CN107937868A - 一种新型便于冷却的真空镀膜机 - Google Patents

Abstract

本专利公开了一种新型便于冷却的真空镀膜机，包括镀膜箱和散热片，所述镀膜箱下侧设置有固定支架，所述固定支架与所述镀膜箱固定连接，所述镀膜箱上铰接有箱门，所述箱门上设置有观察窗，所述观察窗与所述箱门固定连接，所述镀膜箱内部开设有镀膜腔，所述散热片位于所述镀膜箱外壁，所述散热片与所述镀膜箱固定连接；在装置外壁设置有多层散热片，并在散热片中安装有冷却水进水管和冷却管回水管，并在镀膜腔外侧设置有四个蛇形冷却水道，可以直接与冷却水管相连，冷却时，可以多管道同时进水，大范围的通过冷却水流以及散热片带走内部的热量，对内部的镀膜腔进行快速散热，从而增加散热效率，提高设备的使用寿命。

Description

一种新型便于冷却的真空镀膜机

技术领域

本专利属于镀膜机技术领域，具体涉及一种新型便于冷却的真空镀膜机。

背景技术

真空镀膜机主要指在较高真空度下进行镀膜的镀膜机，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。

原有真空镀膜机在镀膜过程中需要进行高温蒸发处理，使得设备温度变高，为了增加冷水利用效率，冷却水管一般呈螺旋状卷绕在镀膜腔外侧进行冷却，但是冷却速度较慢，降低了设备降温速度。

专利内容

本专利的目的在于提供一种新型便于冷却的真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出原有真空镀膜机在镀膜过程中需要进行高温蒸发处理，使得设备温度变高，为了增加冷水利用效率，冷却水管一般呈螺旋状卷绕在镀膜腔外侧进行冷却，但是冷却速度较慢，降低了设备降温速度的问题。

为实现上述目的，本专利提供如下技术方案：一种新型便于冷却的真空镀膜机，包括镀膜箱和散热片，所述镀膜箱下侧设置有固定支架，所述固定支架与所述镀膜箱固定连接，所述镀膜箱上铰接有箱门，所述箱门上设置有观察窗，所述观察窗与所述箱门固定连接，所述镀膜箱内部开设有镀膜腔，所述散热片位于所述镀膜箱外壁，所述散热片与所述镀膜箱固定连接，所述散热片上开设有孔，所述散热片上设置有冷却水回水管和冷却水进水管，所述冷却水回水管和所述冷却水进水管均贯穿于所述散热片与所述镀膜箱连接，所述冷却水回水管的下端设置有回水管接管，所述回水管接管与所述冷却水回水管固定连接，所述冷却水进水管下端设置有进水管接管，所述进水管接管与所述冷却水回水管固定连接，所述镀膜箱内部开设有第一冷却水道、第四冷却水道、第三冷却水道和第二冷却水道，所述第一冷却水道、第二冷却水道、第三冷却水道和所述第四冷却水道自下而上依次排列，所述冷却水进水管和所述冷却水回水管上均设置有连接管，所述连接管与所述冷却水回水管和所述冷却水进水管法兰连接，所述第一冷却水道、第二冷却水道、第三冷却水道和所述第四冷却水道均具有进水口和出水口，所述进水口位于所述出水口下侧，所述进水口与所述冷却水进水管上的所述连接管连接，所述出水口与所述冷却水进水管上的所述连接管连接。

优选的，所述第一冷却水道、第二冷却水道、第三冷却水道和所述第四冷却水道均呈蛇形分布，所述第一冷却水道长度大于所述第四冷却水道长度，所述第二冷却水道和所述第三冷却水道长度相等，所述第二冷却水道和所述第三冷却水道长度均小于所述第四冷却水道长度。

优选的，所述第一冷却水道、第二冷却水道、第三冷却水道和所述第四冷却水道截面呈圆形，所述第一冷却水道截面直径大于所述第四冷却水道截面直径，所述第三冷却水道和所述第二冷却水道截面直径相等，所述第三冷却水道和所述第二冷却水道截面直径均小于所述第四冷却水道截面直径。

优选的，所述散热片数量为多个，且所述散热片均安装在所述镀膜箱的外壁。

优选的，所述镀膜箱上下两端处的相邻两个所述散热片之间距离小于所述镀膜箱中间处的相邻两个所述散热片之间的距离。

与现有技术相比，本专利的有益效果是：在装置外壁设置有多层散热片，并在散热片中安装有冷却水进水管和冷却管回水管，并在镀膜腔外侧设置有四个蛇形冷却水道，可以直接与冷却水管相连，冷却时，可以多管道同时进水，大范围的通过冷却水流以及散热片带走内部的热量，对内部的镀膜腔进行快速散热，从而增加散热效率，提高设备的使用寿命。

附图说明

图1为本专利的结构示意图；

图2为本专利的镀膜箱俯视结构示意图；

图3为本专利的第一冷却水道结构示意图；

图中：10-镀膜箱、101-镀膜腔、11-箱门、111-观察窗、12-固定支架、20-散热片、21-冷却水回水管、211-回水管接管、22-冷却水进水管、221-进水管接管、23-第一冷却水道、231-第四冷却水道、232-第三冷却水道、233-第二冷却水道、24-连接管。

具体实施方式

下面将结合本专利实施例中的附图，对本专利实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利保护的范围。

请参阅图1-3，本专利提供一种技术方案：一种新型便于冷却的真空镀膜机，包括镀膜箱10和散热片20，镀膜箱10下侧设置有固定支架12，固定支架12与镀膜箱10固定连接，镀膜箱10上铰接有箱门11，箱门11上设置有观察窗111，观察窗111与箱门11固定连接，镀膜箱10内部开设有镀膜腔101，散热片20位于镀膜箱10外壁，散热片20与镀膜箱10固定连接，散热片20上开设有孔，散热片20上设置有冷却水回水管21和冷却水进水管22，冷却水回水管21和冷却水进水管22均贯穿于散热片20与镀膜箱10连接，冷却水回水管21的下端设置有回水管接管211，回水管接管211与冷却水回水管21固定连接，冷却水进水管22下端设置有进水管接管221，进水管接管221与冷却水回水管21固定连接，镀膜箱10内部开设有第一冷却水道23、第四冷却水道231、第三冷却水道232和第二冷却水道233，第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231自下而上依次排列，冷却水进水管22和冷却水回水管21上均设置有连接管24，连接管24与冷却水回水管21和冷却水进水管22法兰连接，第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231均具有进水口和出水口，进水口位于出水口下侧，进水口与冷却水进水管22上的连接管24连接，出水口与冷却水进水管22上的连接管24连接。

本实施例中，连接管24与冷却水回水管21和冷却水进水管22法兰连接，可以通过连接管24从冷却水进水管22内向冷却水道中灌入冷却水，第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231均具有进水口和出水口，进水口位于出水口下侧，可以增加冷却水在冷却水道中的热量交换效率，提高冷却水的利用率，进水口与冷却水进水管22上的连接管24连接，出水口与冷却水进水管22上的连接管24连接，方便同时对第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231进行冷却水的灌入，进行大范围的同时降温，提高冷却速度。

本实施例中，将进水管接管221和回水管接管211分别接入循环泵的进水管和回水管，在对设备进行冷却时，冷却水通过进水管接管221进入到冷却水进水管22中，然后随着水位上升和冷却水道的压力，将水位迅速提升到冷却水进水管22顶端，然后开始对第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231进行灌水，根据设备底部和顶部温度较高的特点，冷却水可以在直径较大长度较长的第一冷却水道23和第四冷却水道231中进行快速流通，从而进行快速冷却，而第二冷却水道233和第三冷却水道232热量相对较少，通过较细的管道进行慢速流通，从而提高了冷却水的利用率，冷却水经过热交换后通过连接管24进入到冷却水回水管21中，然后通过回水管接管流出设备。

进一步的，第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231均呈蛇形分布，第一冷却水道23长度大于第四冷却水道231长度，第二冷却水道233和第三冷却水道232长度相等，第二冷却水道233和第三冷却水道232长度均小于第四冷却水道231长度。

本实施例中，第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231均呈蛇形分布，可以增加冷却水的利用效率，第一冷却水道23长度大于第四冷却水道231长度，从而可以增加对设备底部的冷却效率，第二冷却水道233和第三冷却水道232长度相等，第二冷却水道233和第三冷却水道232长度均小于第四冷却水道231长度，可以增加设备中部冷却水的热交换效率，减少能量的浪费。

进一步的，第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231截面呈圆形，第一冷却水道23截面直径大于第四冷却水道231截面直径，第三冷却水道232和第二冷却水道233截面直径相等，第三冷却水道232和第二冷却水道233截面直径均小于第四冷却水道231截面直径。

本实施例中，第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231截面呈圆形，可以增加冷却水的利用效率，第一冷却水道23截面直径大于第四冷却水道231截面直径，从而可以增加对设备底部的冷却效率，第三冷却水道232和第二冷却水道233截面直径相等，第三冷却水道232和第二冷却水道233截面直径均小于第四冷却水道231截面直径，可以增加设备中部冷却水的热交换效率，减少能量的浪费。

进一步的，散热片20数量为多个，且散热片20均安装在镀膜箱10的外壁。

本实施例中，散热片20数量为多个，且散热片20均安装在镀膜箱10的外壁，用于增加设备通过空气流通进行热量交换的效率。

进一步的，镀膜箱10上下两端处的相邻两个散热片20之间距离小于镀膜箱10中间处的相邻两个散热片20之间的距离。

本实施例中，镀膜箱10上下两端处的相邻两个散热片20之间距离小于镀膜箱10中间处的相邻两个散热片20之间的距离，可以根据设备热量分布的特点，进行针对性的散热冷却处理，提高资源的利用率。

本专利的工作原理及使用流程：本专利安装好过后，将进水管接管221和回水管接管211分别接入循环泵的进水管和回水管，在对设备进行冷却时，冷却水通过进水管接管221进入到冷却水进水管22中，然后随着水位上升和冷却水道的压力，将水位迅速提升到冷却水进水管22顶端，然后开始对第一冷却水道23、第二冷却水道233、第三冷却水道232和第四冷却水道231进行灌水，根据设备底部和顶部温度较高的特点，冷却水可以在直径较大长度较长的第一冷却水道23和第四冷却水道231中进行快速流通，从而进行快速冷却，而第二冷却水道233和第三冷却水道232热量相对较少，通过较细的管道进行慢速流通，从而提高了冷却水的利用率，冷却水经过热交换后通过连接管24进入到冷却水回水管21中，然后通过回水管接管流出设备。

尽管已经示出和描述了本专利的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本专利的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本专利的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种新型便于冷却的真空镀膜机，其特征在于：包括镀膜箱(10)和散热片(20)，所述镀膜箱(10)下侧设置有固定支架(12)，所述固定支架(12)与所述镀膜箱(10)固定连接，所述镀膜箱(10)上铰接有箱门(11)，所述箱门(11)上设置有观察窗(111)，所述观察窗(111)与所述箱门(11)固定连接，所述镀膜箱(10)内部开设有镀膜腔(101)，所述散热片(20)位于所述镀膜箱(10)外壁，所述散热片(20)与所述镀膜箱(10)固定连接，所述散热片(20)上开设有孔，所述散热片(20)上设置有冷却水回水管(21)和冷却水进水管(22)，所述冷却水回水管(21)和所述冷却水进水管(22)均贯穿于所述散热片(20)与所述镀膜箱(10)连接，所述冷却水回水管(21)的下端设置有回水管接管(211)，所述回水管接管(211)与所述冷却水回水管(21)固定连接，所述冷却水进水管(22)下端设置有进水管接管(221)，所述进水管接管(221)与所述冷却水回水管(21)固定连接，所述镀膜箱(10)内部开设有第一冷却水道(23)、第四冷却水道(231)、第三冷却水道(232)和第二冷却水道(233)，所述第一冷却水道(23)、第二冷却水道(233)、第三冷却水道(232)和所述第四冷却水道(231)自下而上依次排列，所述冷却水进水管(22)和所述冷却水回水管(21)上均设置有连接管(24)，所述连接管(24)与所述冷却水回水管(21)和所述冷却水进水管(22)法兰连接，所述第一冷却水道(23)、第二冷却水道(233)、第三冷却水道(232)和所述第四冷却水道(231)均具有进水口和出水口，所述进水口位于所述出水口下侧，所述进水口与所述冷却水进水管(22)上的所述连接管(24)连接，所述出水口与所述冷却水进水管(22)上的所述连接管(24)连接。

2.根据权利要求1所述的一种新型便于冷却的真空镀膜机，其特征在于：所述第一冷却水道(23)、第二冷却水道(233)、第三冷却水道(232)和所述第四冷却水道(231)均呈蛇形分布，所述第一冷却水道(23)长度大于所述第四冷却水道(231)长度，所述第二冷却水道(233)和所述第三冷却水道(232)长度相等，所述第二冷却水道(233)和所述第三冷却水道(232)长度均小于所述第四冷却水道(231)长度。

3.根据权利要求1所述的一种新型便于冷却的真空镀膜机，其特征在于：所述第一冷却水道(23)、第二冷却水道(233)、第三冷却水道(232)和所述第四冷却水道(231)截面呈圆形，所述第一冷却水道(23)截面直径大于所述第四冷却水道(231)截面直径，所述第三冷却水道(232)和所述第二冷却水道(233)截面直径相等，所述第三冷却水道(232)和所述第二冷却水道(233)截面直径均小于所述第四冷却水道(231)截面直径。

4.根据权利要求1所述的一种新型便于冷却的真空镀膜机，其特征在于：所述散热片(20)数量为多个，且所述散热片(20)均安装在所述镀膜箱(10)的外壁。

5.根据权利要求1所述的一种新型便于冷却的真空镀膜机，其特征在于：所述镀膜箱(10)上下两端处的相邻两个所述散热片(20)之间距离小于所述镀膜箱(10)中间处的相邻两个所述散热片(20)之间的距离。