抛光垫设计制造及抛光液流场的研究", 中国优秀硕士学位论文全文数据库（电子期刊）, 15 January 2012 (2012-01-15), pages 15 * |
| 杨炎: "金属材料磁流变光整加工工艺参数的实验研究", 中国优秀硕士学位论文全文数据库（电子期刊）, 15 July 2012 (2012-07-15), pages 15 - 37 * |
| 潘继生;阎秋生;路家斌;徐西鹏;陈森凯;: "集群磁流变平面抛光加工技术", 机械工程学报, no. 01, pages 205 - 212 * |
| 肖晓兰;阎秋生;潘继生;于鹏;梁华卓;陈润;: "超精密磁流变复合抛光技术研究进展", 广东工业大学学报, no. 06, pages 28 - 33 * |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108857605A (zh) * | 2018-08-24 | 2018-11-23 | 辽宁科技大学 | 一种大口径长直管内表面磁力研磨装置及方法 |
| CN110202457A (zh) * | 2019-07-11 | 2019-09-06 | 辽宁科技大学 | 磁针磁力研磨长直管内表面的装置 |
| CN112476065A (zh) * | 2019-09-11 | 2021-03-12 | 长春工业大学 | 一种用于加工光学元件的非谐振振动辅助磁流变抛光装置及方法 |
| CN114571293A (zh) * | 2022-05-09 | 2022-06-03 | 江苏克莱德激光技术有限责任公司 | 一种用于金属表面处理的磁流变抛光装置及其使用方法 |
| CN114571293B (zh) * | 2022-05-09 | 2022-07-29 | 江苏克莱德激光技术有限责任公司 | 一种用于金属表面处理的磁流变抛光装置及其使用方法 |
| CN114986375A (zh) * | 2022-06-07 | 2022-09-02 | 重庆理工大学 | 一种磁流变抛光组件及磁流变抛光装置 |
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