CN107470095B - 一种防止衬底背面溶液扩散的平台 - Google Patents

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    • B05C11/1039—Recovery of excess liquid or other fluent material; Controlling means therefor

Abstract

本发明提供一种防止衬底背面溶液扩散的平台，用于衬底底面的平面支撑定位，包括平台本体，所述平台本体上设有低于平台本体表面的疏液槽，所述疏液槽设置在两相邻衬底的接合处。疏液槽可以有效避免在两个衬底样片间的狭缝透过的溶液对背面的污染，减少透过溶液对吸附通道系统的影响，提升产品品质，提高了生产效率。

Description

一种防止衬底背面溶液扩散的平台
技术领域
本发明涉及一种平板涂布设备，具体是一种防止衬底背面溶液扩散的平台。
背景技术
挤压式涂布方式以其精确的膜质可控性，被广泛利用于新型薄膜太阳能电池、新型显示材料、光学功能膜、环保渗透膜等新型行业领域。并排放置在涂布平台的柔性基板或者刚性衬底在完成涂布的过程中，如图1中，因为相邻A、B两片衬底间存在微小缝隙，导致涂布溶液透过缝隙而污染到衬底背面。如果平台是吸附平台，那么透过的溶液也有可能被吸附到排空管路中，这样可能造成管道或者真空泵的腐蚀。
发明内容
为了克服上述现有技术的不足，本发明的目的是提供了一种防止衬底背面溶液扩散的平台。
为达到上述目的，本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种防止衬底背面溶液扩散的平台，用于衬底底面的平面支撑定位，包括平台本体，所述平台本体上设有低于平台本体表面的疏液槽，所述疏液槽设置在两相邻衬底的接合处。
本发明相较于现有技术，疏液槽可以有效避免在两个衬底样片间的狭缝透过的溶液对背面的污染，减少透过溶液对吸附通道系统的影响，提升产品品质，提高了生产效率。
进一步地，所述疏液槽为一道条状凹槽，条状凹槽中心位置对应于相邻衬底的接合处。
进一步地，所述条状凹槽的横截面成圆弧形或梯形。
采用上述优选的方案，圆弧形凹槽可以稳定汇集透过的溶液；梯形凹槽，开口小，容腔大，在保证能稳定收集透过的溶液基础上，增加对衬底的支撑，提高储液能力。
进一步地，所述疏液槽为多道并行设置的条状凹槽，相邻条状凹槽之间的连接处表面与所述平台本体处于同一平面高度。
采用上述优选的方案，多道设置的凹槽可以减小每道凹槽的开口宽度，每道凹槽的边部对衬底依然起到支撑作用，可以有效减小衬底的局部变形。
进一步地，所述疏液槽的端部设有汇流槽。
进一步地，所述汇流槽内设有液位传感器，所述汇流槽底部设有吸液口，所述吸液口与涂液回收装置相连通，所述吸液口与涂液回收装置间设有电磁控制阀。
采用上述优选的方案，通过疏液槽边部设置储液能力较强的汇流槽，并在汇流槽处连通涂液回收装置，能及时抽离疏液槽内透过的溶液，防止溢液，也减少了涂液回收装置吸液气流对衬底变形的影响。
进一步地，所述疏液槽为多个成漏斗状的凹槽，所述疏液槽下方设有储液槽，每个所述凹槽底部与所述储液槽相连通。
采用上述优选的方案，漏斗状凹槽边部对衬底有较强的支撑作用，既能稳定收集溶液，又能防止衬底变形，提高涂膜质量。
进一步地，所述储液槽分为内腔室、外腔室，所述外腔室与涂液回收装置的吸液口相连通。
进一步地，所述内腔室、外腔室侧壁上方设有挡风导流片，所述挡风导流片一端铰接在储液槽内壁上，另一端设有能漂浮在溶液表面的浮球。
采用上述优选的方案，在内腔室溶液较少的情况下，挡风导流片与侧壁相贴合，阻挡涂液回收装置的吸液口气流，当内腔室内溶液上升到一定位置，挡风导流片的浮球带动挡风导流片打开，涂液回收装置的吸液口将溢到外腔室的溶液吸取回收。
进一步地，所述疏液槽设置在一安装块上，所述安装块在所述平台本体为可分拆式结构，所述安装块与所述平台本体间还设有高度调节机构。
采用上述优选的方案，便于针对不同的衬底更换不同的疏液槽安装块，提高平台的通用性，节约了成本。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是背景技术的结构示意图；
图2是本发明一种实施方式的结构示意图；
图3是图2的横截面的结构示意图；
图4是本发明另一种实施方式的结构示意图；
图5是图4的横截面的结构示意图；
图6是本发明另一种实施方式的结构示意图；
图7是本发明另一种实施方式的结构示意图；
图8是图7的横截面的结构示意图。
图中数字和字母所表示的相应部件的名称：
1-平台本体；2-疏液槽；3-汇流槽；31-吸液口；4-储液槽；41-内腔室；42-外腔室；43-吸液口；44-挡风导流片；45-浮球；5-衬底。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
如图2-3所示，本发明的一种实施方式为：一种防止衬底背面溶液扩散的平台，用于衬底5底面的平面支撑定位，包括平台本体1，平台本体1上设有低于平台本体表面的疏液槽2，疏液槽2设置在两相邻衬底5的接合处。
采用上述技术方案的有益效果是：疏液槽2可以有效避免在两个衬底5样片间的狭缝透过的溶液对背面的污染，减少透过溶液对吸附通道系统的影响，提升产品品质，提高了生产效率。
在本发明的另一些实施方式中，为了达到稳定收集溶液的目的，疏液槽2为一道条状凹槽，条状凹槽中心位置对应于相邻衬底的接合处；所述条状凹槽的横截面成圆弧形或梯形。采用上述技术方案的有益效果是：圆弧形凹槽可以稳定汇集透过的溶液；梯形凹槽，开口小，容腔大，在保证能稳定收集透过的溶液基础上，增加对衬底的支撑，提高储液能力。
如图4-5所示，在本发明的另一些实施方式中，为了达到减小凹槽开口的目的，疏液槽2为多道并行设置的条状凹槽，相邻条状凹槽之间的连接处表面与所述平台本体处于同一平面高度。采用上述技术方案的有益效果是：多道设置的凹槽可以减小每道凹槽的开口宽度，每道凹槽的边部对衬底依然起到支撑作用，可以有效减小衬底的局部变形。
如图6所示，在本发明的另一些实施方式中，为了达到及时收集溶液的目的，疏液槽2的端部设有汇流槽3；汇流槽3内设有液位传感器，汇流槽3底部设有吸液口31，吸液口31与涂液回收装置相连通，吸液口31与涂液回收装置间设有电磁控制阀。采用上述技术方案的有益效果是：通过疏液槽边部设置储液能力较强的汇流槽，并在汇流槽处连通涂液回收装置，能及时抽离疏液槽内透过的溶液，防止溢液，也减少了涂液回收装置吸液气流对衬底变形的影响。
如图7-8所示，在本发明的另一些实施方式中，为了达到减少凹槽对衬底产生的变形的目的，疏液槽2为多个成漏斗状的凹槽，疏液槽2下方设有储液槽4，每个所述凹槽底部与储液槽4相连通。采用上述技术方案的有益效果是：漏斗状凹槽边部对衬底有较强的支撑作用，既能稳定收集溶液，又能防止衬底变形，提高涂膜质量。
在本发明的另一些实施方式中，为了达到减少吸液口气流对衬底的变形影响的目的，储液槽4分为内腔室41、外腔室42，外腔室42与涂液回收装置的吸液口43相连通；内腔室41、外腔室42侧壁上方设有挡风导流片44，挡风导流片44一端铰接在储液槽4内壁上，另一端设有能漂浮在溶液表面的浮球45。采用上述技术方案的有益效果是：在内腔室溶液较少的情况下，挡风导流片44与侧壁相贴合，阻挡涂液回收装置的吸液口气流，当内腔室内溶液上升到一定位置，挡风导流片44的浮球45带动挡风导流片44打开，涂液回收装置的吸液口将溢到外腔室的溶液吸取回收。
在本发明的另一些实施方式中，为了达到易于更换的目的，疏液槽2设置在一安装块上，所述安装块在平台本体1为可分拆式结构，所述安装块与平台本体1间还设有高度调节机构。采用上述技术方案的有益效果是：便于针对不同的衬底更换不同的疏液槽安装块，提高平台的通用性，节约了成本。
上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于让本领域普通技术人员能够了解本发明的内容并加以实施，并不能以此限制本发明的保护范围，凡根据本发明精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本发明的保护范围内。

Claims (10)

1.一种防止衬底背面溶液扩散的平台，用于衬底底面的平面支撑定位，包括平台本体，其特征在于，所述平台本体上设有低于平台本体表面的疏液槽，所述疏液槽设置在两相邻衬底的接合处。
2.根据权利要求1所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述疏液槽为一道条状凹槽，条状凹槽中心位置对应于相邻衬底的接合处。
3.根据权利要求2所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述条状凹槽的横截面成圆弧形或梯形。
4.根据权利要求1所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述疏液槽为多道并行设置的条状凹槽，相邻条状凹槽之间的连接处表面与所述平台本体处于同一平面高度。
5.根据权利要求4所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述疏液槽的端部设有汇流槽。
6.根据权利要求5所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述汇流槽内设有液位传感器，所述汇流槽底部设有吸液口，所述吸液口与涂液回收装置相连通，所述吸液口与涂液回收装置间设有电磁控制阀。
7.根据权利要求1所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述疏液槽为多个成漏斗状的凹槽，所述疏液槽下方设有储液槽，每个所述凹槽底部与所述储液槽相连通。
8.根据权利要求7所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述储液槽分为内腔室、外腔室，所述外腔室与涂液回收装置的吸液口相连通。
9.根据权利要求8所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述内腔室、外腔室侧壁上方设有挡风导流片，所述挡风导流片一端铰接在储液槽内壁上，另一端设有能漂浮在溶液表面的浮球。
10.根据权利要求1所述的防止衬底背面溶液扩散的平台，其特征在于，所述疏液槽设置在一安装块上，所述安装块在所述平台本体为可分拆式结构，所述安装块与所述平台本体间还设有高度调节机构。
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