CN107589634B - 曝光装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种曝光装置，包括：基台，基台用于放置基板；光源组件，光源组件设在基台的上方，光源组件用于发射光源；载物台，载物台设在基台和光源组件之间且用于放置掩膜板，掩膜板上具有透光部，透光部的宽度方向与光源组件的扫描方向相同，光源的宽度为d1，透光部的宽度为d2，d1和d2满足：d1＜d2；驱动组件，在对基板进行曝光时驱动组件用于分别驱动光源组件和载物台移动，其中光源组件的移动方向与载物台的移动方向相反；控制组件，控制组件与驱动组件相连以控制驱动组件驱动光源组件和载物台的移动速度。本发明的曝光装置，可增加基板上电路的集成度，进而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可增加基板的开口率，从而增加显示效果。

Description

曝光装置

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝光装置。

背景技术

随着显示技术不断的更新，显示效果随之不断提升。在曝光工序中，如何提高曝光的精细度一直是曝光技术的热点之一。较高的曝光精细度，能够提升基板的开口率以及基板上的集成度，进而增强显示效果，但高精细度的曝光设备较难制备与更新。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种曝光装置，可以有效地增加基板上电路的集成度，进而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可以有效地增加基板的开口率，从而增加显示效果。

根据本发明实施例的曝光装置，包括：基台，所述基台用于放置基板；光源组件，所述光源组件设在所述基台的上方，所述光源组件用于发射光源；载物台，所述载物台设在所述基台和所述光源组件之间且用于放置掩膜板，所述掩膜板上具有透光部，所述透光部的宽度方向与所述光源组件的扫描方向相同，所述光源的宽度为d1，所述透光部的宽度为d2，所述d1和所述d2满足：d1＜d2；驱动组件，在对所述基板进行曝光时所述驱动组件用于分别驱动所述光源组件和所述载物台移动，其中所述光源组件的移动方向与所述载物台的移动方向相反；控制组件，所述控制组件与所述驱动组件相连以控制所述驱动组件驱动所述光源组件和所述载物台的移动速度。

根据本发明实施例的曝光装置，通过设置驱动组件以驱动光源组件和载物台进行相反方向的移动，设置控制组件以控制驱动组件驱动光源组件和载物台的相对运动速度，同时使透光部的宽度方向与光源组件的扫描方向相同，光源的宽度d1＜透光部的宽度d2。从而可以有效地增加基板上电路的集成度，进而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可以有效地增加基板的开口率，从而增加显示效果。同时便于控制曝光区的宽度较相应的透光部的宽度缩小的倍数，进而增强显示效果。

根据本发明的一些实施例，所述驱动组件包括：第一驱动部件，所述第一驱动部件用于驱动所述光源组件移动；第二驱动部件，所述第二驱动部件用于驱动所述载物台移动。从而可知，驱动组件的结构简单。驱动组件通过第一驱动部件驱动光源组件移动，通过第二驱动部件驱动载物台移动，由此有利于提高驱动组件工作的可靠性，进而保证曝光装置的可靠性。

具体地，所述第一驱动部件为电机。从而能够保证驱动组件对光源组件的驱动效果，保证光源相对基板移动的稳定性，进而提高驱动组件的可靠性，同时便于控制组件对驱动组件进行控制，进而保证曝光装置的可靠性。

具体地，所述第二驱动部件为电机。从而能够保证驱动组件对载物台的驱动效果，保证基板相对光源移动的稳定性，进而提高驱动组件的可靠性，同时便于控制组件对驱动组件进行控制，进而保证曝光装置的可靠性。

具体地，所述光源为线型光源或偏振光。

具体地，所述控制组件为芯片。由此可知，控制组件的体积小，精度高，从而能够在一定程度上减小曝光装置的占用空间，提高控制组件的控制精度。

根据本发明的一些实施例，所述光源组件具有第一扫描方向和第二扫描方向，所述第一扫描方向和所述第二扫描方向垂直。从而可以在第一扫描方向上通过放置一个掩膜板以对基板进行第一次曝光，在第二扫描方向上通过放置另一个掩膜板以对基板进行第二次曝光，经过两个曝光即可获得具有相应曝光图案的基板。

本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

附图说明

本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：

图1是根据本发明实施例的掩膜板与光源组件相对运动原理示意图A；

图2是根据本发明实施例的曝光装置的曝光原理示意图B。

附图标记：

曝光装置100；

基板1；曝光区11；光源组件2；掩膜板3；透光部31；光源组件的运动方向4；

掩膜板的运动方向5。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“纵向”、“横向”、“宽度”、“上”、等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面参考图1-图2描述根据本发明实施例的曝光装置100。

如图1-图2所示，根据本发明实施例的曝光装置100，包括：基台(图未示出)、光源组件2、载物台(图未示出)、驱动组件(图未示出)和控制组件(图未示出)。

具体而言，基台用于放置基板1，光源组件2设在基台的上方，光源组件2用于发射光源。载物台设在基台和光源组件2之间且用于放置掩膜板3，掩膜板3上具有透光部31。从而可以利用光源组件2和载物台上的掩膜板3对基板1进行曝光。

透光部31的宽度方向与光源组件2的扫描方向相同，光源的宽度为d1，透光部31的宽度为d2，d1和d2满足：d1＜d2。在对基板1进行曝光时驱动组件用于分别驱动光源组件2和载物台移动，其中光源组件2的移动方向与载物台的移动方向相反。由此可知，光源组件2与载物台在驱动组件的驱动作用下可发生相对运动，即光源组件2发射的光源与载物台上基板1可发生相对运动，从而使基板1上的曝光区11的图样较对应的掩膜板3上的透光部31出现成倍缩小。另基板1上的曝光区11的宽度为d3，也就是说，基板1上的曝光区11的宽度d3较相应的透光部31的宽度d2出现成倍缩小。由此，可以有效地增加基板1上电路的集成度，从而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可以有效地增加基板1的开口率，从而增加显示效果。

控制组件与驱动组件相连以控制驱动组件驱动光源组件2和载物台的移动速度。可以理解的是，光源组件2和载物台移动的速度越快，曝光区11的宽度d3较相应的透光部31的宽度d2缩小的越多，缩小的倍数与光源组件2和载物台相对运动的速度成线性关系。从而可以通过控制组件控制光源组件2与载物台相对运动的速度，进而控制曝光区11的宽度d3较相应的透光部31的宽度d2缩小的倍数，进而增强显示效果。

根据本发明实施例的曝光装置100，通过设置驱动组件以驱动光源组件2和载物台进行相反方向的移动，设置控制组件以控制驱动组件驱动光源组件2和载物台的相对运动速度，同时使透光部31的宽度方向与光源组件2的扫描方向相同，光源的宽度d1＜透光部31的宽度d2。从而可以有效地增加基板1上电路的集成度，进而增加显示的分辨率。若分辨率不变，则可以有效地增加基板1的开口率，从而增加显示效果。同时便于控制曝光区11的宽度d3较相应的透光部31的宽度d2缩小的倍数，进而增强显示效果。

根据本发明的一些实施例，驱动组件包括：第一驱动部件和第二驱动部件。

其中，第一驱动部件用于驱动光源组件2移动，第二驱动部件用于驱动载物台移动。从而可知，驱动组件的结构简单。驱动组件通过第一驱动部件驱动光源组件2移动，通过第二驱动部件驱动载物台移动，由此有利于提高驱动组件工作的可靠性，进而保证曝光装置100的可靠性。

具体地，第一驱动部件为电机。从而能够保证驱动组件对光源组件2的驱动效果，保证光源相对基板1移动的稳定性，进而提高驱动组件的可靠性，同时便于控制组件对驱动组件进行控制，进而保证曝光装置100的可靠性。

具体地，第二驱动部件为电机。从而能够保证驱动组件对载物台的驱动效果，保证基板1相对光源移动的稳定性，进而提高驱动组件的可靠性，同时便于控制组件对驱动组件进行控制，进而保证曝光装置100的可靠性。

可选地，光源为线型光源或偏振光。可以理解的是，光源组件2发射出的光源类型不限于此，只要保证基板1上的曝光效果即可。

具体地，控制组件为芯片。由此可知，控制组件的体积小，精度高，从而能够在一定程度上减小曝光装置100的占用空间，提高控制组件的控制精度。

根据本发明的一些实施例，光源组件2具有第一扫描方向和第二扫描方向，第一扫描方向和第二扫描方向垂直。从而可以在第一扫描方向上通过放置一个掩膜板3以对基板1进行第一次曝光，在第二扫描方向上通过放置另一个掩膜板3以对基板1进行第二次曝光，经过两个曝光即可获得具有相应曝光图案的基板1。

具体地，如图2所示，光源组件2的第一扫描方向在纵向方向上，则光源组件2的第二扫描方向在横向方向上，载物台上的其中一个掩膜板3与光源组件2的第一扫描方向对应设置，即掩膜板3的透光部31的宽度方向与光源组件2的第一扫描方向相同。当光源组件2沿第一扫描方向运动时，掩膜板3与光源组件2的运动方向相反，基板1上曝光区11的图样与该掩膜板3的透光部31形成的图样相同。但曝光区11的图样较该掩膜板3的透光部31形成的图样成倍缩小。从而实现了曝光装置100的一次曝光。

将所述其中一个掩膜板3从载物台上取下并将另一个掩膜板3放置在载物台上。另一个掩膜板3与光源组件2的第二扫描方向对应设置，即另一个掩膜板3的透光部31的宽度方向与光源组件2的第二扫描方向相同。当光源组件2沿第二扫描方向运动时，另一个掩膜板3与光源组件2的运动方向相反，基板1上曝光区11的图样与该掩膜板3的透光部31形成的图样相同。但曝光区11的图样较该掩膜板3的透光部31形成的图样成倍缩小。从而实现了曝光装置100的两次曝光。

从而本发明实施例的曝光装置100可在横向和纵向进行两次曝光，两次曝光后在基板1上获得的成倍缩小的曝光图样即为目标图样。

下面参考图1-图2对根据本发明一个具体实施例的曝光装置100结构进行详细说明。但是需要说明的是，下述的说明仅具有示例性，普通技术人员在阅读了本发明的下述技术方案之后，显然可以对其中的技术方案或者部分技术特征进行组合或者替换、修改，这也落入本发明所要求的保护范围之内。

如图1-图2所示，本发明实施例的曝光装置100，包括：基台、光源组件2、载物台、驱动组件和控制组件。

基台用于放置基板1。光源组件2设在基台的上方，光源组件2用于发射线型光源，同时光源组件2具有第一扫描方向和第二扫描方向，第一扫描方向和第二扫描方向垂直。载物台设在基台和光源组件2之间且用于放置掩膜板3，掩膜板3为两个，每个掩膜板3上具有透光部31，两个掩膜板3的透光部31的宽度方向分别与光源组件2的第一扫描方向和第二扫描方向相同，光源的宽度为d1，透光部31的宽度为d2，d1和d2满足：d1＜d2。

在对基板1进行曝光时驱动组件用于分别驱动光源组件2和载物台移动。光源组件2的移动方向与载物台的移动方向相反。

具体地，驱动组件包括：第一驱动部件和第二驱动部件。第一驱动部件用于驱动光源组件2移动，第二驱动部件用于驱动载物台移动。第一驱动部件和第二驱动部件均为电机。

控制组件为芯片，控制组件与驱动组件相连以控制驱动组件驱动光源组件2和载物台的移动速度。

设光源组件2的第一扫描方向在纵向方向上，则光源组件2的第二扫描方向在横向方向上，载物台上的一个掩膜板3与光源组件2的第一扫描方向对应设置，即掩膜板3的透光部31的宽度方向与光源组件2的第一扫描方向相同。基板1第一次曝光结束后，更换掩膜板3，同时使载物台上的另一个掩膜板3与光源组件2的第二扫描方向对应设置，即掩膜板3的透光部31的宽度方向与光源组件2的第二扫描方向相同。

曝光装置100的工作过程为：首先通过控制组件控制驱动组件工作，在纵向方向上，第一驱动部件驱动光源组件2沿第一扫描方向运动，第二驱动部件驱动掩膜板3所在的载物台沿着与光源组件2的运动方向相反的方向运动，基板1上曝光区11的图样与相应的掩膜板3的透光部31形成的图样相同。但曝光区11的图样较相应的掩膜板3的透光部31形成的图样成倍缩小。从而实现了曝光装置100的一次曝光。

然后更换掩膜板3，接着通过控制组件控制驱动组件工作，在横向方向上，第一驱动部件驱动光源组件2沿第二扫描方向运动，第二驱动部件驱动掩膜板3所在的载物台沿着与光源组件2的运动方向相反的方向运动，基板1上曝光区11的图样与相应的掩膜板3的透光部31形成的图样相同。但曝光区11的图样较相应的掩膜板3的透光部31形成的图样成倍缩小。从而实现了曝光装置100的两次曝光。

从而本发明实施例的曝光装置100可在横向和纵向进行两次曝光，两次曝光后在基板1上获得的成倍缩小的曝光图样即为目标图样。

根据本发明实施例的曝光装置100的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

尽管已经示出和描述了本发明的实施例，本领域的普通技术人员可以理解：在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由权利要求及其等同物限定。

Claims (7)

1.一种曝光装置，其特征在于，包括：

基台，所述基台用于放置基板；

光源组件，所述光源组件设在所述基台的上方，所述光源组件用于发射光源；

载物台，所述载物台设在所述基台和所述光源组件之间且用于放置掩膜板，所述掩膜板上具有透光部，所述透光部的宽度方向与所述光源组件的扫描方向相同，所述光源的宽度为d1，所述透光部的宽度为d2，所述d1和所述d2满足：d1＜d2；

驱动组件，在对所述基板进行曝光时所述驱动组件用于分别驱动所述光源组件和所述载物台移动，其中所述光源组件的移动方向与所述载物台的移动方向相反；

控制组件，所述控制组件与所述驱动组件相连以控制所述驱动组件驱动所述光源组件和所述载物台的移动速度。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述驱动组件包括：

第一驱动部件，所述第一驱动部件用于驱动所述光源组件移动；

第二驱动部件，所述第二驱动部件用于驱动所述载物台移动。

3.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述第一驱动部件为电机。

4.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，所述第二驱动部件为电机。

5.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述光源为线型光源或偏振光。

6.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述控制组件为芯片。

7.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述光源组件具有第一扫描方向和第二扫描方向，所述第一扫描方向和所述第二扫描方向垂直。