CN107502855A - 一种等离子热处理炉 - Google Patents

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王军辉
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Jiangsu Misiou Intelligent Technology Co Ltd
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Jiangsu Misiou Intelligent Technology Co Ltd
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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
    • C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
    • C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding

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Abstract

本发明公开了一种等离子热处理炉，其特征在于，包括炉体、电源控制系统、供气系统和抽真空系统，所述炉体内设有辅助加热元件、隔热屏和阴极辐射板；所述隔热屏与电源控制系统的阳极电连接，所述阴极辐射板与电源控制系统的阴极电连接，所述电源控制系统通过抽真空系统连接炉体内腔，实现炉体内部抽真空；所述电源控制系统通过供气系统为炉体内部供气。本发明具有渗入速度快、表面相结构容易控制、零件畸变小的优点。

Description

一种等离子热处理炉
技术领域
本发明涉及一种等离子热处理炉。
背景技术
等离子热处理炉是依靠气体辉光放电和离子轰击的方法来获得活性离子并加热工件，使氮、碳、或其他元素渗入工件表面的化学热处理工艺设备。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术中的不足，提供一种等离子热处理炉，具有渗入速度快、表面相结构容易控制、零件畸变小的优点。
为达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：一种等离子热处理炉，包括炉体、电源控制系统、供气系统和抽真空系统，所述炉体内设有辅助加热元件、隔热屏和阴极辐射板；
所述隔热屏与电源控制系统的阳极电连接，所述阴极辐射板与电源控制系统的阴极电连接，所述电源控制系统通过抽真空系统连接炉体内腔，实现炉体内部抽真空；所述电源控制系统通过供气系统为炉体内部供气。
所述电源控制系统上还连接有炉压测量装置。
所述电源控制系统还连接有温度采集系统。
所述炉体内还设有冷却水层。
所述炉体内还设有冷却风扇。
所述炉体内还设有保温层，所述保温层设于辅助加热元件和冷却水层之间。
所述辅助加热元件为电阻丝，采用10~60V低压供电。
所述阴极辐射板采用非金属耐热材料，包括石墨。
与现有技术相比，本发明所达到的有益效果：具有渗入速度快、表面相结构容易控制、零件畸变小、能源节省及无污染等优点。
附图说明
图1是本发明的结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本发明的技术方案，而不能以此来限制本发明的保护范围。
如图1所示，一种等离子热处理炉，包括炉体、电源控制系统、供气系统和抽真空系统，炉体内设有辅助加热元件、隔热屏和阴极辐射板；隔热屏与电源控制系统的阳极电连接，阴极辐射板与电源控制系统的阴极电连接，电源控制系统通过抽真空系统连接炉体内腔，实现炉体内部抽真空；电源控制系统通过供气系统为炉体内部供气。
电源控制系统上还连接有炉压测量装置。
电源控制系统还连接有温度采集系统。
炉体内还设有冷却水层，炉体内还设有冷却风扇，避免轰击离子从固溶体中析出，提高抗蚀性能。
炉体内还设有保温层，保温层设于辅助加热元件和冷却水层之间，能够节省功率，提高热处理炉的工作效率，。
辅助加热元件为电阻丝，采用10~60V低压供电，避免产生辉光放电。
阴极辐射板采用非金属耐热材料，包括石墨。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变形，这些改进和变形也应视为本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种等离子热处理炉，其特征在于，包括炉体、电源控制系统、供气系统和抽真空系统，所述炉体内设有辅助加热元件、隔热屏和阴极辐射板；
所述隔热屏与电源控制系统的阳极电连接，所述阴极辐射板与电源控制系统的阴极电连接，所述电源控制系统通过抽真空系统连接炉体内腔，实现炉体内部抽真空；所述电源控制系统通过供气系统为炉体内部供气。
2.根据权利要求1所述的等离子热处理炉，其特征在于，所述电源控制系统上还连接有炉压测量装置。
3.根据权利要求1所述的等离子热处理炉，其特征在于，所述电源控制系统还连接有温度采集系统。
4.根据权利要求1所述的等离子热处理炉，其特征在于，所述炉体内还设有冷却水层。
5.根据权利要求4所述的等离子热处理炉，其特征在于，所述炉体内还设有冷却风扇。
6.根据权利要求5所述的等离子热处理炉，其特征在于，所述炉体内还设有保温层，所述保温层设于辅助加热元件和冷却水层之间。
7.根据权利要求1所述的等离子热处理炉，其特征在于，所述辅助加热元件为电阻丝，采用10~60V低压供电。
8.根据权利要求1所述的等离子热处理炉，其特征在于，所述阴极辐射板采用非金属耐热材料，包括石墨。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2386048Y (zh) * 1999-08-03 2000-07-05 北京莫泊特离子金属热处理技术有限公司 外层辅助加热可控冷却离子轰击热处理炉

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CN2386048Y (zh) * 1999-08-03 2000-07-05 北京莫泊特离子金属热处理技术有限公司 外层辅助加热可控冷却离子轰击热处理炉

Non-Patent Citations (1)

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Title
中国机械工程学会热处理学会编: "《热处理手册》", 31 July 2013, 北京：机械工业出版社 *

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