CN107560561B

CN107560561B - 一种沟道槽翘曲度测量方法及装置

Info

Publication number: CN107560561B
Application number: CN201710773970.9A
Authority: CN
Inventors: 芈健; 陈子琪; 乐陶然; 刘欢; 郭玉芳
Original assignee: Yangtze Memory Technologies Co Ltd
Current assignee: Yangtze Memory Technologies Co Ltd
Priority date: 2017-08-31
Filing date: 2017-08-31
Publication date: 2019-11-01
Anticipated expiration: 2037-08-31
Also published as: CN107560561A

Abstract

本申请实施例提供一种半导体存储器制造工艺过程中沟道槽翘曲度测量方法和装置，所述方法包括：获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。本申请实施例可以有效提高沟道槽翘曲度测量的准确性和效率。

Description

一种沟道槽翘曲度测量方法及装置

技术领域

本申请实施例涉及半导体技术领域，具体涉及一种半导体存储器制造工艺过程中沟道槽翘曲度测量方法及装置。

背景技术

在半导体技术领域，沟道槽刻蚀壁面的翘曲程度对后续工艺中沟道槽的填充、刻蚀均匀性具有显著影响。若沟道槽翘曲程度高，会引起栅线处淀积钨的侧壁厚度不均匀，进而导致栅线处钨和氮化钛层在淀积钨较厚处出现钨的残留，影响半导体器件的电学性能。因此，如何准确测量沟道槽刻蚀壁面的翘曲度成为一个重要的问题。

现有技术中，在测量沟道槽刻蚀壁面的翘曲度时，一般通过人眼判断、标定测量照片中沟道槽刻蚀壁面的位置，根据标定的位置测量沟道槽在不同截面处的宽度，然后计算这些宽度值的3倍方差的平均值来表征沟道槽刻蚀壁面的翘曲度。

申请人经过大量研究发现，尽管现有的测量方法可以在一定程度上反映出沟道槽壁面的翘曲程度，但是存在如下缺点：(1)现有技术中的测量方法通过人眼判断标定沟道槽刻蚀壁面的位置，存在主观性强、测量精度低、效率低的缺陷。(2)现有技术通过计算沟道槽在纵向上不同深度处的宽度的3倍方差值的方式来计算翘曲度，这种计算方式不能有效区分沟道槽宽度呈对称型变化但翘曲程度大的壁面形貌，存在测量准确性不高的缺陷。

发明内容

本申请实施例提供了一种沟道槽翘曲度测量方法及装置，旨在解决现有技术沟道槽翘曲度测量不准确、效率低的缺陷。

为此，本申请实施例提供如下技术方案：

本申请实施例的第一方面公开了一种沟道槽翘曲度测量方法，包括：获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

本申请实施例的第二方面公开了一种沟道槽翘曲度测量装置，包括：图像处理单元，用于获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；中心点坐标确定单元，用于根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；法线确定单元，用于选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；翘曲度计算单元，用于计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

本申请实施例的第三方面公开了一种用于沟道槽翘曲度测量的装置，包括有存储器，以及一个或者一个以上的程序，其中一个或者一个以上程序存储于存储器中，且经配置以由一个或者一个以上处理器执行所述一个或者一个以上程序包含用于进行以下操作的指令：获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

本申请实施例的第四方面，公开了一种机器可读介质，其上存储有指令，当由一个或多个处理器执行时，使得装置执行如第一方面所述的沟道槽翘曲度测量方法。

本申请实施例提供的沟道槽翘曲度测量方法及装置，可以通过对沟道槽图像进行处理，获得离散化的沟道槽壁面各边界点坐标，并根据沟道槽壁面两侧的各边界点坐标计算得到各中心点坐标，并将沟道槽顶部中心点坐标作为基准点确定该基准点的法线，计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。本申请实施例通过对沟道槽图像的离散量化处理获得各边界点坐标，有效提高了计算精度。此外，本申请通过计算中心点坐标与法线的偏离程度衡量沟道槽壁面的翘曲度，得到更为准确的结果，可以有效识别壁面对称性分布、翘曲度大的沟道槽壁面。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本申请一实施例提供的沟道槽翘曲度测量方法流程；

图2为本申请实施例提供的沟道槽横截面示意图；

图3为本申请实施例提供的离散量化沟道槽边界示意图；

图4为本申请实施例提供的沟道槽翘曲度计算方法示意图；

图5为本申请一实施例沟道槽翘曲度测量结果示意图；

图6A至图6D为本申请另一实施例沟道槽翘曲度测量结果示意图；

图7为本申请一实施例提供的沟道槽翘曲度测量装置示意图；

图8是根据一示例性实施例示出的一种用于沟道槽翘曲度测量装置的框图。

具体实施方式

下面将参考若干示例性实施方式来描述本申请的原理和精神。应当理解，给出这些实施方式仅仅是为了使本领域技术人员能够更好地理解进而实现本申请，而并非以任何方式限制本申请的范围。相反，提供这些实施方式是为了使本公开更加透彻和完整，并且能够将本公开的范围完整地传达给本领域的技术人员。

申请人在研究本申请的过程中发现，现有技术提供的方法在测量沟道槽刻蚀壁面的翘曲度时，一般通过人眼判断、标定测量照片中沟道槽刻蚀壁面的位置，这种方式存在主观性强、测量精度低、效率低的缺陷。若要提高测量精度、增强人眼的分辨度，可以提高电镜拍照的放大倍数。然而，受限于现有的电镜拍照视野上限，需要数次拼接才能够获得一个深沟道槽的图像。此外，为了降低人眼判断对测量结果的影响，需要增加测量位置以提高测量结果的准确性，但降低了测量效率。另外，由于现有技术通过计算沟道槽在纵向上不同深度处的宽度的3倍方差值的方式来计算翘曲度，这种计算方式不能有效区分沟道槽宽度呈对称型变化但翘曲程度大的壁面形貌，存在准确性不高的缺陷。这是因为，若沟道槽翘曲度大但壁面两侧呈对称性变化，由于沟道槽的宽度变化不大，应用现有技术提供的方法计算得到的沟道槽翘曲度值并不高，这与实际情况相差甚远，由此计算得到的结果不能够准确反映沟道槽翘曲度，因此存在准确度不高的缺陷。

基于此，本申请实施例提供了一种沟道槽翘曲度测量方法及装置，可以有效提高沟道槽翘曲度测量的准确性和效率。

在本申请实施例中使用的术语是仅仅出于描述特定实施例的目的，而非旨在限制本申请。在本申请实施例和所附权利要求书中所使用的单数形式的“一种”、“所述”和“该”也旨在包括多数形式，除非上下文清楚地表示其他含义。还应当理解，本文中使用的术语“和/或”是指并包含一个或多个相关联的列出项目的任何或所有可能组合。

下面将结合附图1至附图6对本申请示例性实施例示出的沟道槽翘曲度测量方法进行介绍。

参见图1，为本申请一实施例提供的沟道槽翘曲度测量方法流程图。如图1所示，可以包括：

S101，获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标。

具体实现时，所述沟道槽图像可以包括一个或多个沟道槽。如图2所示，为本申请实施例提供的沟道槽横截面示意图。在一幅沟道槽横截面图像中，可以包括多个沟道槽。

在一些实施方式中，在计算沟道槽翘曲度时，可以测量多个晶圆包含的沟道槽的翘曲度值。每个晶圆可以选取不同的测量位置，例如可以选取17个测量位置，每个测量位置测量多个沟道槽的翘曲度值。例如，每个测量位置测量10个沟道槽的翘曲度值。需要说明的是，当测量的沟道槽图像为多个，每个沟道槽图像包括多个沟道槽时，保存沟道槽图像、测量位置、晶圆之间的对应关系，以便于后续计算。

下面以测量一个沟道槽的翘曲度值为例进行说明，测量多个沟道槽的实现可以参照测量一个沟道槽的实现而进行。

在一些实施方式中，，所述获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标包括以下步骤：

S101A，获取所述沟道槽图像的灰度图像。

一般地，图像的边缘由图像灰度发生急剧变化的点组成。因此，若拍摄的沟道槽图像为彩色图像，可以先将其转换为灰度图像。

S101B，对所述灰度图像进行降噪处理。

具体实现时，可以采用现有技术提供的方法对灰度图像进行图像降噪处理，本申请对具体实现方式不进行限定，例如可以采用高斯滤波器进行降噪处理。

S101C，所述降噪处理后的灰度图像进行边缘检测处理，获得所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标。需要说明的是，对所述灰度图像进行降噪处理。

具体实现时，对降噪处理后的灰度图像进行边缘检测处理可以采用sobel、canny等边缘算子提取边缘的方法，本申请对此不进行限定。在检测得到沟道槽壁面边界后，即可以获得组成第一边界的各点坐标以及组成第二边界的各点坐标。其中，第一边界具体为沟道槽壁面的左边界，第二边界具体为沟道槽壁面的右边界。参见图3，为本申请实施例提供的离散量化沟道槽边界示意图。如图3所示，沟道槽壁面的左右边界通过离散化量化处理，可以得到由左右边界点构成的左右边界线。如图3所示，在沟道槽顶部描绘了横轴，用于描述沟道槽各边界点、中心点的横坐标。其中，如图3所示，沟道槽顶部中心点坐标为(0，0)。图3中，通过沟道槽左右边界线刻画出沟道槽的壁面位置(Position)，描绘出了沟道槽的形态面貌。

S102，根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标。

具体实现时，可以按照以下公式计算各中心点坐标：

其中，X_i为第i个中心点的横坐标，X_Ai为第一边界上第i个点的横坐标，X_Bi为第二边界上第i个点的横坐标，i为正整数，i的取值范围可以根据经验或者需要设定。

举例说明，假设第一边界包括120个点，分别是A₁(X_A1，Y_A1)、A₂(X_A2，Y_A2)、A₃(X_A3，Y_A3)……A₁₂₀(X_A120，Y_A120)；假设第二边界包括120个点，分别是B₁(X_B1，Y_B1)、B₂(X_B2，Y_B2)、B₃(X_B3，Y_B3)……B₁₂₀(X_B120，Y_B120)。

根据同一水平线上边界点的坐标，根据公式(1)计算得到中心点坐标可以是：

……

以此类推，可以得到各中心点的横坐标，各中心点的纵坐标与其处于水平线上的边界点的纵坐标相同。

S103，选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线。

举例说明，沟道槽顶部中心点坐标即为(X₁，Y₁)，其中，X₁的计算方式如公式(2)所示。Y₁的取值与Y_A1或者Y_B1相同。在确定基准中心点后，即可以确定该基准中心点的法线。例如，所述法线与所述基准中心点垂直，与由第一边界的第一个点、第二边界的第一个点、第一个中心点构成的水平线垂直。

S104，计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

需要说明的是，在理想情况下，沟道槽壁面应当是平滑的、不倾斜的，沟道槽壁面两个边界对应的中心点形成的连线应当是垂直于顶部中心点、顶部边界点构成的水平线，也就是说，该连线应当与基准中心点的法线相重合。因此，可以通过衡量各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值来确定沟道槽的翘曲度。具体实现时，可以计算沟道槽各边界点的中心点相对于法线的水平方向上的位置方差，以此反映沟道槽壁面翘曲程度。

具体实现时，可以通过以下公式计算翘曲度值T：

其中，T为翘曲度值，X_i为第i个中心点的横坐标，X₁为第1个中心点的横坐标，n为中心点的个数。

需要说明的是，中心点的个数越多，由此得到的精度越高，计算结果更正确，但同时计算量越大。中心点的个数越少，精度越低，计算量越少。因此，可以根据实验或者对计算精度的具体要求，设置n的取值范围，以便既能够满足一定的精度要求又能够保证计算效率。具体实现时，n的取值例如可以是120，在此不进行设定。

具体实现时，可以根据公式(4)计算得到沟道槽的翘曲度值，翘曲度值越大，表示沟道槽的翘曲程度越严重。如图4所示，可以根据第一边界的各点以及第二边界的各点计算得到各中心点的坐标。图4中，横轴代表各点的横坐标，纵轴代表各点的纵坐标，positon用于表示位置。垂直于顶部中心点的线为法线，从图4可以看出，与法线偏离程度大的点对应的壁面翘曲度也大。

需要说明的是，在本申请中，可以实现批量测量沟道槽的翘曲度。例如，在半导体工艺制程线上，一般是按批次(Lot)进行测算。一个Lot晶圆数量不等，例如可以是25片。每片晶圆可以选取多个测量位置，例如每个晶圆测量17个点位。每一个测量位置一般测10个沟道槽，即得到10个翘曲值T。

具体实现时，所述计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值包括：获取各测量位置对应的各沟道槽的中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值；和/或，获取各晶圆对应的各测量位置对应的沟道槽中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

进一步地，还可以对测量得到的多个沟道槽的翘曲度值进行统计、分析。例如，可以根据计算得到的每个测量位置对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述测量位置对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值；和/或，根据计算得到的每个晶圆对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述晶圆对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值。又如，还可以确定所述翘曲度值所属的阈值区间，根据所述翘曲度值所属的阈值区间确定所述沟道槽的质量等级。举例说明，若判断翘曲度值属于第一阈值区间，则判断其质量等级为优；若判断翘曲度值属于第二阈值区间，则判断其质量等级为良；若判断翘曲度值属于第三阈值区间，则判断其质量等级为中；若判断翘曲度值属于第四阈值区间，则判断其质量等级为差。当然，以上仅为示例性说明，不视为对本申请的限制。

需要说明的是，由于每次需要测量几个甚至数十Lot，数据处理量较大。为了提高计算效率，可以使用宏编辑的方式进行计算。例如，可以保存测量的沟道槽的各点坐标、该点所属的晶圆、晶圆的测量位置之间的对应关系。首先可以计算出每个测量位置包含的沟道槽的翘曲度值、每个晶圆包含的各沟道槽的翘曲度值、每个批次包含的沟道槽的翘曲度值，确定每个测量位置、每个晶圆、每个批次翘曲度值的平均值、最大值、最小值及方差等，还可以显示该统计分析结果。如图5所示，当获取一幅沟道槽图片包括多个沟道槽时，可以计算得到多个沟道槽的翘曲度，例如从左到右沟道槽的翘曲度值分别为：45.2、35.7、30.1、25、15、9.14、5.47。数值越大，翘曲度越高；数值越小、翘曲度越低。如图6A至图6D所示，还可以测量得到多个沟道槽的翘曲度值。图6A至图6D中，每个沟道槽下方的数值为其翘曲度值。进一步地，还可以统计沟道槽翘曲度值的最大值、最小值、均值、方差等。从图5、图6可以看出，利用本申请计算的翘曲度值与实际定性判断得到的翘曲度结果一致。

需要说明的是，在本申请中，是通过计算沟道槽各处边界的中心点相对于法线的水平方向上的位置方差来反映壁面翘曲程度，相对于计算沟道槽宽度方差的方式，能够有效识别沟道槽宽度对称型变化的壁面形貌。此外，本申请中，由于采用图像处理识别沟道槽边界，因此对于量测使用的电镜照片的精度要求不高。在本申请中，量测的电镜照片是在低倍率下拍摄的，以降低拍照难度、获得更大的拍照视野。

综上所述，本申请能够达到如下有益效果：在本申请中，通过量化栅线沟道槽刻蚀形貌，使用数学标量来定量表征沟道槽壁面的翘曲程度，可以有效识别沟道槽宽度对称型变化的壁面形貌，为优化沟道槽刻蚀形貌的翘曲工艺提供数据支持。此外，本申请提供的测量方法使用数学标量来表征沟道槽刻蚀形貌的翘曲程度，既可以提高效率，又可以排除人眼主观判断的差异性，提高精确度，从而使得在后续的栅线工艺中能够保证均匀的薄膜生长、钨的填充及蚀刻，最终得到良好的电学特性。

下面对本申请实施例提供的方法对应的设备进行介绍。

参见图7，为本申请一实施例提供的沟道槽翘曲度测量装置示意图。

一种沟道槽翘曲度测量装置700，包括：

图像处理单元701，用于获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标。其中，所述图像处理单元701的具体实现可以参照图1所示实施例的S101而实现。

中心点坐标确定单元702，用于根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标。其中，所述中心点坐标确定单元502的具体实现可以参照图1所示实施例的S102而实现。

法线确定单元703，用于选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线。其中，所述法线确定单元703的具体实现可以参照图1所示实施例的S103而实现。

第一翘曲度计算单元704，用于计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。其中，所述第一翘曲度计算单元704的具体实现可以参照图1所示实施例的S104而实现。

在一些实施方式中，所述图像处理单元具体包括：

灰度图像获取单元，用于获取所述沟道槽图像的灰度图像；

降噪单元，用于对所述灰度图像进行降噪处理；

边缘检测单元，用于对所述降噪处理后的灰度图像进行边缘检测处理，获得所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标。

在一些实施方式中，所述中心点坐标确定单元具体用于通过以下公式计算得到各中心点坐标：

其中，X_i为第i个中心点的横坐标，X_Ai为第一边界上第i个点的横坐标，X_Bi为第二边界上第i个点的横坐标，i为正整数。

在一些实施方式中，所述第一翘曲度计算单元具体用于：通过以下公式计算得到沟道槽的翘曲度值：

在一些实施方式中，所述装置还包括：

保存单元，用于当所述沟道槽图像为多个，每个沟道槽图像包括多个沟道槽时，保存沟道槽图像、测量位置、晶圆之间的对应关系；

所述第一翘曲度计算单元具体用于：

获取各测量位置对应的各沟道槽的中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值；和/或，获取各晶圆对应的各测量位置对应的沟道槽中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

在一些实施方式中，所述装置还包括：

第二翘曲度计算单元，用于根据计算得到的每个测量位置对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述测量位置对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值；

第三翘曲度计算单元，用于根据计算得到的每个晶圆对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述晶圆对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值。

在一些实施方式中，所述装置还包括：

质量等级确定单元，用于确定所述翘曲度值所属的阈值区间，根据所述翘曲度值所属的阈值区间确定所述沟道槽的质量等级。

参见图8，是本申请另一实施例提供的沟道槽翘曲度测量的装置的框图。包括：至少一个处理器801(例如CPU)，存储器802和至少一个通信总线803，用于实现这些装置之间的连接通信。处理器801用于执行存储器802中存储的可执行模块，例如计算机程序。存储器802可能包含高速随机存取存储器(RAM：Random Access Memory)，也可能还包括非不稳定的存储器(non-volatile memory)，例如至少一个磁盘存储器。一个或者一个以上程序存储于存储器中，且经配置以由一个或者一个以上处理器801执行所述一个或者一个以上程序包含用于进行以下操作的指令：获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

在一些实施方式中，处理器801执行获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标的操作的指令具体包括：获取所述沟道槽图像的灰度图像；对所述灰度图像进行降噪处理；对所述降噪处理后的灰度图像进行边缘检测处理，获得所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标。

在一些实施方式中，处理器801具体用于执行所述一个或者一个以上程序包含用于进行以下操作的指令：当所述沟道槽图像为多个，每个沟道槽图像包括多个沟道槽时，保存沟道槽图像、测量位置、晶圆之间的对应关系；获取各测量位置对应的各沟道槽的中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值；和/或，获取各晶圆对应的各测量位置对应的沟道槽中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

在一些实施方式中，处理器801具体用于执行所述一个或者一个以上程序包含用于进行以下操作的指令：根据计算得到的每个测量位置对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述测量位置对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值；和/或，根据计算得到的每个晶圆对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述晶圆对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值。

在一些实施方式中，处理器801具体用于执行所述一个或者一个以上程序包含用于进行以下操作的指令：确定所述翘曲度值所属的阈值区间，根据所述翘曲度值所属的阈值区间确定所述沟道槽的质量等级。

在示例性实施例中，还提供了一种包括指令的非临时性计算机可读存储介质，例如包括指令的存储器，上述指令可由装置的处理器执行以完成上述方法。例如，所述非临时性计算机可读存储介质可以是ROM、随机存取存储器(RAM)、CD-ROM、磁带、软盘和光数据存储设备等。

一种机器可读介质，例如该机器可读介质可以为非临时性计算机可读存储介质，当所述介质中的指令由装置(终端或者服务器)的处理器执行时，使得装置能够执行如图1所示的沟道槽翘曲度测量方法，所述方法包括：获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

其中，本申请装置各单元或模块的设置可以参照图1所示的方法而实现，在此不赘述。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本申请的其它实施方案。本申请旨在涵盖本申请的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本申请的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本申请的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本申请并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本申请的范围仅由所附的权利要求来限制

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。本申请可以在由计算机执行的计算机可执行指令的一般上下文中描述，例如程序模块。一般地，程序模块包括执行特定任务或实现特定抽象数据类型的例程、程序、对象、组件、数据结构等等。也可以在分布式计算环境中实践本申请，在这些分布式计算环境中，由通过通信网络而被连接的远程处理设备来执行任务。在分布式计算环境中，程序模块可以位于包括存储设备在内的本地和远程计算机存储介质中。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处。尤其，对于装置实施例而言，由于其基本相似于方法实施例，所以描述得比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。以上所描述的装置实施例仅仅是示意性的，其中所述作为分离部件说明的单元可以是或者也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。本领域普通技术人员在不付出创造性劳动的情况下，即可以理解并实施。以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。

Claims

1.一种沟道槽翘曲度测量方法，其特征在于，包括：

获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；

根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；

选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；

计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值具体通过以下公式：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标包括：

获取所述沟道槽图像的灰度图像；

对所述灰度图像进行降噪处理；

对所述降噪处理后的灰度图像进行边缘检测处理，获得所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标具体通过以下公式：

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

当所述沟道槽图像为多个，每个沟道槽图像包括多个沟道槽时，保存沟道槽图像、测量位置、晶圆之间的对应关系；

所述计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值包括：

获取各测量位置对应的各沟道槽的中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值；和/或，

获取各晶圆对应的各测量位置对应的沟道槽中心点坐标，分别计算各沟道槽的中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

根据计算得到的每个测量位置对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述测量位置对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值；和/或，

根据计算得到的每个晶圆对应的多个沟道槽的翘曲度值，确定所述晶圆对应的沟道槽翘曲度值的平均值、方差值、最大值、最小值。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

确定所述翘曲度值所属的阈值区间，根据所述翘曲度值所属的阈值区间确定所述沟道槽的质量等级。

8.一种沟道槽翘曲度测量装置，其特征在于，包括：

图像处理单元，用于获取沟道槽图像，对所述沟道槽图像进行处理得到所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标以及第二边界各点的坐标；

中心点坐标确定单元，用于根据所述沟道槽壁面第一边界各点的坐标和第二边界各点的坐标计算得到各中心点坐标；

法线确定单元，用于选取所述沟道槽顶部中心点作为基准中心点，确定所述基准中心点的法线；

翘曲度计算单元，用于计算各中心点坐标相对于所述法线在水平方向上的偏离程度值作为所述沟道槽的翘曲度值。

9.一种用于沟道槽翘曲度测量的装置，其特征在于，包括有存储器，以及一个或者一个以上的程序，其中一个或者一个以上程序存储于存储器中，且经配置以由一个或者一个以上处理器执行所述一个或者一个以上程序包含用于进行以下操作的指令：

10.一种机器可读介质，其上存储有指令，当由一个或多个处理器执行时，使得装置执行如权利要求1至7中任一项所述的沟道槽翘曲度测量方法。