CN205844740U - 一种紫外led曝光模组 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种紫外LED曝光模组,它包括照射在目标面上的至少两个紫外LED照射模块,所述紫外LED照射模块包括由紫外LED灯珠阵列组成的紫外LED光源模组和复眼透镜模组,所述复眼透镜模组沿紫外LED光源模组照射的方向平行设在紫外LED光源模组的前方,所述紫外LED灯珠阵列的每个单元包括设在一基板上的紫外LED灯珠、紧密贴合并罩在设有紫外LED灯珠的基板上的预准直透镜。本实用新型至少具有结构简单、成本低、寿命长、稳定性好、均匀度高、利用率高等优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及曝光机上用的一种紫外LED曝光模组。
背景技术
曝光机是通过照明系统将掩模上的图形转移到掩模下方的菲林上,然后通过腐蚀或者刻蚀,将菲林上的图形转移到基片上,完成产品的制作。
现有技术中的散射光曝光机主要应用于PCB线路板制造,目前使用的散射光曝光机的曝光模组多采用汞灯作为光源,但汞灯曝光机产生的光谱较复杂,包含的谱线较多,并且还有大量的红外辐射,效率非常低。此外,汞灯的寿命非常短,一般只有2000小时,而大功率的汞灯价格都在几万元人民币,导致生产成本很高,并且存在一定炸灯风险,汞灯曝光机存在能耗高、易损坏、不安全等缺陷。紫外LED具有效率高、寿命长和谱线窄等优点,是替换汞灯的理想光源。
然而,单颗紫外LED灯珠光功率很低,要达到与汞灯相当的功率密度,需要多颗灯珠同时进行工作,而多个灯珠排布的面光源的发散角很大,能量损耗大,很难均匀有效的利用。目前市场上也有少量使用紫外LED光源的散射光曝光机,大阵列的LED排布方式,存在的缺陷是,如果中间某颗灯珠损坏,或者每颗灯珠的光源功率衰减不一,曝光的均匀度便将受到影响,曝光效果很难保证。
实用新型内容
为解决上述技术存在的缺陷,本实用新型旨在提供一种紫外LED曝光模组,其至少具有结构简单、成本低、寿命长、稳定性好、均匀度高、利用率高等优点。
具体实用新型内容如下:
一种紫外LED曝光模组,它包括照射在目标面上的至少两个紫外LED照射模块,所述紫外LED照射模块包括由紫外LED灯珠阵列组成的紫外LED光源模组和复眼透镜模组,所述复眼透镜模组沿紫外LED光源模组照射的方向平行设在紫外LED光源模组的前方,所述紫外LED灯珠阵列的每个单元包括设在一基板上的紫外LED灯珠、紧密贴合并罩在设有紫外LED灯珠的基板上的预准直透镜。
作为一优选实施方案,所述照射在目标面上的所有紫外LED照射模块在各行各列等间距排布,所述所有紫外LED照射模块的在行X、列Y方向上的数量分别为NX和NY,所有紫外LED照射模块的最大曝光面积总面积为SX和SY,所述单个紫外LED照射模块的照明面积为ax,ay,NX、NY满足:
作为一优选实施方案,所述紫外LED灯珠的中心波长为365nm-405nm。
作为一优选实施方案,所述复眼透镜模组至少包括一个复眼透镜,每个复眼透镜包括若干个微透镜,所述若干个微透镜以正六边形或平方点阵方式排布。
作为一优选实施方案,所述紫外LED光源模组周围设有水冷或风冷式散热装置。
有益效果:
本实用新型采用多个紫外LED灯珠阵列作为光源,采用预准直透镜对紫外LED灯珠阵列中每个LED单元发出的光线进行初步准直,再采用复眼透镜对光束进行匀化,实现小发散角和高均匀度的光线出射,解决了紫外LED光源模组发散角大的问题。由于LED具有效率高、寿命长的特点,因而,解决了现有技术中汞灯曝光机存在的能耗高、易损坏、不安全等问题,具有结构简单、成本低的特点。采用模块化设计,通过多个紫外LED照射模块拼接照明的方式实现大面积曝光,即使曝光模组中损坏坏一颗或几颗灯珠,只是单个照射模块的总能量会减少1/N(假设单个照射模块中LED的数量为N),对系统输出功率密度及强度均匀性影响也不明显,系统稳定性好。因此,本实用新型至少具有结构简单、成本低、寿命长、稳定性好、均匀度高、利用率高等优点。
附图说明
图1是本实用新型一优选实施例的整体结构立体示意图;
图2是本实用新型一优选实施例的侧视结构示意图;
图3是本实用新型紫外LED照射模块的侧视结构示意图;
图4是本实用新型的紫外LED灯珠阵列的单元结构示意图。
图5是本实用新型的复眼透镜结构示意图。
附图标记:
1、紫外LED照射模块;2、紫外LED灯珠阵列;3、紫外LED光源模组;4、复眼透镜模组;5、基板;6、紫外LED灯珠;7、预准直透镜;8、目标面。
具体实施方式
下面结合具体的实施方式来对本实用新型进行说明:
如图1所示,一种紫外LED曝光模组,它包括照射在目标面8(即掩模)上的至少两个紫外LED照射模块1,如图3,所述紫外LED照射模块1包括由紫外LED灯珠阵列2组成的紫外LED光源模组3和复眼透镜模组4,所述复眼透镜模组4沿紫外LED光源模组3照射的方向平行设在紫外LED光源模组3的前方,如图3,所述紫外LED灯珠阵列2的每个单元包括设在一基板5上的紫外LED灯珠6、紧密贴合并罩在设有紫外LED灯珠6的基板5上的预准直透镜7。
紫外LED光源模组3用于发射预准直的紫外光束,复眼透镜模组4用于光束匀化。
作为优选实施例之一,所述照射在目标面8上的所有紫外LED照射模块1在各行各列等间距排布,所述所有紫外LED照射模块1的在行X、列Y方向上的数量分别为NX和NY,所有紫外LED照射模块1的最大曝光面积总面积为SX和SY,所述单个紫外LED照射模块1的照明面积为ax,ay,NX、NY满足:
作为优选实施例之一,所述紫外LED灯珠6的中心波长为365nm-405nm。
作为优选实施例之一,所述复眼透镜模组4至少包括一个复眼透镜,每个复眼透镜包括若干个微透镜,所述若干个微透镜以正六边形或平方点阵方式排布,如图5。
作为一优选实施例,所述紫外LED光源模组3周围设有水冷或风冷式散热装置。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例,对于本领域的普通技术人员,依据本实用新型的思想,在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处,本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (5)
1.一种紫外LED曝光模组,其特征在于:它包括照射在目标面上的至少两个紫外LED照射模块,所述紫外LED照射模块包括由紫外LED灯珠阵列组成的紫外LED光源模组和复眼透镜模组,所述复眼透镜模组沿紫外LED光源模组照射的方向平行设在紫外LED光源模组的前方,所述紫外LED灯珠阵列的每个单元包括设在一基板上的紫外LED灯珠、紧密贴合并罩在设有紫外LED灯珠的基板上的预准直透镜。
2.根据权利要求1所述的一种紫外LED曝光模组,其特征在于:所述照射在目标面上的所有紫外LED照射模块在各行各列等间距排布,所述所有紫外LED照射模块的在行X、列Y方向上的数量分别为NX和NY,所有紫外LED照射模块的最大曝光面积总面积为SX和SY,所述单个紫外LED照射模块的照明面积为ax,ay,NX、NY满足:
3.根据权利要求1所述的一种紫外LED曝光模组,其特征在于:所述紫外LED灯珠的中心波长为365nm-405nm。
4.根据权利要求1所述的一种紫外LED曝光模组,其特征在于:所述复眼透镜模组至少包括一个复眼透镜,每个复眼透镜包括若干个微透镜,所述若干个微透镜以正六边形或平方点阵方式排布。
5.根据权利要求1所述的一种紫外LED曝光模组,其特征在于:所述紫外LED光源模组周围设有水冷或风冷式散热装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201620741780.XU CN205844740U (zh) | 2016-07-14 | 2016-07-14 | 一种紫外led曝光模组 |
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CN201620741780.XU CN205844740U (zh) | 2016-07-14 | 2016-07-14 | 一种紫外led曝光模组 |
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Family
ID=57619575
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---|---|---|---|
CN201620741780.XU Active CN205844740U (zh) | 2016-07-14 | 2016-07-14 | 一种紫外led曝光模组 |
Country Status (1)
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN106773549A (zh) * | 2017-01-21 | 2017-05-31 | 南京新趋势光电有限公司 | 一种高均匀性led平行光紫外曝光机光源系统 |
CN106739471A (zh) * | 2017-02-27 | 2017-05-31 | 卢振华 | 一种紫外led固化装置 |
CN106907583A (zh) * | 2017-03-22 | 2017-06-30 | 深圳市奇普仕科技有限公司 | 一种新型基于紫外led的3d丝印光源 |
CN110813677A (zh) * | 2019-11-06 | 2020-02-21 | 袁二谷 | 一种led固化机及其光固化方法 |
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