CN107861254A - 一种单颗uvled曝光光源系统 - Google Patents
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- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 15
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 6
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 5
- 238000010146 3D printing Methods 0.000 abstract description 3
- 238000001259 photo etching Methods 0.000 abstract 1
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015271 coagulation Effects 0.000 description 1
- 238000005345 coagulation Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0916—Adapting the beam shape of a semiconductor light source such as a laser diode or an LED, e.g. for efficiently coupling into optical fibers
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/09—Beam shaping, e.g. changing the cross-sectional area, not otherwise provided for
- G02B27/0938—Using specific optical elements
- G02B27/095—Refractive optical elements
- G02B27/0955—Lenses
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
- G02B27/30—Collimators
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- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Eyeglasses (AREA)
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Abstract
本发明公开了一种单颗UVLED曝光光源系统，包括UVLED芯片和锥形光棒，锥形光棒的进光端和出光端均为正方形，进光端的横截面小于出光端的横截面，UVLED芯片贴设于锥形光棒的进光端的一面，锥形光棒的出光端一侧设置有依次排列的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四和透镜五组成的透镜组，透镜一、透镜二、透镜三、透镜四和透镜五的表面均镀有紫外增透膜，透镜一的进光面与锥形光棒的出光端的一面相对，本发明结构简单，生产成本低，可用于紫外固化类3D打印设备、DMD光刻设备中，可显著提高生产效率和质量。
Description
技术领域
本发明属于光学技术领域，具体涉及一种单颗UVLED曝光光源系统。
背景技术
光固化技术，主要使用光敏树脂为材料，通过紫外光或者其他光源照射凝固成型，逐层固化，最终得到完整的产品，传统光源使用汞灯设计，生产效率低，功耗高，使用不方便。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种结构简单，可以替代传统汞灯的固化光源，能量高且功耗更低的单颗UVLED曝光光源系统。
为实现上述目标，本发明的技术方案为：一种单颗UVLED曝光光源系统，包括UVLED芯片和锥形光棒，其特征在于：锥形光棒的进光端和出光端均为正方形，进光端的横截面小于出光端的横截面，UVLED芯片贴设于锥形光棒的进光端的一面，锥形光棒的出光端一侧设置有依次排列的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四和透镜五组成的透镜组，透镜一、透镜二、透镜三、透镜四和透镜五的表面均镀有紫外增透膜，透镜一的进光面与锥形光棒的出光端的一面相对。
优选的，透镜一为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜一的出光面为凸面。
优选的，透镜二为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜二的出光面为凸面。
优选的，透镜三为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜三的出光面为凸面。
优选的，透镜四为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜四的出光面为凸面。
优选的，透镜五为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜五的出光面为凸面。
优选的，透镜三、透镜四和透镜五的口径大小相同。
优选的，锥形光棒为实心锥形光棒，其外表面镀有紫外反射膜，进光端和出光端镀有紫外增透膜。
优选的，锥形光棒为空心锥形光棒，其内表面镀有紫外反射膜。
本发明结构简单，生产成本低，可用于紫外固化类3D打印设备、DMD光刻设备中，可显著提高生产效率和质量。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
图面说明：1、UVLED芯片，2、锥形光棒，3、透镜一，4、透镜二，5、透镜三，6、透镜四，7、透镜五。
具体实施方式
结合附图详细描述本发明的技术方案，一种单颗UVLED曝光光源系统，包括UVLED芯片1和锥形光棒2，锥形光棒的进光端和出光端均为正方形，进光端的横截面小于出光端的横截面，UVLED芯片贴设于锥形光棒的进光端的一面，锥形光棒的出光端一侧设置有依次排列的透镜一3、透镜二4、透镜三5、透镜四6和透镜五7组成的透镜组，透镜一、透镜二、透镜三、透镜四和透镜五的表面均镀有紫外增透膜，锥形光棒的出光端与透镜一的进光面相对，透镜组中剩余的各个透镜的进光面与其相邻透镜的出光面相对，从该UVLED芯片，发出来的光束，经过锥形光棒的收集和均匀校正，发射到后面的透镜组，经过透镜组的一系列折射后和聚光后，从透镜五中发射出来，本曝光系统涉及的UVLED芯片，是365nm，385nm，395nm，405nm波段的紫外LED芯片，根据使用环境不同可使用不同波段的芯片，经过该系统对UV-LED光束的收集和聚光后，最大程度提高了紫外光的曝光能量值，并且能提高紫外线的均匀性和准直度，从而提高曝光效率，可用于紫外固化类3D打印设备、DMD光刻设备中，可显著提高生产效率和质量。
为了方便选取透镜，透镜一可为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜一的出光面为凸面，透镜二可为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜二的出光面为凸面，透镜三可为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜三的出光面为凸面，透镜四可为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜四的出光面为凸面，透镜五可为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜五的出光面为凸面，为了装配方便，透镜三、透镜四和透镜五的口径也可设置成大小相同。
锥形光棒的材质为玻璃或石英，锥形光棒为实心锥形光棒，其外表面镀有紫外反射膜，进光端和出光端镀有紫外增透膜，锥形光棒也可为空心锥形光棒，其内表面镀有紫外反射膜。这样可以最大限度提高紫外光的透射率，减少紫外光能量损耗。
以上显示和描述了本发明的基本原理，主要特征和优点，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明的范围。
Claims (9)
1.一种单颗UVLED曝光光源系统，包括UVLED芯片和锥形光棒，其特征在于：锥形光棒的进光端和出光端均为正方形，进光端的横截面小于出光端的横截面，UVLED芯片贴设于锥形光棒的进光端的一面，锥形光棒的出光端一侧设置有依次排列的透镜一、透镜二、透镜三、透镜四和透镜五组成的透镜组，透镜一、透镜二、透镜三、透镜四和透镜五的表面均镀有紫外增透膜，透镜一的进光面与锥形光棒的出光端的一面相对。
2.根据权利要求1所述的一种单颗UVLED曝光光源系统，其特征在于：透镜一为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜一的出光面为凸面。
3.根据权利要求1所述的一种单颗UVLED曝光光源系统，其特征在于：透镜二为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜二的出光面为凸面。
4.根据权利要求1所述的一种单颗UVLED曝光光源系统，其特征在于：透镜三为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜三的出光面为凸面。
5.根据权利要求1所述的一种单颗UVLED曝光光源系统，其特征在于：透镜四为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜四的出光面为凸面。
6.根据权利要求1所述的一种单颗UVLED曝光光源系统，其特征在于：透镜五为双凸透镜、平凸透镜或凹凸透镜，透镜五的出光面为凸面。
7.根据权利要求1所述的一种单颗UVLED曝光光源系统，其特征在于：透镜三、透镜四和透镜五的口径大小相同。
8.根据权利要求1所述的一种单颗UVLED曝光光源系统，其特征在于：锥形光棒为实心锥形光棒，其外表面镀有紫外反射膜，进光端和出光端镀有紫外增透膜。
9.根据权利要求1所述的一种单颗UVLED曝光光源系统，其特征在于：锥形光棒为空心锥形光棒，其内表面镀有紫外反射膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711478630.XA CN107861254A (zh) | 2017-12-29 | 2017-12-29 | 一种单颗uvled曝光光源系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201711478630.XA CN107861254A (zh) | 2017-12-29 | 2017-12-29 | 一种单颗uvled曝光光源系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107861254A true CN107861254A (zh) | 2018-03-30 |
Family
ID=61707639
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201711478630.XA Pending CN107861254A (zh) | 2017-12-29 | 2017-12-29 | 一种单颗uvled曝光光源系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107861254A (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| WO2020088033A1 (zh) * | 2018-10-31 | 2020-05-07 | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 | 一种光学准直系统 |
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-
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- 2017-12-29 CN CN201711478630.XA patent/CN107861254A/zh active Pending
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|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
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| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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