CN107520686A - 一种硅片用新型抛光装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种硅片用新型抛光装置，包括抛光装置壳体、三相驱动电机、超声波发生器和液体流出管，所述抛光装置壳体上方安装有保护轴承，所述保护轴承上方安装有传动轴，所述传动轴上方安装有所述三相驱动电机，所述三相驱动电机上方设置有抛光清洗槽，所述抛光磨片内部安装有超声波发射探头，所述超声波发射探头下方安装有硅片放置槽，所述硅片放置槽下方连通有减震弹簧，所述抛光装置壳体外侧安装有所述液体流出管，所述抛光装置壳体顶部安装有外部电源插口。有益效果在于：能够在对硅片抛光的同时对其表面进行超声波清洗，能够有效防止在抛光时掉落的小颗粒粘附在抛光磨片上，对硅片造成划痕。
Description
技术领域
本发明涉及硅片抛光设备技术领域，特别是涉及一种硅片用新型抛光装置。
背景技术
微电子技术正在悄悄走进航空、航天、工业、农业和国防，也正在悄悄进入每一个家庭。小小硅片的巨大“魔力”是我们的前人根本无法想象的。硅片制成的芯片是有名的“神算子”，有着惊人的运算能力。无论多么复杂的数学问题、物理问题和工程问题，也无论计算的工作量有多大，工作人员只要通过计算机键盘把问题告诉它，并下达解题的思路和指令，计算机就能在极短的时间内把答案告诉你。这样，那些人工计算需要花费数年、数十年时间的问题，计算机可能只需要几分钟就可以解决。甚至有些人力无法计算出结果的问题，计算机也能很快告诉你答案。在大型电子计算机的控制下，无人飞机可以自由地在蓝天飞翔；人造卫星、宇宙飞船、航天飞机可以准确升空、飞行、定位，并自动向地面发回各种信息。在电子计算机的指挥下，火炮、导弹可以弹无虚发，准确击中目标，甚至可以准确击中空中快速移动目标，包括敌方正在飞行中的导弹。工业中广泛使用计算机和各种传感技术，可以节省人力，提高自动化程度及加工精度，大大提高劳动生产效率。机器人已在许多工业领域中出现。
目前我国使用的硅片抛光装置不能够在对硅片抛光的同时进行清洗，容易导致抛光时的磨砂小颗粒对硅片上造成划痕。
发明内容
本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种硅片用新型抛光装置。
本发明通过以下技术方案来实现上述目的：
一种硅片用新型抛光装置，包括抛光装置壳体、三相驱动电机、超声波发生器和液体流出管，所述抛光装置壳体上方安装有保护轴承，所述保护轴承上方安装有传动轴，所述传动轴上方安装有所述三相驱动电机，所述三相驱动电机上方设置有抛光清洗槽，所述抛光清洗槽上方安装有抛光磨片，所述抛光磨片上方安装有超声传输管，所述超声传输管上方连接有所述超声波发生器，所述超声波发生器下方安装有超声波发射探头，所述超声波发射探头下方安装有硅片放置槽，所述硅片放置槽下方连通有减震弹簧，所述抛光装置壳体外侧安装有所述液体流出管，所述抛光装置壳体顶部安装有外部电源插口。
为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光装置壳体内部设置有所述保护轴承，所述传动轴与所述三相驱动电机连接。
为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光清洗槽内部设置有所述抛光磨片，所述超声传输管与所述超声波发射探头之间卡接。
为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述超声波发射探头与所述超声波发生器连接，所述减震弹簧与所述硅片放置槽连接。
为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述外部电源插口与所述三相驱动电机连接。
为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光装置壳体为粉末橡胶压制而成，表面进行喷塑处理。
为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光磨片上有两个通孔，与所述超声传输管连接。
为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，所述抛光磨片可以进行左右移动，对硅片进行抛光。
本发明的有益效果在于：能够在对硅片抛光的同时对其表面进行超声波清洗，能够有效防止在抛光时掉落的小颗粒粘附在抛光磨片上，对硅片造成划痕。
附图说明
图1是本发明一种硅片用新型抛光装置的主视图；
图2是本发明一种硅片用新型抛光装置的左视图；
图3是本发明一种硅片用新型抛光装置的俯视图。
附图标记说明如下：
1、抛光装置壳体；2、保护轴承；3、传动轴；4、三相驱动电机；5、抛光清洗槽；6、抛光磨片；7、超声传输管；8、超声波发生器；9、超声波发射探头；10、硅片放置槽；11、减震弹簧；12、液体流出管；13、外部电源插口。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明：
如图1-图3所示，一种硅片用新型抛光装置，包括抛光装置壳体1、三相驱动电机4、超声波发生器8和液体流出管12，抛光装置壳体1上方安装有保护轴承2，保护轴承2上方安装有传动轴3，传动轴3上方安装有三相驱动电机4，三相驱动电机4上方设置有抛光清洗槽5，抛光清洗槽5上方安装有抛光磨片6，抛光磨片6上方安装有超声传输管7，超声传输管7上方连接有超声波发生器8，超声波发生器8下方安装有超声波发射探头9，超声波发射探头9下方安装有硅片放置槽10，硅片放置槽10下方连通有减震弹簧11，抛光装置壳体1外侧安装有液体流出管12，抛光装置壳体1顶部安装有外部电源插口13。
抛光装置壳体1用以对抛光装置内部元器件进行保护，保护轴承2用以对传动轴3端部进行保护，传动轴3用以带动硅片放置槽进行转动，三相驱动电机4用以为抛光装置工作提供动力，抛光清洗槽5用以放置硅片抛光时需要的清洗的清洗液,抛光磨片6用以对硅片表面进行抛光,超声波发生器8用以产生超声波，超声波发射探头9用以将超声波发生器8产生的超声波发射，超声传输管7用以将超声波从抛光磨片6中发射，对硅片进行抛光过程中清洗，硅片放置槽10用以放置被抛光的硅片，减震弹簧11用以对硅片放置槽10进行减震，液体流出管12用以将抛光清洗槽中清洗液进行流出，外接电源插口13用以连接外部电源。
为了进一步提高硅片用新型抛光装置的使用功能，抛光装置壳体1内部设置有保护轴承2，传动轴3与三相驱动电机4连接，抛光清洗槽5内部设置有抛光磨片6，超声传输管7与超声波发射探头9之间卡接，超声波发射探头9与超声波发生器8连接，减震弹簧11与硅片放置槽10连接，外部电源插口13与三相驱动电机4连接，述抛光装置壳体1为粉末橡胶压制而成，表面进行喷塑处理，抛光磨片6上有两个通孔，与超声传输管7连接，抛光磨片6可以进行左右移动，对硅片进行抛光。
以上显示和描述了本发明的基本原理、主要特征和优点。本行业的技术人员应该了解，本发明不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本发明的原理，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书及其效物界定。
Claims (8)
1.一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：包括抛光装置壳体（1）、三相驱动电机（4）、超声波发生器（8）和液体流出管（12），所述抛光装置壳体（1）上方安装有保护轴承（2），所述保护轴承（2）上方安装有传动轴（3），所述传动轴（3）上方安装有所述三相驱动电机（4），所述三相驱动电机（4）上方设置有抛光清洗槽（5），所述抛光清洗槽（5）上方安装有抛光磨片（6），所述抛光磨片（6）上方安装有超声传输管（7），所述超声传输管（7）上方连接有所述超声波发生器（8），所述超声波发生器（8）下方安装有超声波发射探头（9），所述超声波发射探头（9）下方安装有硅片放置槽（10），所述硅片放置槽（10）下方连通有减震弹簧（11），所述抛光装置壳体（1）外侧安装有所述液体流出管（12），所述抛光装置壳体（1）顶部安装有外部电源插口（13）。
2.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光装置壳体（1）内部设置有所述保护轴承（2），所述传动轴（3）与所述三相驱动电机（4）连接。
3.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光清洗槽（5）内部设置有所述抛光磨片（6），所述超声传输管（7）与所述超声波发射探头（9）之间卡接。
4.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述超声波发射探头（9）与所述超声波发生器（8）连接，所述减震弹簧（11）与所述硅片放置槽（10）连接。
5.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述外部电源插口（13）与所述三相驱动电机（4）连接。
6.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光装置壳体（1）为粉末橡胶压制而成，表面进行喷塑处理。
7.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光磨片（6）上有两个通孔，与所述超声传输管（7）连接。
8.根据权利要求1所述的一种硅片用新型抛光装置，其特征在于：所述抛光磨片（6）可以进行左右移动，对硅片进行抛光。
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