CN107935400A - 一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液 - Google Patents

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract

本发明公布了一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，包括以下重量百分比的组合物：纳米二氧化硅1.5％～2.5％；硫酸镁1.2％～1.6％；氟硼酸钠0.5％～1.6％；硅酸钠2.5％～3.3％；非质子性溶剂1.5％～2.3％；稳定剂0.5％～1.5％；消泡剂3.5％～5.6％；其余为蒸馏水。本发明通过在原有工艺的基础上新加入了纳米二氧化硅，不仅能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻，显著提高铬金属膜的蚀刻速度，具有蚀刻速度可控性，有效抑制抗蚀保护层的劣化，得到表面平坦光滑的铬金属膜配线，具有重要的应用价值。

Description

一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液
技术领域
本发明涉及一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液。
背景技术
目前在制作显示屏玻璃基板的过程中，显示屏玻璃基板品质的好坏，品质问题的发现及解决，制程改进的评估都需要通过金相切片来对其客观检查和判断。金相切片制作的好坏直接影响到电路板的质量评估。传统的金相切片过程包括，用铣的方式进行取样；采用树脂镶嵌法对样品进行封胶；对样品进行研磨；对样品进行抛光；对样品进行微蚀刻。其中，微蚀刻液的配方为质量百分比为50％的双氧水2～3滴、25％～28％的氨水8ml，去离子水(Deionizedwater，简称DI水)8ml。其缺点在于，该微蚀刻液中的氨水易挥发且有刺激性气味，因此不利于操作，配置后使用的时间短，只能维持0.5小时左右，从而给金相切片的工艺带来了不便。
发明内容
本发明目的是针对现有技术存在的缺陷提供一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液。
本发明为实现上述目的，采用如下技术方案：一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，包括以下重量百分比的组合物：
纳米二氧化硅 1.5％～2.5％；
硫酸镁 1.2％～1.6％；
氟硼酸钠 0.5％～1.6％；
硅酸钠 2.5％～3.3％；
非质子性溶剂 1.5％～2.3％；
稳定剂 0.5％～1.5％；
消泡剂 3.5％～5.6％；
其余为蒸馏水。
进一步的，包括以下重量百分比的组合物：
纳米二氧化硅 1.5％；
硫酸镁 1.2％；
氟硼酸钠 0.5％；
硅酸钠 2.5％；
非质子性溶剂 1.5％；
稳定剂 0.5％；
消泡剂 3.5％；
其余为蒸馏水。
进一步的，包括以下重量百分比的组合物：
纳米二氧化硅 2％；
硫酸镁 1.4％；
氟硼酸钠 1.1％；
硅酸钠 2.8％；
非质子性溶剂 1.9％；
稳定剂 0.9％；
消泡剂 4.6％；
其余为蒸馏水。
进一步的，包括以下重量百分比的组合物：
纳米二氧化硅 2.5％；
硫酸镁 1.6％；
氟硼酸钠 1.6％；
硅酸钠 3.3％；
非质子性溶剂 2.3％；
稳定剂 1.5％；
消泡剂 5.6％；
其余为蒸馏水。
进一步的，所述氟硼酸钠的浓度大于97.5％(重量百分比)，所述硅酸钠的浓度大于89％(重量百分比)。
进一步的，所述非质子性溶剂为司盘类非质子性溶剂。
本发明的有益效果：本发明通过在原有工艺的基础上新加入了纳米二氧化硅，不仅能够在不发生抗蚀涂层渗透的情况下进行蚀刻，显著提高铬金属膜的蚀刻速度，具有蚀刻速度可控性，有效抑制抗蚀保护层的劣化，得到表面平坦光滑的铬金属膜配线，具有重要的应用价值；而且能有效降低蚀刻液的表面张力，不仅能够产生渗透，浸润的作用，而且能够蚀刻铟锡氧化物半导体透明导电膜速率适中，反应稳定，使其在不影响产品质量的前提下提高产品的蚀刻效果，并使产品能在较低的环境温度下保存，避免了原有技术造成的蚀刻不干净，不能在低温下储存的缺点，本方法能适用于大规模生产。
具体实施方式
本发明涉及一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，包括以下重量百分比的组合物：纳米二氧化硅 1.5％～2.5％；硫酸镁 1.2％～1.6％；氟硼酸钠 0.5％～1.6％；硅酸钠 2.5％～3.3％；非质子性溶剂 1.5％～2.3％；稳定剂 0.5％～1.5％；消泡剂 3.5％～5.6％；其余为蒸馏水。
实施例1
上述显示屏玻璃基板用蚀刻液的制备方法，包括如下步骤：
第一步：将弱酸性阳离子交换树脂加入到重量百分比为2.5％硅酸钠中，搅拌混合，搅拌的速度为50转/分钟，搅拌时间为5分钟，搅拌温度为10℃，然后滤出弱酸性阳离子交换树脂，控制或去除硅酸钠中的杂质离子；
第二步：将重量百分比为1.5％的纳米二氧化硅和三分之一的蒸馏水到入反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为10分钟，搅拌速度为60转/分钟，搅拌温度为14℃；
第三步：然后加入重量百分比为1.2％的硫酸镁，充分搅拌6分钟；加入重量百分比为0.5％的氟硼酸钠，充分搅拌5分钟；加入三分之一的蒸馏水，充分搅拌4分钟；加入重量百分比为2.5％的硅酸钠，充分搅拌5分钟；加入重量百分比为1.5％的非质子性溶剂，充分搅拌4分钟；加入重量百分比为0.5％的稳定剂；加入重量百分比为3.5％的消泡剂，充分搅拌3分钟；最后再加剩余蒸馏水，再搅拌8分钟，搅拌速度为45转/分钟，搅拌温度均为14℃；
第四步：最后将制得的混合物经0.12μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子，制得所需蚀刻液，其表面张力低为40×10-3N/m。
其中，所述氟硼酸钠的浓度大于97.5％(重量百分比)，所述硅酸钠的浓度大于89％(重量百分比)。
其中，所述非质子性溶剂为司盘类非质子性溶剂。
其中，所述弱酸性阳离子交换树脂为弱酸性苯乙烯系阳离子交换树脂。
其中，所述弱酸性阳离子交换树脂与硅酸钠的质量比为0.3～0.5。
实施例2
上述显示屏玻璃基板用蚀刻液的制备方法，包括如下步骤：
第一步：将弱酸性阳离子交换树脂加入到重量百分比为2.8％硅酸钠中，搅拌混合，搅拌的速度为55转/分钟，搅拌时间为6分钟，搅拌温度为12℃，然后滤出弱酸性阳离子交换树脂，控制或去除硅酸钠中的杂质离子；
第二步：将重量百分比为2％的纳米二氧化硅和三分之一的蒸馏水到入反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为11分钟，搅拌速度为65转/分钟，搅拌温度为16℃；
第三步：然后加入重量百分比为1.4％的硫酸镁，充分搅拌7分钟；加入重量百分比为1.1％的氟硼酸钠，充分搅拌6分钟；加入三分之一的蒸馏水，充分搅拌5分钟；加入重量百分比为2.8％的硅酸钠，充分搅拌6分钟；加入重量百分比为1.9％的非质子性溶剂，充分搅拌5分钟；加入重量百分比为0.9％的稳定剂；加入重量百分比为4.6％的消泡剂，充分搅拌5分钟；最后再加剩余蒸馏水，再搅拌9分钟，搅拌速度为49转/分钟，搅拌温度均为15℃；
第四步：最后将制得的混合物经0.12μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子，制得所需蚀刻液，其表面张力低为30×10-3N/m。
其中，所述氟硼酸钠的浓度大于97.5％(重量百分比)，所述硅酸钠的浓度大于89％(重量百分比)。
其中，所述非质子性溶剂为司盘类非质子性溶剂。
其中，所述弱酸性阳离子交换树脂为弱酸性苯乙烯系阳离子交换树脂。
其中，所述弱酸性阳离子交换树脂与硅酸钠的质量比为0.3～0.5。
实施例3
上述显示屏玻璃基板用蚀刻液的制备方法，包括如下步骤：
第一步：将弱酸性阳离子交换树脂加入到重量百分比为2.8％硅酸钠中，搅拌混合，搅拌的速度为60转/分钟，搅拌时间为7分钟，搅拌温度为13℃，然后滤出弱酸性阳离子交换树脂，控制或去除硅酸钠中的杂质离子；
第二步：将重量百分比为2.5％的纳米二氧化硅和三分之一的蒸馏水到入反应釜中，在常温、常压下充分搅拌，搅拌时间为12分钟，搅拌速度为70转/分钟，搅拌温度为18℃；
第三步：然后加入重量百分比为1.6％的硫酸镁，充分搅拌7分钟；加入重量百分比为1.6％的氟硼酸钠，充分搅拌7分钟；加入三分之一的蒸馏水，充分搅拌6分钟；加入重量百分比为3.3％的硅酸钠，充分搅拌7分钟；加入重量百分比为2.3％的非质子性溶剂，充分搅拌6分钟；加入重量百分比为1.5％的稳定剂；加入重量百分比为5.6％的消泡剂，充分搅拌7分钟；最后再加剩余蒸馏水，再搅拌10分钟，搅拌速度为55转/分钟，搅拌温度均为18℃；
第四步：最后将制得的混合物经0.12μm的过滤器过滤，以去除混合物中粒径大于0.12μm的有害粒子，制得所需蚀刻液，其表面张力低为20×10-3N/m。
其中，所述氟硼酸钠的浓度大于97.5％(重量百分比)，所述硅酸钠的浓度大于89％(重量百分比)。
其中，所述非质子性溶剂为司盘类非质子性溶剂。
其中，所述弱酸性阳离子交换树脂为弱酸性苯乙烯系阳离子交换树脂。
其中，所述弱酸性阳离子交换树脂与硅酸钠的质量比为0.3～0.5。
综上所述，本发明液晶显示器用蚀刻液及其制备方法具有的如下优点：1)改变表面
张力，使其表面张力从传统的60mN/m降低到20～403N/m左右，增强其表面浸润性，使在使用过程中达到均匀一致的目的，蚀刻效果佳，无微晶体残留。
以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
纳米二氧化硅 1.5％～2.5％；
硫酸镁 1.2％～1.6％；
氟硼酸钠 0.5％～1.6％；
硅酸钠 2.5％～3.3％；
非质子性溶剂 1.5％～2.3％；
稳定剂 0.5％～1.5％；
消泡剂 3.5％～5.6％；
其余为蒸馏水。
2.如权利要求1所述的基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
纳米二氧化硅 1.5％；
硫酸镁 1.2％；
氟硼酸钠 0.5％；
硅酸钠 2.5％；
非质子性溶剂 1.5％；
稳定剂 0.5％；
消泡剂 3.5％；
其余为蒸馏水。
3.如权利要求1所述的基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
纳米二氧化硅 2％；
硫酸镁 1.4％；
氟硼酸钠 1.1％；
硅酸钠 2.8％；
非质子性溶剂 1.9％；
稳定剂 0.9％；
消泡剂 4.6％；
其余为蒸馏水。
4.如权利要求1所述的基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，其特征在于，包括以下重量百分比的组合物：
纳米二氧化硅 2.5％；
硫酸镁 1.6％；
氟硼酸钠 1.6％；
硅酸钠 3.3％；
非质子性溶剂 2.3％；
稳定剂 1.5％；
消泡剂 5.6％；
其余为蒸馏水。
5.如权利要求1至4任一项所述的基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，其特征在于，所述氟硼酸钠的浓度大于97.5％(重量百分比)，所述硅酸钠的浓度大于89％(重量百分比)。
6.如权利要求1至4任一项所述的基于纳米二氧化硅的显示屏玻璃基板用蚀刻液，其特征在于，所述非质子性溶剂为司盘类非质子性溶剂。
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