CN107677187A - 一种硅片生产用厚度测量装置 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种硅片厚度测量装置，尤其涉及一种硅片生产用厚度测量装置。本发明要解决的技术问题是提供一种可对硅片进行平整度检测、固定牢靠、操作简单的硅片生产用厚度测量装置。为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种硅片生产用厚度测量装置，包括有工作台等；工作台顶部左侧焊接有7型板，7型板左侧设有厚度检测装置，工作台顶部中间设有旋转装置，旋转装置上的旋转部件连接有圆形放置板，圆形放置板上设有固定装置。本发明通过厚度检测装置对硅片进行厚度检测，并通过平整度检测装置对硅片进行平整度检测，从而达到了可对硅片进行平整度检测、使用方便、操作简单的效果。
Description
技术领域
本发明涉及一种硅片厚度测量装置，尤其涉及一种硅片生产用厚度测量装置。
背景技术
在米粒大的硅片上，已能集成16万个晶体管，这是科学技术进步的又一个里程碑。
地壳中含量达25.8％的硅元素，为单晶硅的生产提供了取之不尽的源泉。由于硅元素是地壳中储量最丰富的元素之一，对太阳能电池这样注定要进入大规模市场的产品而言，储量的优势也是硅成为光伏主要材料的原因之一。
现有的硅片厚度测量装置存在只能对其进行检测厚度、且在检测的过程中固定不牢靠、操作复杂的缺点，因此亟需研发一种可对硅片进行平整度检测、固定牢靠、操作简单的硅片生产用厚度测量装置。
发明内容
(1)要解决的技术问题
本发明为了克服现有的硅片厚度测量装置存在只能对其进行检测厚度、且在检测的过程中固定不牢靠、操作复杂的缺点，本发明要解决的技术问题是提供一种可对硅片进行平整度检测、固定牢靠、操作简单的硅片生产用厚度测量装置。
(2)技术方案
为了解决上述技术问题，本发明提供了这样一种硅片生产用厚度测量装置，包括有工作台、7型板、旋转装置、圆形放置板、固定装置和厚度检测装置，工作台顶部左侧焊接有7型板，7型板左侧设有厚度检测装置，工作台顶部中间设有旋转装置，旋转装置上的旋转部件连接有圆形放置板，圆形放置板上设有固定装置。
优选地，固定装置包括有7型固定板、第一气缸、橡胶块和滑块，圆形放置板上开有环形滑槽，环形滑槽上滑动式的设有滑块，滑块前接有7型固定板，7型固定板内底部通过螺栓连接有第一气缸，第一气缸的伸缩杆上连接有橡胶块。
优选地，厚度检测装置包括有第一连接块、基准尺身、第二轴承座、第二连接块、第三电机、丝杆、螺母和厚度游标尺，第一连接块的左侧面通过螺栓与竖板的右侧面下部连接，第一连接块内的右侧设有基准尺身，基准尺身左侧的第一连接块内嵌入式的安装有第一轴承座，基准尺身的前侧面上部通过螺栓连接有第二连接块，第二连接块顶部通过螺栓安装有第三电机，第三电机的输出轴通过联轴器连接有丝杆，丝杆通过过盈连接的方式与第一轴承座的轴承连接，丝杆上设有螺母，螺母的右侧面连接有厚度游标尺。
优选地，旋转装置包括有第一轴承座、第一电机、第一转轴、第一皮带轮、第二皮带轮和平皮带，第一轴承座和第一电机都与工作台顶部通过螺栓连接，第一电机位于第一轴承座右侧，第一轴承座内通过过盈连接有第一转轴，第一转轴上通过键连接有第一皮带轮，第一转轴顶部与圆形放置板底部连接，第一电机的输出轴上通过联轴器连接有第二皮带轮，第一皮带轮与第二皮带轮之间连接有平皮带。
优选地，还包括有平整度检测装置，7型板内顶部中间设有平整度检测装置，平整度检测装置包括有滑杆、滑套、第三连接块、第二气缸和百分表，滑杆与7型板内顶部中间焊接连接，滑杆上设有滑套，滑套前侧焊接有第三连接块，滑杆前侧的7型板内顶部通过螺栓连接有第二气缸，第二气缸的伸缩杆与滑套顶部连接，第三连接块前侧安装有百分表。
优选地，还包括有扇风装置，7型板内顶部右侧设有扇风装置，扇风装置包括有第三轴承座、第二转轴、第一锥齿轮、连杆、第四轴承座、第三转轴、叶片和第二锥齿轮，第三轴承座与7型板内顶部右侧通过螺栓连接，第三轴承座内通过过盈连接有第二转轴，第二转轴底部与第二皮带轮连接，第二转轴上部通过键连接有第一锥齿轮，第三轴承座右侧的7型板内顶部焊接有连杆，连杆上通过螺栓连接有第四轴承座，第四轴承座内通过过盈连接有第三转轴，第三转轴左侧通过过盈连接有第二锥齿轮，第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，第三转轴右侧安装有叶片。
优选地，还包括有L型杆、连接杆和弹簧，第三连接块底部焊接有开有L型杆，L型杆上开有孔，孔内设有连接杆，连接杆上部与L型杆顶部之间连接有弹簧，连接杆与百分表的检测头接触。
优选地，还包括有第一支杆和保护壳，7型板右端连接有第一支杆，第一支杆右侧焊接有保护壳，保护壳位于叶片的外侧。
优选地，还包括有第二支杆，连杆底部设有第二支杆，第二支杆与连杆底部焊接连接，第二支杆位于与保护壳左侧下部连接。
工作原理：当需要使用本发明时，操作人员将需要检测的硅片放置在圆形放置板上，然后通过固定装置对其进行固定。固定好后，控制厚度检测装置上的检测部件与硅片接触，再启动旋转装置逆时针转动，使厚度检测装置对硅片进行厚度检测。检测完毕后，关闭旋转装置，控制厚度检测装置复位，松开固定装置，将硅片取下即可。
因为固定装置包括有7型固定板、第一气缸、橡胶块和滑块，圆形放置板上开有环形滑槽，环形滑槽上滑动式的设有滑块，滑块前接有7型固定板，7型固定板内底部通过螺栓连接有第一气缸，第一气缸的伸缩杆上连接有橡胶块。控制第一气缸伸长，带动橡胶块向下移动，当橡胶块向下移动至与硅片顶部紧密接触时，控制第一气缸停止伸长。当硅片检测完毕后，控制第一气缸缩短，带动橡胶块向上移动复位，复位后，控制第一气缸停止缩短。
因为厚度检测装置包括有第一连接块、基准尺身、第二轴承座、第二连接块、第三电机、丝杆、螺母和厚度游标尺，第一连接块的左侧面通过螺栓与竖板的右侧面下部连接，第一连接块内的右侧设有基准尺身，基准尺身左侧的第一连接块内嵌入式的安装有第一轴承座，基准尺身的前侧面上部通过螺栓连接有第二连接块，第二连接块顶部通过螺栓安装有第三电机，第三电机的输出轴通过联轴器连接有丝杆，丝杆通过过盈连接的方式与第一轴承座的轴承连接，丝杆上设有螺母，螺母的右侧面连接有厚度游标尺。当硅片底部左侧与基准尺身的内侧底部接触时，启动第三电机使丝杆顺时针转动，丝杆顺时针转动使螺母向下移动，螺母向下移动厚度游标尺随之向下移动，当厚度游标尺向下移动与硅片顶部左侧接触时关闭第三电机，然后再启动旋转装置工作，带动硅片转动，如此能够对刹车离合片进行厚度检测，操作人员随后再将厚度游标尺上的数据记录下来。检测完成后启动第三电机使丝杆逆时针转动，丝杆逆时针转动使螺母向上移动，螺母向上移动厚度游标尺随之向上移动，当厚度游标尺向上移动复位后关闭第三电机。
因为旋转装置包括有第一轴承座、第一电机、第一转轴、第一皮带轮、第二皮带轮和平皮带，第一轴承座和第一电机都与工作台顶部通过螺栓连接，第一电机位于第一轴承座右侧，第一轴承座内通过过盈连接有第一转轴，第一转轴上通过键连接有第一皮带轮，第一转轴顶部与圆形放置板底部连接，第一电机的输出轴上通过联轴器连接有第二皮带轮，第一皮带轮与第二皮带轮之间连接有平皮带。启动第一电机逆时针转动，带动第一皮带轮与第二皮带轮逆时针转动，圆形放置板和硅片随之逆时针转动，使厚度检测装置对硅片进行厚度检测。检测完毕后，关闭第一电机即可。
因为还包括有平整度检测装置，7型板内顶部中间设有平整度检测装置，平整度检测装置包括有滑杆、滑套、第三连接块、第二气缸和百分表，滑杆与7型板内顶部中间焊接连接，滑杆上设有滑套，滑套前侧焊接有第三连接块，滑杆前侧的7型板内顶部通过螺栓连接有第二气缸，第二气缸的伸缩杆与滑套顶部连接，第三连接块前侧安装有百分表。当厚度检测装置上的检测部件与硅片接触时，控制第二气缸伸长，带动百分表向下移动，当百分表的检测头与硅片接触时，控制第二气缸停止伸长。当硅片转动时，百分表对硅片进行平整度检测。检测完毕后，控制第二气缸缩短，带动百分表复位，复位后，控制第二气缸停止缩短。
因为还包括有扇风装置，7型板内顶部右侧设有扇风装置，扇风装置包括有第三轴承座、第二转轴、第一锥齿轮、连杆、第四轴承座、第三转轴、叶片和第二锥齿轮，第三轴承座与7型板内顶部右侧通过螺栓连接，第三轴承座内通过过盈连接有第二转轴，第二转轴底部与第二皮带轮连接，第二转轴上部通过键连接有第一锥齿轮，第三轴承座右侧的7型板内顶部焊接有连杆，连杆上通过螺栓连接有第四轴承座，第四轴承座内通过过盈连接有第三转轴，第三转轴左侧通过过盈连接有第二锥齿轮，第一锥齿轮与第二锥齿轮啮合，第三转轴右侧安装有叶片。当第一电机逆时针转动带动第二转轴转动时，带动叶片转动，从而可对在工作的操作人员进行扇风，从而可起到降温的效果。
因为还包括有L型杆、连接杆和弹簧，第三连接块底部焊接有开有L型杆，L型杆上开有孔，孔内设有连接杆，连接杆上部与L型杆顶部之间连接有弹簧，连接杆与百分表的检测头接触。百分表向下移动托板随之向下移动，弹簧能够使托板紧贴刹车离合片，托板可增大测量范围，从而能够提高检测效率，且还能够更进一步的提高检测效果，更进一步的减小误差。
因为还包括有第一支杆和保护壳，7型板右端连接有第一支杆，第一支杆右侧焊接有保护壳，保护壳位于叶片的外侧。保护壳起保护作用。
因为还包括有第二支杆，连杆底部设有第二支杆，第二支杆与连杆底部焊接连接，第二支杆位于与保护壳左侧下部连接。第二支杆起支撑作用。
(3)有益效果
本发明通过厚度检测装置对硅片进行厚度检测，并通过平整度检测装置对硅片进行平整度检测，从而达到了可对硅片进行平整度检测、使用方便、操作简单的效果。
附图说明
图1为本发明的第一种主视结构示意图。
图2为本发明固定装置的左视结构示意图。
图3为本发明厚度检测装置的放大结构示意图。
图4为本发明的第二种主视结构示意图。
图5为本发明平整度检测装置的第一种主视结构示意图。
图6为本发明的第三种主视结构示意图。
图7为本发明平整度检测装置的第二种主视结构示意图。
图8为本发明的第四种主视结构示意图。
附图中的标记为：1-工作台，2-7型板，3-旋转装置，301-第一轴承座，302-第一电机，303-第一转轴，304-第一皮带轮，305-第二皮带轮，306-平皮带，4-圆形放置板，5-固定装置，501-7型固定板，502-第一气缸，503-橡胶块，504-环形滑槽，505-滑块，6-厚度检测装置，601-第一连接块，602-基准尺身，603-第二轴承座，604-第二连接块，605-第三电机，606-丝杆，607-螺母，608-厚度游标尺，7-平整度检测装置，701-滑杆，702-滑套，703-第三连接块，704-第二气缸，705-百分表，8-扇风装置，801-第三轴承座，802-第二转轴，803-第一锥齿轮，804-连杆，805-第四轴承座，806-第三转轴，807-叶片，808-第二锥齿轮，9-L型杆，10-连接杆，11-弹簧，12-第一支杆，13-保护壳，14-第二支杆。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步的说明。
实施例1
一种硅片生产用厚度测量装置，如图1-8所示，包括有工作台1、7型板2、旋转装置3、圆形放置板4、固定装置5和厚度检测装置6，工作台1顶部左侧焊接有7型板2，7型板2左侧设有厚度检测装置6，工作台1顶部中间设有旋转装置3，旋转装置3上的旋转部件连接有圆形放置板4，圆形放置板4上设有固定装置5。
实施例2
一种硅片生产用厚度测量装置，如图1-8所示，包括有工作台1、7型板2、旋转装置3、圆形放置板4、固定装置5和厚度检测装置6，工作台1顶部左侧焊接有7型板2，7型板2左侧设有厚度检测装置6，工作台1顶部中间设有旋转装置3，旋转装置3上的旋转部件连接有圆形放置板4，圆形放置板4上设有固定装置5。
固定装置5包括有7型固定板501、第一气缸502、橡胶块503和滑块505，圆形放置板4上开有环形滑槽504，环形滑槽504上滑动式的设有滑块505，滑块505前接有7型固定板501，7型固定板501内底部通过螺栓连接有第一气缸502，第一气缸502的伸缩杆上连接有橡胶块503。
实施例3
一种硅片生产用厚度测量装置，如图1-8所示，包括有工作台1、7型板2、旋转装置3、圆形放置板4、固定装置5和厚度检测装置6，工作台1顶部左侧焊接有7型板2，7型板2左侧设有厚度检测装置6，工作台1顶部中间设有旋转装置3，旋转装置3上的旋转部件连接有圆形放置板4，圆形放置板4上设有固定装置5。
固定装置5包括有7型固定板501、第一气缸502、橡胶块503和滑块505，圆形放置板4上开有环形滑槽504，环形滑槽504上滑动式的设有滑块505，滑块505前接有7型固定板501，7型固定板501内底部通过螺栓连接有第一气缸502，第一气缸502的伸缩杆上连接有橡胶块503。
厚度检测装置6包括有第一连接块601、基准尺身602、第二轴承座603、第二连接块604、第三电机605、丝杆606、螺母607和厚度游标尺608，第一连接块601的左侧面通过螺栓与竖板的右侧面下部连接，第一连接块601内的右侧设有基准尺身602，基准尺身602左侧的第一连接块601内嵌入式的安装有第一轴承座301，基准尺身602的前侧面上部通过螺栓连接有第二连接块604，第二连接块604顶部通过螺栓安装有第三电机605，第三电机605的输出轴通过联轴器连接有丝杆606，丝杆606通过过盈连接的方式与第一轴承座301的轴承连接，丝杆606上设有螺母607，螺母607的右侧面连接有厚度游标尺608。
实施例4
一种硅片生产用厚度测量装置，如图1-8所示，包括有工作台1、7型板2、旋转装置3、圆形放置板4、固定装置5和厚度检测装置6，工作台1顶部左侧焊接有7型板2，7型板2左侧设有厚度检测装置6，工作台1顶部中间设有旋转装置3，旋转装置3上的旋转部件连接有圆形放置板4，圆形放置板4上设有固定装置5。
固定装置5包括有7型固定板501、第一气缸502、橡胶块503和滑块505，圆形放置板4上开有环形滑槽504，环形滑槽504上滑动式的设有滑块505，滑块505前接有7型固定板501，7型固定板501内底部通过螺栓连接有第一气缸502，第一气缸502的伸缩杆上连接有橡胶块503。
厚度检测装置6包括有第一连接块601、基准尺身602、第二轴承座603、第二连接块604、第三电机605、丝杆606、螺母607和厚度游标尺608，第一连接块601的左侧面通过螺栓与竖板的右侧面下部连接，第一连接块601内的右侧设有基准尺身602，基准尺身602左侧的第一连接块601内嵌入式的安装有第一轴承座301，基准尺身602的前侧面上部通过螺栓连接有第二连接块604，第二连接块604顶部通过螺栓安装有第三电机605，第三电机605的输出轴通过联轴器连接有丝杆606，丝杆606通过过盈连接的方式与第一轴承座301的轴承连接，丝杆606上设有螺母607，螺母607的右侧面连接有厚度游标尺608。
旋转装置3包括有第一轴承座301、第一电机302、第一转轴303、第一皮带轮304、第二皮带轮305和平皮带306，第一轴承座301和第一电机302都与工作台1顶部通过螺栓连接，第一电机302位于第一轴承座301右侧，第一轴承座301内通过过盈连接有第一转轴303，第一转轴303上通过键连接有第一皮带轮304，第一转轴303顶部与圆形放置板4底部连接，第一电机302的输出轴上通过联轴器连接有第二皮带轮305，第一皮带轮304与第二皮带轮305之间连接有平皮带306。
还包括有平整度检测装置7，7型板2内顶部中间设有平整度检测装置7，平整度检测装置7包括有滑杆701、滑套702、第三连接块703、第二气缸704和百分表705，滑杆701与7型板2内顶部中间焊接连接，滑杆701上设有滑套702，滑套702前侧焊接有第三连接块703，滑杆701前侧的7型板2内顶部通过螺栓连接有第二气缸704，第二气缸704的伸缩杆与滑套702顶部连接，第三连接块703前侧安装有百分表705。
还包括有扇风装置8，7型板2内顶部右侧设有扇风装置8，扇风装置8包括有第三轴承座801、第二转轴802、第一锥齿轮803、连杆804、第四轴承座805、第三转轴806、叶片807和第二锥齿轮808，第三轴承座801与7型板2内顶部右侧通过螺栓连接，第三轴承座801内通过过盈连接有第二转轴802，第二转轴802底部与第二皮带轮305连接，第二转轴802上部通过键连接有第一锥齿轮803，第三轴承座801右侧的7型板2内顶部焊接有连杆804，连杆804上通过螺栓连接有第四轴承座805，第四轴承座805内通过过盈连接有第三转轴806，第三转轴806左侧通过过盈连接有第二锥齿轮808，第一锥齿轮803与第二锥齿轮808啮合，第三转轴806右侧安装有叶片807。
还包括有L型杆9、连接杆10和弹簧11，第三连接块703底部焊接有开有L型杆9，L型杆9上开有孔，孔内设有连接杆10，连接杆10上部与L型杆9顶部之间连接有弹簧11，连接杆10与百分表705的检测头接触。
还包括有第一支杆12和保护壳13，7型板2右端连接有第一支杆12，第一支杆12右侧焊接有保护壳13，保护壳13位于叶片807的外侧。
还包括有第二支杆14，连杆804底部设有第二支杆14，第二支杆14与连杆804底部焊接连接，第二支杆14位于与保护壳13左侧下部连接。
工作原理：当需要使用本发明时，操作人员将需要检测的硅片放置在圆形放置板4上，然后通过固定装置5对其进行固定。固定好后，控制厚度检测装置6上的检测部件与硅片接触，再启动旋转装置3逆时针转动，使厚度检测装置6对硅片进行厚度检测。检测完毕后，关闭旋转装置3，控制厚度检测装置6复位，松开固定装置5，将硅片取下即可。
因为固定装置5包括有7型固定板501、第一气缸502、橡胶块503和滑块505，圆形放置板4上开有环形滑槽504，环形滑槽504上滑动式的设有滑块505，滑块505前接有7型固定板501，7型固定板501内底部通过螺栓连接有第一气缸502，第一气缸502的伸缩杆上连接有橡胶块503。控制第一气缸502伸长，带动橡胶块503向下移动，当橡胶块503向下移动至与硅片顶部紧密接触时，控制第一气缸502停止伸长。当硅片检测完毕后，控制第一气缸502缩短，带动橡胶块503向上移动复位，复位后，控制第一气缸502停止缩短。
因为厚度检测装置6包括有第一连接块601、基准尺身602、第二轴承座603、第二连接块604、第三电机605、丝杆606、螺母607和厚度游标尺608，第一连接块601的左侧面通过螺栓与竖板的右侧面下部连接，第一连接块601内的右侧设有基准尺身602，基准尺身602左侧的第一连接块601内嵌入式的安装有第一轴承座301，基准尺身602的前侧面上部通过螺栓连接有第二连接块604，第二连接块604顶部通过螺栓安装有第三电机605，第三电机605的输出轴通过联轴器连接有丝杆606，丝杆606通过过盈连接的方式与第一轴承座301的轴承连接，丝杆606上设有螺母607，螺母607的右侧面连接有厚度游标尺608。当硅片底部左侧与基准尺身602的内侧底部接触时，启动第三电机605使丝杆606顺时针转动，丝杆606顺时针转动使螺母607向下移动，螺母607向下移动厚度游标尺608随之向下移动，当厚度游标尺608向下移动与硅片顶部左侧接触时关闭第三电机605，然后再启动旋转装置3工作，带动硅片转动，如此能够对刹车离合片进行厚度检测，操作人员随后再将厚度游标尺608上的数据记录下来。检测完成后启动第三电机605使丝杆606逆时针转动，丝杆606逆时针转动使螺母607向上移动，螺母607向上移动厚度游标尺608随之向上移动，当厚度游标尺608向上移动复位后关闭第三电机605。
因为旋转装置3包括有第一轴承座301、第一电机302、第一转轴303、第一皮带轮304、第二皮带轮305和平皮带306，第一轴承座301和第一电机302都与工作台1顶部通过螺栓连接，第一电机302位于第一轴承座301右侧，第一轴承座301内通过过盈连接有第一转轴303，第一转轴303上通过键连接有第一皮带轮304，第一转轴303顶部与圆形放置板4底部连接，第一电机302的输出轴上通过联轴器连接有第二皮带轮305，第一皮带轮304与第二皮带轮305之间连接有平皮带306。启动第一电机302逆时针转动，带动第一皮带轮304与第二皮带轮305逆时针转动，圆形放置板4和硅片随之逆时针转动，使厚度检测装置6对硅片进行厚度检测。检测完毕后，关闭第一电机302即可。
因为还包括有平整度检测装置7，7型板2内顶部中间设有平整度检测装置7，平整度检测装置7包括有滑杆701、滑套702、第三连接块703、第二气缸704和百分表705，滑杆701与7型板2内顶部中间焊接连接，滑杆701上设有滑套702，滑套702前侧焊接有第三连接块703，滑杆701前侧的7型板2内顶部通过螺栓连接有第二气缸704，第二气缸704的伸缩杆与滑套702顶部连接，第三连接块703前侧安装有百分表705。当厚度检测装置6上的检测部件与硅片接触时，控制第二气缸704伸长，带动百分表705向下移动，当百分表705的检测头与硅片接触时，控制第二气缸704停止伸长。当硅片转动时，百分表705对硅片进行平整度检测。检测完毕后，控制第二气缸704缩短，带动百分表705复位，复位后，控制第二气缸704停止缩短。
因为还包括有扇风装置8，7型板2内顶部右侧设有扇风装置8，扇风装置8包括有第三轴承座801、第二转轴802、第一锥齿轮803、连杆804、第四轴承座805、第三转轴806、叶片807和第二锥齿轮808，第三轴承座801与7型板2内顶部右侧通过螺栓连接，第三轴承座801内通过过盈连接有第二转轴802，第二转轴802底部与第二皮带轮305连接，第二转轴802上部通过键连接有第一锥齿轮803，第三轴承座801右侧的7型板2内顶部焊接有连杆804，连杆804上通过螺栓连接有第四轴承座805，第四轴承座805内通过过盈连接有第三转轴806，第三转轴806左侧通过过盈连接有第二锥齿轮808，第一锥齿轮803与第二锥齿轮808啮合，第三转轴806右侧安装有叶片807。当第一电机302逆时针转动带动第二转轴802转动时，带动叶片807转动，从而可对在工作的操作人员进行扇风，从而可起到降温的效果。
因为还包括有L型杆9、连接杆10和弹簧11，第三连接块703底部焊接有开有L型杆9，L型杆9上开有孔，孔内设有连接杆10，连接杆10上部与L型杆9顶部之间连接有弹簧11，连接杆10与百分表705的检测头接触。百分表705向下移动托板随之向下移动，弹簧11能够使托板紧贴刹车离合片，托板可增大测量范围，从而能够提高检测效率，且还能够更进一步的提高检测效果，更进一步的减小误差。
因为还包括有第一支杆12和保护壳13，7型板2右端连接有第一支杆12，第一支杆12右侧焊接有保护壳13，保护壳13位于叶片807的外侧。保护壳13起保护作用。
因为还包括有第二支杆14，连杆804底部设有第二支杆14，第二支杆14与连杆804底部焊接连接，第二支杆14位于与保护壳13左侧下部连接。第二支杆14起支撑作用。
以上所述实施例仅表达了本发明的优选实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形、改进及替代，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
Claims (9)
1.一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，包括有工作台(1)、7型板(2)、旋转装置(3)、圆形放置板(4)、固定装置(5)和厚度检测装置(6)，工作台(1)顶部左侧焊接有7型板(2)，7型板(2)左侧设有厚度检测装置(6)，工作台(1)顶部中间设有旋转装置(3)，旋转装置(3)上的旋转部件连接有圆形放置板(4)，圆形放置板(4)上设有固定装置(5)。
2.根据权利要求1所述的一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，固定装置(5)包括有7型固定板(501)、第一气缸(502)、橡胶块(503)和滑块(505)，圆形放置板(4)上开有环形滑槽(504)，环形滑槽(504)上滑动式的设有滑块(505)，滑块(505)前接有7型固定板(501)，7型固定板(501)内底部通过螺栓连接有第一气缸(502)，第一气缸(502)的伸缩杆上连接有橡胶块(503)。
3.根据权利要求2所述的一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，厚度检测装置(6)包括有第一连接块(601)、基准尺身(602)、第二轴承座(603)、第二连接块(604)、第三电机(605)、丝杆(606)、螺母(607)和厚度游标尺(608)，第一连接块(601)的左侧面通过螺栓与竖板的右侧面下部连接，第一连接块(601)内的右侧设有基准尺身(602)，基准尺身(602)左侧的第一连接块(601)内嵌入式的安装有第一轴承座(301)，基准尺身(602)的前侧面上部通过螺栓连接有第二连接块(604)，第二连接块(604)顶部通过螺栓安装有第三电机(605)，第三电机(605)的输出轴通过联轴器连接有丝杆(606)，丝杆(606)通过过盈连接的方式与第一轴承座(301)的轴承连接，丝杆(606)上设有螺母(607)，螺母(607)的右侧面连接有厚度游标尺(608)。
4.根据权利要求3所述的一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，旋转装置(3)包括有第一轴承座(301)、第一电机(302)、第一转轴(303)、第一皮带轮(304)、第二皮带轮(305)和平皮带(306)，第一轴承座(301)和第一电机(302)都与工作台(1)顶部通过螺栓连接，第一电机(302)位于第一轴承座(301)右侧，第一轴承座(301)内通过过盈连接有第一转轴(303)，第一转轴(303)上通过键连接有第一皮带轮(304)，第一转轴(303)顶部与圆形放置板(4)底部连接，第一电机(302)的输出轴上通过联轴器连接有第二皮带轮(305)，第一皮带轮(304)与第二皮带轮(305)之间连接有平皮带(306)。
5.根据权利要求4所述的一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，还包括有平整度检测装置(7)，7型板(2)内顶部中间设有平整度检测装置(7)，平整度检测装置(7)包括有滑杆(701)、滑套(702)、第三连接块(703)、第二气缸(704)和百分表(705)，滑杆(701)与7型板(2)内顶部中间焊接连接，滑杆(701)上设有滑套(702)，滑套(702)前侧焊接有第三连接块(703)，滑杆(701)前侧的7型板(2)内顶部通过螺栓连接有第二气缸(704)，第二气缸(704)的伸缩杆与滑套(702)顶部连接，第三连接块(703)前侧安装有百分表(705)。
6.根据权利要求5所述的一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，还包括有扇风装置(8)，7型板(2)内顶部右侧设有扇风装置(8)，扇风装置(8)包括有第三轴承座(801)、第二转轴(802)、第一锥齿轮(803)、连杆(804)、第四轴承座(805)、第三转轴(806)、叶片(807)和第二锥齿轮(808)，第三轴承座(801)与7型板(2)内顶部右侧通过螺栓连接，第三轴承座(801)内通过过盈连接有第二转轴(802)，第二转轴(802)底部与第二皮带轮(305)连接，第二转轴(802)上部通过键连接有第一锥齿轮(803)，第三轴承座(801)右侧的7型板(2)内顶部焊接有连杆(804)，连杆(804)上通过螺栓连接有第四轴承座(805)，第四轴承座(805)内通过过盈连接有第三转轴(806)，第三转轴(806)左侧通过过盈连接有第二锥齿轮(808)，第一锥齿轮(803)与第二锥齿轮(808)啮合，第三转轴(806)右侧安装有叶片(807)。
7.根据权利要求6所述的一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，还包括有L型杆(9)、连接杆(10)和弹簧(11)，第三连接块(703)底部焊接有开有L型杆(9)，L型杆(9)上开有孔，孔内设有连接杆(10)，连接杆(10)上部与L型杆(9)顶部之间连接有弹簧(11)，连接杆(10)与百分表(705)的检测头接触。
8.根据权利要求7所述的一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，还包括有第一支杆(12)和保护壳(13)，7型板(2)右端连接有第一支杆(12)，第一支杆(12)右侧焊接有保护壳(13)，保护壳(13)位于叶片(807)的外侧。
9.根据权利要求8所述的一种硅片生产用厚度测量装置，其特征在于，还包括有第二支杆(14)，连杆(804)底部设有第二支杆(14)，第二支杆(14)与连杆(804)底部焊接连接，第二支杆(14)位于与保护壳(13)左侧下部连接。
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109737909A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-05-10 | 周桂兵 | 一种光学镜片生产用智能厚度测试仪 |
| CN110797276A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-14 | 衡阳开拓光电科技有限公司 | 一种小尺寸板载芯片加工接送料设备 |
| CN111780699A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-10-16 | 浙江海克金属材料有限公司 | 一种金属件测量用的三坐标检测仪 |
| CN113251898A (zh) * | 2021-06-28 | 2021-08-13 | 江苏利泷半导体科技有限公司 | 一种硅钢片宽度偏差检测装置及其检测方法 |
| CN113483627A (zh) * | 2021-07-15 | 2021-10-08 | 深圳市华磊鑫五金制品有限公司 | 一种合金钢钢板的厚度要求的检测设备 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN205957887U (zh) * | 2016-05-19 | 2017-02-15 | 云南三奇光电科技有限公司 | 一种用于测量单晶硅片平整度的装置 |
| CN106813550A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-06-09 | 刘养青 | 一种刹车离合片生产用厚度高效检测装置 |
| CN107063028A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-08-18 | 曾祥胜 | 一种刹车离合片生产用平整度检测装置 |
-
2017
- 2017-09-12 CN CN201710816446.5A patent/CN107677187A/zh not_active Withdrawn
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN205957887U (zh) * | 2016-05-19 | 2017-02-15 | 云南三奇光电科技有限公司 | 一种用于测量单晶硅片平整度的装置 |
| CN106813550A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-06-09 | 刘养青 | 一种刹车离合片生产用厚度高效检测装置 |
| CN107063028A (zh) * | 2017-04-11 | 2017-08-18 | 曾祥胜 | 一种刹车离合片生产用平整度检测装置 |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109737909A (zh) * | 2019-01-15 | 2019-05-10 | 周桂兵 | 一种光学镜片生产用智能厚度测试仪 |
| CN109737909B (zh) * | 2019-01-15 | 2020-08-14 | 浙江誉博眼镜有限公司 | 一种光学镜片生产用智能厚度测试仪 |
| CN110797276A (zh) * | 2019-11-22 | 2020-02-14 | 衡阳开拓光电科技有限公司 | 一种小尺寸板载芯片加工接送料设备 |
| CN110797276B (zh) * | 2019-11-22 | 2021-12-07 | 衡阳开拓光电科技有限公司 | 一种小尺寸板载芯片加工接送料设备 |
| CN111780699A (zh) * | 2020-08-05 | 2020-10-16 | 浙江海克金属材料有限公司 | 一种金属件测量用的三坐标检测仪 |
| CN113251898A (zh) * | 2021-06-28 | 2021-08-13 | 江苏利泷半导体科技有限公司 | 一种硅钢片宽度偏差检测装置及其检测方法 |
| CN113483627A (zh) * | 2021-07-15 | 2021-10-08 | 深圳市华磊鑫五金制品有限公司 | 一种合金钢钢板的厚度要求的检测设备 |
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