CN107685007A - 双摄像镜头对位方法、对位上胶方法和基板的对位方法 - Google Patents

双摄像镜头对位方法、对位上胶方法和基板的对位方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,其利用两摄像镜头分别记录对象上的第一定位标记和第二定位标记的位置,并利用对位平台的特性矩阵,以预定算法得出要输入给对位平台的补偿位移量,使得对位平台能够依此补偿位移量将第一定位标记和第二定位标记移动到目标位置。本发明可缩短影像伺服定位所需的时间,提高生产效率。

Description

双摄像镜头对位方法、对位上胶方法和基板的对位方法
技术领域
本发明涉及一种影像伺服定位技术,特别涉及一种能够缩短影像伺服定位时间的采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法、显示面板之基板对位上胶的方法和显示面板之上下基板的对位方法。
背景技术
随着高科技产品之精密化的趋势,加上精密加工技术的快速发展,使得许多工业产品能够突破制程上的限制,提高一定的良率和精密度。
例如,半导体制造设备、液晶面板制造设备、网印设备以及印刷电路板制造设备中,为了在精密度上进一步提升,必须使用对位平台进行精确的对位移动程序。
这些自动化/半自动化设备机台一定要确保制造品有精确的对位,才能让制造品内的元件或组件能在很小的误差下对应到设定的位置,这些误差通常要求在几百到几个微米(Micrometer)以下。
在对位技术中,通常会采用机械视觉(Machine Vision)的功能来导引对位平台位移,机械视觉是利用影像撷取设备(如CCD镜头)来获取影像,通过计算机进行计算分析,最终生成要输入给对位平台的移动参数,使对位平台据此产生位移及/或角位移,从而将对位平台上的目标物体移动到设定的位置。
常见的对位平台例如有XYθ平台、XXY平台和XYY平台等。XYθ平台具有三个相互独立的移动轴,即X轴、Y轴及沿XY平面旋转的θ轴,也就是,X轴、Y轴和θ轴上的移动量不会互相影响。XXY平台上有两个X移动轴,θ角的角位移即由两个X移动轴和Y轴来达成,而类似地,XYY平台的θ角位移是由X轴和两个Y轴来达成。其他对位平台还例如有XY、UVW和XXYY平台等。
图1显示一种现有的对位配置示意图,对位平台10上放置有需要进行对位的对象12,对象12上设置有定位标记14,现有技术一般采用一个摄像镜头16拍摄对位平台10上对象12之定位标记14的影像,来导引对位平台10为对象12进行对位。
请参阅图2A至图2C,在摄像镜头16的视野下,摄像镜头16看到的定位标记14的坐标位置记为P,进行对位时需要将定位标记14移至某一设定位置,例如假定为视野中心,即O点的位置,则计算器首先需要计算P点到O点的平移距离(例如X坐标移动3个单位、Y坐标移动2个单位)并通知对位平台10进行平移,如图2A所示。当定位标记14移动到该设定位置(即O点的位置)后,计算器计算需要旋转的角度,而后通知对位平台10进行旋转,如图2B所示。最后,对象12完成了对位,其定位标记14的位置和角度如图2C所示。
现有技术中,影像伺服定位需要两阶段定位,即平移对位和角度对位,这样,对位平台需要一段时间进行平移对位,在另一段时间进行角度对位,存在对位时间过长的技术问题,尤其是在大量制造的情况下,需要对每一制造品进行对位,使得整个产出时间拉长。
举例来说,在显示面板制程中,在对基板涂胶以进行后续封装之前,需先利用对位平台对基板进行对位,使自动涂胶机能够将胶施于正确的位置,而涂胶后,上下基板通过胶进行贴合前也需要对上下基板的位置进行对位。因此,缩短对位所花的时间,能够有效缩短显示面板的产出时间,提高生产效率。
发明内容
本发明的一个目的在于提供一种采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法、显示面板之基板对位上胶的方法和显示面板之上下基板的对位方法,以缩短影像伺服定位所需的时间,提高生产效率。
为达成上述目的,本发明一方面提供一种采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,包含如下步骤:(a)决定该对位平台之对象上的第一定位标记在第一摄像镜头之视野下的第一目标位置;决定该对位平台之对象上的第二定位标记在该第二摄像镜头之视野下的第二目标位置;(b)利用该第一摄像镜头拍摄包含该对象之第一定位标记的影像,并得出该对象之第一定位标记的第一当前位置;利用该第二摄像镜头拍摄包含该对象之第二定位标记的影像,并得出该对象之第二定位标记的第二当前位置;(c)利用方程式AZ=B,得出将该第一定位标记从第一当前位置移动到该第一目标位置和将该第二定位标记从第二当前位置移动到该第二目标位置时所需输入给该对位平台的补偿位移量,其中A代表该对位平台的特性矩阵,B代表该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵,Z代表要输入给该对位平台的补偿位移量所构成的矩阵;以及(d)将该补偿位移量输入到该对位平台,使该对位平台产生位移及/或角位移,以使该对象之第一定位标记的第一当前位置移动到该第一目标位置,该对象之第二定位标记的第二当前位置移动到该第二目标位置。
本发明另一方面提供一种显示面板之基板对位上胶的方法,包含如下步骤:利用机械手臂将该显示面板之基板移动到对位平台上;利用第一摄像镜头和第二摄像镜头分别拍摄该基板上之第一定位标记和第二定位标记,以得出该第一定位标记在该第一摄像镜头之坐标系下的第一当前位置以及该第二定位标记在该第二摄像镜头之坐标系下的第二当前位置;得出将该基板之第一定位标记从该第一摄像镜头之坐标系下的该第一当前位置移动到一第一目标位置和将该基板之第二定位标记从该第二摄像镜头之坐标系下的该第二当前位置移动到一第二目标位置时所需输入给该对位平台的补偿位移量,其中该对位平台的补偿位移量是对该对位平台的特性矩阵以及该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵进行运算而得出;将该补偿位移量输入到该对位平台,以使得在第一摄像镜头之坐标系下该第一当前位置移动到该第一目标位置,在该第二摄像镜头之坐标系下该第二当前位置移动到该第二目标位置,完成该基板之对位;以及利用自动涂胶机,对该已完成对位之基板进行上胶。
本发明再一方面提供一种显示面板之上下基板的对位方法,包含如下步骤:利用机械手臂将该显示面板之第一基板移动到第一对位平台上;利用第一摄像镜头和第二摄像镜头分别拍摄该第一基板上之第一定位标记和第二定位标记,以得出该第一定位标记之当前位置以及该第二定位标记之当前位置;得出将该第一基板之第一定位标记从其当前位置移动到一第一目标位置和将该第一基板之第二定位标记从其当前位置移动到一第二目标位置时所需输入给该第一对位平台的补偿位移量;将要输入给该第一对位平台的该补偿位移量输入到该第一对位平台,以使得该第一基板之第一定位标记从其当前位置移动到该第一目标位置,该第一基板之第二定位标记从其当前位置移动到该第二目标位置;利用该机械手臂将该显示面板之第二基板移动到与该第一对位平台平行设置的第二对位平台上;利用与该第一摄像镜头背向对应设置的第三摄像镜头和与该第二摄像镜头背向对应设置的第四摄像镜头分别拍摄该第二基板上之第三定位标记和第四定位标记,以得出该第三定位标记之当前位置以及该第四定位标记之当前位置;得出将该第二基板之第三定位标记从其当前位置移动到与该第一目标位置相对应之一第三目标位置和将该第二基板之第四定位标记从其当前位置移动到与该第二目标位置相对应之一第四目标位置时所需输入给该第二对位平台的补偿位移量;以及将要输入给该第二对位平台的该补偿位移量输入到该第二对位平台,以使得该第二基板之第三定位标记从其当前位置移动到该第三目标位置,该第二基板之第四定位标记从其当前位置移动到该第四目标位置。
本发明采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,利用两摄像镜头分别记录对象上的第一定位标记和第二定位标记的位置,并利用对位平台的特性矩阵,以预定算法得出要输入给对位平台的补偿位移量,使得对位平台能够依此补偿位移量将第一定位标记和第二定位标记移动到目标位置。本发明中,对位平台能够依此补偿位移量同时完成平移位移和角位移,而没有现有技术需分段进行平移对位和旋转对位导致的对位时间过长的技术问题,因此本发明可缩短影像伺服定位所需的时间,提高生产效率。
附图说明
图1显示一种现有的对位配置示意图。
图2A至图2C显示现有的平移和旋转两阶段对位方式的示意图。
图3显示本发明所采用的对位配置示意图。
图4显示本发明中采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法流程图。
图5A和图5B分别显示第一摄像镜头和第二摄像镜头的坐标系的示意图。
图6A和图6B分别显示第一摄像镜头的坐标系下第一定位标记的当前位置和第二摄像镜头的坐标系下第二定位标记的当前位置的示意图。
图7显示本发明之对位平台的特性矩阵的获取方法的示意图。
图8A和图8B分别显示本发明中在一个轴向上给予对位平台一个单位的移动量时第一摄像镜头量测到的第一量测点的位移量和第二摄像镜头量测到的第二量测点的位移量的示意图。
图9显示本发明之显示面板之基板对位上胶的方法流程图。
图10显示本发明之显示面板之上下基板的对位方法流程图。
10 对位平台
12 物件
14 定位标记
16 摄像镜头
30 对位平台
32 物件
341 第一定位标记
342 第二定位标记
361 第一摄像镜头
362 第二摄像镜头
O、P、P1、P2 坐标点
S102~S108 步骤
S202~S210 步骤
S302~S310 步骤
S402~S416 步骤
ΔX1、ΔY1、ΔX2、ΔY2 位移量
具体实施方式
为使本发明的目的、技术方案及效果更加清楚、明确,以下参照图式并举实施例对本发明进一步详细说明。
请参阅图3,其显示本发明所采用的对位配置示意图。本发明目的在于为对位平台30上的对象32进行对位,对象32上设置有第一定位标记341和第二定位标记342,本发明采用了两个摄像镜头,即第一摄像镜头361和第二摄像镜头362,分别用来拍摄对象32上的第一定位标记342和第二定位标记342的影像,以在第一摄像镜头361的视野下(即,在第一摄像镜头361的坐标系下)记录第一定位标记342的位置,在第二摄像镜头362的视野下(即,在第二摄像镜头362的坐标系下)记录第二定位标记342的位置,导引对位平台30为对象32进行对位。
本发明中,对位平台30可以采用XYθ平台、XXY平台或XYY平台,XYY平台与XXY平台主要的不同之处在于完成θ角位移所使用的轴,但其机制类似,因此XYY平台与XXY平台能够应用相同的概念所得出的算法。此外,本发明的概念还可移植到例如XY、UVW和XXYY等平台的对位。
以下将以XXY平台和XYθ平台为例来说明本发明采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,首先会配合XXY平台介绍本发明的对位算法和各个对位流程,并在后续说明XYθ平台的对位机制。
图4显示本发明中采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法流程图。请一并参阅图3和图4,本发明采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法包含如下步骤:
步骤S102:决定第一定位标记341的第一目标位置;决定第二定位标记342的第二目标位置。具体来说,在此步骤中,决定对位平台30之对象32上的第一定位标记341在第一摄像镜头361之视野下(即,在第一摄像镜头361的坐标系下)的第一目标位置;决定对位平台30之对象32上的第二定位标记342在第二摄像镜头361之视野下(即,在第二摄像镜头362的坐标系下)的第二目标位置。
如图5A和图5B所示,图5A和图5B分别代表第一摄像镜头361和第二摄像镜头362的坐标系,方框代表其视野,两相互垂直的虚线代表其坐标轴,如X轴和Y轴。假定第一定位标记341的第一目标位置为第一摄像镜头361的视野中心(即,图5A中O点的位置),第二定位标记342的第二目标位置为第二摄像镜头362的视野中心(即,图5B中O点的位置)。也就是说,整个对位的目的,是要将第一定位标记341移动到第一目标位置,将第二定位标记342移动到第二目标位置。
当然,第一目标位置不必然为第一摄像镜头361的视野中心,也可以为其他位置;类似地,第一目标位置不必然为第二摄像镜头362的视野中心,也可以为其他位置。惟,第一目标位置和第二目标位置必须分别在第一摄像镜头361和第二摄像镜头362的视野内,以方便后续作位置计算。
通常,两摄像镜头361、362与自动化/半自动化设备中的其他操作机台的位置已经过调教,设置成只要将标记移动到镜头视野内的某一设定的固定位置即完成对位。在对位程序之前,两摄像镜头361、362的位置可能因调教需要而变动,但在整个对位过程中,两摄像镜头361、362的位置基本上是保持不变的。另外,在生产过程中,整批的对象都要一一进行对位,摄像镜头361、362固定不动可以确保每个对象都对位到同一位置,也能够避免移动摄像镜头所必须花费的时间,减少整个制程时间。
步骤S104:利用第一摄像镜头361得出第一定位标记341的第一当前位置;利用第二摄像镜头362得出第二定位标记342的第二当前位置。具体来说,在此步骤中,利用第一摄像镜头361拍摄包含对象32之第一定位标记341的影像,并得出对象32之第一定位标记341的第一当前位置;利用第二摄像镜头362拍摄包含对象32之第二定位标记342的影像,并得出对象32之第二定位标记342的第二当前位置。
如图6A和图6B所示,图6A和图6B分别显示在第一摄像镜头361的视野下的第一定位标记341的位置和在第二摄像镜头362的视野下的第二定位标记342的位置。例如,对象32的第一定位标记341在第一摄像镜头361的坐标系下的位置为图6A显示的P1点,对象32的第二定位标记342在第二摄像镜头362的坐标系下的位置为图6B显示的P2点。
第一定位标记341的第一当前位置可通过计算分析器(未图示)分析第一摄像镜头361拍摄到的影像来计算得出,第二定位标记342的第二当前位置亦通过类似之方式得出,此为机械视觉(Machine Vision)领域常用之方式。
步骤S106:利用预定算法,得出将第一定位标记341移动到第一目标位置(如图6A的O点位置)和将第二定位标记342移动到第二目标位置(如图6B的O点位置)时所需输入给对位平台30的补偿位移量。具体来说,在此步骤中,利用方程式AZ=B,得出将第一定位标记341从第一当前位置(如P1点的位置)移动到第一目标位置(如O点的位置)和将第二定位标记342从第二当前位置(如P2点的位置)移动到第二目标位置(如O点的位置)时所需输入给对位平台30的补偿位移量,其中A代表对位平台30的特性矩阵,B代表该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵,Z代表要输入给对位平台30的补偿位移量所构成的矩阵。
整个对位的目的即为将第一定位标记341和第二定位标记342的当前位置P1、P2所构成之矢量,重合对准于图6A中的O点和图6B中的O点所构成之矢量,因两矢量存在着Δx、Δy与Δθ(注:此为对位平台的参数标示)的误差。
以XXY平台为例,上述方程式AZ=B可以写为:
其中为XXY对位平台的特性矩阵,即上述方程式中的矩阵A;为该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵,即上述方程式中的矩阵B,也就是第一摄像镜头361的视野下P1坐标减去O点坐标在X轴和Y轴下的分量以及第二摄像镜头362的视野下P2坐标减去O点坐标在X轴和Y轴下的分量所构成的行矩阵;代表要输入给该XXY对位平台的补偿位移量所构成的矩阵,即上述方程式中的矩阵Z,也即此处需求得的量。
上述方程式AZ=B中,补偿位移量的矩阵Z等效于下式:
Z=ATA-1ATB,
其中T代表求取矩阵的转置矩阵,而—1代表求取矩阵的逆矩阵。
在同样的配置下,同一类型的对位平台具有相同的特性矩阵A,至于如何获取对位平台的特性矩阵A为清楚起见将于后文描述。在对位过程中,特性矩阵A是已知的,加上矩阵B可以在两摄像镜头的坐标系下求得,故矩阵B也是已知的,因此可以得出补偿位移量的矩阵Z。
步骤S108:将该补偿位移量输入到对位平台30。具体来说,在此步骤中,将该补偿位移量输入到对位平台30,使对位平台30产生位移及/或角位移,以使对象32之第一定位标记341的第一当前位置移动到该第一目标位置,对象32之第二定位标记342的第二当前位置移动到该第二目标位置。也就是,图6A中的P1点移至O点,图6B中的P2点移至O点。在此步骤中,根据求得的补偿位移量的矩阵Z,输入矩阵Z中X、Y、θ的值给对位矩阵。
以XXY对位平台来说,上述θ值需转换为各轴的进给量,一个转换的例子是,XXY对位平台旋转θ时,所需的各轴相对进给量为:
X1轴:δX1=Rcos(δθX10)—Rcos(θX10)
X2轴:δX2=Rcos(δθX20)-Rcos(θX20)
Y轴:δY=Rsin(δθY0)-Rsin(θY0)
其中,R=90,为通过连接在各轴上的交叉滚柱轴承中心的假设圆半径(预定参数);θX1=90,为连接在X1轴上的交叉滚柱轴承中心的角度位置(预定参数);θX2=279,为连接在X2轴上的交叉滚柱轴承中心的角度位置(预定参数);θY=180,为连接在Y轴上的交叉滚柱轴承中心的角度位置(预定参数);θ0为计算动作前的工作台角度;以及δθ为工作台要旋转的角度。
本发明采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,利用两摄像镜头361、362分别记录对象32上的第一定位标记341和第二定位标记342的位置,并利用对位平台30的特性矩阵,以预定算法得出要输入给对位平台30的补偿位移量,使得对位平台30能够依此补偿位移量将第一定位标记341和第二定位标记342移动到目标位置。本发明中,对位平台30能够依此补偿位移量同时完成平移位移和角位移,而没有现有技术需分段进行平移对位和旋转对位导致的对位时间过长的技术问题,因此本发明可缩短影像伺服定位所需的时间,提高生产效率。
在对位平台30之特性矩阵的获取方面,本发明利用每次给予对位平台30些微移动量,观察其上之量测点的位移,来获取其特性矩阵。具体来说,使对位平台30每次仅在一个轴向(如X轴向、Y轴向和θ轴向)上产生一个单位的移动量,利用第一摄像镜头361和第二摄像镜头362分别记录对位平台30上的第一量测点和第二量测点在对位平台30每次在一个轴向上产生一个单位的移动量时所对应的位移量,基于上述方程式AZ=B,来得出对位平台30的特性矩阵A。
请参阅图7,其显示本发明之对位平台的特性矩阵的获取方法的示意图。本发明之对位平台的特性矩阵的获取方法可分为如下步骤:
步骤S202:利用第一摄像镜头361和第二摄像镜头362分别拍摄对位平台30上的第一量测点和第二量测点的影像,记录第一量测点在第一摄像镜头361之视野下的位置,记录第二量测点在第二摄像镜头362之视野下的位置。如图8A和图8B所示,在初始时,假定第一量测点是位于第一摄像镜头361之坐标系的视野中心,第二量测点是位于第二摄像镜头362之坐标系的视野中心,也就是,都分别位于坐标原点。
步骤S204:使对位平台30在X轴向上产生一个单位的移动量,例如输入X=1给对位平台30,命令其依此移动,利用第一摄像镜头361和第二摄像镜头362得出第一量测点和第二量测点的位移量,例如此时利用第一摄像镜头361可以得出第一量测点产生了ΔX1和ΔY1的位移(如图8A所示),利用第二摄像镜头362可以得出第二量测点产生了ΔX2和ΔY2的位移(如图8A所示)。
步骤S206:类似地,使对位平台30在Y轴向上产生一个单位的移动量,利用第一摄像镜头361和第二摄像镜头362得出第一量测点和第二量测点的位移量。
步骤S208:使对位平台30在θ轴向上产生一个单位的移动量,利用第一摄像镜头361和第二摄像镜头362得出第一量测点和第二量测点的位移量。
步骤S210:利用步骤S202至S208中所得出的第一量测点和第二量测点分别于对位平台30在X轴向、Y轴向和θ轴向上产生一个单位的移动量时的位移量,基于上述方程式AZ=B,得出对位平台30的特性矩阵。
如下以XXY对位平台来作试验,依上述方式求其特性矩阵。首先,将标靶(即量测点)分别移到第一摄像镜头361(CCD_1)与第二摄像镜头362(CCD_2)的视野中间,并纪录其数值,接着将XXY对平台分别给予X轴向、Y轴向及θ轴向一个单位之移动量的命令后,可得到下表1的数据,单位为一个像素(Pixel):
表1
依上述数据,可以分别得出 进而得出特性矩阵A,其中以一个像素为4.7um进行换算,下列特性矩阵A的单位为公厘(mm):
如下以XXY对位平台来作试验,了解采用本发明之方法的对位精确度。假设第一定位标记341在第一摄像镜头361(CCD_1)的坐标系下的第一当前位置为(304.622,577.674),第二定位标记342在第二摄像镜头362(CCD_2)的坐标系下的第二当前位置为(293.503,232.356),现要将其分别移动到坐标(640,480)与(640,480)的位置。则,依据上述方程式AZ=B,计算出要输入给XXY对位平台的补偿位移量为:X=-1.009、Y=-0.504、θ=3.006。
如上所述,XXY对位平台旋转θ时,θ值需转换为各轴的进给量,依据上述转换公式,将δθ=3.006代入转换公式,可得到δX1=-4.72、δX2=4.72、δY=-4.72。因此,最后要送给XXY对位平台的值为:
X1=-1.009-4.72=-5.729
X2=-1.009+4.72=3.711
Y=-0.504-4.72=-5.224
采用本发明之对位方法以XXY对位平台进行对位试验所产生的误差如下表2所示,试验结果显示误差约在20微米以下,精确度在合理范围内。其中,1个pixel=4.7um。
表2
针对XYθ对位平台,在对位过程中,上述步骤S106中的方程式AZ=B可以写为:
其中为XYθ对位平台的特性矩阵,即上述方程式中的矩阵A;中,ΔX1和ΔY1为该第一当前位置与该第一目标位置分别在X和Y坐标轴的差,ΔX2和ΔY2为该第二当前位置与该第二目标位置分别在X和Y坐标轴的差,其中L为该第一目标位置与该第二目标位置之间的实际距离;代表要输入给该XYθ对位平台的补偿位移量所构成的矩阵,即上述方程式中的Z。
此外,在XYθ对位平台的特性矩阵A的获取方面,可以采用与上述步骤S202~S210所描述的类似方式来得出此特性矩阵
如下以XYθ对位平台来作试验,求其特性矩阵。首先,将标靶(即量测点)分别移到第一摄像镜头361(CCD_1)与第二摄像镜头362(CCD_2)的视野中间,并纪录其数值,接着将XYθ对平台分别给予X轴向、Y轴向及θ轴向一个单位之移动量的命令后,可得到下表3的数据,单位为一个像素(Pixel):
表3
依上述数据,可以得出特性矩阵A,其中以一个像素为4.7um进行换算,下列特性矩阵A的单位为公厘(mm):
如下以XYθ对位平台来作试验,了解采用本发明之方法的对位精确度。假设第一定位标记341在第一摄像镜头361(CCD_1)的坐标系下的第一当前位置为(637.056,479.057),第二定位标记342在第二摄像镜头362(CCD_2)的坐标系下的第二当前位置为(610.396,485.554),现要将其分别移动到坐标(964.435,443.672)与(938.305,690.729)的位置。则,依据上述方程式AZ=B,计算出要输入给XYθ对位平台的补偿位移量为:X=0.006、Y=0.003、θ=0.0164。
采用本发明之对位方法以XYθ对位平台进行对位试验所产生的误差如下表4所示,试验结果显示误差约在20微米以下,精确度在合理范围内。其中,1个pixel=4.7um。
表2
应用本发明之上述概念,本发明还提供一种显示面板之基板对位上胶的方法。请参阅图9,其显示本发明之显示面板之基板对位上胶的方法流程图,本发明对位上胶方法包含如下步骤:
步骤S302:将显示面板之基板移动到对位平台上。在此步骤中,可以利用机械手臂,将要进行上胶的基板放置到对位平台上,先进行对位,此基板后续系与对向基板进行贴合组装。
步骤S304:利用第一摄像镜头得出基板之第一定位标记的第一当前位置;利用第二摄像镜头得出基板之第二定位标记的第二当前位置。具体来说,利用第一摄像镜头和第二摄像镜头分别拍摄该基板上之第一定位标记和第二定位标记,以得出该第一定位标记在该第一摄像镜头之坐标系下的第一当前位置以及该第二定位标记在该第二摄像镜头之坐标系下的第二当前位置。此步骤可以采用机械视觉技术来达成。
步骤S306:得出要输入给对位平台的补偿位移量。具体来说,得出将该基板之第一定位标记从该第一摄像镜头之坐标系下的该第一当前位置移动到一第一目标位置和将该基板之第二定位标记从该第二摄像镜头之坐标系下的该第二当前位置移动到一第二目标位置时所需输入给该对位平台的补偿位移量,其中该对位平台的补偿位移量是对该对位平台的特性矩阵以及该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵进行运算而得出。针对XXY对位平台和XYθ对位平台,此步骤可以分别采用上述提及的两个方程式来达成。
步骤S308:将该补偿位移量输入到对位平台。具体来说,将该补偿位移量输入到该对位平台,即可使得在第一摄像镜头之坐标系下该第一当前位置移动到该第一目标位置,在该第二摄像镜头之坐标系下该第二当前位置移动到该第二目标位置,完成该基板之对位。
步骤S310:对该已完成对位之基板进行上胶。在此步骤中,可以利用自动涂胶机来对该基板进行上胶。该基板完成上胶后,后续可进行与对向基板进行贴合组装的程序,以完成显示面板之制造。
应用本发明之上述概念,本发明还提供一种显示面板之上下基板的对位方法。请参阅图10,其显示本发明之显示面板之上下基板的对位方法流程图,本发明的上下基板对位方法包含如下步骤:
步骤S402:将显示面板之第一基板移动到第一对位平台上。在此步骤中,可以利用机械手臂,将第一基板放置到该第一对位平台上。
步骤S404:利用第一摄像镜头得出第一基板之第一定位标记的当前位置;利用第二摄像镜头得出第一基板之第二定位标记的当前位置。具体来说,在此步骤中,可以利用第一摄像镜头和第二摄像镜头分别拍摄该第一基板上之第一定位标记和第二定位标记,配合机械视觉技术,得出该第一定位标记之当前位置以及该第二定位标记之当前位置。
步骤S406:得出要输入给第一对位平台的补偿位移量。具体来说,针对XXY对位平台和XYθ对位平台,可以分别采用上述提及的两个方程式,来得出将该第一基板之第一定位标记从其当前位置移动到一第一目标位置和将该第一基板之第二定位标记从其当前位置移动到一第二目标位置时所需输入给该第一对位平台的补偿位移量。
步骤S408:将要输入给该第一对位平台的该补偿位移量输入到该第一对位平台,以使得该第一基板之第一定位标记从其当前位置移动到该第一目标位置,该第一基板之第二定位标记从其当前位置移动到该第二目标位置。例如,以XXY对位平台来说,可以得出X、Y和θ之补偿位移量,而后将θ值转换为各轴的进给量。
步骤S410:将显示面板之第二基板移动到与第一对位平台平行设置的第二对位平台上。此步骤亦可利用机械手臂来移动第二基板。
步骤S412:利用与第一摄像镜头背向设置的第三摄像镜头得出第二基板之第三定位标记的当前位置;利用与第二摄像镜头背向设置的第四摄像镜头得出第二基板之第四定位标记的当前位置。在此步骤中,可以配合机械视觉技术,利用与该第一摄像镜头背向对应设置的第三摄像镜头和与该第二摄像镜头背向对应设置的第四摄像镜头分别拍摄该第二基板上之第三定位标记和第四定位标记,以得出该第三定位标记之当前位置以及该第四定位标记之当前位置。在此步骤中,第三摄像镜头较佳与第一摄像镜头沿一直线排列背向对应设置,且此两摄像镜头的倍率和分辨率相同;第四摄像镜头较佳与第二摄像镜头沿一直线排列背向对应设置,且此两摄像镜头的倍率和分辨率相同;以简化后续的对位运算复杂度。
步骤S414:得出要输入给第二对位平台的补偿位移量。具体来说,得出将该第二基板之第三定位标记从其当前位置移动到与该第一目标位置相对应之一第三目标位置和将该第二基板之第四定位标记从其当前位置移动到与该第二目标位置相对应之一第四目标位置时所需输入给该第二对位平台的补偿位移量。补偿位移量可利用上述提及的方程式计算得出。在此步骤中,该第三目标位置基本上与该第一目标位置相同或相应,该第四目标位置基本上与该第二目标位置相同或相应,这样的话,即可很方便地将第二基板之第三定位标记移动到与第一基板之第一定位标记相应的位置上,将第二基板之第四定位标记移动到与第一基板之第二定位标记相应的位置上,实现第一基板与第二基板的对位。
步骤S416:将要输入给该第二对位平台的该补偿位移量输入到该第二对位平台,以使得该第二基板之第三定位标记从其当前位置移动到该第三目标位置,该第二基板之第四定位标记从其当前位置移动到该第四目标位置。此时,第二基板之第三定位标记的位置即对应第一基板之第一定位标记的位置,第二基板之第四定位标记的位置即对应第一基板之第二定位标记的位置,完成了显示面板之第一基板和第二基板(即,上下基板)的对位。
综上所述,虽然本发明已以优选实施例揭露如上,但上述优选实施例并非用以限制本发明,本领域的普通技术人员,在不脱离本发明的精神和范围内,均可作各种更动与润饰,因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。

Claims (9)

1.一种采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,其特征在于,该方法包含如下步骤:
(a)决定该对位平台之对象上的第一定位标记在第一摄像镜头之视野下的第一目标位置;决定该对位平台之对象上的第二定位标记在该第二摄像镜头之视野下的第二目标位置;
(b)利用该第一摄像镜头拍摄包含该对象之第一定位标记的影像,并得出该对象之第一定位标记的第一当前位置;利用该第二摄像镜头拍摄包含该对象之第二定位标记的影像,并得出该对象之第二定位标记的第二当前位置;
(c)利用方程式AZ=B,得出将该第一定位标记从第一当前位置移动到该第一目标位置和将该第二定位标记从第二当前位置移动到该第二目标位置时所需输入给该对位平台的补偿位移量,其中A代表该对位平台的特性矩阵,B代表该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵,Z代表要输入给该对位平台的补偿位移量所构成的矩阵;以及
(d)将该补偿位移量输入到该对位平台,使该对位平台产生位移及/或角位移,以使该对象之第一定位标记的第一当前位置移动到该第一目标位置,该对象之第二定位标记的第二当前位置移动到该第二目标位置。
2.根据权利要求1所述的采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,其特征在于,在步骤(a)至(d)之前,该方法还包括获取该对位平台之特性矩阵的步骤:
(e)使该对位平台每次仅在一个轴向上产生一个单位的移动量,利用该第一摄像镜头和该第二摄像镜头分别记录该对位平台上的第一量测点和第二量测点在该对位平台每次在一个轴向上产生一个单位的移动量时所对应的位移量,以得出该对位平台的特性矩阵。
3.根据权利要求2所述的采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,其特征在于,步骤(e)包含:
(e1)利用该第一摄像镜头和该第二摄像镜头分别拍摄该对位平台上的该第一量测点和该第二量测点的影像,记录该第一量测点在该第一摄像镜头之视野下的位置,记录该第二量测点在该第二摄像镜头之视野下的位置;
(e2)使该对位平台在X轴向上产生一个单位的移动量,利用该第一摄像镜头和该第二摄像镜头得出该第一量测点和该第二量测点的位移量;
(e3)使该对位平台在Y轴向上产生一个单位的移动量,利用该第一摄像镜头和该第二摄像镜头得出该第一量测点和该第二量测点的位移量;
(e4)使该对位平台在θ轴向上产生一个单位的移动量,利用该第一摄像镜头和该第二摄像镜头得出该第一量测点和该第二量测点的位移量;以及
(e5)利用步骤(e2)至(e4)中所得出的该第一量测点和该第二量测点分别于该对位平台在X轴向、Y轴向和θ轴向上产生一个单位的移动量时的位移量,基于该方程式AZ=B,得出该对位平台的特性矩阵。
4.根据权利要求1所述的采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,其特征在于:该对位平台为XXY对位平台,于步骤(c)中,该方程式AZ=B具体以下式表示:
<mrow> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>11</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>21</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>31</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>12</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>22</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>32</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>13</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>23</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>33</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>14</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>24</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>34</mn> </msub> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mi>X</mi> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mi>Y</mi> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mi>&amp;theta;</mi> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mo>=</mo> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mi>&amp;Delta;</mi> <msub> <mi>X</mi> <mn>1</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <msub> <mi>&amp;Delta;Y</mi> <mn>1</mn> </msub> </mrow> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <msub> <mi>&amp;Delta;X</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <msub> <mi>&amp;Delta;Y</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mo>,</mo> </mrow>
其中为该XXY对位平台的特性矩阵;为该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵;代表要输入给该XXY对位平台的补偿位移量所构成的矩阵。
5.根据权利要求1所述的采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,其特征在于:该对位平台为XYθ对位平台,于步骤(c)中,该方程式AZ=B具体以下式表示:
<mrow> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>11</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>21</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>31</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>12</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>22</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>32</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>13</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>23</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>33</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>14</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>24</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>34</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>15</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>25</mn> </msub> </mtd> <mtd> <msub> <mi>A</mi> <mn>35</mn> </msub> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mi>X</mi> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mi>Y</mi> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mi>&amp;theta;</mi> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mo>=</mo> <mfenced open = "[" close = "]"> <mtable> <mtr> <mtd> <mi>&amp;Delta;</mi> <msub> <mi>X</mi> <mn>1</mn> </msub> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <msub> <mi>&amp;Delta;Y</mi> <mn>1</mn> </msub> </mrow> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <msub> <mi>&amp;Delta;X</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <msub> <mi>&amp;Delta;Y</mi> <mn>2</mn> </msub> </mrow> </mtd> </mtr> <mtr> <mtd> <mrow> <mi>&amp;Delta;</mi> <mi>&amp;theta;</mi> </mrow> </mtd> </mtr> </mtable> </mfenced> <mo>,</mo> </mrow>
其中为该XYθ对位平台的特性矩阵;中,ΔX1和ΔY1为该第一当前位置与该第一目标位置分别在X和Y坐标轴的差,ΔX2和ΔY2为该第二当前位置与该第二目标位置分别在X和Y坐标轴的差, 其中L为该第一目标位置与该第二目标位置之间的实际距离;代表要输入给该XYθ对位平台的补偿位移量所构成的矩阵。
6.根据权利要求1所述的采用双摄像镜头为对位平台上的对象进行对位的方法,其特征在于:该补偿位移量的矩阵Z等效于下式:
Z=(ATA)-1ATB,
其中T代表求取矩阵的转置矩阵,而—1代表求取矩阵的逆矩阵。
7.一种显示面板之基板对位上胶的方法,其特征在于,该方法包含如下步骤:
利用机械手臂将该显示面板之基板移动到对位平台上;
利用第一摄像镜头和第二摄像镜头分别拍摄该基板上之第一定位标记和第二定位标记,以得出该第一定位标记在该第一摄像镜头之坐标系下的第一当前位置以及该第二定位标记在该第二摄像镜头之坐标系下的第二当前位置;
得出将该基板之第一定位标记从该第一摄像镜头之坐标系下的该第一当前位置移动到一第一目标位置和将该基板之第二定位标记从该第二摄像镜头之坐标系下的该第二当前位置移动到一第二目标位置时所需输入给该对位平台的补偿位移量,其中该对位平台的补偿位移量是对该对位平台的特性矩阵以及该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵进行运算而得出;
将该补偿位移量输入到该对位平台,以使得在第一摄像镜头之坐标系下该第一当前位置移动到该第一目标位置,在该第二摄像镜头之坐标系下该第二当前位置移动到该第二目标位置,完成该基板之对位;以及
利用自动涂胶机,对该已完成对位之基板进行上胶。
8.根据权利要求7所述的显示面板之基板对位上胶的方法,其特征在于:该对位平台的补偿位移量是利用下列方程式计算得出:
Z=(ATA)-1ATB,
其中Z代表该对位平台的补偿位移量,A代表该对位平台的特性矩阵,B代表该第一当前位置与该第一目标位置在各个坐标轴下的差以及该第二当前位置与该第二目标位置在各个坐标轴下的差所构成的矩阵,T代表求取矩阵的转置矩阵,而—1代表求取矩阵的逆矩阵。
9.一种显示面板之上下基板的对位方法,其特征在于,该方法包含如下步骤:
利用机械手臂将该显示面板之第一基板移动到第一对位平台上;
利用第一摄像镜头和第二摄像镜头分别拍摄该第一基板上之第一定位标记和第二定位标记,以得出该第一定位标记之当前位置以及该第二定位标记之当前位置;
得出将该第一基板之第一定位标记从其当前位置移动到一第一目标位置和将该第一基板之第二定位标记从其当前位置移动到一第二目标位置时所需输入给该第一对位平台的补偿位移量;
将要输入给该第一对位平台的该补偿位移量输入到该第一对位平台,以使得该第一基板之第一定位标记从其当前位置移动到该第一目标位置,该第一基板之第二定位标记从其当前位置移动到该第二目标位置;
利用该机械手臂将该显示面板之第二基板移动到与该第一对位平台平行设置的第二对位平台上;
利用与该第一摄像镜头背向对应设置的第三摄像镜头和与该第二摄像镜头背向对应设置的第四摄像镜头分别拍摄该第二基板上之第三定位标记和第四定位标记,以得出该第三定位标记之当前位置以及该第四定位标记之当前位置;
得出将该第二基板之第三定位标记从其当前位置移动到与该第一目标位置相对应之一第三目标位置和将该第二基板之第四定位标记从其当前位置移动到与该第二目标位置相对应之一第四目标位置时所需输入给该第二对位平台的补偿位移量;以及
将要输入给该第二对位平台的该补偿位移量输入到该第二对位平台,以使得该第二基板之第三定位标记从其当前位置移动到该第三目标位置,该第二基板之第四定位标记从其当前位置移动到该第四目标位置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108761831A (zh) * 2018-05-04 2018-11-06 西安中科飞图光电科技有限公司 一种高精度光学镜头快速穿心装置及方法
CN109949366A (zh) * 2019-03-08 2019-06-28 鲁班嫡系机器人(深圳)有限公司 一种定位设备及其方法
CN113670230A (zh) * 2020-05-15 2021-11-19 全研科技有限公司 Xxy对位平台检验方法
CN114543678A (zh) * 2022-04-25 2022-05-27 征图新视(江苏)科技股份有限公司 一种基于xxy校正平台的视觉检测方法
CN115723455A (zh) * 2022-12-22 2023-03-03 立川(无锡)半导体设备有限公司 一种用于印刷机的视觉定位方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1670608A (zh) * 2004-03-17 2005-09-21 东捷科技股份有限公司 双定位标记配合摄影装置取像的板材定位方法
CN101183657A (zh) * 2006-11-13 2008-05-21 东捷科技股份有限公司 使用四摄影机结合二物件的方法
CN101183205A (zh) * 2006-11-13 2008-05-21 东捷科技股份有限公司 单定位标记配合摄影机取像的板材定位方法
US20100006029A1 (en) * 2003-12-10 2010-01-14 Sung-Su Jung Apparatus for aligning dispenser system, and dispenser alignment system
CN103676284A (zh) * 2013-12-27 2014-03-26 合肥京东方光电科技有限公司 一种成盒对位方法
CN104808370A (zh) * 2015-05-22 2015-07-29 合肥京东方光电科技有限公司 一种对盒设备、对位方法
CN105427288A (zh) * 2015-11-10 2016-03-23 凌云光技术集团有限责任公司 一种机器视觉对位系统的标定方法及装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20100006029A1 (en) * 2003-12-10 2010-01-14 Sung-Su Jung Apparatus for aligning dispenser system, and dispenser alignment system
CN1670608A (zh) * 2004-03-17 2005-09-21 东捷科技股份有限公司 双定位标记配合摄影装置取像的板材定位方法
CN101183657A (zh) * 2006-11-13 2008-05-21 东捷科技股份有限公司 使用四摄影机结合二物件的方法
CN101183205A (zh) * 2006-11-13 2008-05-21 东捷科技股份有限公司 单定位标记配合摄影机取像的板材定位方法
CN103676284A (zh) * 2013-12-27 2014-03-26 合肥京东方光电科技有限公司 一种成盒对位方法
CN104808370A (zh) * 2015-05-22 2015-07-29 合肥京东方光电科技有限公司 一种对盒设备、对位方法
CN105427288A (zh) * 2015-11-10 2016-03-23 凌云光技术集团有限责任公司 一种机器视觉对位系统的标定方法及装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108761831A (zh) * 2018-05-04 2018-11-06 西安中科飞图光电科技有限公司 一种高精度光学镜头快速穿心装置及方法
CN108761831B (zh) * 2018-05-04 2023-11-24 西安中科飞图光电科技有限公司 一种高精度光学镜头快速穿心装置及方法
CN109949366A (zh) * 2019-03-08 2019-06-28 鲁班嫡系机器人(深圳)有限公司 一种定位设备及其方法
CN113670230A (zh) * 2020-05-15 2021-11-19 全研科技有限公司 Xxy对位平台检验方法
CN114543678A (zh) * 2022-04-25 2022-05-27 征图新视(江苏)科技股份有限公司 一种基于xxy校正平台的视觉检测方法
CN115723455A (zh) * 2022-12-22 2023-03-03 立川(无锡)半导体设备有限公司 一种用于印刷机的视觉定位方法

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