CN107942470B - 反射镜微调装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种反射镜微调装置及方法。反射镜微调装置包括夹持结构，用于在所述反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持所述反射镜；所述夹持结构包括至少一个与所述反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件；微调结构，用于给所述反射镜带有镀层的一面提供调整所述反射镜转动角度所需的推力；所述推力施加在至少一个所述悬空抵接件上。本发明还提供一种基于反射镜微调装置的反射镜微调方法。本发明将微调结构与夹持结构的连接，实现了在满足低分辨率的情况下反射镜角度的自动化调整，由于微调结构的成本低廉，从而降低了传统反射镜微调装置的成本，并且使微调装置更容易控制。

Description

反射镜微调装置及方法

技术领域

本发明涉及反射镜角度微调领域，特别是涉及一种反射镜微调装置及方法。

背景技术

目前，在光学实验以及光学仪器中，很多地方都要对反射镜的角度进行微调。在傅里叶变换红外光谱仪中，需要微调分辨率达到1um。而手动调节的千分尺分辨率一般为0.01mm。目前，对于一些微调分辨率要求较高，并且需要自动化调整的场合，往往使用压电陶瓷制成的压电陶瓷电机来控制，可以达到10nm的分辨率，但是压电陶瓷电机价格昂贵，并且需要高压供电，一般需要的电压超过75V或150V，而且对于由压电陶瓷电机组成的反射镜角度自动调整装置不太容易使用。

发明内容

基于此，有必要针对反射镜微调装置的成本较高、需要高压供电、不太容易使用的问题，提供一种反射镜微调装置及方法。

一种反射镜微调装置，用于提高反射镜的偏移精度，包括：

夹持结构，用于在所述反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持所述反射镜；所述夹持结构包括至少一个与所述反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件；微调结构，用于给所述反射镜带有镀层的一面提供调整所述反射镜转动角度所需的推力；所述推力施加在至少一个所述悬空抵接件上。

在其中一个实施例中，所述夹持结构还包括夹持本体、抵接件以及与所述夹持本体连接的至少两个弹片；所述夹持本体开设有与所述反射镜形状相似、并用于容纳所述反射镜的开口；所述弹片从所述反射镜未带镀层的一面与所述反射镜相抵，所述抵接件从所述反射镜带有镀层的一面与所述反射镜相抵。

在其中一个实施例中，所述夹持本体上开设有自夹持本体外侧向所述开口内延伸的多个通孔，所述抵接件穿过所述通孔延伸出的部分与所述反射镜带有镀层的一面相抵接，留在所述通孔内的部分与所述夹持本体固定连接。

在其中一个实施例中，所述抵接件包括螺纹件、金属条、金属方条中的至少一种。

在其中一个实施例中，所述抵接件与所述反射镜带有镀层的一面抵接的部分为平面。

在其中一个实施例中，所述抵接件的粗细和所述抵接件穿过所述通孔延伸出的部分的长度能够根据实际需要进行改变。

在其中一个实施例中，所述微调结构包括：

底板，用于提供支撑；线圈，用于产生电磁场，与所述底板连接；推拉轴，用于提供所述推力，置于所述线圈内部；复位弹片，用于产生回力，分别与所述底板和所述推拉轴连接；导线，用于提供电能，与所述线圈电气连接。

在其中一个实施例中，所述复位弹片包括铜片、铁片、不锈钢片中的至少一种。

本发明基于上述反射镜微调装置还提供一种反射镜微调方法，所述方法包括步骤：

将抵接件穿过夹持结构的通孔，调整所述抵接件的位置；

将弹片安装在所述夹持结构的夹持本体上；

通过所述弹片与所述抵接件在反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持住所述反射镜；

调整微调结构与所述夹持结构的位置并将所述微调结构与所述夹持结构连接；

通过调节所述微调结构产生的推力对所述反射镜的转动角度进行调整。

在其中一个实施例中，所述将抵接件穿过夹持结构的通孔，调整所述抵接件的位置的步骤，还包括：

将抵接件穿过夹持结构的通孔，通过旋转抵接件的方式调整所述抵接件的位置，使得所述抵接件与反射镜带有镀层的一面抵接的部分与夹持结构的端面保持平行。

上述反射镜微调装置及方法，因为微调结构通过采用更为便宜的推拉电磁铁来替代传统的压电陶瓷这种昂贵的电机，克服了传统的微调装置成本较高的问题，因为推拉电磁铁所需的电压远小于压电陶瓷所需的电压，所以克服了微调装置需要的电压较高的问题。进而达到了降低装置成本、降低装置所需电压、使得本发明的反射镜微调装置更加容易使用，并且同样可以满足分辨率较高、可以实现自动化调整的目的。

附图说明

图1为一实施例中的反射镜微调装置结构示意图；

图2为一实施例中的夹持结构的示意图；

图3为一实施例中的抵接件的示意图；

图4为一实施例中的微调结构的示意图；

图5为一实施例中的反射镜微调装置的装配图；

图6为一实施例中的反射镜微调方法流程图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本发明的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。

如图1所示，为一实施例中的反射镜微调装置结构示意图，用于提高反射镜的偏移精度，可以包括：夹持结构100，微调结构200。其中，夹持结构100用于在反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持住反射镜；夹持结构100包括至少一个与反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件120；微调结构200用于给反射镜带有镀层的一面提供调整反射镜转动角度所需的推力；微调结构200所产生的推力施加在至少一个悬空抵接件120上。

可以理解，悬空抵接件120的数量可以根据实际操作中的需要进行改变，但是反射镜微调装置中至少包括一个悬空抵接件120。例如，对一个反射镜微调装置采取两个悬空抵接件120，两个微调结构200，一个夹持结构100。微调结构200的数量与悬空抵接件120的数量可以对应一样，悬空抵接件120的数量也可以多于微调结构200的数量。优选地，悬空抵接件120的数量为两个，微调结构200的数量与悬空抵接件120的数量对应一样。

如图2所示，为一个实施例中的夹持结构的示意图，夹持结构100包括夹持本体110、悬空抵接件120和抵接件140以及与夹持本体110连接的至少两个弹片130。

在一个实施例中，夹持本体110上开设有与反射镜形状、大小相似，用于容纳反射镜的开口；开口的形状可以为圆形、椭圆形、正方形等，可以理解，开口的形状可以根据反射镜的形状进行改变。夹持本体110可以是长方体、正方体、圆柱体等形状，这里不做限定，夹持本体110的形状可以根据实际操作需要进行选择。夹持本体110上开设有自夹持本体外侧向开口内延伸的多个通孔，其中，供悬空抵接件120穿过的孔的一部分被截取掉或者也可以是被扩大的，并且，截取或扩大部分的长度可以根据实际需要进行选择，例如，截取或扩大部分的长度为通孔长度的二分之一。截取或扩大的部分可以是一个缺口的形状，也可以是以通孔的直径为内圆直径的立体图形，例如长方体、正方体等，也可以是直径大于孔的直径的圆柱体状，对于截取或扩大部分的形状这里不做限定。

优选地，开口的形状为圆形，夹持本体110为圆柱体，截取或扩大部分的长度为通孔长度的二分之一，供悬空抵接件120穿过的孔的一部分被截取掉一个缺口，缺口的形状为长方体形。

请参照图3，为一实施例中的抵接件的结构图。应当说明的是，本发明中的悬空抵接件120和抵接件140的加工方式一样，长度、粗细、材质等也可以一样，只是因为供悬空抵接件120穿过的孔被截取或扩大了一部分而使得悬空抵接件120的一部分在通孔内出于悬空状态，为了便于区分，所以将这种情况下的抵接件称为悬空抵接件。悬空抵接件120与抵接件140被加工的部分都凸露在夹持本体110的开口中。悬空抵接件120和抵接件140可以是均匀地、等间距的安装在夹持本体110上，悬空抵接件120与抵接件140的数量之和可以根据实际需要进行选择，例如，悬空抵接件120与抵接件140的数量之和为三个，采用两个悬空抵接件120和一个抵接件140，等间距的分布在夹持本体110上；悬空抵接件120与抵接件140的数量之和还可以为两个，悬空抵接件120和抵接件140对称的、等间距的安装在夹持本体110上。悬空抵接件120和抵接件140可以是螺丝、金属条、金属方条等。悬空抵接件120与抵接件140的粗细和悬空抵接件120穿过通孔延伸出的部分的长度能够根据实际需要进行改变。这里以悬空抵接件120和抵接件140都为螺丝为例，螺丝悬空的部分越短、螺丝越粗，则螺丝的弹性越小。则微调结构200通相同电压时螺丝所产生的变形也就越小，从而作用在反射镜上的推力也就越小，从而使得反射镜片产生微小的位移，实现反射镜小角度的调整。例如，在实际中，对于不同直径的反射镜片的角度位移可以根据公式：角度位移＝arctan(行程位移/镜片直径)，其中行程位移是指推拉轴能够推动的位移。举例来说，采用直径50mm的反射镜，反射镜片一边位移1um，大约相当于反射镜片角度调整0.001°，使用迈克尔逊干涉仪可以检测镜片偏移角度，当镜子角度偏移时，仪器会产生干涉条纹，如果仪器使用532nm的激光器，一个干涉条纹相当于532.8nm的偏移，足够测试1um的偏移。抵接件140的末端对称的被削掉了一部分，使得抵接件140与反射镜带有镀层的一面相抵的部分为平面，平面的形状可以为长方形、正方形等。平面的长度可以根据微调结构200的推拉轴230的直径确定，例如，平面的长度等于推拉轴230的直径，当然，平面的长度也可以大于推拉轴230的直径。可以理解，抵接件140的末端也可以只削掉一边，并且具体削掉多少可根据实际需要进行选择，例如，抵接件140为螺丝，两边对称着各自削掉螺丝攻螺纹部分的直径的四分之一。

优选地，悬空抵接件120与抵接件140的材质、长度、粗细等都相同，悬空抵接件120和抵接件140的数量之和为三个，采取两个悬空抵接件120和一个抵接件140。悬空抵接件120和抵接件140等间距、均匀地安装在夹持本体110上。悬空抵接件120和抵接件140的材质都采用螺丝，悬空抵接件120和抵接件140的末端两边对称着各自削掉螺丝攻螺纹部分的直径的四分之一，悬空抵接件120和抵接件140与反射镜带有镀层的一面相抵的平面为长方形，平面的长度稍大于推拉轴的直径。悬空抵接件120和抵接件140从反射镜带有镀层的一面与反射镜相抵。

在一个实施例中，弹片130与夹持本体110连接，用于从反射镜未带镀层的一面与反射镜相抵，具体的，弹片130的材质可以是不锈钢、铜、铁等。弹片130的数量可以和悬空抵接件120与抵接件140的数量之和所对应一样，例如，采用三个弹片130，两个悬空抵接件120和一个抵接件140；或者采用三个弹片130，一个悬空抵接件120和两个抵接件140。当然，弹片130的数量可以根据需要进行安装选择，弹片130的数量至少有两个。弹片130可以与悬空抵接件120和抵接件140的位置关系一一对应着安装在夹持本体110上，也可以是交叉着安装在夹持本体110上，还可以采取弹片130与悬空抵接件120和抵接件140之间呈十字形的方式安装在夹持本体110上，例如，采取两个弹片130，一个悬空抵接件120和一个抵接件140，四个部件呈十字形分布在夹持本体110上。弹片130与夹持本体110之间可以是螺纹连接、螺栓连接等。弹片130与夹持本体110之间连接的部件的数量可以是一个，也可以是两个。

优选地，弹片130的材质为不锈钢，弹片130的数量为三个，弹片130可以与悬空抵接件120和抵接件140交叉间隔着安装在夹持本体110上，弹片130与夹持本体110之间螺纹连接，连接的部件的数量为两个，弹片130从反射镜未带有镀层的一面与反射镜相抵。

如图4所示，为一实施例中的微调结构的示意图。微调结构200包括底板210、线圈220、推拉轴230、复位弹片240和导线250。微调结构200的数量与悬空抵接件120的数量可以对应一样，悬空抵接件120的数量也可以多于微调结构200的数量。优选地，悬空抵接件120的数量为两个，微调结构200的数量与悬空抵接件120的数量对应一样。微调结构200可以采用推拉电磁铁，因为推拉电磁铁的价格便宜，它运用了螺旋管的漏磁通原理，利用电磁铁动铁芯和静铁芯长距离吸合。实现推拉轴的直线往复运动。推拉电磁铁是根据电磁的原理，由电量来控制整体的动作以及功率的大小。其中电磁铁的作用就是通过电流来产生磁性，利用不同的磁圈，加上电源来控制磁性的大小，形成一个可以推、拉的动作，使其在一个整体中运行，就像是活塞一样运动，它的结构有时通过弹簧或者复位弹片来实行快速的变换。推拉式的电磁铁一般比较小，容易安装到一些小的场所。

在一个实施例中，底板210用于提供支撑。具体的，底板210的形状可以是长方形、正方形等，底板210上开设有供推拉轴230穿过的通孔，通孔的形状和推拉轴230的形状相似，且直径大于推拉轴230的直径。底板210上还攻有多个螺纹孔。底板210的材料可以是金属板、木质板、合金板等。优选地，底板210的形状为长方形，底板210的材料为金属。线圈220用于产生电磁场，与底板210连接。具体的，线圈220通过绕匝封装在金属或者塑胶外壳的内部，线圈220的外壳为圆柱状，线圈220的外壳的两个圆平面上开设有不同直径大小的孔。线圈220通过外壳与底板210螺纹或者螺栓连接。推拉轴230用于提供调整反射镜角度所需的推力，推拉轴230通过线圈220产生的电磁场实现小距离内的直线往复运动，通过复位弹片240产生的回力使推拉轴230在不通电压的情况下回复到原来的位置。导线250用于将外部电源和线圈220连接起来，导线250与线圈220电气连接，导线250用于为线圈220提供电能。

请参照图5，为一实施例中的反射镜微调装置的装配图。例如，这里的悬空抵接件120和抵接件140均采用加工方式、长度、粗细均一样的螺丝，悬空抵接件120的数量为两个，抵接件140的数量为一个，弹片130的数量为三个，一个微调结构200。在对夹持结构100的各个部件进行安装的时候，将悬空抵接件120和抵接件140旋转拧入夹持本体110中，使得螺丝与反射镜带有镀层的一面抵接的部分与夹持本体110的端面保持平行。悬空抵接件120和抵接件140与弹片130相间、等距离安装在夹持本体110上。反射镜带有镀层的一面放在悬空抵接件120和抵接件140被削除的平面上，在安装过程中，可以使用旋转的方式来微调松紧度，最后把弹片130安装在夹持本体110上，利用弹片130和抵接件140、悬空抵接件120在反射镜边缘处弹性相抵以弹性的将反射镜固定夹持住。在组装的时候，使微调结构200的推拉轴230的末端与一个悬空抵接件120被削除的平面接触，调整好微调结构200的位置，将微调结构200和夹持结构100螺纹连接或者螺丝连接固定住。微调装置的工作原理是：将微调结构200的推拉轴230末端与悬空抵接件被削平的部分接触，当对微调结构200通电后，推拉轴230产生推力，作用在悬空抵接件120上，由于悬空抵接件120有一部分悬空，所以存在着一定的弹性，在悬空抵接件120受力之后会产生轻微的变形推动反射镜以悬空抵接件120的削平的平面为支点转动，从而使镜片产生位移，改变反射镜的角度。

上述实施例因为采用了微调结构和夹持结构连接的方式，达到了对反射镜角度进行调整的目的，同时，由于夹持结构中的悬空抵接件的长度、粗细可以根据实际需要进行改变，使得在对反射镜角度进行调整的时候位移分辨率也可以进行调试，并且，夹持结构中的弹片的数量也可以进行选择，使得微调装置可以适应更多的场合和需求。进一步地，由于微调结构中所需的电压相对较小并且可以控制，使得本发明达到了降低装置所需电压的目的且更加具有可控制性。更进一步地，微调结构和夹持结构和悬空抵接件的价格便宜且相对低廉，从而达到了降低装置成本的目的。

如图6所示，为一个实施例中的反射镜微调方法，基于反射镜微调装置，可以包括：夹持结构100，微调结构200。其中，夹持结构100用于在反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持住反射镜；夹持结构100包括至少一个与反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件120；微调结构200用于给反射镜带有镀层的一面提供调整反射镜转动角度所需的推力；微调结构200所产生的推力施加在至少一个悬空抵接件120上。

一种反射镜微调方法，包括步骤：

步骤S610，将抵接件穿过夹持结构的通孔，调整所述抵接件的位置。

在一个实施例中，将抵接件和悬空抵接件穿过夹持结构的通孔，通过旋转抵接件和悬空抵接件的方式调整抵接件和悬空抵接件的位置，使得抵接件和悬空抵接件与反射镜带有镀层的一面抵接的部分与夹持结构的端面保持平行。

步骤S620，将弹片安装在所述夹持结构的夹持本体上。

在一个实施例中，将至少两个弹片等间距地安装在夹持结构的夹持本体上，弹片从反射镜未带有镀层的一面与反射镜相抵，弹片可以与悬空抵接件和抵接件的位置关系一一对应着安装在夹持本体上，也可以是交叉着安装在夹持本体上，还可以采取弹片与悬空抵接件和抵接件之间呈十字形的方式安装在夹持本体上，例如，采取两个弹片，一个悬空抵接件和一个抵接件，四个部件呈十字形分布在夹持本体上。弹片与夹持本体之间可以是螺纹连接、螺栓连接等。

优选地，弹片的材质为不锈钢，弹片的数量为三个，弹片可以与悬空抵接件和抵接件交叉间隔着安装在夹持本体上，弹片与夹持本体之间螺纹连接，连接的部件的数量为两个，弹片从反射镜未带有镀层的一面与反射镜相抵。

步骤S630，通过所述弹片与所述抵接件在反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持住所述反射镜。

在一个实施例中，将反射镜放入夹持结构的开口内，使弹片从反射镜未带有镀层的一面与反射镜的边缘处相抵，抵接件和悬空抵接件从反射镜带有镀层的一面与反射镜的边缘处相抵，通过弹片与抵接件、悬空抵接件之间的弹性相抵来弹性地夹持住反射镜。

步骤S640，调整微调结构与所述夹持结构的位置并将所述微调结构与所述夹持结构连接。

在一个实施例中，将一个微调结构的推拉轴末端与一个悬空抵接件被削平的部分接触，将微调结构的位置调整到和夹持结构的中垂线保持平行，调整好之后，用螺丝或者螺栓将微调结构和夹持结构固定连接。微调结构可以采用推拉电磁铁，因为推拉电磁铁的价格便宜，推拉电磁铁运用了螺旋管的漏磁通原理，利用电磁铁动铁芯和静铁芯长距离吸合。实现推拉轴的直线往复运动。推拉电磁铁是根据电磁的原理，由电量来控制整体的动作以及功率的大小。

步骤S650，通过调节所述微调结构产生的推力对所述反射镜的转动角度进行调整。

在一个实施例中，通过对微调结构中的导线进行通电来使线圈产生电磁场，通过电磁场作用在推拉轴上，使推拉轴产生一个推力，作用在悬空抵接件上，由于悬空抵接件有一部分悬空，所以存在有一定的弹性，悬空抵接件在受力之后会产生轻微的变形推动反射镜以悬空抵接件削平的平面为支点转动，从而使反射镜片产生位移，通过反射镜片的位移来改变反射镜的角度。当对导线断电的时候，线圈不产生电磁场，推拉轴由于复位弹片的作用，回复到原来的位置。

上述实施例因为采用了微调结构和夹持结构连接的方式，达到了对反射镜角度进行调整的目的，同时，由于夹持结构中的悬空抵接件的长度、粗细可以根据实际需要进行改变，使得在对反射镜角度进行调整的时候位移分辨率也可以进行调试，并且，夹持结构中的弹片的数量也可以进行选择，使得微调装置可以适应更多的场合和需求。进一步地，由于微调结构中所需的电压相对较小并且可以控制，使得本发明达到了降低装置所需电压的目的且更加具有可控制性。更进一步地，微调结构和夹持结构和悬空抵接件的价格便宜且相对低廉，从而达到了降低装置成本的目的。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种反射镜微调装置，用于提高反射镜的偏移精度，其特征在于，包括：

夹持结构，用于在所述反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持所述反射镜；

所述夹持结构包括至少一个与所述反射镜带有镀层的一面相抵接的悬空抵接件；

微调结构，用于给所述反射镜带有镀层的一面提供调整所述反射镜转动角度所需的推力；所述推力施加在至少一个所述悬空抵接件上。

2.根据权利要求1所述的反射镜微调装置，其特征在于，所述夹持结构还包括夹持本体、抵接件以及与所述夹持本体连接的至少两个弹片；

所述夹持本体开设有与所述反射镜形状相似、并用于容纳所述反射镜的开口；所述弹片从所述反射镜未带镀层的一面与所述反射镜相抵，所述抵接件从所述反射镜带有镀层的一面与所述反射镜相抵。

3.根据权利要求2所述的反射镜微调装置，其特征在于，所述夹持本体上开设有自夹持本体外侧向所述开口内延伸的多个通孔，所述抵接件穿过所述通孔延伸出的部分与所述反射镜带有镀层的一面相抵接，留在所述通孔内的部分与所述夹持本体固定连接。

4.根据权利要求3所述的反射镜微调装置，其特征在于，所述抵接件包括螺纹件或金属条。

5.根据权利要求3所述的反射镜微调装置，其特征在于，所述抵接件与所述反射镜带有镀层的一面抵接的部分为平面。

6.根据权利要求3所述的反射镜微调装置，其特征在于，所述抵接件的粗细和所述抵接件穿过所述通孔延伸出的部分的长度能够根据实际需要进行改变。

7.根据权利要求1所述的反射镜微调装置，其特征在于，所述微调结构包括：

底板，用于提供支撑；

线圈，用于产生电磁场，与所述底板连接；

推拉轴，用于提供所述推力，置于所述线圈内部；

复位弹片，用于产生回力，分别与所述底板和所述推拉轴连接；

导线，用于提供电能，与所述线圈电气连接。

8.根据权利要求7所述的反射镜微调装置，其特征在于，所述复位弹片包括铜片、铁片、不锈钢片中的至少一种。

9.一种反射镜微调方法，基于一种反射镜微调装置，所述反射镜微调装置包括：

夹持结构，用于在所述反射镜两面的边缘处弹性相抵以弹性地夹持所述反射镜；

所述夹持结构包括至少一个与所述反射镜带镀层的一面相抵接的悬空抵接件；

微调结构，用于给所述反射镜带有镀层的一面提供调整所述反射镜转动角度所需的推力；所述推力施加在至少一个所述悬空抵接件上，

所述方法包括步骤：

将抵接件穿过夹持结构的通孔，调整所述抵接件的位置；

将弹片安装在所述夹持结构的夹持本体上；

通过所述弹片从所述反射镜未带镀层的一面与所述反射镜相抵，所述抵接件从所述反射镜带有镀层的一面与所述反射镜相抵以弹性地夹持住所述反射镜；

调整微调结构与所述夹持结构的位置并将所述微调结构与所述夹持结构连接；

通过调节所述微调结构产生的推力对所述反射镜的转动角度进行调整。

10.根据权利要求9所述的反射镜微调方法，其特征在于，所述将抵接件穿过夹持结构的通孔，调整所述抵接件的位置的步骤，还包括：

将抵接件穿过夹持结构的通孔，通过旋转抵接件的方式调整所述抵接件的位置，使得所述抵接件与反射镜带有镀层的一面抵接的部分与夹持结构的端面保持平行。

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