CN107544208B - 负型感光性树脂组成物、间隙体、保护膜以及液晶显示元件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种负型感光性树脂组成物、间隙体、保护膜以及液晶显示元件，其负型感光性树脂组成物，包括：碱可溶性树脂(A)、含乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、以及溶剂(D)、硅氧化合物(E)。其中，碱可溶性树脂(A)包括第一碱可溶性树脂(A‑1)，第一碱可溶性树脂(A‑1)由包含式(A1‑1)所示单体的混合物聚合而得。本发明提供的能够提供良好的耐溅镀性的负型感光性树脂组成物，使用所述负型感光性树脂组成物能够解决负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性不佳的问题。

Description

负型感光性树脂组成物、间隙体、保护膜以及液晶显示元件

技术领域

本发明涉及一种负型感光性树脂组成物、间隙体、保护膜以及液晶显示元件，尤其涉及一种能够提供良好的耐溅镀性的负型感光性树脂组成物、由所述负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜以及包含所述间隙体或保护膜的液晶显示元件。

背景技术

一般而言，彩色滤光层表面的彩色印刷的像素与黑色矩阵会产生凹凸不平之处，一般于彩色滤光层的表面形成保护膜，藉此隐藏不平之处，进而达到平坦化的要求。

然而，在制造液晶显示元件或固态成像装置等光学元件中，会遇到严苛条件下的处理程序，例如在基板表面以溅镀(Sputtering)形成配线电极层时，会造成局部腐蚀或高温的产生。因此，需于这些元件的表面上铺设保护膜，以防止制造时元件受损。为使保护膜具有抵御上述处理的特性，该保护膜需要与基板间具有优异的附着力，以及高耐溅镀性。

另一方面，在已知技术中，彩色液晶显示元件中，为了维持两个基板间固定的层间距(晶胞间隙)，于整个基板上随机喷洒如聚苯乙烯珠或硅珠，其中该珠的直径为两基板间的间距。然而，此已知方式因喷珠的位置及密度分布并不均匀，造成背光源的光线受喷珠影响而散射，进一步使得显示元件的对比度降低。因此，以光光刻工艺(photolithography)方式所开发出的间隙体用负型感光性组成物，遂成为业界的主流。该间隙体的形成方式，乃将该间隙体用的负型感光性组成物先涂布至基板，再于基板与曝光源间放入一指定形状光罩，可于曝光后再经显影形成一间隙体。依据此方法，可于红(R)、绿(G)、蓝(B)像素外的指定位置上形成间隙体，以解决已知技术的问题；晶胞间隙也可利用感光性成分形成的涂膜厚度来控制，使晶胞间隙的距离变得容易控制，具有精度高的优点。

由于该保护膜或间隙体形成于彩色滤光片或是基板上，对透明度的要求极高。若保护膜或间隙体的透明度不佳，当应用于液晶显示元件时，将造成液晶显示元件的亮度不足，而影响液晶显示元件的显示品质。为提高保护膜或间隙体的透明度，日本特开2004-240241号专利揭示一感光组成物，其包含(A)共聚合物，该共聚物由乙烯性不饱合羧酸(酐)、具环氧基的乙烯性不饱合基的化合物及其他乙烯性不饱合基之化合物；(B)乙烯性不饱合基的聚合物所共聚合而得；及(C)光起始剂，其为2-丁二酮-[4-甲硫基苯]-2-(O-肟醋酸盐)、1,2-丁二酮-1-(4-吗啉基苯基)-2-(O-苯甲酰肟)、1,2-辛二酮-1-[4-苯硫基苯]-2-[O-(4-甲基苯甲酰)肟]或其类似物。

然而，在制作配线电极层时，上述感光性组成物所制得的间隙体或保护膜因处于低压及溅镀所施加的等离子体环境中而导致膜厚降低及释气(outgassing)等问题的发生，故耐溅镀性的提升实为目前亟欲解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种能够提供良好的耐溅镀性的负型感光性树脂组成物，使用所述负型感光性树脂组成物能够解决负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性不佳的问题。

本发明提供一种负型感光性树脂组成物，包括：碱可溶性树脂(A)、含乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、以及溶剂(D)。其中，碱可溶性树脂(A)包括第一碱可溶性树脂(A-1)，第一碱可溶性树脂(A-1)由包含式(A1-1)所示单体的混合物聚合而得：

式(A1-1)中，R₁表示氢原子或烷基；R₂表示烷基、环烷基、烷氧基、烷氧基羰基、羧基、卤素原子、羟基或氰基；R₃表示亚烷基、亚环烷基或其组合，当式(A1-1)中具有2个以上的R₃时，各个R₃彼此相同或不同。Y表示单键、-O-、-COO-、-CONH-、-NHCOO-或-NHCONH-，当式(A1-1)中具有2个以上的Y时，各个Y彼此相同或不同；X表示亚甲基、甲基亚甲基、二甲基亚甲基、亚乙基、-O-或-S-。m、n各自独立表示0至4的整数，当n为2以上时，n个R₂彼此相同或不同。

在本发明的一实施例中，上述的负型感光性树脂组成物还包括硅氧化合物(E)，硅氧化合物(E)含有由式(E-1)所示的结构：

式(E-1)中，c为3至7的整数；L₁、L₂各自独立表示含有环氧脂环基的一价基团或者烷基，多个L₁、L₂间为相同或不同，且在c个L₁及L₂中至少一个基团为含有环氧脂环基的一价基团。

在本发明的一实施例中，上述的负型感光性树脂组成物还包括光酸产生剂(F)。

在本发明的一实施例中，上述的第一碱可溶性树脂(A-1)具有乙烯性不饱和基。

在本发明的一实施例中，上述的第一碱可溶性树脂(A-1)中，基于单体的混合物总量为100重量份，式(A1-1)所示单体的使用量为3～30重量份。

在本发明的一实施例中，基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为30～300重量份，光起始剂(C)的使用量为10～80重量份，溶剂(D)的使用量为500～3000重量份。

在本发明的一实施例中，基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，第一碱可溶性树脂(A-1)的使用量为3～100重量份。

在本发明的一实施例中，基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，硅氧化合物(E)的使用量为3～25重量份。

在本发明的一实施例中，基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，光酸产生剂(F)的使用量为0.5～5重量份。

本发明也提供一种间隙体，其是藉由上述的负型感光性树脂组成物，依序施予预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理而制得具有图案的间隙体。

本发明更提供一种保护膜，其是藉由上述的负型感光性树脂组成物，依序施予预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理而制得具有图案的保护膜。

本发明又提供一种液晶显示元件，包括由上述的间隙体的制造方法所制得的间隙体。

本发明又提供一种液晶显示元件，包括由上述的保护膜的制造方法所制得的保护膜。

基于上述，本发明的负型感光性树脂组成物因含有特定的第一碱可溶性树脂(A-1)，故能够解决负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性不佳的问题。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例作详细说明如下。

具体实施方式

<负型感光性树脂组成物>

本发明提供一种负型感光性树脂组成物，包含：碱可溶性树脂(A)、含乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、以及溶剂(D)。此外，本发明的负型感光性树脂组成物还可包含硅氧化合物(E)、光酸产生剂(F)以及添加剂(G)。

以下将详细说明用于本发明的负型感光性树脂组成物的各个成分。

在此说明的是，以下是以(甲基)丙烯酸表示丙烯酸和/或甲基丙烯酸，并以(甲基)丙烯酸酯表示丙烯酸酯和/或甲基丙烯酸酯；同样地，以(甲基)丙烯酰基表示丙烯酰基和/或甲基丙烯酰基。

碱可溶性树脂(A)

碱可溶性树脂(A)包括第一碱可溶性树脂(A-1)以及其他碱可溶性树脂(A-2)。

第一碱可溶性树脂(A-1)

第一碱可溶性树脂(A-1)是由单体混合物聚合而得。单体混合物包括由式(A1-1)所示的单体(a1-I)、具有一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体(a1-II)以及其他可共聚合的乙烯性不饱和单体(a1-III)。因此，第一碱可溶性树脂(A-1)具有由式(A1-2)所示的重复单元：

式(A1-1)以及式(A1-2)中，R₁表示氢原子或烷基；R₂表示烷基、环烷基、烷氧基、烷氧基羰基、羧基、卤素原子、羟基或氰基；R₃表示亚烷基、亚环烷基或其组合，当式(A1-1)或式(A1-2)中具有2个以上的R₃时，各个R₃彼此相同或不同。Y表示单键、-O-、-COO-、-CONH-、-NHCOO-或-NHCONH-，当式(A1-1)或式(A1-2)中具有2个以上的Y时，各个Y彼此相同或不同；X表示亚甲基、甲基亚甲基、二甲基亚甲基、亚乙基、-O-或-S-。m、n各自独立表示0至4的整数，当n为2以上时，n个R₂彼此相同或不同。

本发明的第一碱可溶性树脂(A-1)的重量平均分子量只要根据目的、用途而适当设定即可，一般为2,000至50,000，较佳为3,000至40,000，更佳为4,000至30,000。

式(A1-1)所示的单体(a1-I)

式(A1-1)所示的单体(a1-I)如下所示：

式(A1-1)中，R₁表示氢原子或烷基；R₂表示烷基、环烷基、烷氧基、烷氧基羰基、羧基、卤素原子、羟基或氰基；R₃表示亚烷基、亚环烷基或其组合，当式(A1-1)中具有2个以上的R₃时，各个R₃彼此相同或不同。Y表示单键、-O-、-COO-、-CONH-、-NHCOO-或-NHCONH-，当式(A1-1)或式(A1-2)中具有2个以上的Y时，各个Y彼此相同或不同；X表示亚甲基、甲基亚甲基、二甲基亚甲基、亚乙基、-O-或-S-。m、n各自独立表示0至4的整数，当n为2以上时，n个R₂彼此相同或不同。

以下表示上述由式(A1-1)所示的单体的具体例，但本发明并不限定于此。

下述具体例中，R表示氢原子、可具有取代基的烷基，较佳为表示氢原子、甲基、羟甲基、乙酰氧基甲基。

(R₄表示氢原子、甲基、羟甲基、或者全氟甲基。)

具有一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体(a1-II)

具有一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体(a1-II)可包含但不限于不饱和单羧酸单体、不饱和多羧酸单体、具有不饱和基及一个羧酸基的多环单体，或具有不饱和基及多个羧酸基之多环单体。

不饱和单羧酸单体可包含但不限于(甲基)丙烯酸、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-(甲基)丙烯酰乙氧基丁二酸酯(2-methacryloyloxyethyl succinatemonoester)、2-(甲基)丙烯酰乙氧基六氢化苯二甲酸酯、2-(甲基)丙烯酰乙氧基苯二甲酸酯或omega-羧基聚己内酯多元醇单丙烯酸酯等。该omega-羧基聚己内酯多元醇单丙烯酸酯可为东亚合成制造，型号为ARONIX M-5300的商品。

不饱和多羧酸单体可包含但不限于马来酸、富马酸、甲基富马酸、衣康酸或柠康酸等。

具有不饱和基及一个羧酸基的多环单体可包含但不限于5-羧基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-5-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯、5-羧基-6-甲基双环[2.2.1]庚-2-烯或5-羧基-6-乙基双环[2.2.1]庚-2-烯等。

具有不饱和基及多个羧基的多环单体可例如5,6-二羧基二环[2.2.1]庚-2-烯等。

上述的不饱和羧酸单体可单独一种或混合多种使用。

较佳地，不饱和羧酸单体是选自于丙烯酸、甲基丙烯酸、2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯、2-甲基丙烯酰基乙氧基六氢化苯二甲酸酯，或上述单体的任意组合。

不饱和羧酸酐单体可包含但不限于不饱和羧酸酐单体或具有不饱和基与羧酸酐的多环单体。

不饱和羧酸酐单体可包含但不限于马来酸酐、富马酸酐、甲基富马酸酐、衣康酸酐或柠康酸酐等。具有不饱和基及羧酸酐的多环单体可包含但不限于5,6-二羧酸酐二环[2.2.1]庚-2-烯等。

不饱和羧酸酐单体可单独一种或混合多种使用。

较佳地，不饱和羧酸酐单体为马来酸酐、富马酸酐、甲基富马酸酐。

其他可共聚合的乙烯性不饱和单体(a1-III)

其他可共聚合的乙烯性不饱和单体(a1-III)可包含但不限于(甲基)丙烯酸烷基酯、(甲基)丙烯酸脂环族酯、(甲基)丙烯酸芳基酯、不饱和二羧酸酯、(甲基)丙烯酸羟烷酯、具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚、苯乙烯系单体或上述单体以外的不饱和单体。

(甲基)丙烯酸烷基酯可包含但不限于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸正丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸第二丁基酯或(甲基)丙烯酸第三丁基酯等。

(甲基)丙烯酸脂环族酯可包含但不限于(甲基)丙烯酸环己酯、(甲基)丙烯酸-2-甲基环己酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯{或称三环[5.2.1.0^2,6]癸-8-基(甲基)丙烯酸酯}、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯或(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯等。

(甲基)丙烯酸芳基酯可包含但不限于(甲基)丙烯酸苯基酯或甲基丙烯酸苯甲酯等。

不饱和二羧酸酯可包含但不限于马来酸二乙酯、富马酸二乙酯或衣康酸二乙酯等。

(甲基)丙烯酸羟烷酯可包含但不限于(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯或(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯等。

具有(甲基)丙烯酸酯基的聚醚可包含但不限于聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯或聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯等。

苯乙烯系单体可包含但不限于苯乙烯、α-甲基苯乙烯、间-甲基苯乙烯，对-甲基苯乙烯或对-甲氧基苯乙烯等。

上述单体以外的不饱和单体可包含但不限于丙烯腈、甲基丙烯腈、氯乙烯、偏二氯乙烯、丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、乙烯乙酯、1,3-丁二烯、异戊二烯、2,3-二甲基1,3-丁二烯、N-环己基马来酰亚胺、N-苯基马来酰亚胺、N-芐基马来酰亚胺、N-丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺苯甲酸酯、N-丁二酰亚胺基-4-马来酰亚胺丁酸酯、N-丁二酰亚胺基-6-马来酰亚胺己酸酯、N-丁二酰亚胺基-3-马来酰亚胺丙酸酯或N-(9-吖啶基)马来酰亚胺等。

其他可共聚合的乙烯性不饱和单体(a1-III)可单独一种或混合多种使用。

较佳地，该其他可共聚合的乙烯性不饱和单体(a1-III)是选自于(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酸2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸第三丁基酯、(甲基)丙烯酸苯甲酯、(甲基)丙烯酸双环戊酯、甲基丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸二环戊氧基乙酯、苯乙烯、对-甲氧基苯乙烯或上述单体的任意组合。

第一碱可溶性树脂(A-1)中，基于单体的混合物总量为100重量份，式(A1-1)所示单体的使用量为3～30重量份，较佳为4～28重量份，更佳为5～25重量份，该单体的混合物包括式(A1-1)所示的单体(a1-I)、具有一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体(a1-II)及其他可共聚合的乙烯性不饱和单体(a1-III)，当第一碱可溶性树脂(A-1)中不含有式(A1-1)所示单体时，该负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性不佳。

上述聚合方法可根据目的或用途而适当选择，例如：本体聚合、溶液聚合、乳化聚合等已知聚合的方法，较佳为溶液聚合，其分子量等的结构调整容易，故有利于工业上使用；再者，该聚合机制包括使用自由基聚合起始剂、阴离子聚合起始剂、阳离子聚合起始剂起始剂、配位聚合起始剂等已知聚合的方法。

作为上述单体成分的聚合起始方法，可采用已知方法进行，例如，自热、电磁波(红外线、紫外线、X射线等)或电子束等能量元将聚合所需知能量提供给单体成份即可，较佳为并用聚合起始剂，藉此可减少聚合起始所需能量且较易控制该反应。

作为控制上述分子量的方法可藉由控制聚合起始剂、聚和温度、链转移剂等已知的方法来进行调整。

当单体采取溶液聚合方法时，该聚合中所使用的溶剂只要根据所使用的单体的种类或量、聚合温度、聚合浓度等聚合条件适当设定即可，并无特别限制。

该溶剂的具体例可包含但不限于单醇类，例如：甲醇、乙醇、异丙醇、正丁醇、2-丁醇等；醇类，例如：乙二醇、丙二醇等；环醚类，例如：四氢呋喃、二恶烷等；乙二醇单醚类，例如：乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、乙二醇单丁醚、二乙二醇单甲醚、二乙二醇单乙醚、二乙二醇单丁醚、丙二醇单甲醚、丙二醇单乙醚、丙二醇单丁醚、3-甲氧基丁醇等；乙二醇二醚类，例如：乙二醇二甲醚、乙二醇二乙醚、乙二醇乙基甲基醚、二乙二醇二甲醚、二乙二醇二乙醚、二乙二醇乙基甲基醚、丙二醇二甲醚、丙二醇二乙醚等；乙二醇单醚基酯类，例如：乙二醇单甲基醚乙酸酯、乙二醇单乙醚醋酸酯、乙二醇单丁醚乙酸酯、二乙二醇单甲醚乙酸酯、二乙二醇单乙醚醋酸酯、二乙二醇单丁醚乙酸酯、丙二醇单甲醚乙酸酯、丙二醇单乙醚醋酸酯、丙二醇单丁醚乙酸酯、二丙二醇单甲基醚乙酸酯、二丙二醇单乙醚乙酸酯、二丙二醇单甲基醚乙酸酯、3-甲氧基丁酸酯等；烷基酯类，例如：乙酸甲酯、乙酸乙酯、乙酸丙酯、异丙酯、乙酸丁酯、丙酸甲酯、丙酸乙酯、丙酸丁酯、乳酸甲酯、乳酸乙酯、乳酸丁酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯等；酮类，例如：丙酮、甲基乙基酮、甲基异丁基酮、环己酮等；芳香烃类，例如：苯、甲苯、二甲苯、乙苯等；脂肪烃类，例如：正己烷、环己烷、辛烷等；酰胺类，例如：二甲基甲酰胺、二甲基乙酰胺、N-甲基吡咯烷酮等。上述的溶剂可单独一种或混合多种使用。

自由基聚合起始剂只要能供给热能而产生自由基即可，并无特别限制，其中，藉由热而产生自由基的聚合起始剂较有利于工业上使用。

自由基聚合起始剂的具体例可包含但不限于异丙苯过氧化氢、二异丙基苯氢过氧化物、2-第三丁基过氧化物、过氧化月桂酰、过氧化苯甲酰、第三丁基过氧化异丙基碳酸酯、第三丁基过氧化-2-己酸乙酯、偶氮二异丁腈、1,1'-偶氮二(环己烷腈)、2,2'-偶氮双(2,4-二甲基)、2,2'-偶氮二(2-甲基丙酸酯)、过氧化氢、过硫酸盐等。上述之自由基聚合起始剂可单独一种或混合多种使用。同时，该自由基聚合起始剂可与过度金属盐类或胺类一起并用。

自由基聚合起始剂的使用量只要根据所使用的单体的种类或量、聚合温度、聚合浓度等聚合条件适当设定即可，并无特别限制。

在聚合过程中必要时，可并用链转移剂，其中当使用链转移剂时，会有抑制反应中聚合物的分子量分布以避免其凝胶化的倾向。链转移剂的具体例可包含但不限于巯基乙酸、3-巯基丙酸等巯基羧酸类；巯基乙酸甲酯、3-巯基丙酸甲酯、3-巯基丙酸-2-乙基己酯、3-巯基丙酸-n-辛酯、3-巯基丙酸甲氧基丁酯、3-巯基丙酸硬脂酯、三羟甲基丙烷三(3-巯基丙酸酯)、季戊四醇四(3-巯基丙酸酯)、二季戊四醇六(3-巯基丙酸酯)等巯基羧酸酯类；乙硫醇、第三丁基硫醇、n-十二烷基硫醇、1,2-二巯基乙烷等烷基硫醇类；2-巯基乙醇、4-巯基-1-丁醇等巯基醇类；苯硫醇、间-甲苯硫醇、对-甲苯硫醇、2-萘硫醇等芳香族硫醇类；三[(3-巯基丙酰氧基)-乙基]异氰脲酸酯等巯基异氰脲酸酯类。

作为上述链转移剂，也可使用具有硫基的化合物以外的链转移剂，例如：2-羟基乙基二硫化物、四乙基秋兰姆二硫化物(tetraethyl thiuram disulfide)等二硫化物；二乙基二芐等二硫代胺基甲酸酯类；α-甲基苯乙烯二聚物等单体二聚物类；四溴化碳等卤代烷类。上述链转移剂就获取性、防交联能力、降低聚合速度的程度较小等而言，较佳为巯基羧酸类、巯基羧酸酯类、烷基硫醇类、巯基醇类、芳香族硫醇类、巯基异氰脲酸酯类等具有巯基的化合物。链转移剂可单独一种或混合多种使用。

链转移剂的使用量只要根据所使用的单体的种类或量、聚合温度、聚合浓度等聚合条件适当设定即可，并无特别限制。

聚合反应的进行温度根据所使用的单体的种类或量、聚合起始剂等聚合条件适当设定即可，较佳为50至200℃，更佳为70至150℃。

具有环氧基的乙烯性不饱和单体(a1-IV)

于本发明的另一具体例中，第一碱可溶性树脂(A-1)可由式(A1-1)所示的单体(a1-I)、具有一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体(a1-II)及其他可共聚合的乙烯性不饱和单体(a1-III)共聚合所得的共聚物，再与具有环氧基之乙烯性不饱和单体(a1-IV)进行开环反应而得。

具有环氧基的乙烯性不饱和单体(a1-IV)可包含但不限于具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯单体、具有环氧基的α-烷基丙烯酸酯化合物或环氧丙醚单体等。

具有环氧基的(甲基)丙烯酸酯单体可包含但不限于(甲基)丙烯酸环氧丙酯、(甲基)丙烯酸2-甲基环氧丙酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧丁酯、(甲基)丙烯酸6,7-环氧庚酯、(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己酯或(甲基)丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯等。

具有环氧基的α-烷基丙烯酸酯单体可包含但不限于α-乙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丙基丙烯酸环氧丙酯、α-正丁基丙烯酸环氧丙酯或α-乙基丙烯酸-6,7-环氧庚酯等。

环氧丙醚单体可包含但不限于邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚(o-vinylbenzylglycidylether)、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚(m-vinylbenzylglycidylether)或对-乙烯基苯甲基环氧丙醚(p-vinylbenzyl glycidylether)等。

具有环氧基的乙烯性不饱和单体(a1-IV)可单独一种或混合多种使用。

较佳地，具有环氧基的乙烯性不饱和单体(a1-IV)是选自于甲基丙烯酸环氧丙酯、甲基丙烯酸3,4-环氧环己基甲酯、甲基丙烯酸6,7-环氧庚酯、邻-乙烯基苯甲基环氧丙醚、间-乙烯基苯甲基环氧丙醚、对-乙烯基苯甲基环氧丙醚或上述单体的任意组合。

当第一碱可溶性树脂(A-1)由式(A1-1)所示的单体(a1-I)、具有一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体(a1-II)以及其他可共聚合的乙烯性不饱和单体(a1-III)共聚合所得的共聚物，再与具有环氧基的乙烯性不饱和单体(a1-IV)进行开环反应时，则第一碱可溶性树脂(A-1)将具有乙烯性不饱和基，其可提升负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性。举例来说，若如下式所示，将甲基丙烯酸环氧丙酯与第一碱可溶性树脂中的甲基丙烯酸重复单元进行开环反应，则第一碱可溶性树脂(A-1)即具有乙烯性不饱和基。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，第一碱可溶性树脂(A-1)的使用量为3至100重量份，较佳为10至100重量份，且更佳为20至100重量份。

当负型感光性树脂组成物中不含有第一碱可溶性树脂(A-1)时，该负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性不佳。

其他碱可溶性树脂(A-2)

本发明的碱可溶性树脂(A)可进一步包含其他碱可溶性树脂(A-2)，其他碱可溶性树脂(A-2)由含一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体，和其它可共聚合的乙烯性不饱和单体共聚合而得。基于共聚合用单体的总使用量100重量份，较佳地，该其他碱可溶性树脂(A-2)由5重量份至50重量份的含一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体和50重量份至95重量份的其它可共聚合的乙烯性不饱和单体共聚合而得。

含一个或一个以上羧酸基的乙烯性不饱和单体可单独或混合使用，且含羧酸基的乙烯性不饱和单体包含但不限于丙烯酸、甲基丙烯酸(methacrylic acid，简称MAA)、丁烯酸、α-氯丙烯酸、乙基丙烯酸、肉桂酸、2-丙烯酰乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯(2-methacryloyloxyethyl succinate monoester，简称HOMS)等的不饱和一元羧酸类；马来酸、马来酸酐、富马酸、衣康酸、衣康酸酐、柠康酸及柠康酸酐等的不饱和二元羧酸(酐)类；三个羧酸基以上的不饱和多元羧酸(酐)类。较佳地，含羧酸基的乙烯性不饱和单体是选自丙烯酸、甲基丙烯酸、2-丙烯酰乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯。更佳地，含羧酸基的乙烯性不饱和单体是选自2-丙烯酰乙氧基丁二酸酯、或2-甲基丙烯酰乙氧基丁二酸酯，可以提高颜料分散性及增进显影速度以及减少残渣发生。

其它可共聚合的乙烯性不饱和单体可单独或混合使用，且其它可共聚合的乙烯性不饱和单体包含但不限于苯乙烯(styrene，简称SM)、α-甲基苯乙烯、乙烯基甲苯、对氯苯乙烯、甲氧基苯乙烯等的芳香族乙烯基化合物；氮-苯基马来酰亚胺(N-phenylmaleimide，简称PMI)、氮-邻-羟基苯基马来酰亚胺、氮-间-羟基苯基马来酰亚胺、氮-对-羟基苯基马来酰亚胺、氮-邻-甲基苯基马来酰亚胺、氮-间-甲基苯基马来酰亚胺、氮-对-甲基苯基马来酰亚胺、氮-邻-甲氧基苯基马来酰亚胺、氮-间-甲氧基苯基马来酰亚胺、氮-对-甲氧基苯基马来酰亚胺、氮-环己基马来酰亚胺等的马来酰亚胺类；丙烯酸甲酯(methyl acrylate，简称MA)、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸乙酯、丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸正丙酯、丙烯酸异丙酯、甲基丙烯酸异丙酯、丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸正丁酯、丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、丙烯酸第二丁酯、甲基丙烯酸第二丁酯、丙烯酸第三丁酯、甲基丙烯酸第三丁酯、丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸2-羟基丙酯、甲基丙烯酸2-羟基丙酯、丙烯酸3-羟基丙酯、甲基丙烯酸3-羟基丙酯、丙烯酸2-羟基丁酯、甲基丙烯酸2-羟基丁酯、丙烯酸3-羟基丁酯、甲基丙烯酸3-羟基丁酯、丙烯酸4-羟基丁酯、甲基丙烯酸4-羟基丁酯、丙烯酸烯丙酯、甲基丙烯酸烯丙酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯(benzylmethacrylate，简称BzMA)、丙烯酸苯酯、甲基丙烯酸苯酯、丙烯酸三乙二醇甲氧酯、甲基丙烯酸三乙二醇甲氧酯、甲基丙烯酸十二烷基酯、甲基丙烯酸十四烷基酯、甲基丙烯酸十六烷基酯、甲基丙烯酸十八烷基酯、甲基丙烯酸二十烷基酯、甲基丙烯酸二十二烷基酯、丙烯酸双环戊烯基氧化乙酯(dicyclopentenyloxyethyl acrylate，简称DCPOA)等的不饱和羧酸酯类；丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基乙酯、甲基丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基乙酯、丙烯酸-氮,氮-二乙基胺基丙酯、甲基丙烯酸-氮,氮-二甲基胺基丙酯、丙烯酸氮,氮-二丁基胺基丙酯、氮-甲基丙烯酸异-丁基胺基乙酯；丙烯酸环氧丙基酯、甲基丙烯酸环氧丙基酯等的不饱和羧酸环氧丙基酯类；乙酸乙烯酯、丙酸乙烯酯、丁酸乙烯酯等之羧酸乙烯酯类；乙烯基甲醚、乙烯基乙醚、烯丙基环氧丙基醚、甲代烯丙基环氧丙基醚等的不饱和醚类；丙烯腈、甲基丙烯腈、α-氯丙烯腈、氰化亚乙烯等的腈化乙烯基化合物；丙烯酰胺、甲基丙烯酰胺、α-氯丙烯酰胺、氮-羟乙基丙烯酰胺、氮-羟乙基甲基丙烯酰胺等的不饱和酰胺；1,3-丁二烯、异戊二烯、氯化丁二烯等的脂肪族共轭二烯类。

较佳地，其他可共聚合的乙烯性不饱和单体是选自苯乙烯、氮-苯基马来酰亚胺、丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸2-羟基乙酯、甲基丙烯酸2-羟基乙酯、丙烯酸苯甲酯、甲基丙烯酸苯甲酯、丙烯酸双环戊烯基氧化乙酯、或此等组合。

于制备其他碱可溶性树脂(A-2)时，可使用溶剂，溶剂可单独或混合使用，且溶剂包含但不限于乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇正丙醚、二乙二醇正丁醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚、丙二醇甲醚、丙二醇乙醚、一缩二丙二醇甲醚、一缩二丙二醇乙醚、一缩二丙二醇正丙醚、一缩二丙二醇正丁醚、二缩三丙二醇甲醚、二缩三丙二醇乙醚等的(聚)亚烷基二醇单烷醚类；乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯(propylene glycol methyl ether acetate，简称PGMEA)、丙二醇乙醚醋酸酯等的(聚)亚烷基二醇单烷醚醋酸酯类；二乙二醇二甲醚、二乙二醇甲乙醚、二乙二醇二乙醚、四氢呋喃等的其他醚类；甲乙烷酮、环己酮、2-庚酮、3-庚酮等的酮类；2-羟基丙酸甲酯、2-羟基丙酸乙酯等的乳酸烷酯类；2-羟基-2-甲基丙酸甲酯、2-羟基-2-甲基丙酸乙酯、3-甲氧基丙酸甲酯、3-甲氧基丙酸乙酯、3-乙氧基丙酸甲酯、3-乙氧基丙酸乙酯(ethyl 3-ethoxypropionate，简称EEP)、乙氧基乙酸乙酯、羟基乙酸乙酯、2-羟基-3-甲基丁酸甲酯、3-甲基-3-甲氧基丁基乙酸酯、3-甲基-3-甲氧基丁基丙酸酯、乙酸乙酯、乙酸正丙酯、乙酸异丙酯、乙酸正丁酯、乙酸异丁酯、乙酸正戊酯、乙酸异戊酯、丙酸正丁酯、丁酸乙酯、丁酸正丙酯、丁酸异丙酯、丁酸正丁酯、丙酮酸甲酯、丙酮酸乙酯、丙酮酸正丙酯、乙酰乙酸甲酯、乙酰乙酸乙酯、2-甲氧基丁酸乙酯等的其他酯类；甲苯、二甲苯等否芳香族碳氢化合物类；氮-甲基吡咯烷酮(NMP)、氮,氮-二甲基甲酰胺(DMF)、或氮,氮-二甲基乙酰胺(DMAC)等酰胺类等。较佳地，溶剂是选自丙二醇甲醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯、或此等组合。(聚)亚烷基二醇单烷醚类是指亚烷基二醇单烷醚类或聚亚烷基二醇单烷醚类。(聚)亚烷基二醇单烷醚醋酸酯类是指亚烷基二醇单烷醚醋酸酯类或聚亚烷基二醇单烷醚醋酸酯类。

其他碱可溶性树脂(A-2)制备时所使用的起始剂一般为自由基型聚合起始剂，具体例如：2,2'-偶氮双异丁腈、2,2'-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮双(4-甲氧基-2,4-二甲基戊腈)、2,2'-偶氮双-2-甲基丁腈(2,2'-azobis-2-methyl butyronitrile，简称AMBN)等的偶氮(azo)化合物；过氧化二苯甲酰等的过氧化合物。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，其他碱可溶性树脂(A-2)的使用量为0至97重量份，较佳为0至90重量份，且更佳为0至80重量份。

本发明的其他碱可溶性树脂(A-2)的重量平均分子量只要根据目的、用途而适当设定即可，一般为2,000至50,000，较佳为3,000至40,000，更佳为4,000至30,000。

含乙烯性不饱和基的化合物(B)

含乙烯性不饱和基的化合物(B)可选自于具有1个乙烯性不饱和基的化合物(B-1)或具有2个以上乙烯性不饱和基的化合物(B-2)。

具有1个乙烯性不饱和基的化合物(B-1)

具有1个乙烯性不饱和基的化合物(B-1)可包含但不限于(甲基)丙烯酰胺((meth)acrylamide)、(甲基)丙烯酰吗啉、(甲基)丙烯酸-7-胺基-3,7-二甲基辛酯、异丁氧基甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸异冰片基氧乙酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸-2-乙基己酯、乙基二乙二醇(甲基)丙烯酸酯、第三辛基(甲基)丙烯酰胺、二丙酮(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸二甲基胺基乙酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、氮,氮-二甲基(甲基)丙烯酰胺、(甲基)丙烯酸四氯苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯[tetrahydrofurfuryl(meth)acrylate]、(甲基)丙烯酸四溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-四溴苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-三氯苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸三溴苯酯、(甲基)丙烯酸-2-三溴苯氧基乙酯、2-羟基-(甲基)丙烯酸乙酯、2-羟基-(甲基)丙烯酸丙酯、乙烯基己内酰胺、氮-乙烯基吡咯烷酮、(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、(甲基)丙烯酸五氯苯酯、(甲基)丙烯酸五溴苯酯、聚单(甲基)丙烯酸乙二酯、聚单(甲基)丙烯酸丙二酯、(甲基)丙烯酸冰片酯等。具有1个乙烯性不饱和基的化合物(B-1)一般可单独一种或混合多种使用。

具有2个以上乙烯性不饱和基的化合物(B-2)

具有2个以上乙烯性不饱和基的化合物(B-2)包含但不限于乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二(甲基)丙烯酸二环戊烯酯、三乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰酸二(甲基)丙烯酸酯、三(2-羟基乙基)异氰酸三(甲基)丙烯酸酯、己内酯改质的三(2-羟基乙基)异氰酸三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、环氧乙烷(简称EO)改质之三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、环氧丙烷改质(简称PO)的三(甲基)丙烯酸三羟甲基丙酯、三丙二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、聚酯二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、己内酯改质的二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己内酯改质的二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、四(甲基)丙烯酸二(三羟甲基丙酯)[di(trimethylolpropane)tetra(meth)acrylate]、经环氧乙烷改质的双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧乙烷改质的氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的氢化双酚A二(甲基)丙烯酸酯、经环氧丙烷改质的甘油三(甲基)丙烯酸酯、经环氧乙烷改质的双酚F二(甲基)丙烯酸酯、酚醛清漆聚缩水甘油醚(甲基)丙烯酸酯等。具有2个以上乙烯性不饱和基的化合物(B-2)一般可单独一种或混合多种使用。

含乙烯性不饱和基的化合物(B)的具体例如：三丙烯酸三羟甲基丙酯、经环氧乙烷改质的三丙烯酸三羟甲基丙酯、经环氧丙烷改质的三丙烯酸三羟甲基丙酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯、己内酯改质的二季戊四醇六丙烯酸酯、四丙烯酸二(三羟甲基丙酯)、经环氧丙烷改质的甘油三丙烯酸酯或上述的任意组合。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为30至300重量份，较佳为50至280重量份，且更佳为70至250重量份。

光起始剂(C)

光起始剂(C)并无特别限制，在本发明之一实施例中，其可包含但不限于O-酰基肟系化合物、三氮杂苯系化合物、苯乙烷酮类化合物、二咪唑类化合物、二苯甲酮类化合物、α-二酮类化合物、酮醇类化合物、酮醇醚类化合物、酰膦氧化物类化合物、醌类化合物、含卤素类化合物、过氧化物等，以下分述之。

O-酰基肟系化合物的具体例为：1-[4-(苯基硫代)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[4-(苯酰基)苯基]-庚烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-(3-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)、1-[9-乙基-6-苯酰基-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢吡喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢呋喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-5-四氢吡喃基甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)等。

O-酰基肟系化合物以1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)(例如CibaSpecialty Chemicals制之OXE 01)、1-[9-乙基-6-(2-甲基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-乙烷酮1-(O-乙酰基肟)(例如Ciba Specialty Chemicals制之OXE 02)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-(2-甲基-4-四氢呋喃甲氧基苯酰基)-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)、乙烷酮-1-[9-乙基-6-{2-甲基-4-(2,2-二甲基-1,3-二氧杂戊环基)甲氧基苯酰基}-9H-咔唑-3-取代基]-1-(O-乙酰基肟)等为较佳。O-酰基肟系化合物可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

三氮杂苯系化合物可包括但不限于乙烯基-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物、2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物及4-(对-胺基苯基)-2,6-二-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物等。

乙烯基-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物的具体例为：2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-3-(1-对-二甲基胺基苯基-1,3-丁二烯基)-s-三氮杂苯、2-三氯甲基-3-胺基-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯等。

2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物之具体例为：2-(萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-乙氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4-丁氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-甲氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-乙氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-[4-(2-丁氧基乙基)-萘并-1-取代基]-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(2-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-甲氧基-5-甲基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-甲氧基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(5-甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4,7-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(6-乙氧基-萘并-2-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯、2-(4,5-二甲氧基-萘并-1-取代基)-4,6-双-三氯甲基-s-三氮杂苯等。

4-(对-胺基苯基)-2,6-二-卤代甲基-s-三氮杂苯化合物的具体例为：4-[对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-甲基-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-甲基-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N,N-二(苯基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(对-N-氯乙基羰基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[对-N-(对-甲氧基苯基)羰基胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氯-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氟-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氯-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氟-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-溴-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氯-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[邻-氟-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-溴-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氯-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-[间-氟-对-N,N-二(氯乙基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-溴-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氯-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氟-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-溴-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氯-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氟-对-N-乙氧基羰基甲基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-溴-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氯-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(间-氟-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-溴-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氯-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、4-(邻-氟-对-N-氯乙基胺基苯基)-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-6-[3-溴-4-[N,N-双(乙氧基羰基甲基)胺基]苯基]-1,3,5-三氮杂苯等。

三氮杂苯系化合物以4-[间-溴-对-N,N-二(乙氧基羰基甲基)胺基苯基]-2,6-二(三氯甲基)-s-三氮杂苯、2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三氮杂苯等为较佳。三氮杂苯系化合物可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

苯乙烷酮类化合物的具体例为：对二甲胺苯乙烷酮、α,α’-二甲氧基氧化偶氮苯乙烷酮、2,2’-二甲基-2-苯基苯乙烷酮、对-甲氧基苯乙烷酮、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等。苯乙烷酮类化合物以2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-吗福啉代-1-丙酮、2-苄基-2-N,N-二甲胺-1-(4-吗啉代苯基)-1-丁酮等为较佳。苯乙烷酮类化合物可单独一种或混合多种使用，端视实际需要而定。

二咪唑类化合物的具体例为：2,2’-双(邻-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-氟苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-甲基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(邻-乙基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(对-甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2,2’,4,4’-四甲氧基苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑等。二咪唑类化合物以2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑为较佳。二咪唑类化合物可单独一种或混合多种使用，视实际需要而定。

二苯甲酮类化合物的具体例为：噻吨酮、2,4-二乙基噻吨酮、噻吨酮-4-砜、二苯甲酮、4,4’-双(二甲胺)二苯甲酮、4,4’-双(二乙胺)二苯甲酮等。二苯甲酮类化合物以4,4’-双(二乙胺)二苯甲酮为较佳。二苯甲酮类化合物可单独一种或混合多种使用，端视实际需要而定。

α-二酮类化合物的具体例为：苯偶酰、乙酰基等。酮醇类化合物的具体例为：二苯乙醇酮。酮醇醚类化合物的具体例为：二苯乙醇酮甲醚、二苯乙醇酮乙醚、二苯乙醇酮异丙醚等。酰膦氧化物类化合物的具体例为：2,4,6-三甲基苯酰二苯基膦氧化物、双-(2,6-二甲氧基苯酰)-2,4,4-三甲基苯基膦氧化物等。醌类化合物的具体例为：蒽醌、1,4-萘醌等。含卤素类化合物的具体例为：苯酰甲基氯、三溴甲基苯砜、三(三氯甲基)-s-三氮杂苯等。过氧化物的具体例为：二-第三丁基过氧化物等。α-二酮类化合物、酮醇类化合物、酮醇醚类化合物、酰膦氧化物类化合物、醌类化合物、含卤素类化合物、过氧化物等可单独一种或混合多种使用，端视实际需要而定。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，光起始剂(C)的使用量为10至80重量份，较佳为12至75重量份，且更佳为15至70重量份。

溶剂(D)

溶剂(D)必须可以完全溶解其他有机成分，而且其挥发性必须高到在常压下只需少许热量便可使其从分散液中蒸发。因此常压下其沸点低于150℃的溶剂最常使用，这些溶剂包括芳香族系，如苯、甲苯、及二甲苯；醇系，如甲醇及乙醇；醚系，如乙二醇单丙醚、二乙二醇二甲醚、四氢呋喃、乙二醇单甲醚、乙二醇单乙醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚；酯系，如乙二醇甲醚醋酸酯、乙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇乙醚醋酸酯、丙二醇丙醚醋酸酯、3-乙氧基丙酸乙酯；酮系，如甲乙酮以及丙酮。其中以二乙二醇二甲醚、丙二醇甲醚醋酸酯及3-乙氧基丙酸乙酯单独或两者并用较佳，其对负型感光性树脂组成物的储存安定性最佳。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，溶剂(D)的使用量为500至3000重量份，较佳为700至2800重量份，且更佳为900至2600重量份。

硅氧化合物(E)

硅氧化合物(E)含有由式(E-1)所示的结构：

式(E-1)中，c为3至7的整数；L₁、L₂各自独立表示含有环氧脂环基的一价基团或者烷基，多个L₁、L₂间为相同或不同，且在c个L₁及L₂中至少一个基团为含有环氧脂环基的一价基团。

作为硅氧化合物(E)的具体例，可列举下列化合物，但并不限于下列具体例：2,4-双[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,6,8,8-六甲基环四聚硅氧烷、4,8-双[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-2,2,4,6,6,8-六甲基环四聚硅氧烷、2,4-双[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-6,8-二丙基-2,4,6,8-四甲基环四聚硅氧烷、4,8-双[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-2,6-二丙基-2,4,6,8-四甲基环四聚硅氧烷、2,4,8-三[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,6,8-五甲基环四聚硅氧烷、2,4,8-三[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-6-丙基-2,4,6,8-四甲基环四聚硅氧烷、2,4,6,8-四[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,8-四甲基环四聚硅氧烷、2,4,6,8,10-五[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,8,10-五甲基环五聚硅氧烷、2,4,6,8,10,12,14-七[2-(3-{氧基双环[4.1.0]庚基})乙基]-2,4,6,8,10,12,14-七甲基环七聚硅氧烷或具有脂环式环氧基的半硅氧烷(silsesquioxane)等硅氧化合物。

更具体而言，硅氧化合物(E)的具体例也可为下列式(E-1-1)至式(E-1-9)所示的硅氧化合物：

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，硅氧化合物(E)的使用量为3至25重量份，较佳为3至22重量份，且更佳为3至20重量份。

当负型感光性树脂组成物中含有硅氧化合物(E)时，可进一步提升该负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性。

光酸产生剂(F)

光酸产生剂(F)是一种照射光之后可产生酸的化合物。具体而言，光酸产生剂(F)例如是鎓盐化合物、含卤化合物、砜化合物、磺酸化合物、磺酰亚胺化合物或上述化合物的组合。

鎓盐化合物例如是碘盐(iodonium salt)、锍盐(sulfonium salt)、鏻盐(phosphonium salt)、重氮盐(diazonium salt)、吡啶盐(pyridinium salt)或其类似物。鎓盐化合物的具体例包括二苯基碘三氟甲烷磺酸盐(diphenyliodoniumtrifluoromethanesulfonate)、二苯基碘对甲苯磺酸盐(diphenyliodonium p-toluenesulfonate)、二苯基碘六氟锑酸盐(diphenyliodonium hexafluoroantimonate)、二苯基碘六氟磷酸盐(diphenyliodonium hexafluorophosphate)、二苯基碘四氟硼酸盐(diphenyliodonium tetrafluoroborate)、三苯基锍三氟甲烷磺酸盐(triphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate)、三苯基锍对甲苯磺酸盐(triphenylsulfonium p-toluenesulfonate)、三苯基锍六氟锑酸盐(triphenylsulfoniumhexafluoroantimonate)、4-第三丁基苯基二苯基锍三氟甲烷磺酸盐(4-t-butylphenyldiphenylsulfonium trifluoromethanesulfonate)、4-第三丁基苯基二苯基锍对甲苯磺酸盐(4-t-butylphenyldiphenylsulfonium p-toluenesulfonate)、4,7-二正丁氧基萘基四氢噻吩鎓三氟甲烷磺酸盐(4,7-di-n-butoxynaphthyltetrahydrothiophenium trifluoromethanesulfonate)或上述化合物的组合。

此外，鎓盐化合物也可以是环己基甲基(2-侧氧基环己基)锍三氟甲烷磺酸盐(cyclohexylmethyl(2-oxocyclohexyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate)、二环己基(2-侧氧基环己基)锍三氟甲烷磺酸盐(dicyclohexyl(2-oxocyclohexyl)sulfoniumtrifluoromethane sulfonate)、(2-侧氧基环己基)(2-降冰片烷基)锍三氟甲烷磺酸盐(2-oxocyclohexyl)(2-norbornyl)sulfoniumtrifluoromethanesulfonate)、2-环己基砜基环己酮(2-cyclohexylsulfonyl cyclohexanone)、二甲基(2-侧氧基环己基)锍三氟甲烷磺酸盐(dimethyl (2-oxocyclohexyl)sulfonium trifluoromethanesulfonate)、N-羟基丁二酰亚胺三氟甲烷磺酸盐(N-hydroxy succinimide trifluoromethanesulfonate)、苯基对甲苯磺酸盐(phenyl p-toluenesulfonate)或上述化合物的组合。

含卤化合物例如是含有卤烷基的碳氢化合物(haloalkyl-containinghydrocarbon compound)或含有卤烷基的杂环化合物(haloalkyl-containingheterocyclic compound)。含卤化合物的具体例包括1,10-二溴正癸烷(1,10-dibromo-n-decane)、1,1-双(4-氯苯基)-2,2,2-三氯乙烷(1,1-bis(4-chlorophenyl)-2,2,2-trichloroethane)、苯基-双(三氯甲基)-s-三嗪(phenyl-bis(trichloro methyl)-s-triazine)、4-甲氧基苯基-双(三氯甲基)-s-三嗪(4-methoxyphenyl bis(trichloromethyl)-s-triazine)、苯乙烯基双(三氯甲基)-s-三嗪)(styryl bis(trichloromethyl)-s-triazine)、萘基双(三氯甲基)-s-三嗪(naphthyl bis(trichloromethyl)-s-triazine)、2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三嗪(2,4-bis(trichloromethyl)-6-p-methoxystyryl-s-triazine,TAZ-110)或类似的s-三嗪，或上述化合物的组合。

此外，含卤化合物也可以是三(2,3-溴丙基)磷酸酯(tris(2,3-dibromopropyl)phosphate)、三(2,3-二溴-3-氯丙基)磷酸酯(tris(2,3-dibromo-3-chloropropyl)phosphate)、四溴氯丁烷(tetrabromochlorobutane)、2-[2-(3,4-二甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲烷)-s-三嗪(2-[2-(3,4-dimethoxyphenyl)ethenyl]-4,6-bis(trichloromethyl)-s-triazine)、2-[2-(4-甲氧基苯基)乙烯基]-4,6-双(三氯甲烷)-s-三嗪(2-[2-(4-methoxypheny)ethenyl]-4,6-bis(trichloro methyl)-s-triazine)、六氯苯(hexachlorobenzene)、六溴苯(hexabromobenzene)、六溴环十二烷(hexabromocyclododecane)、六溴环十二烯(hexabromocyclododecene)、六溴联苯(hexabromobiphenyl)、丙烯基三溴苯基醚(allyltribromophenyl ether)、四氯双酚A(tetrachlorobisphenol A)、四溴双酚A(tetrabromobisphenol A)、四氯双酚A的双(氯乙基)醚(bis(chloroethyl)ether of tetrachlorobisphenol A)、四溴双酚A的双(溴乙基)醚(bis(bromoethyl)ether of tetrabromobisphenol A)、双酚A的双(2,3-二氯丙基)醚(bis(2,3-dichloropropyl)ether of bisphenol A)、双酚A的双(2,3-二溴丙基)醚(bis(2,3-dibromopropyl)ether of bisphenol A)、四氯双酚A的双(2,3-二氯丙基)醚(bis(2,3-dichloro propyl)ether of tetrachlorobisphenol A)、四溴双酚A的双(2,3-二溴丙基)醚(bis(2,3-dibromopropyl)ether of tetrabromobisphenol A)、四氯双酚S的双(氯乙基)醚(bis(chloroethyl)ether of the tetrachlorobisphenol S)、四溴双酚S(tetrabromobisphenol S)、四氯双酚S(tetrachlorobisphenol S)、四溴双酚S的双(溴乙基)醚(bis(bromoethyl)ether of tetrabromobisphenol S)、双酚S的双(2,3-二氯丙基)醚(bis(2,3-dichloropropyl)ether of the bisphenol S)、双酚S的双(2,3-二溴丙基)醚(bis(2,3-dichloro propyl)ether of the bisphenol S)、三(2,3-二溴丙基)三聚氰酸酯(tris(2,3-dibromopropyl)isocyanurate)、2,2-双(4-羟基-3,5-二溴苯基)丙烷(2,2-bis(4-hydroxy-3,5-dibromophenyl)propane)、2,2-双(4-(2-羟基乙氧基)-3,5-二溴苯基)丙烷(2,2-bis(4-(2-hydroxyethoxy)-3,5-dibromo phenyl)propane)或其类似物的卤素系阻燃剂(halogen series flame retardant)。

砜化合物例如是β-酮砜化合物(β-ketosulfone compounds)、砜基化合物(β-sulfonyl sulfone compounds)或上述这些化合物的α-重氮化合物(α-diazocompound)。砜化合物的具体例包括4-三苯甲酰甲基砜(4-trisphenacyl sulfone)、2,4,6-三甲苯基苯甲酰甲基砜(mesityl phenacyl sulfone)、双(苯甲酰甲基砜基)甲烷(bis(phenacylsulfonyl)methane)或上述化合物的组合。

磺酸化合物例如是烷基磺酸酯类(alkylsulfonic acid ester)、卤烷基磺酸酯类(haloalkylsulfonic acid ester)、芳基磺酸酯类(arylsulfonic acid ester)或亚胺基磺酸酯类(iminosulfonate)。磺酸化合物的具体例包括安息香甲苯磺酸酯(benzointosylate)、五倍子酚三(三氟甲烷磺酸酯)(pyrogalloltris(trifluoromethanesulfonate))、邻硝基苯基三氟甲烷磺酸酯(o-nitrobenzyltrifluoromethanesulfonate)、邻硝基苯基对甲苯磺酸酯(o-nitrobenzylp-toluenesulfonate)或上述化合物的组合。

磺酰亚胺化合物的具体例包括N-(三氟甲基砜基氧基)丁二酰亚胺(N-(trifluoromethylsulfonyloxy)succinimide)、N-(三氟甲基砜基氧基)酞酰亚胺(N-(trifluoromethylsulfonyloxy)phthalimide)、N-(三氟甲基砜基氧基)二苯基马来酰亚胺(N-(trifluoromethyl sulfonyloxy)diphenylmaleimide)、N-(三氟甲基砜基氧基)-双环[2.2.1]庚-5-烯-2,3-二羧基亚酰胺(N-(trifluoromethylsulfonyloxy)bicyclo[2.2.1]hept-5-ene-2,3-dicarboxyimide)、N-(三氟甲基砜基氧基)萘二甲酰亚胺(N-(trifluoromethyl sulfonyloxy)naphthylimide，NAI-105)或上述化合物的组合。

前述的光酸产生剂(F)较佳为二苯基碘三氟甲烷磺酸盐(diphenyliodoniumtrifluoromethanesulfonate)、2,4-双(三氯甲基)-6-对-甲氧基苯乙烯基-s-三嗪(2,4-bis(trichloromethyl)-6-p-methoxy styryl-s-triazine,TAZ-110)、2,4,6-三甲苯基苯甲酰甲基砜(mesityl phenacyl sulfone)、邻硝基苯基三氟甲烷磺酸酯(o-nitrobenzyltrifluoromethanesulfonate)、N-(三氟甲基砜基氧基)萘二甲酰亚胺(N-(trifluoromethyl sulfonyloxy)naphthylimide,NAI-105)、或上述化合物的组合。

光酸产生剂(F)可单独使用或组合多种来使用。

基于碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，光酸产生剂(F)的使用量为0.5至5重量份，较佳为0.5至4重量份，且更佳为0.5至3重量份。

当负型感光性树脂组成物中含有光酸产生剂(F)时，可进一步提升该负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性。

添加剂(G)

较佳地，本发明的负型感光性树脂组成物可依所需的物性及化性进一步包含添加剂(G)，添加剂(G)的选择为本发明所属技术领域中普通技术人员可决定。于本发明的具体例中，添加剂(G)例如是填充剂、碱可溶性树脂(A)以外的高分子化合物、紫外线吸收剂、防凝集剂、界面活性剂、密着促进剂、保存安定剂或耐热性促进剂。

于本发明较佳的具体例中，填充剂例如是：玻璃、铝；碱可溶性树脂(A)以外的高分子化合物例如是聚乙烯醇、聚乙二醇单烷基醚、聚氟丙烯酸烷酯。

紫外线吸收剂例如是2-(3-第三丁基-5-甲基-2-羟基苯基)-5-氯苯基叠氮、烷氧基苯酮；防凝集剂例如是聚丙烯酸钠。

界面活性剂可促进根据本发明的组成物的涂布性，于本发明的具体例中，界面活性剂可使用含氟界面活性剂或有机硅界面活性剂。

含氟界面活性剂中，其末端、主链及侧链至少包含一氟烷基或一氟烯基。于本发明的具体例中，含氟界面活性剂例如是1,1,2,2-四氟辛基(1,1,2,2-四氟丙基)醚、1,1,2,2-四氟辛基己基醚、八乙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六乙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、八丙二醇二(1,1,2,2-四氟丁基)醚、六丙二醇(1,1,2,2,3,3-六氟戊基)醚、全氟十二烷基硫酸钠、1,1,2,2,8,8,9,9,10,10-十氟十二烷、1,1,2,2,3,3-六氟癸烷、氟烷苯磺酸钠、氟烷磷酸钠、氟烷羧酸钠、氟烷聚氧乙烯醚、二丙三醇四(氟烷聚氧乙烯醚)、氟烷铵碘、氟烷甜菜碱、氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷聚氧乙烯醚、全氟烷基烷醇。于本发明的另一具体例中，含氟界面活性剂例如是BM-1000、BM-1100(BM CHEMIE制)、Megafac F142D、F172、F173、F183、F178、F191、F471、F476(大日本墨水及化学工业制)、Fluorad FC 170C、FC-171、FC-430、FC-431(住友化学制)、氯氟碳S-112、S-113、S-131、S-141、S-145、S-382、SC-101、SC-102、SC-103、SC-104、SC-105、SC-106(旭硝子制)、F Top EF301、303、352(新秋田化成制)、FtergentFT-100、FT-110、FT-140A、FT-150、FT-250、FT-251、FTX-251、FTX-218、FT-300、FT-310、FT-400S(NEOSU制)。

有机硅界面活性剂例如是TORE有机硅DC3PA、DC7PA、SH11PA、SH21PA、SH28PA、SH29PA、SH30PA、SH-190、SH-193、SZ-6032、SF-8427、SF-8428、DC-57、DC-190(Dow CorningToray Silicone制)、TSF-4440、TSF-4300、TSF-4445、TSF-4446、TSF-4460、TSF-4452(GE东芝有机硅制)。

除前述的含氟界面活性剂或有机硅界面活性剂外，该界面活性剂也可为聚氧乙烯烷基醚，如月桂醇聚氧乙烯醚、聚氧乙烯硬脂酸醚、聚氧乙烯油基醚；聚氧乙烯芳基醚，如聚氧乙烯正辛基苯醚、聚氧乙烯正壬基苯酚醚；聚氧乙烯二烷基酯，如聚氧乙烯二月桂酸、聚氧乙烯二硬脂酸；或非离子界面活性剂，如KP341(信越化学制)、poly flow No.57、95(共荣社油脂化学工业制)。

界面活性剂可单独或混合使用。

密着促进剂可用以提升基材的粘着力，其较佳为官能性硅烷交联剂，较佳地，硅烷交联剂包含羧基、烯基、异氰酸酯基、环氧基、胺基、巯基或卤素。于本发明的具体例为对-羟基苯基三甲氧基硅烷、3-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、乙烯三乙酰氧基硅烷、乙烯三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧乙氧基)硅烷、γ-异氰酸酯丙基三乙氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基三甲氧基硅烷、2-(3,4-环氧环己烷基)乙基三甲氧基硅烷、3-环氧丙氧基丙基二甲基甲氧基硅烷、3-胺丙基三甲氧基硅烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基三甲氧基硅烷、N-(2-胺基乙基)-3-胺基丙基甲基二甲氧基硅烷、3-巯丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基三甲氧基硅烷、3-氯丙基甲基二甲氧基硅烷。另一方面，包含但不限于商品名SZ6030(Dow Corning Toray Silicone制)以及商品名KBE-903、KBE-603、KBE-403与KBM-403(信越化学制)等密着促进剂。密着促进剂可单独或混合使用。

保存安定剂可为硫、醌、氢醌、聚氧化物、胺、亚硝基化合物或硝基化合物。其具体例为4-甲氧基苯酚、(N-亚硝基-N-苯基)羟胺铝、2,2-硫代双(4-甲基-6-第三丁基苯酚)、2,6-二-第三丁基苯酚。

耐热性促进剂可为N-(烷氧基甲基)甘脲化合物、N-(烷氧基甲基)三聚氰胺。N-(烷氧基甲基)甘脲化合物具体例为N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(乙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(异丙氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(正丁氧基甲基)甘脲、N,N,N',N'-四(第三丁氧基甲基)甘脲；较佳为N,N,N',N'-四(甲氧基甲基)甘脲。N-(烷氧基甲基)三聚氰胺的具体例为N,N,N',N',N”,N”-六(甲氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N”,N”-六(乙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N”,N”-六(正丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N”,N”-六(异丙氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N”,N”-六(正丁氧基甲基)三聚氰胺、N,N,N',N',N”,N”-六(第三丁氧基甲基)三聚氰胺；较佳为N,N,N',N',N”,N”-六(甲氧基甲基)三聚氰胺。市售品如NIKARAKKUN-2702、MW-30M(三和化学制)。

<负型感光性树脂组成物的制造方法>

负型感光性树脂组成物的制造方法例如：将碱可溶性树脂(A)、含乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)以及溶剂(D)放置于搅拌器中搅拌，使其均匀混合成溶液状态，必要时也可添加硅氧化合物(E)、光酸产生剂(F)以及添加剂(G)，予以均匀混合后，便可获得溶液状态的负型感光性树脂组成物。

又，负型感光性树脂组成物的制造方法没有特别的限制。负型感光性树脂组成物的制造方法例如是先将一部分的碱可溶性树脂(A)及含乙烯性不饱和基的化合物(B)分散于一部分的溶剂(D)中，以形成分散溶液；并且接着混合其余的碱可溶性树脂(A)、含乙烯性不饱和基的化合物(B)、光起始剂(C)、溶剂(D)、硅氧化合物(E)、光酸产生剂(F)以及添加剂(G)。

<保护膜与间隙体的形成>

本发明提供一种保护膜与一种间隙体，其是藉由对上述的负型感光性树脂组成物，依序施予预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理而制得具有图案的保护膜或间隙体。以下详细说明其制造方法。

本发明的保护膜的形成方法是先将由红色、绿色及蓝色着色层组成的像素层形成于透明基板上，再将本发明的负型感光性树脂组成物涂布在前述形成红、绿、蓝等像素着色层的基板上后，进行预烤、曝光、显影以及后烤等步骤，藉此去除其中的溶剂，以形成彩色滤光层保护膜。

本发明的间隙体的形成方法是先在已形成有保护膜及像素层的透明基板上，形成透明导电膜，再将本发明的负型感光性树脂组成物涂布在前述透明导电膜上，接着，进行预烤、曝光、显影以及后烤等步骤，藉此去除其中的溶剂，以形成间隙体。

换言之，若欲形成保护膜，是将负型感光性树脂组成物涂布于基板上的像素层上；而若欲形成间隙体，则是将负型感光性树脂组成物涂布于基板上的透明导电膜上。

上述的涂布方法可例如为喷洒(spray)法、辊式(roller)涂布法、旋转涂布(spincoating)法、杆式(bar)涂布法或喷墨印刷(ink jet)法等。上述的涂布方法可采用旋转涂布机(spin coater)、非旋转式涂布机(spin loess coating machine)以及狭缝式涂布机(slit-die coating machine)等进行涂布为较佳。

上述预烤(pre-bake)的条件，依各成分的种类，配合比率而异，通常预烤乃在70℃至90℃温度下进行1分钟至15分钟。预烤后，预烤涂膜的厚度为0.15μm至8.5μm，然以0.15μm至6.5μm为较佳，又以0.15μm至4.5μm为更佳。可以理解的是，上述预烤涂膜的厚度是指去除溶剂后的厚度。

上述预烤涂膜形成后，再以热板或烘箱等加热装置进行加热处理。加热处理的温度通常为150至250℃，其中，使用热板的加热时间为5分钟至30分钟，使用烘箱的加热时间为30分钟至90分钟。

当上述硬化性树脂组成物使用光起始剂时，倘若有需要，可在将硬化性树脂组成物涂布在基板表面上，并以预烤方式去除溶剂而形成预烤涂膜后，对所述预烤涂膜进行曝光处理。

上述的曝光处理所使用的光线可例如可见光、紫外线、远紫外线、电子束(electron beam)、X射线等，然以波长为190nm至450nm的含有紫外线的光为较佳。

上述的曝光处理的曝光量以100J/m²至20,000J/m²为宜，然以150J/m²至10,000J/m²为较佳。

在上述曝光处理后，可选择性利用热板或烘箱等加热装置进行加热处理。加热处理的温度通常为150至250℃，其中，使用热板的加热时间为5分钟至30分钟，使用烘箱的加热时间为30分钟至90分钟。

本发明的保护膜及间隙体并不限定于形成于像素层或透明导电膜上，而可以形成于基板上或基板上的各种元件上。

<彩色滤光片的制造方法>

具体而言，彩色滤光片的制造方法例如是：在形成红、绿、蓝等像素着色层及保护膜后，在温度介于220℃至250℃之间的真空环境下，于保护膜层的表面上进行溅镀，而形成ITO保护膜，必要时，对ITO保护膜进行蚀刻，并进行布线，然后在ITO保护膜表面上涂布配向膜，便能制造出包含将本发明的负型感光性树脂组成物硬化而成的硬化物的彩色滤光片。

<液晶显示元件的制造方法>

首先，将藉由上述彩色滤光片的制造方法所形成的彩色滤光片以及设置有薄膜电晶体的基板作对向配置，并且在上述两者之间设置间隙(晶胞间隔，cell gap)。接着，以粘着剂贴合彩色滤光片与上述基板的周围部分并且留下注入孔。然后，在基板表面以及粘着剂所分隔出的间隙内由注入孔注入液晶，最后封住注入孔来形成液晶层。随后，藉由在彩色滤光片中接触液晶层的另一侧与基板中接触液晶层的另一侧提供偏光板来制作液晶显示装置。上述所使用的液晶，即液晶化合物或液晶组成物，此处并未特别限定，可使用任何一种液晶化合物及液晶组成物。

此外，于制作彩色滤光片中所使用的液晶配向膜是用来限制液晶分子的配向，并且没有特别的限制，如无机物或有机物任一者均可，并且本发明并不限于此。

以下将列举实施例详细说明本发明，但本发明并不局限于这些实施例所揭示的内容。

<实施例>

第一碱可溶性树脂(A-1)的合成例

以下说明第一碱可溶性树脂(A-1)的的合成例A-1-1至合成例A-1-8：

合成例A-1-1

在一四颈锥瓶上设置搅拌器、温度计、冷凝管及氮气入口，并导入氮气。然后，加入100重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(简称为PGMEA)，并将温度升温至100℃。接着，将3重量份的单体(a-1-1)、10重量份的甲基丙烯酸(简称为MAA)、37重量份的甲基丙烯酸双环戊酯(简称为FA-513M)、30重量份的甲基丙烯酸异冰片酯(简称为IBOMA)及20重量份的苯乙烯(简称为SM)及4重量份的2,2'-偶氮双-2-甲基丁腈(简称为AMBN)溶于100重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(简称为PGMEA)中，并将此混合溶液于2小时内逐滴滴入四颈锥瓶中，于100℃反应6.5小时后，即可制得合成例A-1-1的第一碱可溶性树脂(A-1-1)。

合成例A-1-2至合成例A-1-3

合成例A-1-2至合成例A-1-3的碱可溶性树脂是以与合成例A-1-1相同的步骤来制备，并且其不同处在于：改变碱可溶性树脂的成分种类及其使用量、反应时间以及反应温度(如表1所示)。

合成例A-1-4

在一四颈锥瓶上设置搅拌器、温度计、冷凝管及氮气入口，并导入氮气。然后，加入100重量份的3-乙氧基丙酸乙酯(简称为EEP)，并将温度升温至105℃。接着，将20重量份的单体(a-1-4)、20重量份的甲基丙烯酸(简称为MAA)、10重量份的丙烯酸(简称为AA)、50重量份的甲基丙烯酸双环戊酯(简称为FA-513M)及4重量份的2,2'-偶氮双(2,4-二甲基戊腈)(简称为ADVN)溶于100重量份的3-乙氧基丙酸乙酯(简称为EEP)中，并将此混合溶液于2小时内逐滴滴入四颈锥瓶中。于105℃反应6.5小时后，将3重量份的甲基丙烯酸环氧丙酯(简称为GMA)加至充满氮气的四颈锥瓶中，并将温度上升至110℃。反应6小时后，即可制得合成例A-1-4的第一碱可溶性树脂(A-1-4)。

合成例A-1-5至合成例A-1-8

合成例A-1-5至合成例A-1-8的碱可溶性树脂是以与合成例A-1-4相同的步骤来制备，并且其不同处在于：改变碱可溶性树脂的成分种类及其使用量、反应时间以及反应温度(如表1所示)。

其他碱可溶性树脂(A-2)的合成例

以下说明其他碱可溶性树脂(A-2)的合成例A-2-1至合成例A-2-6：

合成例A-2-1

将4重量份的2,2'-偶氮双-2-甲基丁腈(简称为AMBN)、240重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(简称为PGMEA)、50重量份的甲基丙烯酸(简称为MAA)、20重量份的甲基丙烯酸双环戊酯(简称为FA-513M)、20重量份的甲基丙烯酸异冰片酯(简称为IBOMA)及10重量份的苯乙烯(简称为SM)置于一装有搅拌器及冷凝器的圆底烧瓶中，并使该烧瓶内部充满氮气。然后，缓慢搅拌并升温至80℃，使各反应物均匀混合并进行聚合反应4.5小时。接着，再将其升温至100℃，并添加0.5重量份的2,2’-偶氮二异丁腈(简称为AMBN)。进行聚合反应1小时后，即可制得其他碱可溶性树脂(A-2-1)。

合成例A-2-2至合成例A-2-5

合成例A-2-2至合成例A-2-5的碱可溶性树脂是以与合成例A-2-1相同的步骤来制备，并且其不同处在于：改变碱可溶性树脂的成分种类及其使用量、反应时间以及反应温度(如表2所示)。

合成例A-2-6

将5重量份的2,2'-偶氮双-2,4-二甲基戊腈(简称为ADVN)、200重量份的乙二醇甲基乙基醚置于一装有搅拌器及冷凝器的圆底烧瓶中，再置入20重量份的甲基丙烯酸(简称为MAA)、45重量份的甲基丙烯酸缩水甘油酯、10重量份的苯乙烯(简称为SM)、以及25重量份的(甲基)丙烯酸双环戊酯并使该烧瓶内部充满氮气。然后，缓慢搅拌并升温至70℃，使各反应物均匀混合并进行聚合反应5小时，即可制得其他碱可溶性树脂(A-2-6)。其他碱可溶性树脂(A-2-6)的浓度为33.3重量％，其重量平均分子量为9,000。

另外，表1、表2中的简称所对应的化合物如下所示。

[表1]

[表2]

负型感光性树脂组成物的实施例

以下说明负型感光性树脂组成物的实施例1至实施例16以及比较例1至比较例5：

实施例1

将20重量份合成例A-1-1的碱可溶性树脂(以下简称为A-1-1)、80重量份合成例A-2-1的碱可溶性树脂(以下简称为A-2-1)、60重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯(以下简称为B-1)、60重量份1-[4-(苯基硫代)苯基]-辛烷-1,2-二酮2-(O-苯酰基肟)(以下简称为C-1)加入700重量份的丙二醇甲醚醋酸酯(以下简称为D-1)中，并且以摇动式搅拌器(shakingtype stirrer)搅拌均匀后，即可制造得实施例1的负型感光性树脂组成物。将所制得的负型感光性树脂组成物以后述评价方式进行评价，其结果如表3所示。

实施例2至实施例16

实施例2至实施例16的负型感光性树脂组成物是以与实施例1相同的步骤来制备，并且其不同处在于：改变负型感光性树脂组成物的成分种类及其使用量(如表3、表4所示)。将所制得的负型感光性树脂组成物以后述评价方式进行评价，其结果如表3、表4所示。

比较例1至比较例4

比较例1至比较例4的负型感光性树脂组成物是以与实施例1相同的步骤来制备，并且其不同处在于：改变负型感光性树脂组成物的成分种类及其使用量(如表4所示)。将所制得的负型感光性树脂组成物以后述评价方式进行评价，其结果如表4所示。

比较例5

将100重量份合成例A-2-6的碱可溶性树脂、20重量份的二季戊四醇六丙烯酸酯、80重量份的二季戊四醇五丙烯酸酯、20重量份的1,2-丁二酮-1-[4-(甲硫基)苯基]2-(O-乙酰基肟)以及5重量份的1-[4-(甲硫基)苯基]-2-甲基-2-吗啉-1-酮以使固体浓度为35重量％的比例加入丙二醇甲醚醋酸酯中，并且以摇动式搅拌器(shaking type stirrer)搅拌均匀后，以孔径0.2μm的微孔过滤器进行过滤，即可制造得比较例5的负型感光性树脂组成物。将所制得的负型感光性树脂组成物以后述评价方式进行评价，其结果为╳。

另外，表3、表4中的简称所对应的化合物如下所示。

评价方式

耐溅镀性

将上述负型感光性树脂组成物以丝网印刷机(东远精技制，AT-45PA)在100mm x100mm的矩形玻璃基板上涂布一80mm x 80mm的涂膜。后烤后光阻膜厚为2.2～2.3μm，以等离子体清洗机于输出功率600W、15分钟，100mtorr压力下，使用氧气(流量为100sccm)进行ITO镀膜，并测量溅镀后膜厚，再根据下式进行耐溅镀性的评价。

耐溅镀性＝(溅镀后膜厚/后烤后膜厚)*100％

耐溅镀性评价标准如下：

◎：耐溅镀性≥85％

○：80％≤耐溅镀性<85％

△：75％≤耐溅镀性＜80％

╳：耐溅镀性＜75％

[表3]

[表4]

评价结果

由表3及表4得知，与含有特定的第一碱可溶性树脂(A-1)的负型感光性树脂组成物(实施例1至16)相比，以比较例1至4的负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性评价不佳。

另一方面，以比较例5的负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性评价也不佳。

又，使用具有乙烯性不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)的负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜(实施例7至9、实施例12至15)的耐溅镀性评价较佳。

此外，当负型感光性树脂组成物中更含有硅氧化合物(E)(实施例3、实施例4、实施例9、实施例10、实施例13至实施例15)时，负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性评价也较佳。

另外，当负型感光性树脂组成物中更含有光酸产生剂(F)(实施例5、实施例6、实施例9、实施例11、实施例13至实施例15)时，负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性评价也较佳。

综上所述，本发明的负型感光性树脂组成物因含有第一碱可溶性树脂(A-1)，故能够解决负型感光性树脂组成物制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性不佳的问题。

另一方面，若本发明的负型感光性树脂组成物中更含有具有乙烯性不饱和基的第一碱可溶性树脂(A-1)、硅氧化合物(E)或光酸产生剂(F)时，能够进一步提升其制得的间隙体或保护膜的耐溅镀性。

虽然本发明已以实施例揭示如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更改与润饰，均在本发明范围内。

Claims (11)

1.一种负型感光性树脂组成物，其特征在于，包括：

碱可溶性树脂(A)；

含乙烯性不饱和基的化合物(B)；

光起始剂(C)；

溶剂(D)；以及

硅氧化合物(E)，

其中，所述碱可溶性树脂(A)包括第一碱可溶性树脂(A-1)，所述第一碱可溶性树脂(A-1)由包含式(A1-1)所示单体的混合物聚合而得，

所述硅氧化合物(E)含有由式(E-1)所示的结构，

基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，所述硅氧化合物(E)的使用量为3～25重量份：

式(A1-1)中，R₁表示氢原子或烷基；

R₂表示烷基、环烷基、烷氧基、烷氧基羰基、羧基、卤素原子、羟基或氰基；R₃表示亚烷基、亚环烷基或其组合，当所述式(A1-1)中具有2个以上的R₃时，各个R₃彼此相同或不同；

Y表示单键、-O-、-COO-、-CONH-、-NHCOO-或-NHCONH-，当所述式(A1-1)中具有2个以上的Y时，各个Y彼此相同或不同；X表示亚甲基、甲基亚甲基、二甲基亚甲基、亚乙基、-O-或-S-；

m、n各自独立表示0至4的整数，当n为2以上时，n个R₂彼此相同或不同；

式(E-1)中，c为3至7的整数；L₁、L₂各自独立表示含有环氧脂环基的一价基团或者烷基，多个L₁、L₂间为相同或不同，且在c个L₁及L₂中至少一个基团为含有环氧脂环基的一价基团。

2.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组成物，其特征在于，还包括光酸产生剂(F)。

3.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组成物，其特征在于，所述第一碱可溶性树脂(A-1)具有乙烯性不饱和基。

4.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组成物，其特征在于，于所述第一碱可溶性树脂(A-1)中，基于单体的混合物总量为100重量份，式(A1-1)所示单体的使用量为3～30重量份。

5.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组成物，其特征在于，基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，所述含乙烯性不饱和基的化合物(B)的使用量为30～300重量份，所述光起始剂(C)的使用量为10～80重量份，所述溶剂(D)的使用量为500～3000重量份。

6.根据权利要求1所述的负型感光性树脂组成物，其特征在于，基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，所述第一碱可溶性树脂(A-1)的使用量为3～100重量份。

7.根据权利要求2 所述的负型感光性树脂组成物，其特征在于，基于所述碱可溶性树脂(A)的使用量为100重量份，所述光酸产生剂(F)的使用量为0.5～5重量份。

8.一种间隙体，其特征在于，其是藉由对如权利要求1-7中任一项所述的负型感光性树脂组成物，依序施予预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理而制得具有图案的间隙体。

9.一种保护膜，其特征在于，其是藉由对如权利要求1-7中任一项所述的负型感光性树脂组成物，依序施予预烤处理、曝光处理、显影处理及后烤处理而制得具有图案的保护膜。

10.一种液晶显示元件，其特征在于，包括由如权利要求8所述的间隙体的制造方法所制得的间隙体。

11.一种液晶显示元件，其特征在于，包括由如权利要求9所述的保护膜的制造方法所制得的保护膜。