CN107718332B - 一种用于晶体线切割的通用装夹工装 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于晶体线切割的通用装夹工装，包括线切割机，在切割机的前侧设有支撑板，在支撑板设有第一导轨和第二导轨，第一导轨连接第一导座，第一导座连接调节座，在调节座通过固定杆装置连接装夹板装置；第二导轨连接第二导座，在第二导座连接固定座，在固定座上设有一组第二气孔和第二气嘴，在固定座上连接玻璃板，玻璃板与装夹板装置对应配合，还包括控制柜和负压气源，负压气源通过管道连接第一气嘴和第二气嘴。本发明的优点：本装置一块玻璃板能够多块多种型号的装夹板，通用性好，在装夹板和玻璃之间无需在使用黏胶粘结，使得相邻两个切割单元过程能够连续作业，极大程度上节省了作业时间，提高了作业效率。

Description

一种用于晶体线切割的通用装夹工装
技术领域
本发明涉及晶体加工技术领域，尤其涉及一种用于晶体线切割的通用装夹工装。
背景技术
线切割技术是目前世界上比较先进的晶体硅加工技术，它的原理是通过一根高速运动的钢丝带动附着在钢丝上的切割刃料对半导体等硬脆材料进行摩擦而达到切割效果。线切割技术与传统的刀锯片、砂轮片及内圆切割相比有具有效率高，产能高，精度高等优点。
现有的线切割设备在进行晶体切割时，为了避免在切割过程中切到装夹板，形成台阶，影响下次使用，现阶段所采用的方法是，每个装夹板配备一块玻璃，在切割钱通过胶粘粘结在装夹板上，然后将晶体粘在玻璃上，放置一段时间，待胶水干后，进行切割作业，切割完成后，再将玻璃取下，粘结新的玻璃后，在进行下个晶体切割，这种方式，在同一个装夹板上进行切割的晶体，无法连续作业，相邻两个切割工序之间间隔时间长，前期的准备时间较长，效率低。
发明内容
本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于晶体线切割的通用装夹工装。
为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：
一种用于晶体线切割的通用装夹工装，包括线切割机，在切割机的前侧设有支撑板，在支撑板上设有支撑座，其特征在于：在支撑座的两侧分别设有第一导轨和第二导轨，在第一导轨上配合连接第一导座，在第一导座上设有第一导向槽和第一螺孔，在支撑板上安装第一电机，第一电机连接第一丝杆，第一丝杆与第一螺孔对应连接，在第一导座上通过第一导向槽配合连接调节座，在调节座上设有第一调节槽，在第一调节槽内安装第一调节电机，第一调节电机通过传动装置连接固定杆装置，固定杆装置固定连接装夹板装置；
装夹板装置包括方形板，在方形板上设有一组第一气孔，所有的第一气孔均通过第一气道连通，在方形板上还安装第一气嘴，第一气嘴连接在第一气道上，在方形板的一侧设有固定板，在固定板上设有与固定杆装置连接的插孔；
在第二导轨上配合连接第二导座，在第二导座上设有第二导向槽和第二螺孔，在支撑板上安装第二电机，第二电机连接第二丝杆，第二丝杆与第二螺孔对应连接，在第二导座上通过第二导向槽配合连接固定座，在固定座上设有一组第二气孔，所有的第二气孔均通过第二气道连通，在固定座上安装第二气嘴，第二气嘴连接在第二气道上，在固定座上连接玻璃板，玻璃板与装夹板装置对应配合，在固定座上还设有第三螺孔，在第二导座的一侧安装第二调节电机，第二调节电机连接第三丝杆，第三丝杆与第三螺孔对应连接；
还包括控制柜和负压气源，负压气源通过管道连接第一气嘴和第二气嘴，控制柜控制连接第一电机、第一调节电机、第二电机和第二调节电机。
优选地，所述固定杆装置包括连板，在连板的一侧设有一组连杆、另一侧设有传动杆，在传动杆上通过轴承连接传动链轮。
优选地，所述传动装置包括连接在第一调节电机输出轴上的主动链轮和设置在所述第一调节槽内的从动链轮，从动链轮通过固定轴连接在第一调节槽内，在主动链轮和从动链轮之间连接链条，链条也设置在第一调节槽内。
优选地，所述第一导座和所述第二导座结构相同，第一导座为方形的板状结构，在第一导座的上侧设置所述第一导向槽、下侧设有与所述第一导轨配合的滑槽，在滑槽上侧设置所述第一螺孔，第一导向槽、在滑槽和第一螺孔平行设置。
优选地，所述第一导向槽是横截面为T型的长形通槽结构。
优选地，所述调节座为方形的板状结构，所述第一调节槽设置在调节座的上方，且第一调节槽是横截面为T型的长形通槽结构，在调节座的下方设有卡板，卡板与所述第一导向槽对应配合，卡板是横截面为T型的长条形板状结构。
优选地，在所述装夹板装置的方形板一侧还设有立板。
本发明的优点在于：本装置一块玻璃板能够多块多种型号的装夹板，通用性好，在装夹板和玻璃之间无需在使用黏胶粘结，使得相邻两个切割单元过程能够连续作业，极大程度上节省了作业时间，提高了作业效率。
附图说明
图1是本发明所提供的一种用于晶体线切割的通用装夹工装的结构示意图；
图2是夹板装置固定配合示意图；
图3是固定杆装置的结构示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
如图1、图2和图3所示，本发明提供的一种用于晶体线切割的通用装夹工装，包括线切割机1，在切割机1的前侧设有支撑板2，在支撑板2上设有支撑座3，切割机1、支撑板2和支撑座3都为现有技术，在支撑座3的两侧分别设有第一导轨4和第二导轨5，在第一导轨4上配合连接第一导座6，在第一导座6上设有第一导向槽6.1和第一螺孔6.3，在支撑板2上安装第一电机8，第一电机8连接第一丝杆9，第一丝杆9与第一螺孔6.3对应连接，在第一导座6上通过第一导向槽6.1配合连接调节座12，在调节座12上设有第一调节槽12.1，在第一调节槽12.1内安装第一调节电机22，第一调节电机22通过传动装置23连接固定杆装置24，固定杆装置24固定连接装夹板装置13。所述传动装置23包括连接在第一调节电机22输出轴上的主动链轮和设置在所述第一调节槽12.1内的从动链轮，从动链轮通过固定轴连接在第一调节槽12.1内，在主动链轮和从动链轮之间连接链条，链条也设置在第一调节槽12.1内。
所述调节座12为方形的板状结构，所述第一调节槽12.1设置在调节座12的上方，且第一调节槽12.1是横截面为T型的长形通槽结构，在调节座12的下方设有卡板12.2，卡板12.2与所述第一导向槽6.1对应配合，卡板12.2是横截面为T型的长条形板状结构。
装夹板装置13包括方形板，在方形板上设有一组第一气孔29，所有的第一气孔29均通过第一气道连通，在方形板上还安装第一气嘴30，第一气嘴30连接在第一气道上，在方形板的一侧设有固定板14，在固定板14上设有与固定杆装置24连接的插孔14.1，在方形板一侧还设有立板。所述固定杆装置24包括连板25，在连板25的一侧设有一组连杆27、另一侧设有传动杆26，在传动杆26上通过轴承连接传动链轮28。
在第二导轨5上配合连接第二导座7，在第二导座7上设有第二导向槽和第二螺孔，在支撑板2上安装第二电机10，第二电机10连接第二丝杆11，第二丝杆11与第二螺孔对应连接，在第二导座7上通过第二导向槽配合连接固定座15，在固定座15上设有一组第二气孔19，所有的第二气孔19均通过第二气道连通，在固定座15上安装第二气嘴20，第二气嘴20连接在第二气道上，在固定座15上连接玻璃板18，玻璃板18与装夹板装置13对应配合。
所述第一导座6和所述第二导座7结构相同，第一导座6为方形的板状结构，在第一导座6的上侧设置所述第一导向槽6.1、下侧设有与所述第一导轨4配合的滑槽6.2，在滑槽6.2上侧设置所述第一螺孔6.3，第一导向槽6.1、在滑槽6.2和第一螺孔6.3平行设置。所述第一导向槽6.1是横截面为T型的长形通槽结构。
在固定座15上还设有第三螺孔，在第二导座7的一侧安装第二调节电机17，第二调节电机17连接第三丝杆21，第三丝杆21与第三螺孔对应连接。
还包括控制柜31和负压气源32，负压气源32通过管道连接第一气嘴30和第二气嘴20，控制柜31控制连接第一电机8、第一调节电机22、第二电机10和第二调节电机17。

Claims (5)

1.一种用于晶体线切割的通用装夹工装，包括线切割机（1），在线切割机（1）的前侧设有支撑板（2），在支撑板（2）上设有支撑座（3），其特征在于：在支撑座（3）的两侧分别设有第一导轨（4）和第二导轨（5），在第一导轨（4）上配合连接第一导座（6），在第一导座（6）上设有第一导向槽（6.1）和第一螺孔（6.3），在支撑板（2）上安装第一电机（8），第一电机（8）连接第一丝杆（9），第一丝杆（9）与第一螺孔（6.3）对应连接，在第一导座（6）上通过第一导向槽（6.1）配合连接调节座（12），在调节座（12）上设有第一调节槽（12.1），在第一调节槽（12.1）内安装第一调节电机（22），第一调节电机（22）通过传动装置（23）连接固定杆装置（24），固定杆装置（24）固定连接装夹板装置（13）；
装夹板装置（13）包括方形板，在方形板上设有一组第一气孔（29），所有的第一气孔（29）均通过第一气道连通，在方形板上还安装第一气嘴（30），第一气嘴（30）连接在第一气道上，在方形板的一侧设有固定板（14），在固定板（14）上设有与固定杆装置（24）连接的插孔（14.1）；
在第二导轨（5）上配合连接第二导座（7），在第二导座（7）上设有第二导向槽和第二螺孔，在支撑板（2）上安装第二电机（10），第二电机（10）连接第二丝杆（11），第二丝杆（11）与第二螺孔对应连接，在第二导座（7）上通过第二导向槽配合连接固定座（15），在固定座（15）上设有一组第二气孔（19），所有的第二气孔（19）均通过第二气道连通，在固定座（15）上安装第二气嘴（20），第二气嘴（20）连接在第二气道上，在固定座（15）上连接玻璃板（18），玻璃板（18）与装夹板装置（13）对应配合，在固定座（15）上还设有第三螺孔，在第二导座（7）的一侧安装第二调节电机（17），第二调节电机（17）连接第三丝杆（21），第三丝杆（21）与第三螺孔对应连接；
还包括控制柜（31）和负压气源（32），负压气源（32）通过管道连接第一气嘴（30）和第二气嘴（20），控制柜（31）控制连接第一电机（8）、第一调节电机（22）、第二电机（10）和第二调节电机（17）；
所述固定杆装置（24）包括连板（25），在连板（25）的一侧设有一组连杆（27）、另一侧设有传动杆（26），在传动杆（26）上通过轴承连接传动链轮（28）；
所述传动装置（23）包括连接在第一调节电机（22）输出轴上的主动链轮和设置在所述第一调节槽（12.1）内的从动链轮，从动链轮通过固定轴连接在第一调节槽（12.1）内，在主动链轮和从动链轮之间连接链条，链条也设置在第一调节槽（12.1）内。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶体线切割的通用装夹工装，其特征在于：所述第一导座（6）和所述第二导座（7）结构相同，第一导座（6）为方形的板状结构，在第一导座（6）的上侧设置所述第一导向槽（6.1）、下侧设有与所述第一导轨（4）配合的滑槽（6.2），在滑槽（6.2）上侧设置所述第一螺孔（6.3），第一导向槽（6.1）、滑槽（6.2）和第一螺孔（6.3）平行设置。
3.根据权利要求2所述的一种用于晶体线切割的通用装夹工装，其特征在于：所述第一导向槽（6.1）是横截面为T型的长形通槽结构。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶体线切割的通用装夹工装，其特征在于：所述调节座（12）为方形的板状结构，所述第一调节槽（12.1）设置在调节座（12）的上方，且第一调节槽（12.1）是横截面为T型的长形通槽结构，在调节座（12）的下方设有卡板（12.2），卡板（12.2）与所述第一导向槽（6.1）对应配合，卡板（12.2）是横截面为T型的长条形板状结构。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶体线切割的通用装夹工装，其特征在于：在所述装夹板装置（13）的方形板一侧还设有立板。
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