CN107367850B - 检测装置、检测方法和液晶滴注设备、液晶滴注方法 - Google Patents

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Abstract

本发明属于显示技术领域，具体涉及一种检测装置、检测方法和液晶滴注设备、液晶滴注方法。该检测装置用于检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，包括采集单元和处理单元，其中：所述采集单元，用于获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像；所述处理单元，与所述采集单元连接，用于对表面图像进行处理，以获得所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。该检测装置及其相应的检测方法，能自动检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，从而获得适量的液晶填充量，避免液晶相关不良，保证显示品质。

Description

检测装置、检测方法和液晶滴注设备、液晶滴注方法
技术领域
本发明属于显示技术领域，具体涉及一种检测装置、检测方
法和液晶滴注设备、液晶滴注方法。
背景技术
随着科学技术的发展，液晶显示装置(Liquid Crystal Display：简称LCD)已成为目前显示装置的主流产品。液晶显示装置主要包括相对设置的彩膜基板、阵列基板和设置于二者之间的液晶，阵列基板中包括多个薄膜晶体管(Thin Film Transistor，简称TFT)以及与薄膜晶体管连接的电极，用于对液晶状态进行控制；液晶偏转对背光出光进行调制；彩膜基板包括多个彩色膜层(包括RGB)，用于对出光进行彩色化，最终实现显示。
液晶显示装置的生产过程包括前段的阵列基板(TFT工艺)和彩膜基板(CF工艺)生产、中段的液晶面板对盒(CELL)以及后段的模块组装(Module Assembly)，对盒阶段主要是将阵列基板与彩膜基板结合，并在二者之间填充液晶。液晶的填充量对显示装置的显示品质具有决定性的作用。但是，在彩膜基板生产过程中由于设备差异、设备波动、原材的批次性差异以及人员操作性差别导致的工艺波动无法避免。因此彩膜基板上的RGB膜层存在一定的段差(如图1所示)，虽然通过平坦层(OC)进行平坦化，但是制成的彩膜基板表面仍存在不平整的情况。另外，在对盒阶段中，需要计算出所需填充的液晶量，对于彩膜基板表面不平处所需要的液晶量，目前主要是通过手动测试几个点的RGB段差然后取平均值来计算整张基板表面不平处的体积。由于是手动随意取的几个点，所以其精确度必然有欠缺，偏差较大时就会导致液晶裕量(LC Margin)发生偏移，加上TFT工艺和CELL阶段工艺的波动，较容易发生品质不良。
可见，如何精确监测彩膜基板的表面平坦度，以填充适量的液晶和保证显示品质成为目前亟待解决的技术问题。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对现有技术中存在的上述不足，提供一种检测装置、检测方法和液晶滴注设备、液晶滴注方法，用于自动检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，从而获得适量的液晶填充量，保证显示品质。
解决本发明技术问题所采用的技术方案是该检测装置，用于检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，包括采集单元和处理单元，其中：
所述采集单元，用于获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像；
所述处理单元，与所述采集单元连接，用于对表面图像进行处理，以获得所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
优选的是，所述处理单元包括分离模块、计算模块和汇总模块，其中：
所述分离模块，用于从所述表面图像中获取多个像素区的彩色膜层的尺寸参数；
所述计算模块，与所述分离模块连接，用于接收所述分离模块获取的多个像素区的彩色膜层的尺寸参数，并计算得到不同颜色的所述彩色膜层之间的段差；
所述汇总模块，与所述计算模块连接，用于根据不同所述彩色膜层之间的段差，计算得到所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
优选的是，所述计算模块中，以不同颜色的所述彩色膜层中的其中一种颜色的彩色膜层的膜厚为基准，计算其他颜色的所述彩色膜层相对该颜色的彩色膜层的段差。
优选的是，所述采集单元包括光源模块、光路模块和获取模块，其中：
所述光源模块，用于向所述光路模块提供测量光束；
所述光路模块，用于接收测量光束，并将所述测量光束分解为参考光束以及照射光束，根据所述参考光束以及所述照射光束照射至所述彩膜基板表面的反射光束是否发生干涉现象，获得干涉图像；
所述获取模块，用于接收来自所述光路模块的干涉图像，根据所述干涉图像得到所述彩膜基板在显示区的表面图像。
优选的是，所述光路模块包括扩束镜、透反镜、成像透镜和干涉光学组件，所述扩束镜和所述成像透镜的光轴互相垂直设置，所述成像透镜和所述干涉光学组件分别设置于所述透反镜的两侧，其中：
所述扩束镜，设置于所述光源模块与所述透反镜之间，用于使得所述光源模块的光进行准直扩束后形成平行光束射向所述透反镜；
所述透反镜，用于接收所述扩束镜的所述平行光束，并将所述平行光束反射至所述干涉光学组件；
所述干涉光学组件，设置于所述透反镜的下方，用于接收来自所述透反镜的反射平行光束，并将所述反射平行光束分束为所述参考光束和所述照射光束，所述照射光束照射所述彩膜基板的表面的多点以分别产生反射光束，使得所述反射光束与所述参考光束产生干涉，获得包含所述彩膜基板的表面信息的干涉图像；
所述成像透镜，设置于所述获取模块与所述透反镜之间，用于将所述干涉图像成像至所述获取模块。
优选的是，所述干涉光学组件包括平行设置的物镜、分束镜和参考镜，其中：
所述物镜，接收来自所述透反镜的所述反射平行光束并透射至所述分束镜；
所述参考镜设置于所述物镜与所述分束镜之间，所述分束镜与所述参考镜之间的距离能相对进行调节，所述分束镜将来自所述物镜的光部分透射至所述彩膜基板的表面、部分反射至所述参考镜，所述参考镜将接收到的所有光反射至所述分束镜形成参考光束，所述参考光束能与所述彩膜基板表面的反射光束产生干涉现象，并通过所述物镜形成成像平行光束。
一种检测方法，用于检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，包括步骤：
获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像；
对表面图像进行处理，以获得所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
优选的是，获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像的步骤包括：
提供测量光束；
所述测量光束分解为参考光束与照射光束，根据所述参考光束以及所述照射光束照射至所述彩膜基板表面的反射光束是否发生干涉现象，获得干涉图像；
根据所述干涉图像，得到所述彩膜基板在显示区的表面图像。
优选的是，获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像的步骤包括：
所述测量光束准直扩束后形成平行光束射出；
所述平行光束反射形成反射平行光束；
所述反射平行光束分束为所述参考光束和所述照射光束，所述照射光束照射所述彩膜基板的表面的多点以分别产生反射光束，使得所述反射光束与所述参考光束产生干涉，获得包含所述彩膜基板的表面信息的干涉图像；
根据所述干涉图像得到所述彩膜基板在显示区的表面图像。
优选的是，获得所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积的步骤包括：
从所述表面图像中获取多个像素区的彩色膜层的尺寸参数；
接收多个像素区的彩色膜层的尺寸参数，并计算得到不同颜色的所述彩色膜层之间的段差；
根据不同所述彩色膜层之间的段差，计算得到所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
优选的是，计算得到不同颜色的所述彩色膜层之间的段差时，以不同颜色的所述彩色膜层中的其中一种颜色彩色膜层的膜厚为基准，计算其他颜色的所述彩色膜层相对该颜色的所述彩色膜层的段差。
一种液晶滴注设备，包括液晶滴注装置，还包括上述的检测装置，所述液晶滴注装置根据所述检测装置的所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积填充液晶量。
一种液晶滴注方法，该方法包括上述的检测方法，所述液晶滴注方法根据所述检测方法的所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积填充液晶量。
本发明的有益效果是：该检测装置及其相应的检测方法，能自动检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，从而获得适量的液晶填充量，避免液晶相关不良，保证显示品质。
附图说明
图1为彩膜基板的结构示意图；
图2为本发明实施例1中检测装置的结构框架示意图；
图3为图2中采集单元的结构及测量原理示意图；
图4为本发明实施例1中采集单元的安装示意图；
图5为本发明实施例1中检测方法的流程图；
图6A和图6B为干涉图形示意图；
图7为本发明实施例1中彩膜基板的表面图像示意图；
图8为图7中彩膜基板的表面俯视图；
图9对图7中彩膜基板体积的计算结果的示意图；
附图标识中：
1－彩膜基板；11－衬底；12－彩膜层；13－隔垫物；
2－采集单元；21－光源模块；22－光路模块；23－获取模块；
3－处理单元；
220－扩束镜；221－透反镜；222－成像透镜；
223－干涉光学组件；224－物镜；225－参考镜；226－分束镜。
具体实施方式
为使本领域技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明检测装置、检测方法和液晶滴注设备、液晶滴注方法作进一步详细描述。
实施例1：
本实施例提供一种检测装置，针对因彩膜基板的表面平坦度造成液晶填充量不适当而引起显示品质的问题，通过检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，提供一种自动检测合适的液晶填充量的检测装置，保证显示品质。
本实施例为在液晶面板成盒工艺中取向层PI涂覆后的一种新型微观检测装置，对于已经形成了包括多个颜色的彩色膜层的彩膜基板进行表面状态检测，进一步获得彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。如图2所示，该检测装置包括采集单元2和处理单元3，其中：
采集单元2，用于获取并输出彩膜基板在显示区的表面图像；
处理单元3，与采集单元2连接，用于对表面图像进行处理，以获得彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
其中，处理单元3包括分离模块、计算模块和汇总模块，其中：
分离模块，用于从表面图像中获取多个像素区的彩色膜层的尺寸参数，该彩色膜层的尺寸参数至少包括膜厚；
计算模块，与分离模块连接，用于接收分离模块获取的多个像素区的彩色膜层的尺寸参数，并计算得到不同颜色的彩色膜层之间的段差；
汇总模块，与计算模块连接，用于根据不同彩色膜层之间的段差，计算得到彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
在计算模块中，以不同颜色的彩色膜层中的其中一种颜色的彩色膜层的膜厚为基准，计算其他颜色的彩色膜层相对该颜色的彩色膜层的段差。通常情况下，制备多个颜色的彩色膜层时最先制备蓝色的彩色膜层，因此优选以位于彩膜基板底层的蓝色的彩色膜层的膜厚为基准，以便于能简化检测膜层段差的处理过程。
如图3所示，采集单元2包括光源模块21、光路模块22和获取模块23，其中：
光源模块21，用于向光路模块22提供测量光束。当设置多组光路模块22时，多组光路模块22可共用光源模块21。
光路模块22，用于接收测量光束，且测量光束分解为参考光束以及照射光束，根据参考光束以及照射光束照射至彩膜基板表面的反射光束是否发生干涉现象，获得干涉图像。在光路模块22中，通过对测量光束进行分束，形成照射彩膜基板表面的透射光束以及与透射光束同频率的参考光束，进而形成干涉图像，为自动检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积提供表面图像。例如，光路模块22可以封装为一体的设备，从而保证彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积的测量精度。
获取模块23，用于接收来自光路模块22的干涉图像，根据干涉图像得到彩膜基板在显示区的表面图像。
进一步的，在图3中，光路模块包括扩束镜220、透反镜221、成像透镜222和干涉光学组件223，扩束镜220和成像透镜222的光轴互相垂直设置，成像透镜222和干涉光学组件223分别设置于透反镜221的两侧，其中：
扩束镜220，设置于光源模块21与透反镜221之间，用于使得光源模块21的光进行准直扩束后形成平行光束射向透反镜221；
透反镜221，用于接收扩束镜220的平行光束，并将平行光束反射至干涉光学组件223；
干涉光学组件223，设置于透反镜221的下方，用于接收来自透反镜221的反射平行光束，并将反射平行光束分束为参考光束和照射光束，照射光束照射彩膜基板的表面的多点以分别产生反射光束，使得反射光束与参考光束产生干涉，获得包含彩膜基板的表面信息的干涉图像；
成像透镜222，设置于获取模块23与透反镜221之间，用于将干涉图像成像至获取模块23。
其中，干涉光学组件223包括平行设置的物镜224、参考镜225和分束镜226，其中：
物镜224，接收来自透反镜221的反射平行光束并透射至分束镜226；
参考镜225设置于物镜224与分束镜226之间，分束镜226与参考镜225之间的距离能相对进行调节，分束镜226将来自物镜224的光部分透射至彩膜基板的表面、部分反射至参考镜225，参考镜225将接收到的所有光反射至分束镜226形成参考光束，参考光束能与彩膜基板表面的反射光束产生干涉现象，并通过物镜形成成像平行光束。
如图3所示，在测量过程中，光源发出的光经扩束镜220形成平行光束后，通过透反镜221反射进入物镜224；物镜224下方具有全反射的参考镜225(reference)和半透半反的分束镜226(beam splitter)，经过物镜224的光束透过分束镜226一部分透射至彩膜基板的表面、一部分反射至参考镜225，由于波发生反射时，反射波和入射波是在同一种介质中传播，波的频率、波长、波速均不变，因此参考镜225将接收到的所有光反射至分束镜226形成参考光束，透射至彩膜基板的表面的部分光束反射回分束镜226，反射光束与参考光束发生干涉。根据干涉原理，两列光波的频率相同、相位差恒定，振动方向一致的相干光源发生干涉，当d1＝d2时干涉强度最大，其中，d1为分束镜226距离彩膜基板表面的距离，d2为参考镜225与分束镜226之间的距离，根据干涉强度不同得到的图像能反映出测量物体的表面，也即彩膜基板表面的状况。
该检测装置利用白光干涉原理进行表面图像测量。白光干涉在光程差为0时，干涉强度最大，干涉条纹宽度约为3～4μm，选用白光作为彩色膜层测高的光源，当光程差为0的时候，可以得到较强的干涉条纹，从而得到比较确定的表面状况，最终获得较为准确的彩膜基板在显示区的不平坦度的体积。
优选的是，透反镜221的下方设置有支撑盘(图3中未示出)，干涉光学组件223设置于支撑盘上，每一干涉光学组件223均对应设置有微扫描器(图3中未示出)，微扫描器能带动干涉光学组件223进行距离调节。
在测量时，可以先保持参考镜225与分束镜226之间的距离d2不变，通过调节干涉光学组件223在竖直方向上的位置，先聚焦找到测量物体，此时保持Z轴不动；然后通过微扫描器控制干涉光学组件223向下扫描，寻找恰当的d2进行测量，测量物体表面是由很多点组成的，所有的点合成起来就是一条线，与基准面的差值就是测量所得段差。容易理解的是，也可以保持分束镜226与参考镜225之间的距离d2不变并分装多个干涉光学组件，并使得多个干涉光学组件中参考镜225与分束镜226之间的距离d2各不同，从而通过多个干涉光学组件获得适应于多种应用表面的测量。
优选的是，如图4所示，该检测装置包括设置在腔室内部的支撑机构(Gantry)，多个采集单元2(在本实施例中为四组采集单元2)设置于支撑机构上。在这些采集单元中，可以在光源模块21与光路模块22之间设置控制光源控制器和分配器，从而采用一组光源模块21共用为多组光路模块22均提供合适的测量光束。
同时，为了便于精确控制物镜达到目标位置，支撑机构中还可设置位置传感器用于监测光路模块22在水平面和竖直方向上的移动位置。设置传感器用于控制支撑机构移动能方便的对整个光路模块22进行灵活移动，在实际应用中可根据实际情况进行增减。在实际检测过程中，可以是采集单元2固定，彩膜基板移动的方式来获取表面图像；也可以是彩膜基板固定，采集单元2移动扫描的方式来获取表面图像。要使采集单元2移动，通过控制电机(Motor)驱动支撑机构移动即可。
如图4所示，通过采集单元2对流过的一张彩膜基板进行连续扫描，并记录拍下的3D表面图像数据，然后对表面图像数据进行计算分析，以参量采样点的像素区为单位，准确计算出彩膜基板表面RGB膜层之间不平整处的体积，由此可以精确计算出成盒时所需要的液晶量，使得液晶裕量不会发生偏移，从而避免显示产品发生重力Mura或者气泡Bubble等不良。
这里应该理解的是，可以在彩膜基板上选一些均匀分布的像素区作为测量点，在对测量时间和数据处理量不做要求的前提下，当然也可以逐一测量每一个像素区，保证获取彩膜基板显示区真实的空间大小。
通过该检测装置，可实现自动检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积的目的，进而评估合适的液晶填充量，保证显示品质。
相应的，本实施例还提供用于检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积一种检测方法，如图5所示，该检测方法包括步骤：
步骤S1)：获取并输出彩膜基板在显示区的表面图像；
步骤S2)：对表面图像进行处理，以获得彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
通过该检测方法，可实现自动检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积的目的，进而评估合适的液晶填充量，保证显示品质。
具体的，步骤S1)获取并输出彩膜基板在显示区的表面图像包括：
步骤S11)提供测量光束，测量光束准直扩束后形成平行光束射出；
步骤S12)测量光束分解为参考光束与照射光束，根据参考光束以及照射光束照射至彩膜基板表面的反射光束是否发生干涉现象，获得干涉图像。即平行光束反射形成反射平行光束；反射平行光束分束为参考光束和照射光束，照射光束照射彩膜基板的表面的多点分别并产生反射光束，使得反射光束与参考光束产生干涉，获得包含彩膜基板的表面信息的干涉图像。
步骤S12)根据干涉图像，得到彩膜基板在显示区的表面图像。
步骤S2)获得彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积包括：
步骤S21)从表面图像中获取多个像素区的彩色膜层的尺寸参数，该彩色膜层的尺寸参数至少包括膜厚。
步骤S22)接收多个像素区的彩色膜层的尺寸参数，并计算得到不同颜色的彩色膜层之间的段差。
在该步骤中，以不同颜色的彩色膜层中的其中一种颜色彩色膜层的膜厚为基准，计算其他颜色的彩色膜层相对该颜色的彩色膜层的段差。通常情况下，制备多色彩色膜层时最先制备蓝色的彩色膜层，因此优选以位于彩膜基板底层的蓝色的彩色膜层的膜厚为基准，能简化检测膜层段差的处理过程。
步骤S23)根据不同彩色膜层之间的段差计算得到彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
该检测方法的工作原理为：
参考图3所示的光路图，光源发出的光经扩束镜220形成平行光束后，通过透反镜221反射进入物镜224；物镜224下方具有全反射的参考镜225(reference)和半透半反的分束镜226(beam splitter)，经过物镜224的光束透过分束镜226一部分透射至彩膜基板的表面、一部分反射至参考镜225，参考镜225将接收到的所有光反射至分束镜形成参考光束，透射至彩膜基板的表面的光束反射回分束镜226，反射光束与参考光束具有相同的频率而发生干涉(图3中P为干涉波强度)。根据干涉原理，当两束光波相遇时，光程差是1/2波长的整数倍会产生明暗相间的条纹，当d1＝d2时干涉强度最大。其中：当光程差为1/2波长的偶数倍时，为建设性干涉，如图6A所示，叠加增强；当光程差为1/2波长的奇数倍时，为破坏性干涉，如图6A所示，叠加减弱。
如图7所示，其为采集单元拍摄的一张彩膜基板表面的3D表面图像，整张彩膜基板以位于底层的彩色膜层为基准，例如以蓝色Blue膜层为基准，在一个像素区(pixel)内可以分别量出绿色(Green)膜层和红色(Red)膜层与蓝色膜层的段差，而每个像素区的大小是设计好的，可以知道长和宽的值。所以根据测出的段差值作为高，利用长、宽、高则可计算出不平坦处的体积，进而精确算出整张彩膜基板不平坦处所需的液晶量。
如图8所示，其采集单元拍摄的一张8WXGA产品彩膜基板表面的俯视图，利用上述检测方法处理图9，可以得到如图9所示结果。根据图9，可以看出G-B之间有0.11μm的段差，8WXGA的像素区的大小为134.55*44.85，由此利用长、宽、高则可以计算出绿色膜层与蓝色膜层段差的体积，同理可计算出红色膜层与蓝色膜层落差的体积，进而得出彩膜基板的各色膜层表面落差造成的总体积，再计算液晶量时考虑进这一部分需要的液晶量，则可以得出液晶显示产品所需的精准液晶量，提升产品品质。
可见，该检测装置及其相应的检测方法，能自动检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，从而获得适量的液晶填充量，避免液晶相关不良，保证显示品质。
实施例2：
本实施例提供一种液晶滴注设备，包括液晶滴注装置，其还包括实施例1中的检测装置，液晶滴注装置根据检测装置的彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积填充液晶量。
相应的，本实施例还提供一种液晶滴注方法，该方法包括根据实施例1的检测方法获得的彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积填充液晶量。
采用该液晶滴注设备及其液晶滴注方法，自动检测合适的液晶填充量，保证显示品质。
可以理解的是，以上实施方式仅仅是为了说明本发明的原理而采用的示例性实施方式，然而本发明并不局限于此。对于本领域内的普通技术人员而言，在不脱离本发明的精神和实质的情况下，可以做出各种变型和改进，这些变型和改进也视为本发明的保护范围。

Claims (9)

1.一种检测装置，用于检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，其特征在于，包括采集单元和处理单元，其中：
所述采集单元，用于获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像；
所述处理单元，与所述采集单元连接，用于对表面图像进行处理，以获得所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积；
所述处理单元包括分离模块、计算模块和汇总模块，其中：
所述分离模块，用于从所述表面图像中获取多个像素区的彩色膜层的尺寸参数；
所述计算模块，与所述分离模块连接，用于接收所述分离模块获取的多个像素区的彩色膜层的尺寸参数，并计算得到不同颜色的所述彩色膜层之间的段差；
所述汇总模块，与所述计算模块连接，用于根据不同所述彩色膜层之间的段差，计算得到所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积；
所述采集单元包括光源模块、光路模块和获取模块，其中：
所述光源模块，用于向所述光路模块提供测量光束；
所述光路模块，用于接收测量光束，并将所述测量光束分解为参考光束以及照射光束，根据所述参考光束以及所述照射光束照射至所述彩膜基板表面的反射光束是否发生干涉现象，获得干涉图像；
所述获取模块，用于接收来自所述光路模块的干涉图像，根据所述干涉图像得到所述彩膜基板在显示区的表面图像。
2.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述计算模块中，以不同颜色的所述彩色膜层中的其中一种颜色的彩色膜层的膜厚为基准，计算其他颜色的所述彩色膜层相对该颜色的彩色膜层的段差。
3.根据权利要求1所述的检测装置，其特征在于，所述光路模块包括扩束镜、透反镜、成像透镜和干涉光学组件，所述扩束镜和所述成像透镜的光轴互相垂直设置，所述成像透镜和所述干涉光学组件分别设置于所述透反镜的两侧，其中：
所述扩束镜，设置于所述光源模块与所述透反镜之间，用于使得所述光源模块的光进行准直扩束后形成平行光束射向所述透反镜；
所述透反镜，用于接收所述扩束镜的所述平行光束，并将所述平行光束反射至所述干涉光学组件；
所述干涉光学组件，设置于所述透反镜的下方，用于接收来自所述透反镜的反射平行光束，并将所述反射平行光束分束为所述参考光束和所述照射光束，所述照射光束照射所述彩膜基板的表面的多点以分别产生反射光束，使得所述反射光束与所述参考光束产生干涉，获得包含所述彩膜基板的表面信息的干涉图像；
所述成像透镜，设置于所述获取模块与所述透反镜之间，用于将所述干涉图像成像至所述获取模块。
4.根据权利要求3所述的检测装置，其特征在于，所述干涉光学组件包括平行设置的物镜、分束镜和参考镜，其中：
所述物镜，接收来自所述透反镜的所述反射平行光束并透射至所述分束镜；
所述参考镜设置于所述物镜与所述分束镜之间，所述分束镜与所述参考镜之间的距离能相对进行调节，所述分束镜将来自所述物镜的光部分透射至所述彩膜基板的表面、部分反射至所述参考镜，所述参考镜将接收到的所有光反射至所述分束镜形成参考光束，所述参考光束能与所述彩膜基板表面的反射光束产生干涉现象，并通过所述物镜形成成像平行光束。
5.一种检测方法，用于检测彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积，其特征在于，包括步骤：
获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像；
对表面图像进行处理，以获得所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积；
获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像的步骤包括：
提供测量光束；
所述测量光束分解为参考光束与照射光束，根据所述参考光束以及所述照射光束照射至所述彩膜基板表面的反射光束是否发生干涉现象，获得干涉图像；
根据所述干涉图像，得到所述彩膜基板在显示区的表面图像；
获得所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积的步骤包括：
从所述表面图像中获取多个像素区的彩色膜层的尺寸参数；
接收多个像素区的彩色膜层的尺寸参数，并计算得到不同颜色的所述彩色膜层之间的段差；
根据不同所述彩色膜层之间的段差，计算得到所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积。
6.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，获取并输出所述彩膜基板在显示区的表面图像的步骤包括：
所述测量光束准直扩束后形成平行光束射出；
所述平行光束反射形成反射平行光束；
所述反射平行光束分束为所述参考光束和所述照射光束，所述照射光束照射所述彩膜基板的表面的多点以分别产生反射光束，使得所述反射光束与所述参考光束产生干涉，获得包含所述彩膜基板的表面信息的干涉图像；
根据所述干涉图像得到所述彩膜基板在显示区的表面图像。
7.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，计算得到不同颜色的所述彩色膜层之间的段差时，以不同颜色的所述彩色膜层中的其中一种颜色彩色膜层的膜厚为基准，计算其他颜色的所述彩色膜层相对该颜色的所述彩色膜层的段差。
8.一种液晶滴注设备，包括液晶滴注装置，其特征在于，该设备包括权利要求1-4任一所述的检测装置，所述液晶滴注装置根据所述检测装置的所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积填充液晶量。
9.一种液晶滴注方法，其特征在于，该方法包括权利要求5-7任一所述的检测方法，所述液晶滴注方法根据所述检测方法的所述彩膜基板在显示区的不平坦区域的体积填充液晶量。
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