CN107560573A - 一种悬丝式可变刚度微纳测头 - Google Patents
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Abstract
本发明一种悬丝式变刚度微纳测头包括:测头、测杆、中间连接体、电容上极板、电容下极板、环形记忆合金、压电陶瓷芯片、固定基座、悬丝、动平台、电容数字转换器、工控机。所述中间连接体通过悬丝固定于动平台中心;所述环形记忆合金通过螺钉固定于动平台;所述悬丝一端连接中间连接体,另一端连接环形记忆合金;所述固定基座通过焊接固定于动平台;所述压电陶瓷芯片固定于环形记忆合金和固定基座之间;所述测杆安装在中间连接体中心。本发明通过压电陶瓷芯片的压电效应,对环形记忆合金产生横向压力,使环形结构产生形变,从而改变悬丝的张紧程度,进而改变悬挂机构的刚度和灵敏度,以满足不同工况下对工件的测量要求。
Description
技术领域
本发明涉及微纳米测量领域,更具体的说是一种悬丝式可变刚度微纳测头。
背景技术
近年来,随着微纳加工技术的迅速发展,出现了各种微纳米级别的器件。为保证微纳米器件的加工质量,相应的检测技术和手段的研究变得至关重要。
测头是坐标测量机的核心部件之一,它的精度决定着坐标测量机的总体测量精度。测头分为接触式和非接触式两种:接触式测头可用来测量非接触式测头不能测量的具有斜面、圆弧等复杂特征的工件。相比于非接触式测头,接触式测头具有精度和可靠性高、易于校正等优点。目前,接触式微纳米坐标测量机的悬挂机构多为刚度不变的弹性梁,其存在以下缺陷:当刚度较大时,测头的灵敏度低,与工件接触时会产生较大的测量力进而破坏工件表面;当刚度较低时,测头的灵敏度提高,所需测量力小,但测头与工件之间的吸引力会损坏测头系统的重复精度,同时其惯性力易造成误触发。
发明内容
为了解决以上问题,本发明公开了一种悬丝式可变刚度微纳测头。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种悬丝式可变刚度微纳测头,它主要包括:测头、测杆、中间连接体、悬丝、环形记忆合金、压电陶瓷芯片、固定基座、动平台、电容上极板、电容下极板、电容数字转换器、工控机。所述测头和测杆为一体式结构;所述测杆通过胶结方式固定于中间连接体中心;所述中间连接体通过悬丝固定于动平台中心位置;所述悬丝一端连接中间连接体,另一端连接环形记忆合金;所述固定基座焊接于动平台上;所述压电陶瓷芯片固定于环形记忆合金和固定基座之间;所述电容上极板通过胶结方式固定于动平台中心下表面;电容下极板通过金属镀层方式固结于中间连接体上表面。
与现有技术,本发明的有益效果体现在:
本发明通过采用悬丝构成的柔性支撑,比梁结构具有较好的应力分布、回程误差小、重复性和精度高的特点。
本发明通过压电陶瓷芯片的压电效应,对环形记忆合金产生横向压力,使环形结构产生形变,从而改变悬丝的张紧程度,进而改变悬挂机构即测杆支撑结构的刚度和灵敏度,以满足不同工况下对工件的测量要求。
附图说明
图1是本发明的结构示意图;
图2是本发明中间连接体、测杆和电容下极板的结构示意图;
图3是本发明环形记忆合金和螺钉的分解示意图。
图中标号:测头-1、测杆-2、中间连接体-3、电容下极板-4、电容上极板-5、悬丝-6、环形记忆合金-7、压电陶瓷芯片-8、固定基座-9、螺栓孔-10、螺钉-11、动平台-12、电容数字转换器-13、工控机-14。
具体实施方式
以下结合附图,通过对实施例的描述,对本发明做进一步说明:
一种悬丝式可变刚度微纳测头,它主要包括:测头1、测杆2、中间连接体3、电容下极板4、电容上极板5、悬丝6、环形记忆合金7、压电陶瓷芯片8、固定基座9、螺栓孔10、螺钉11、动平台12、电容数字转换器-13、工控机-14。测头1和测杆2为一体式结构,中间连接体3下表面中心位置设置圆形凹槽,测杆2通过胶结方式固结于中心连接体3圆形凹槽处。为减少中间连接体3的质量,在其下表面对称设置8个圆形凹槽。中心连接体3圆周位置对称设置4个凸台,每个凸台中心位置设置圆形凹槽,便于悬丝6的安装。动平台12下表面对称设置4个环形记忆合金7,每个环形记忆合金7通过2个螺钉11固定于动平台12上,在环形记忆合金7中部设置通孔,便于悬丝6的安装。
悬丝6一端通过胶结方式固定于中心连接体3的凸台中心,另一端固定于环形记忆合金7中部。为便于压电陶瓷芯片8工作时力的传递,每个环形记忆合金7中部设置凸台。动平台12上对称布置4个固定基座9,每个固定基座9设置矩形凹槽,便于压电陶瓷芯片8的安装,固定基座9通过焊接方式固定于动平台12。同时在动平台12上的4个压电陶瓷芯片8分别安装在固定基座9和环形记忆合金的凸台之间。电容上极板5通过胶结方式固定于动平台12下表面中心位置,电容下极板4通过金属镀层方式固结于中间连接体3上表面。电容上极板4通过导线与电容数字转换器13相连,以检测电容变化,并将电容数字转换器13与工控机14相连,用以检测测头位移变化,进而完成测量。
本发明悬丝式变刚度微纳测头的悬挂机构包括中间连接体、悬丝、环形记忆合金,通过悬丝6代替弹性梁,利用压电陶瓷芯片8的压电效应,对环形记忆合金7产生横向压力,从而改变悬丝6的张紧程度,进而改变测杆支撑结构的刚度和灵敏度。
当微纳测头装置开始工作且未接触待测工件时,压电陶瓷芯片8不工作,此时测杆支撑结构的刚度最大,测头灵敏度下降、响应速度变快,减少装置测量过程中由于惯性产生的误触发;当测头接触待测工作表面时,压电陶瓷芯片8工作,使悬丝6张紧程度变小,测杆支撑结构的刚度变小,减小测头1与工件的接触力;当测头1离开待测工作表面时,压电陶瓷芯片7不工作,测杆支撑结构的刚度变大,能克服测头1与工件表面的摩擦力,改变测头的动态响应特性。本发明可根据测量物体和工作过程中的需求,来改变测头悬挂机构的刚度,以满足对测量工作的要求。
以上所述为本发明的实施方式,对于本领域的技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,可以做出适当的改进,均属于本发明的保护范围。
Claims (3)
1.一种悬丝式变刚度微纳测头,其特征在于:它包括测头(1)、测杆(2)、中间连接体(3)、电容下极板(4)、电容上极板(5)、悬丝(6)、环形记忆合金(7)、压电陶瓷芯片(8)、固定基座(9)、螺栓孔(10)、螺钉(11)、动平台(12)、电容数字转换器(13)、工控机(14)。所述测头(1)和测杆(2)为一体式结构;所述测杆(2)安装在中间连接体(3)中心;所述中间连接体(3)通过悬丝(6)固定于动平台(12)中心;所述悬丝(6)一端连接中间连接体(3),另一端连接环形记忆合金(7);所述环形记忆合金(7)通过螺钉(11)固定于动平台(12)上;所述固定基座(9)通过焊接方式固定于动平台(12)上;所述压电陶瓷芯片(8)固定于环形记忆合金(7)和固定基座(9)之间。
2.根据权利要求1所述的一种悬丝式变刚度微纳测头,其特征在于:所述环形记忆合金(7)设有凸台,所述固定基座(9)设有矩形凹槽;所述环形记忆合金(7)、固定基座(9)、压电陶瓷芯片(8)依次按顺序安装,便于压电陶瓷芯片(8)工作过程中力的传递。
3.根据权利1所述的一种悬丝式变刚度微纳测头,其特征在于:环形记忆合金(7)在压电陶瓷芯片(8)的作用下产生形变,通过改变悬丝(6)的张紧程度,进而改变测头悬挂机构的刚度和灵敏度。
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2017
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