CN107219232B - 一种可自动检测栅极腐蚀装置 - Google Patents

Abstract

本发明属于栅极腐蚀检测技术领域，具体涉及一种可自动检测栅极腐蚀装置，包括壳体，壳体内设有栅极、安全房、检测机构、六轴机械模组和控制系统，安全房设于栅极的下方，检测机构与六轴机械模组连接，六轴机械模组容置于安全房内，检测机构、六轴机械模组均与所述控制系统控制连接，需要检测栅极的腐蚀情况时，六轴机械模组从安全房内滑出并将检测机构输送至栅极的待检测部位。本发明的可自动检测栅极腐蚀装置，能够对栅极所有面腐蚀的情况进行检测。

Description

一种可自动检测栅极腐蚀装置

技术领域

本发明属于栅极腐蚀检测技术领域，具体涉及一种可自动检测栅极腐蚀装置。

背景技术

有一些大型设备通常工作在真空环境中，进行栅极离子溅射，但栅极又会有腐蚀的情况发生，所以为了防止对后续的离子溅射产生不良的影响，所以必须在每次栅极进行离子溅射前对栅极的腐蚀进行检测，如果靠人工去检验，则难度系数很高，而且危险，又比较浪费时间。

发明内容

本发明主要提供了一种可自动检测栅极腐蚀装置，能够对栅极所有面腐蚀的情况进行检测。其技术方案如下：一种可自动检测栅极腐蚀装置，包括壳体，壳体内设有栅极、安全房、检测机构、六轴机械模组和控制系统，安全房设于栅极的下方，检测机构与六轴机械模组连接，六轴机械模组容置于安全房内，检测机构、六轴机械模组均与所述控制系统控制连接，需要检测栅极的腐蚀情况时，六轴机械模组从安全房内滑出并将检测机构输送至栅极的待检测部位。

优选的，所述六轴机械模组包括滑出机构、支撑机构、旋转机构、滑移机构、角度调节机构和对焦机构，安全房的底面上设有滑轨，所述滑轨延伸至安全房外，滑出机构滑动的设于所述滑轨上，支撑机构上具有一旋转杆，滑出机构从安全房内滑出时旋转杆由与滑出机构贴合状态变为直立状态，旋转机构设于旋转杆的端部，旋转机构与一滑行件连接，滑移机构滑动的设于滑行件上，角度调节机构位于滑移机构上，角度调节机构与检测机构连接使检测机构左右摆动，对焦机构与检测机构连接以微调检测机构与栅极间的距离。

优选的，所述检测机构包括相机和光源，检测时，相机、光源和栅极上待检测部位处于同一直线上。

优选的，所述滑出机构包括滑板和滑出电机，滑板架设在所述滑轨上，滑出电机与滑板驱动连接以使滑板滑行，滑出电机与所述控制系统电连接。

优选的，所述支撑机构还包括底座、支撑电机和直角基准板，底座坐设于滑出机构上，旋转杆与底座铰接，支撑电机与旋转杆连接以使旋转杆转动使其与底座贴合或直立于底座上，直角基准板立于底座上，直角基准板为旋转杆的直立状态提供定位，支撑电机与所述控制系统电连接。

优选的，所述旋转机构包括旋转电机和旋转座，旋转座设于旋转杆的端部，旋转电机设于旋转座上，旋转电机的输出轴与滑行件连接，旋转电机与所述控制系统电连接。

优选的，所述滑行件为一弧形导轨，滑移机构包括滑移电机和滑移座，滑移座滑动的设于所述弧形导轨上，滑移电机与滑移座连接以使滑移座沿所述弧形导轨滑行，滑移电机与所述控制系统电连接。

优选的，所述角度调节机构设于滑移座上，角度调节机构为直角电机，检测机构与所述直角电机的输出轴连接，所述直角电机带动检测机构以直角电机的对称轴为中心进行左右摆动，所述直角电机与所述控制系统电连接。

优选的，所述对焦机构包括对焦电机和对焦座，对焦座坐设在角度调节机构上，检测机构设于对焦座上，对焦电机与检测机构连接以微调检测机构与栅极间的距离，对焦电机与所述控制系统电连接。

优选的，所述安全房上设有防护门，六轴机械模组从防护门处滑出。

采用上述自动检测栅极腐蚀装置，其具有以下优点：

(1)本发明设计一套完整的检测系统，通过多机构组合，一次定位栅极实现多面检测，克服栅极在真空环境检测下不易定位的问题；

(2)本发明采用安全房结构形式，即栅极进行离子溅射实验时，将检测装置收起，放置安全房内，隔绝离子溅射时产生的高温，检测时打开防护门，对实验后的栅极检测，保护检测设备。

附图说明

图1为本发明的可自动检测栅极腐蚀装置结构图；

图2为图1所示可自动检测栅极腐蚀装置除去真空箱后的结构图；

图3为本发明中的六轴机械模组结构图。

其中：1、壳体，11、真空箱，12、检测设备壳体，13、离子溅射实验壳体，2、栅极，3、安全房，31、防护门，4、检测机构，41、相机，5、六轴机械模组，51、滑出机构，51-1、滑板，51-2、滑出电机，52、支撑机构，52-1、旋转杆，52-2、底座，52-3、支撑电机，52-4、直角基准板，53、旋转机构，53-1、旋转电机，53-2、旋转座，54、滑移机构，54-1、滑移电机，54-2、滑移座，55、角度调节机构，56、对焦机构，56-1、对焦电机，56-2、对焦座，6、滑行件。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应作广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

如图1-3所示，为本发明的可自动检测栅极腐蚀装置，包括壳体1、栅极2、安全房3、检测机构4、六轴机械模组5、滑行件6和控制系统，壳体1包括依次连接的真空箱11、检测设备壳体12和离子溅射实验壳体13，栅极2位于离子溅射实验壳体13内并朝真空箱11的方向溅射，安全房3位于离子溅射实验壳体13内并设于栅极2的下方。检测机构4安装在六轴机械模组5上，六轴机械模组5容置于安全房3内，安全房3上设有防护门31，需要检测栅极2的腐蚀情况时，防护门31打开，六轴机械模组5从安全房3内滑出运行到检测设备壳体12内，六轴机械模组5将检测机构4输送至栅极2的正前方。

六轴机械模组5包括滑出机构51、支撑机构52、旋转机构53、滑移机构54、角度调节机构55和对焦机构56。安全房3的底面上设有滑轨，所述滑轨延伸至安全房3外。滑出机构51包括滑板51-1和滑出电机51-2，滑板51-1架设在所述滑轨上，滑出电机51-2与滑板51-1驱动连接以使滑板51-1滑行，滑出机构51的目的是将六轴机械模组5从安全房3内移出。

支撑机构52包括旋转杆52-1、底座52-2、支撑电机52-3和直角基准板52-4，底座52-2坐设于滑板51-1上，旋转杆52-1与底座52-2铰接，支撑电机52-3与旋转杆52-1连接，滑出机构51从安全房3内滑出时旋转杆52-1转动并直立于底座52-2上。直角基准板52-4立于底座52-2上，直角基准板52-4为旋转杆52-1的直立状态提供定位，使旋转杆52-1正好旋转90度到栅极2正前方。支撑机构52的设置使整个六轴机械模组5不仅可以折叠收纳在安全房3内，还可以在检测时将检测机构4送到栅极2的正前方。

旋转机构53包括旋转电机53-1和旋转座53-2，旋转座53-2设于旋转杆52-1的端部，旋转电机53-1设于旋转座53-2上，旋转电机53-1的输出轴与滑行件6连接，滑行件6为一弧形导轨，弧形导轨主要是根据栅极2的球面专门定制。旋转机构53的设置可以调整滑行件6的延伸方向。

滑移机构54包括滑移电机54-1和滑移座54-2，滑移座54-2滑动的设于所述弧形导轨上，滑移电机54-1与滑移座54-2连接以使滑移座54-2沿所述弧形导轨滑行。滑移机构54的设置方便的调整检测机构4的位置。

角度调节机构55设于滑移座54-2上，角度调节机构55为直角电机。对焦机构56包括对焦电机56-1和对焦座56-2，对焦座56-2坐设在所述直角电机上，所述直角电机的输出轴与对焦座56-2连接，检测机构4设于对焦座56-2上，所述直角电机带动对焦座56-2以直角电机的对称轴为中心进行左右摆动，对焦座56-2进而带动检测机构4左右旋转45度，精度保证正负0.1度。对焦电机56-1设于对焦座56-2上，对焦电机56-1位于检测机构4的一端，对焦电机56-1与检测机构4连接以微调检测机构4与栅极2间的距离。

检测机构4包括相机41和光源，检测时，相机41、光源和栅极2上待检测部位处于同一直线上。

相机41、滑出电机51-2、支撑电机52-3、旋转电机53-1、滑移电机54-1、直角电机和对焦电机56-1均与控制系统电连接，由控制系统控制各自工作。

本发明的可自动检测栅极腐蚀装置工作情况如下：需要检测时，防护门31打开，滑出电机51-2动作，滑板51-1从安全房3内滑出。然后支撑电机52-3动作，使旋转杆52-1开始旋转90度靠直角基准板52-4定位，将检测机构4送到栅极2正前方。进而旋转电机53-1旋转，使滑行件6水平。滑移电机54-1带动滑移座54-2在滑行件6上左右移动，相机41在左右移动的行程中会采集几张图片对栅极2进行分析。期间角度调节机构55使相机41进行左右45度旋转对栅极2采集照片，其中对焦电机56-1使相机41微调前后位置以对焦。至此，栅极2的水平方向和左右方向都已检测完毕。

角度调节机构55复位，回到正对栅极2的方向，滑移电机54-1复位，回到滑行件6的中间部位。然后旋转电机53-1旋转使滑行件6旋转90度到竖直状态，滑移电机54-1带动滑移座54-2在滑行件6上上下移动，相机41在上下移动的行程中会采集几张图片对栅极2进行分析。期间角度调节机构55使相机41进行左右45度旋转对栅极2采集照片，其中对焦电机56-1使相机41微调前后位置。至此栅极2的上下方向都已检测完毕。

最后，旋转电机53-1使滑行件6复位到水平状态，滑移电机54-1复位到滑行件6的中间部位，角度调节机构55复位到正对栅极2的状态。支撑电机52-3动作使旋转杆52-1回归到水平状态贴合底座52-2，滑出电机51-2动作使滑板51-1滑入安全房3内，防护门31关闭，检测完毕。

对本领域的技术人员来说，可根据以上描述的技术方案以及构思，做出其它各种相应的改变以及形变，而所有的这些改变以及形变都应该属于本发明要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：包括壳体(1)，壳体(1)内设有栅极(2)、安全房(3)、检测机构(4)、六轴机械模组(5)和控制系统，安全房(3)设于栅极(2)的下方，检测机构(4)与六轴机械模组(5)连接，六轴机械模组(5)容置于安全房(3)内，检测机构(4)、六轴机械模组(5)均与所述控制系统控制连接，需要检测栅极(2)的腐蚀情况时，六轴机械模组(5)从安全房(3)内滑出并将检测机构(4)输送至栅极(2)的待检测部位。

2.根据权利要求1所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：六轴机械模组(5)包括滑出机构(51)、支撑机构(52)、旋转机构(53)、滑移机构(54)、角度调节机构(55)和对焦机构(56)，安全房(3)的底面上设有滑轨，所述滑轨延伸至安全房(3)外，滑出机构(51)滑动的设于所述滑轨上，支撑机构(52)上具有一旋转杆(52-1)，滑出机构(51)从安全房(3)内滑出时旋转杆(52-1)由与滑出机构(51)贴合状态变为直立状态，旋转机构(53)设于旋转杆(52-1)的端部，旋转机构(53)与一滑行件(6)连接，滑移机构(54)滑动的设于滑行件(6)上，角度调节机构(55)位于滑移机构(54)上，角度调节机构(55)与检测机构(4)连接使检测机构(4)左右摆动，对焦机构(56)与检测机构(4)连接以微调检测机构(4)与栅极(2)间的距离。

3.根据权利要求1所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：检测机构(4)包括相机(41)和光源，检测时，相机(41)、光源和栅极(2)上待检测部位处于同一直线上。

4.根据权利要求2所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：滑出机构(51)包括滑板(51-1)和滑出电机(51-2)，滑板(51-1)架设在所述滑轨上，滑出电机(51-2)与滑板(51-1)驱动连接以使滑板(51-1)滑行，滑出电机(51-2)与所述控制系统电连接。

5.根据权利要求2所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：支撑机构(52)还包括底座(52-2)、支撑电机(52-3)和直角基准板(52-4)，底座(52-2)坐设于滑出机构(51)上，旋转杆(52-1)与底座(52-2)铰接，支撑电机(52-3)与旋转杆(52-1)连接以使旋转杆(52-1)转动使其与底座(52-2)贴合或直立于底座(52-2)上，直角基准板(52-4)立于底座(52-2)上，直角基准板(52-4)为旋转杆(52-1)的直立状态提供定位，支撑电机(52-3)与所述控制系统电连接。

6.根据权利要求2所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：旋转机构(53)包括旋转电机(53-1)和旋转座(53-2)，旋转座(53-2)设于旋转杆(52-1)的端部，旋转电机(53-1)设于旋转座(53-2)上，旋转电机(53-1)的输出轴与滑行件(6)连接，旋转电机(53-1)与所述控制系统电连接。

7.根据权利要求2所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：滑行件(6)为一弧形导轨，滑移机构(54)包括滑移电机(54-1)和滑移座(54-2)，滑移座(54-2)滑动的设于所述弧形导轨上，滑移电机(54-1)与滑移座(54-2)连接以使滑移座(54-2)沿所述弧形导轨滑行，滑移电机(54-1)与所述控制系统电连接。

8.根据权利要求7所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：角度调节机构(55)设于滑移座(54-2)上，角度调节机构(55)为直角电机，检测机构(4)与所述直角电机的输出轴连接，所述直角电机带动检测机构(4)以直角电机的对称轴为中心进行左右摆动，所述直角电机与所述控制系统电连接。

9.根据权利要求2所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：对焦机构(56)包括对焦电机(56-1)和对焦座(56-2)，对焦座(56-2)坐设在角度调节机构(55)上，检测机构(4)设于对焦座(56-2)上，对焦电机(56-1)与检测机构(4)连接以微调检测机构(4)与栅极(2)间的距离，对焦电机(56-1)与所述控制系统电连接。

10.根据权利要求1所述的可自动检测栅极腐蚀装置，其特征在于：安全房(3)上设有防护门(31)，六轴机械模组(5)从防护门(31)处滑出。

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