CN107434146B - 一种设备上物料的传输方法、装置和物料的传输设备 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供了一种设备上物料的传输方法和装置，其中，所述的方法包括：确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；若否，则采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。本发明实施例，在实际中只需要事先进行配置，指定必经节点，当需要进行手动传片时，设备的系统将自动根据必经节点分段计算传输路径，通过一次操作就可完成传输，减少了操作复杂度，并且降低了人为风险。

Description

一种设备上物料的传输方法、装置和物料的传输设备

技术领域

本发明涉及工业处理技术领域，特别是涉及一种设备上物料的传输方法，一种设备上物料的传输装置以及一种物料的传输设备。

背景技术

CVD(化学气相沉积，Chemical Vapor Deposition)技术是用来制备高纯、高性能固体薄膜的主要技术。在典型的CVD工艺过程中，一种或多种蒸汽源原子或分子混合于腔室中，在外部能量作用下(如加热、光照、等离子体等)发生化学反应并在晶圆表面形成需要的固体薄膜。通常，CVD工艺过程中还会产生很多副产物，这些副产物会被气流带走离开腔室。由于CVD技术具有生长速率快、成膜范围广、重现性好、可实现外延生长等优点，被广泛用于多种不同形态的成膜，如化合物薄膜、单晶薄膜、多晶薄膜和非晶薄膜，并成为微电子领域、光电子领域和功能涂层等的关键技术。

目前，在芯片制造过程中，大部分所需的薄膜材料，不论是导体、半导体，或是介电材料，都可以用CVD技术来制备，很多公司致力于为半导体照明、光伏和功率器件领域提供各种类型的CVD设备，比如APCVD(Atmospheric-Pressure Chemical Vapor Deposition，常压化学汽相淀积)设备，以满足客户多种制造工艺需求。

然而，目前的APCVD设备采用算法来计算制作芯片的物料的传输路径时，往往只考虑到了传输物料时的起点节点和终止节点，而不考虑设备上的其他节点，但是在实际应用中，为了物料在每个节点的准确性，通常必须要经过设备上的某个必经节点，而目前的传输路径计算并没有考虑到这一点，故而不能满足需求，

发明内容

鉴于上述问题，提出了本发明实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种设备上物料的传输方法，一种设备上物料的传输装置以及一种物料的传输设备。

为了解决上述问题，一方面，本发明实施例公开了一种设备上物料的传输方法，包括：

确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；

判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；

若是，则依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；

若否，则采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；

采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。

优选地，在所述设备上已配置有必经节点的信息，在所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤之前，还包括：

在所述设备上接收用户输入必经节点；

和/或，

在所述设备上获取已配置的必经节点。

优选地，所述必经节点为一个，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：

采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；

采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；

将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。

优选地，所述必经节点为多个，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：

采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；

采用所述多个必经节点计算第四传输路径；

采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；

将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。

优选地，所述多个必经节点设定有传输顺序，所述采用必经节点和起始节点计算第三传输路径的步骤包括：

按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；

采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。

优选地，所述采用多个必经节点计算第四传输路径的步骤包括：

按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。

优选地，所述采用必经节点和终止节点计算第五传输路径的步骤包括：

按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；

采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。

优选地，所述必经节点上存在同组的必经节点，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：

判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；

若是，则在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。

优选地，所述第一传输路径和所述第三传输路径为所述必经节点和起始节点之间最短的传输路径，所述第二传输路径和所述第五传输路径为所述必经节点和终止节点之间最短的传输路径，所述第四传输路径为必经节点之间的最短的传输路径，所述起始节点和所述终止节点的传输路径为所述起始节点和终止节点之间最短的传输路径；所述第一最终传输路径，第二最终传输路径第三最终传输路径为起始节点和所述终止节点的之间包含必经节点最短的传输路径。

另一方面，本发明实施例提供了一种设备上物料的传输装置，包括：

起止节点确定模块，用于确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；

必经节点判断模块，用于判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则调用第一传输路径计算模块，若否，则调用第二传输路径计算模块；

第一传输路径计算模块，用于依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；

第二传输路径计算模块，用于采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；

物料传输模块，用于采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。

优选地，所述的装置，还包括：

必经节点输入模块，用于在所述设备上接收用户输入必经节点；

和/或，

必经节点获取模块，用于在所述设备上获取已配置的必经节点。

优选地，所述必经节点为一个，所述第一传输路径计算模块包括：

第一路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；

第二路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；

第一路径组合子模块，用于将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。

优选地，所述必经节点为多个，所述第一传输路径计算模块包括：

第三路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；

第四路径计算子模块，用于采用所述多个必经节点两两计算第四传输路径；

第五路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；

第二路径组合子模块，用于将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。

优选地，所述多个必经节点设定有传输顺序，所述第三路径计算子模块包括：

起始必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；

第三传输路径计算单元，用于采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。

优选地，所述第四路径计算子模块包括：

第四传输路径计算单元，用于按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。

优选地，所述第五路径计算子模块包括：

终止必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；

第五传输路径计算单元，用于采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。

优选地，所述必经节点上存在同组的必经节点，所述第一传输路径计算模块包括：

同组的必经节点判断子模块，用于判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；若是，则调用最终传输路径计算子模块；

最终传输路径计算子模块，用于在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。

再一方面，本发明实施例提供了一种物料的传输设备，所述设备包括节点，所述节点包括必经节点，所述设备包括：

起止节点确定模块，用于确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；

必经节点判断模块，用于判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则调用第一传输路径计算模块，若否，则调用第二传输路径计算模块；

第一传输路径计算模块，用于依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；

第二传输路径计算模块，用于采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；

物料传输模块，用于采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。

本发明实施例包括以下优点：

本发明实施例中在设备上手动传片时，可以通过配置指定设备上的哪些节点是必须经过的，也即是指定必经节点，在设备上需要从起始节点至终止节点进行物料的传输时，将根据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径，最终采用该传输路径执行物料的传输操作，当然，如果不指定必经节点，则只需要根据起始节点和终止节点计算传输路径。应用本发明实施例，在实际中只需要事先进行配置，指定必经节点，当需要进行手动传片时，设备的系统将自动根据必经节点分段计算传输路径，通过一次操作就可完成传输，减少了操作复杂度，并且降低了人为风险。

附图说明

图1是一种APCVD设备结构的示意图；

图2是一种基于图论的最短路径搜索算法的示意图；

图3是本发明的一种设备上物料的传输方法实施例的步骤流程图；

图4是本发明的一种APCVD设备上物料的传输路径计算的流程图；

图5是本发明的一种设备上计算物料传输路径的模块示意图；

图6是本发明的一种设备上物料的传输装置实施例的结构框图；

图7是本发明的一种物料的传输设备实施例的结构框图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。

以APCVD设备为例，说明目前设备目前所存在的问题。参照图1所示的一种APCVD设备结构的示意图，APCVD设备结构具体如下所示：

1、两个LoadPort，分别是LoadPortA和LoadPortB，其内有25个Slot，其中存放的物料包括5寸、6寸和8寸三种形式；

2、一个LoadLock，可以放置1片物料；

3、一个ExternalValve，位于LoadPort和LoadLock之间；

4、一个TC腔；

5、一个InternalValve，位于LoadLock和TC之间；

6、一个工艺腔室，用于进行相应的工艺操作。对于不同尺寸的物料，托盘中存放的物料个数也不一致。8寸最多可以放5片，6寸最多可以放8片，5寸最多可以放10片。托盘中用于存放物料的位置称为“Pocket”。同时对pocket进行标记，如pocket1、pocket2、pocket3等；

7、一个GateValve，位于TC和工艺腔室之间；

8、一个大气端单臂机械手，用于LoadPort和LoadLock之间的传片；

9、一个真空端单臂机械手，用于LoadLock与TC，以及TC与工艺腔室之间的传片；

10、一个Aligner，位于LoadLock和LoadPort之间，用于物料传输的校准。

手动传片是APCVD设备的一个基本功能，主要用于设备量产前的设备调试，工艺试验以及设备的维护。手动传片的具体意义是将APCVD设备中指定的物料传输到APCVD设备中指定的节点。例如，将LoadPortA中第一片物料传输到LoadLock中。手动传片能完成的是传输功能，若物料必需经过某个部件后才能传输到另一个节点，则需要分为两次手动传片操作。例如，假设Aligner为必经节点，那么将LoadPortA的第一片传输到LoadLock的第一片，中间必须经过Aligner，那么需要执行两次手动传片：

(1)LoadPortA传输到Aligner；

(2)Aligner传输到LoadLock。

从LoadPortA到LoadLock的最短路径就是大气机械手从LoadPortA取片后，直接放到LoadLock中，但是途中需要经过Aligner，故而需要分成两次执行。

参照图2所示的一种基于图论的最短路径搜索算法的示意图，将设备上的每个可放置物料的位置作为图中的一个节点，例如：LoadPort，LoadLock，Aligner，机械手，PM。节点之间可达性的判断规则为：机械手节点与其可传片位置节点之间为双向可达，其余情况都为不可达，节点自身之间不可达。在APCVD设备中，节点包括：LoadPortA，LoadPortB，大气机械手，LoadLock，Aligner，真空机械手，PM。节点之间的可达性见图2，其中，双向箭头表示两个节点之间双向可达，例如PM与真空机械手之间的双线箭头表示PM与真空机械手可达，真空机械手与PM可达。

基于图论的最短路径搜索算法计算传输路径，例如从LoadPortA至LoadLock的传输路径为：

LoadPortA→大气机械手→LoadLock

但是在实际应用中，为了物料在每个位置的准确性(例如物料应该放在某个位置的正中心)，从LoadPort至LoadLock必须要经过Aligner做一次校准操作。那么在这种情况下，单纯采用最短路径搜索算法计算出来的传输路径是不符合要求的。为了满足这种实际应用，在存在必经节点的情况下，必须经过两次手动操作来完成：

LoadPortA→大气机械手→Aligner

Aligner→大气机械手→LoadLock

这样的操作方式就存在有两个缺点：

(1)操作较繁锁，不方便。

(2)增加了人为风险，若一时疏忽，忘记了先将物料传送至Aligner，而是直接将物料传送至了LoadLock，则物料的位置可能会发生偏移，不能满足需求。

针对上述问题，本专利的发明人创造性提出本发明实施例核心构思之一在于，可以通过预先对于设备进行配置，指定哪些节点是必须经过的，那么手动传片时设备的系统将自动计算出通过此必经节点的传输路径，从而通过一次操作就可完成传输，减少了操作复杂度，并且降低了人为操作的风险。

参照图3，示出了本发明的一种设备上物料的传输方法实施例的步骤流程图，具体可以包括如下步骤：

步骤101，确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；

在具体实现中，设备上可以包括多个节点，当需要在设备上传输物料时，则需要首先确定物料传输的起始节点和终止节点，以APCVD设备为例，起始节点和终止节点可以分别设置为LoadPort和LoadLock。

步骤102，判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则执行步骤103，若否，则执行步骤104；

在具体应用中，有可能在设备上没有指定必经节点，因此，在计算传输路径时，可以先确定是否存在必经节点，若存在，则采用必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径，即执行步骤103；若不存在，则只采用起始节点和终止节点计算传输路径即可，即执行步骤104。

步骤103，依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；

必经节点是进行物料传输时，从起始节点至终止节点之前必须要经过的设备上的节点，其中，必经节点可以是一个，也可以是多个，此外还可以指定必经节点的传输顺序。

在本发明的一种优选实施例中，所述的方法还可以包括如下步骤：

在所述设备上接收用户输入必经节点；

和/或，

在所述设备上获取已配置的必经节点。

在具体应用中，可以由用户手动输入设备的必经节点，或者修改在先配置的必经节点，节点的传输顺序等其他配置信息。另外，也可以直接从设备上获取已经配置好的必经节点，本发明实施例对此不加以限制。

在本发明的一种优选实施例中，所述必经节点可以为一个，所述步骤103可以包括如下子步骤：

子步骤S11，采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；

子步骤S12，采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；

子步骤S13，将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。

在本发明的一种示例中，可以预先在设备上配置好必经节点，当确定好起始节点和终止节点后，则可以根据必经节点，起始节点和终止节点，采用指定的路径算法来计算物料的传输路径。

例如，可以采用Dijkstra算法来计算出传输路径，根据Dijkstra算法可以计算出两个节点之间的最短传输路径。其中，Dijkstra算法，又称为狄克斯特拉算法。是从一个顶点到其余各顶点的最短路径算法，解决的是有向图中最短路径问题。Dijkstra算法主要特点是以起始点为中心向外层层扩展，直到扩展到终点为止。

具体来说，可以根据必经节点分段计算出传输路径，即可以首先根据Dijkstra算法计算出起始节点至必经节点之间的最短传输路径，然后再根据Dijkstra算法计算出必经节点至终止节点之间的最短传输路径，最终将两条传输路径组合在一起，就是从起始节点至终止节点之间，经过必经节点的最短传输路径。

需要说明的是，上述方案不仅仅适用于只存在一个必经节点的情形，也同样适用于存在多个，即两个或者两个以上的必经节点的情形。

在本发明的一种优选实施例中，所述必经节点可以为多个，所述步骤103可以包括如下子步骤：

子步骤S21，采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；

子步骤S22，采用所述多个必经节点两两计算第四传输路径；

子步骤S23，采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；

子步骤S24，将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。

起始节点和终止节点属于特殊的必经节点，在计算传输路径必须将这两个节点考虑到路径的计算方案中，易于理解，必经节点是存在于起始节点和终止节点之间节点，故假设在起始节点和终止节点存在两个或者两个以上的必经节点，则需要进一步计算必经节点之间的传输路径，且由于都为必经节点，则可以两两计算必经节点之间的传输路径，并从中挑选出能够通过各个必经节点且路径最短的传输路径，作为两个或两个以上必经节点之间的传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述多个必经节点可以设定有传输顺序，所述子步骤S21可以包括如下子步骤：

子步骤S21-1，按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；

子步骤S21-2，采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。

在一种情形下，需要按照一定顺序来进行物料的传输，也即是说必经节点之间存在预设的传输顺序，则在计算必经节点和起始节点之间的传输路径时，需要按照预设的传输顺序确定其要第一个需要经过的必经节点作为起始必经节点，然后与起始节点一起计算传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述子步骤S22可以包括如下子步骤：

子步骤S22-1，按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。

如果必经节点之间存在预设的传输顺序，则在计算必经节点之间的传输路径时，需要按照预设的传输顺序确来计算必经节点之间的传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述子步骤S22可以包括如下子步骤：

子步骤S23-1，按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；

子步骤S23-2，采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。

如果必经节点之间存在预设的传输顺序，，则在计算必经节点和终止节点之间的传输路径时，需要按照预设的传输顺序确定其要最后一个需要经过的必经节点作为终止必经节点，然后与终止节点一起计算传输路径。

综上可知，如果必经节点具有传输顺序，则需要将传输顺序融入到计算传输路径的过程中。另外，如果必经节点无需按照一定的传输顺序进行物料的传输，选择节点之间最短的传输路径即可。

在本发明的一种优选实施例中，所述必经节点上存在同组的必经节点，所述步骤103可以包括如下子步骤：

子步骤S31，判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；若是，则执行子步骤S32；

子步骤S32，在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。

在本发明的一种示例中，可以设置有同组的必经节点。所谓同组的必经节点，是指物料需要只需要经过该组其中一个的节点，无需再经过该组其他的节点。也即是说，若存在同组的必经节点，只需要从该组中选择其中一个必经节点用于计算传输路径即可。

在这种情形下，由于同组的必经节点都用于计算传输路径，那么可以分别使用同组中多个的必经节点来生成多条的传输路径，通过这些传输路径可以实现并行进行物料的传输。当然，也可以只选择其中一条的传输路径，本发明实施例对此不加以限制。

需要说明的是，在本发明实施例中也可以采用其他算法来计算传输路径，例如蚁群算法，遗传算法等等，只要该算法能够结合必经节点来计算出传输路径，使得该传输路径经过必经节点即可，本发明实施例对此不加以限制。

步骤104，采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；

步骤105，采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。

当根据必经节点，起始节点和终止节点计算出传输路径后，就可以根据该传输路径在设备上进行物料的传输。

本发明实施例中在设备上手动传片时，可以通过配置指定设备上的哪些节点是必须经过的，也即是指定必经节点，在设备上需要从起始节点至终止节点进行物料的传输时，将根据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径，最终采用该传输路径执行物料的传输操作。应用本发明实施例，在实际中只需要事先进行配置，指定必经节点，当需要进行手动传片时，设备的系统将自动根据必经节点分段计算传输路径，通过一次操作就可完成传输，减少了操作复杂度，并且降低了人为风险。

为了使本领域技术人员更好地理解本发明实施例，以下采用一个具体的示例来说明本发明实施例设定必经节点来实现手动传片的控制过程，具体过程如下所示：

(1)首先在设备的系统中增加一个属性来记录必经节点。

(2)输入必经节点。

以APCVD设备为例，参照图2所示，从LoadPort往LoadLock，真空机械手，PM传片必须经过Aligner，那么有如下设置：

Dictionary<int,int>orderlist＝new Dictionary<int,int>()；

orderlist.Add((int)node.P1,1)；

orderlist.Add((int)node.P2,2)；

orderlist.Add((int)node.AFERobot,3)；

orderlist.Add((int)node.Aligner,4)；

orderlist.Add((int)node.LA,5)；

orderlist.Add((int)node.VACRobot,6)；

orderlist.Add((int)node.PM1,7)；

KeyLink keylink＝new KeyLink(orderlist,node.Aligner.ToString())；

List<KeyLink>keyLinks＝new List<KeyLink>()；

keyLinks.Add(keylink)；

其中，上面的代码中的node分别指代设备中的如下节点：

node.P1←→LoadPortA

node.P2←→LoadPortB

node.AFERobot←→大气机械手

node.Aligner←→Aligner

node.LA←→Loadlock

node.VACRobot←→真空机械手

node.PM1←→PM

在具体实现中，如何采用合适的数据结构来表示关键节点是最重要的，既要考虑程序的功能性，也要考虑不同设备应用下程序的可扩展性。应用本发明实施例，如果有多于一个的必经节点或者存在不同顺序下必经节点不同的情况，都可以通过配置来实现，而不用修改程序的核心代码，简单且易于实现。

例如，APCVD设备中要求从PM，真空机械手，LoadLock往LoadPort中传片时也必须经过Aligner，则只需要增加如上述的配置即可，其他代码均不用改动。

(3)计算某两个节点之间的手动传输路径。

以APCVD设备为例，参照图4所示的本发明的一种APCVD设备上物料的传输路径计算的流程图，假设Aligner是必经节点，则具体计算传输路径的步骤可以包括：

步骤1：输入本次手动传片的起止节点；

步骤2：判断起止节点之间是否有Aligner，若是，则执行步骤4，若否，则执行步骤3；

步骤3：采用Dijkstra算法计算起止节点之间的传输路径；

步骤4：采用Dijkstra算法计算起始节点与Aligner之间的传输路径；

步骤5：采用Dijkstra算法计算Aligner与目的节点(终止节点)之间的传输路径。

其中，在上述步骤中判断起止节点之间是否有必经节点，并且根据必经节点进行分段计算传输路径的程序为：

需要说明的是，上述代码仅仅作为示例，不应当理解为对本发明实施例的限制，在实施本发明实施例时，也可以采用其他的代码来实现，本发明实施例对此不加以限制。

在本发明的另一种示例中，设定必经节点的传输方案在设备的系统中分为三个模块，分别是设备拓扑模块，手动传片执行模块，配置模块，各个模块之间的交互如图5所示：

配置模块：设定必经节点，并发送给设备拓扑模块；

手动传片执行模块：确定起始节点和终止节点，并发送给设备拓扑模块；

设备拓扑模块：根据起始节点和终止节点，以及必经节点分段计算传输路径，并将最终计算出的传输路径发送给手动传片执行模块，手动传片执行模块则可以根据传输路径来执行传输的操作。

在本发明实施例中，在设备的系统中配置必经节点，并采用预设数据结构来计算传输路径，其中，在计算传输路径时，会预先判断是否有必经节点，若存在必经节点，则会根据必经节点分段计算传输路径，最终采用根据必经节点计算得到的传输路径进行传输分段。

需要说明的是，对于方法实施例，为了简单描述，故将其都表述为一系列的动作组合，但是本领域技术人员应该知悉，本发明实施例并不受所描述的动作顺序的限制，因为依据本发明实施例，某些步骤可以采用其他顺序或者同时进行。其次，本领域技术人员也应该知悉，说明书中所描述的实施例均属于优选实施例，所涉及的动作并不一定是本发明实施例所必须的。

参照图6，示出了本发明的一种设备上物料的传输装置实施例的结构框图，所述装置具体可以包括如下模块：

起止节点确定模块201，用于确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；

必经节点判断模块202，用于判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则调用第一传输路径计算模块203，若否，则调用第二传输路径计算模块204；

第一传输路径计算模块203，用于依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；

在本发明的一种优选实施例中，所述第一传输路径计算模块203可以包括如下子模块：

第一路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；

第二路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；

第一路径组合子模块，用于将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述必经节点可以为多个，所述第一传输路径计算模块203可以包括如下子模块：

第三路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；

第四路径计算子模块，用于采用所述多个必经节点两两计算第四传输路径；

第五路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；

第二路径组合子模块，用于将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述多个必经节点设定有传输顺序，所述第三路径计算子模块包括：

起始必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；

第三传输路径计算单元，用于采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述第四路径计算子模块包括：

第四传输路径计算单元，用于按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述第五路径计算子模块包括：

终止必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；

第五传输路径计算单元，用于采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述必经节点上存在同组的必经节点，所述第一传输路径计算模块203可以包括如下子模块：

同组的必经节点判断子模块，用于判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；若是，则调用最终传输路径计算子模块；

最终传输路径计算子模块，用于在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。

物料传输模块205，用于采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。

在本发明的一种优选实施例中，所述装置还可以包括如下模块：

必经节点输入模块，用于在所述设备上接收用户输入必经节点；

和/或，

必经节点获取模块，用于在所述设备上获取已配置的必经节点。

在本发明的一种优选实施例中，所述第一传输路径和所述第三传输路径为所述必经节点和起始节点之间最短的传输路径，所述第二传输路径和所述第五传输路径为所述必经节点和终止节点之间最短的传输路径，所述第四传输路径为两两必经节点之间的最短的传输路径，所述起始节点和所述终止节点的传输路径为所述起始节点和终止节点之间最短的传输路径。

参照图7，示出了本发明的一种物料的传输设备实施例的结构框图，所述设备具体可以包括如下模块：

起止节点确定模块301，用于确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；

必经节点判断模块302，用于判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则调用第一传输路径计算模块303，若否，则调用第二传输路径计算模块304；

第一传输路径计算模块303，用于依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；

在本发明的一种优选实施例中，所述第一传输路径计算模块303可以包括如下子模块：

第一路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；

第二路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；

第一路径组合子模块，用于将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述必经节点可以为多个，所述第一传输路径计算模块303可以包括如下子模块：

第三路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；

第四路径计算子模块，用于采用所述多个必经节点两两计算第四传输路径；

第五路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；

第二路径组合子模块，用于将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述多个必经节点设定有传输顺序，所述第三路径计算子模块包括：

起始必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；

第三传输路径计算单元，用于采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述第四路径计算子模块包括：

第四传输路径计算单元，用于按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述第五路径计算子模块包括：

终止必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；

第五传输路径计算单元，用于采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。

在本发明的一种优选实施例中，所述必经节点上存在同组的必经节点，所述第一传输路径计算模块303可以包括如下子模块：

同组的必经节点判断子模块，用于判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；若是，则调用最终传输路径计算子模块；

最终传输路径计算子模块，用于在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。

第二传输路径计算模块304，用于采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；

物料传输模块305，用于采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输。

在本发明的一种优选实施例中，所述装置还可以包括如下模块：

必经节点输入模块，用于在所述设备上接收用户输入必经节点；

和/或，

必经节点获取模块，用于在所述设备上获取已配置的必经节点。

在本发明的一种优选实施例中，所述第一传输路径和所述第三传输路径为所述必经节点和起始节点之间最短的传输路径，所述第二传输路径和所述第五传输路径为所述必经节点和终止节点之间最短的传输路径，所述第四传输路径为两两必经节点之间的最短的传输路径，所述起始节点和所述终止节点的传输路径为所述起始节点和终止节点之间最短的传输路径。

对于装置实施例而言，由于其与方法实施例基本相似，所以描述的比较简单，相关之处参见方法实施例的部分说明即可。

本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。

本领域内的技术人员应明白，本发明实施例的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本发明实施例可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明实施例可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明实施例是参照根据本发明实施例的方法、终端设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理终端设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理终端设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理终端设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理终端设备上，使得在计算机或其他可编程终端设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程终端设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明实施例的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例做出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明实施例范围的所有变更和修改。

最后，还需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。

以上对本发明所提供的一种设备上物料的传输方法，一种设备上物料的传输装置以及一种物料的传输设备，进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (17)

1.一种设备上物料的传输方法，其特征在于，包括：

确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；

判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；

若是，则依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；

若否，则采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；

采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输；

其中，所述必经节点上存在同组的必经节点，依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：

判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；

若是，则在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述设备上已配置有必经节点的信息，在所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤之前，还包括：

在所述设备上接收用户输入必经节点；

和/或，

在所述设备上获取已配置的必经节点。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述必经节点为一个，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：

采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；

采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；

将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述必经节点为多个，所述依据必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径的步骤包括：

采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；

采用所述多个必经节点计算第四传输路径；

采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；

将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。

5.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述多个必经节点设定有传输顺序，采用必经节点和起始节点计算第三传输路径的步骤包括：

按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；

采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。

6.根据权利要求4或5所述的方法，其特征在于，采用多个必经节点计算第四传输路径的步骤包括：

按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，采用必经节点和终止节点计算第五传输路径的步骤包括：

按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；

采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。

8.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一传输路径为所述必经节点和起始节点之间最短的传输路径，所述第二传输路径为所述必经节点和终止节点之间最短的传输路径，所述第一最终传输路径为起始节点和所述终止节点的之间包含必经节点最短的传输路径。

9.根据权利要求4所述的方法，其特征在于，所述第三传输路径为所述必经节点和起始节点之间最短的传输路径，所述第四传输路径为必经节点之间的最短的传输路径，所述第五传输路径为所述必经节点和终止节点之间最短的传输路径，所述第二最终传输路径为起始节点和所述终止节点的之间包含必经节点最短的传输路径。

10.根据权利要求3或4或8或9所述的方法，其特征在于，所述起始节点和所述终止节点的传输路径为所述起始节点和终止节点之间最短的传输路径，所述第三最终传输路径为起始节点和所述终止节点的之间包含必经节点最短的传输路径。

11.一种物料的传输设备，其特征在于，所述设备包括节点，所述节点包括必经节点，所述设备包括：

起止节点确定模块，用于确定设备上物料传输的起始节点和终止节点；

必经节点判断模块，用于判断所述起始节点和终止节点之间是否存在必经节点；若是，则调用第一传输路径计算模块，若否，则调用第二传输路径计算模块；

第一传输路径计算模块，用于依据所述必经节点，起始节点和终止节点计算传输路径；

第二传输路径计算模块，用于采用所述起始节点和所述终止节点计算传输路径；

物料传输模块，用于采用所述传输路径在所述设备上进行物料的传输；

同组的必经节点判断子模块，用于判断所述必经节点是否存在同组的必经节点；若是，则调用最终传输路径计算子模块；

最终传输路径计算子模块，用于在从所述同组的必经节点中择一与起始节点，终止节点和其他的必经节点计算第三最终传输路径；所述第三最终传输路径为一条或多条。

12.根据权利要求11所述的设备，其特征在于，还包括：

必经节点输入模块，用于在所述设备上接收用户输入必经节点；

和/或，

必经节点获取模块，用于在所述设备上获取已配置的必经节点。

13.根据权利要求11所述的设备，其特征在于，所述必经节点为一个，所述第一传输路径计算模块包括：

第一路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第一传输路径；

第二路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第二传输路径；

第一路径组合子模块，用于将所述第一传输路径和所述第二传输路径组合为第一最终传输路径。

14.根据权利要求11所述的设备，其特征在于，所述必经节点为多个，所述第一传输路径计算模块包括：

第三路径计算子模块，用于采用所述必经节点和起始节点计算第三传输路径；

第四路径计算子模块，用于采用所述多个必经节点两两计算第四传输路径；

第五路径计算子模块，用于采用所述必经节点和终止节点计算第五传输路径；

第二路径组合子模块，用于将所述第三传输路径，第四传输路径和所述第五传输路径组合为第二最终传输路径。

15.根据权利要求14所述的设备，其特征在于，所述多个必经节点设定有传输顺序，所述第三路径计算子模块包括：

起始必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定起始必经节点；

第三传输路径计算单元，用于采用所述起始必经节点和起始节点计算第三传输路径。

16.根据权利要求14或15所述的设备，其特征在于，所述第四路径计算子模块包括：

第四传输路径计算单元，用于按照所述多个必经节点以及传输顺序计算第四传输路径。

17.根据权利要求15所述的设备，其特征在于，所述第五路径计算子模块包括：

终止必经节点确定单元，用于按照所述传输顺序在所述多个必经节点中确定终止必经节点；

第五传输路径计算单元，用于采用所述终止必经节点和终止节点计算第五传输路径。

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