CN107192705B - 多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统 - Google Patents

多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统 Download PDF

Info

Publication number
CN107192705B
CN107192705B CN201710325014.4A CN201710325014A CN107192705B CN 107192705 B CN107192705 B CN 107192705B CN 201710325014 A CN201710325014 A CN 201710325014A CN 107192705 B CN107192705 B CN 107192705B
Authority
CN
China
Prior art keywords
laser
spectrum
bifocal
plasma
focal plane
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201710325014.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN107192705A (zh
Inventor
赵南京
马明俊
方丽
孟德硕
殷高方
甘婷婷
杨瑞芳
肖雪
刘建国
刘文清
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hefei Institutes of Physical Science of CAS
Original Assignee
Hefei Institutes of Physical Science of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hefei Institutes of Physical Science of CAS filed Critical Hefei Institutes of Physical Science of CAS
Priority to CN201710325014.4A priority Critical patent/CN107192705B/zh
Publication of CN107192705A publication Critical patent/CN107192705A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN107192705B publication Critical patent/CN107192705B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/62—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light
    • G01N21/71—Systems in which the material investigated is excited whereby it emits light or causes a change in wavelength of the incident light thermally excited
    • G01N21/718—Laser microanalysis, i.e. with formation of sample plasma
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/066—Modifiable path; multiple paths in one sample
    • G01N2201/0668—Multiple paths; optimisable path length
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N2201/00—Features of devices classified in G01N21/00
    • G01N2201/06—Illumination; Optics
    • G01N2201/068—Optics, miscellaneous

Landscapes

  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Investigating, Analyzing Materials By Fluorescence Or Luminescence (AREA)

Abstract

本发明公开了一种多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，以单束高能激光脉冲均分为多束，在双焦平面产生多个聚焦作用点同时激发被分析样品及环境气体，形成近似面源的激光等离子体光谱发射，实现单束高能激光脉冲的高效利用与激光等离子体光谱增强激发，有效地实现了水体/土壤/固体废弃物/合金等样品的激光等离子体光谱测量。本发明不仅增大了激光等离子体发射面积，缩小了单束高能激光脉冲单点作用创面，增强了激光等离子体发射强度，而且增加了样品数据代表性和光谱稳定性，降低了样品不均匀性与单束高能激光脉冲单点作用对光谱重复性和材料结构特性的影响，适用于激光诱导击穿光谱技术在不同测量领域中的应用。

Description

多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统
技术领域
本发明涉及光谱测量系统领域，具体是一种多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统。
背景技术
激光诱导击穿光谱技术是一种元素快速分析手段，主要是基于激光与物质相互作用产生激光等离子体光谱，通过对特征谱线强度、位置及形状等分析实现元素的定性与定量，具有分析简便、无需样品预处理、多元素同时测量等优点，在环境监测、工业过程控制、生物医学及材料分析等领域均有大量研究工作开展。
现有技术特征分析：
1.应用问题：目前存在稳定性差、重复性差、检测限高等应用问题，制约了该项技术的应用。
2.研究方法：由于激光等离子体发射持续时间较短，元素谱线强度较弱，尤其在液体样品中；众多研究学者开展了不同的激光等离子体光谱增强方法研究，如：双脉冲激发、空间约束、磁约束、火花放电辅助、加缓冲气体、液-固样品转化等，以实现光谱信号的高灵敏探测，提高测量的稳定性与重复性，并降低检测限。
3.作用方式：将高能量的激光脉冲聚焦后直接作用在被分析对象表面，无论是单脉冲还是双脉冲，激光作用点仅为一个，如果被分析样品不均匀，则测量数据的代表性较差，也导致了重复性变差，目前是通过扫描的方式即转动样品，进行不重复打点来降低样品不均匀性。
4.能量利用：激光等离子体形成后，由于屏蔽效应，高能量的激光脉冲并不能得到充分利用，即随着激光脉冲能量的增加，激光等离子体光谱强度并非线性增长，而是呈现出饱和趋势。
5.能量耗散：单脉冲能量增加到一定程度之后，多余的能量则以热的形式耗散，不仅使激光作用点的尺寸增大，而且将影响作用点周围材料结构特性，对材料造成一定程度的破坏。
因此，发展激光诱导击穿光谱测量新方法，充分利用激光脉冲能量，增强激光等离子体光谱发射强度，降低样品不均匀性测量误差，减小激光作用点周围材料的影响，并增加激光等离子体光谱稳定性，对激光诱导击穿光谱技术的发展与应用将具有重要意义。
发明内容
本发明的目的是提供一种多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，以解决现有技术激光诱导击穿光谱单点激发数据代表性差、高能激光脉冲不能充分利用以及对分析样品产生较大尺寸破坏的问题。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：
多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：包括：
激光光源系统，其发射激光脉冲；
光束整形、分束及聚焦系统，其由光束整形部件、光束分束部件、光束聚焦部件构成，光束整形部件接收激光光源系统发射的激光脉冲，并对激光脉冲进行整形，光束分束部件将整形后的激光脉冲分束为多个子光束激光脉冲，光束聚焦部件将多个子光束激光脉冲同时聚焦成至少两个相互平行的焦平面，每个焦平面上均具有多个聚焦点，其中一个或多个焦平面落在被测样品表面以激发被测样品产生激光等离子体光谱，另一个或多个焦平面落在被测样品表面环境气体中以同时激发环境气体产生激光等离子体光谱，形成近似面源的多点双焦同时激发的产生激光等离子体光谱发射；
激光等离子体收集与光纤传输系统，其收集近似面源的多点双焦同时激发的产生激光等离子体光谱并通过光纤进行传输；
光谱分光与探测系统，其接收激光等离子体收集与光纤传输系统通过光纤传输的信号，并对信号进行光谱分光和探测；
电路控制、数据采集与处理系统，其采集光谱分光与探测系统探测的分光光谱信号后，对分光光谱信号进行处理，且电路控制、数据采集与处理系统向激光光源系统发送控制触发信号，以控制激光光源系统发射激光脉冲。
所述的多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：光束分束部件采用衍射光学器件，优选分束光栅，光束分束部件将激光光源系统发射的激光脉冲分为多个束能量和光学特性相同的子光束激光脉冲。
所述的多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：光束聚焦部件采用衍射光学器件，可为双焦距透镜，或者多焦点透镜；
当光束聚焦部件为双焦距透镜时，其产生两个相互平行的焦平面，每个焦平面上均具有多个聚焦点，其中一个焦平面落在被测样品表面以激发被测样品产生激光等离子体光谱，另一个焦平面落在被测样品表面环境气体中以同时激发环境气体产生激光等离子体光谱；
当光束聚焦部件为多焦点透镜时，其产生多个相互平行的焦平面，每个焦平面上均具有多个聚焦点，其中部分焦平面落在被测样品表面以激发被测样品产生激光等离子体光谱，其余焦平面落在被测样品表面环境气体中以同时激发环境气体产生激光等离子体光谱。
所述的多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：相邻焦平面之间的距离、各焦点的激光脉冲能量大小根据被分析对象材质与激光脉冲特性进行设计。
所述的多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：每个焦平面上聚焦点的分布形状根据激发需要设计。
本发明测量原理：本发明将单束高能激光脉冲经分束器分束为多个子光束激光脉冲，子光束激光脉冲经双焦距聚焦透镜后作用于被分析对象及其表面环境气体，在被分析对象表面及其环境气体中同时产生多点激光等离子体光谱发射，其中环境气体的激发是为被分析对象激光等离子体提供释放通道，增强被分析对象激光等离子体发射强度并延长发射时间，通过接收多点同时激发的被分析对象激光等离子体光谱，实现激光诱导击穿光谱的增强测量。
本发明不仅增大了激光等离子体发射面积，缩小了单束高能激光脉冲单点作用创面，增强了激光等离子体发射强度，而且增加了样品数据代表性和光谱稳定性，降低了样品不均匀性与单束高能激光脉冲单点作用对光谱重复性和材料结构特性的影响，适用于激光诱导击穿光谱技术在不同测量领域中的应用。
与已有技术相比，本发明的有益效果体现在：
(1)多点同时激发仅将单束激光脉冲分为多个子光束(脉冲能量划分)，不需要多台激光器；
(2)各子光束与原单束激光脉冲保持相同的光学特性，仅按一定角度分开并同时聚焦；
(3)采用双焦距聚焦透镜将各子光束汇焦，形成两个距离很近(根据需要设定)且平行的焦面，其中一个焦面在被测样品表面(激发被测样品)，另一个焦平面在样品表面环境气体中(激发环境气体)；
(4)在被测样品焦面产生多个聚焦作用点同时激发被分析样品，形成近似面源发射的激光等离子体，增大了光谱发射区域；在样品表面环境气体焦面激发环境气体，形成被测样品激光等离子体释放通道，增强了样品激光等离子体发射强度并延长了发射时间；
(5)近似面源多点双焦同时激发，降低了样品不均匀性带来的测量误差，增加了激光等离子体光谱测量的稳定性与重复性；
(6)单束高能激光脉冲能够得到充分利用，各子光束激发产生的激光等离子体强度之和(每束激光脉冲能量/峰值功率超过被分析对象击穿阈值)大于单束高能激光脉冲激发产生等离子体强度，提高了测量的灵敏度；
(7)分束后每束激光脉冲作用点尺寸减小，对被分析材料结构特性影响显著降低；
(8)分束数目、双焦点轴向间距及焦平面作用区域大小均可根据不同测量需求设计，适用于激光诱导击穿光谱技术在不同测量领域中的应用。
附图说明
图1为本发明系统原理框图。
图2为本发明光束整形、分束及聚焦光路示意图。
图3为本发明分束后激光脉冲聚焦作用点示意图。
图4为具体实施方式中分束前后土壤样品激光等离子体发射强度示意图
具体实施方式
如图1所示，本发明系统包括激光光源系统1；光束整形、分束及聚焦系统2，其由光束整形部件2-1，光束分束部件2-2，光束聚焦部件2-3构成；激光等离子体收集与光纤传输系统4；光谱分光与探测系统5；电路控制、数据采集与处理系统6。
测量过程：整个装置的测量过程与常规激光诱导击穿光谱测量相同。即：开始与结束控制指令由电路控制、数据采集与处理系统6发出，首先激光光源系统1根据接收到的控制触发信号发射激光脉冲，经过光束整形、分束及聚焦系统2将分束聚焦后的激光脉冲作用于被测样品3，形成近似面源的激光等离子体，激光等离子体收集与光纤传输系统4将近似面源发射的激光等离子体收集，并通过光纤传输至光谱分光与探测系统5，在电路控制、数据采集与处理系统6的延时采集触发信号控制下，实现光谱信号的数据采集与处理。
本发明与常规激光诱导击穿光谱测量不同的是光束整形、分束及聚焦系统2和作用于被测样品3上的激光脉冲激发点数目，示意图分别如图2和图3所示。
常规激光诱导击穿光谱测量是将单束高能激光脉冲经光束整形部件2-1与光束聚焦部件2-3或直接经光束聚焦部件2-3聚焦后作用至被测样品3，聚焦部件为单焦透镜，聚焦作用点为一个。
本发明是将单束高能激光脉冲经光束整形部件2-1、光束分束部件2-2和光束聚焦部件2-3聚焦后作用至被测样品3，重点在于：①光束分束部件2-2可将单束高能激光脉冲分为若干束能量与光学特性相同的子光束，且子光束按一定角度分开；②光束聚焦部件2-3为双焦距透镜，将各子光束同时聚焦至两个焦平面，并同时作用于被测样品3和环境气体，产生多点同时激发，形成近似面源激光等离子体光谱发射；光束整形部件2-1是为了匀化单束高能激光脉冲。双焦距透镜两个焦点之间的距离和各焦点的激光脉冲能量大小可以根据被分析对象材质与激光脉冲特性等进行设计，也可以根据需求设计多焦点透镜。
图3中各圆圈为示意的子光束激光脉冲聚焦作用点。分束后激光脉冲聚焦点分布可以设计为M行×N列分布，也可以设计为圆形分布，以及根据激发需要的任意形状分布，每个子光束激光脉冲聚焦点之间的距离可以根据被分析对象材质、激光脉冲特性以及光束分束与聚焦系统参数等进行设计。
多个光束同时聚焦多点激发可以由多个激光器共同实现，也可以由相对较少数量的激光器经过复杂的分光器件合作完成。本发明方法实现中，光束分束部件2-2和光束聚焦部件2-3均采用衍射光学器件，将单束高能激光脉冲分束并形成双焦平面，具有结构紧凑、体积小、效率高等特点。
根据本发明中提出的面源多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量方法及装置，在实验室中有效地实现了水体/土壤/固体废弃物/合金等样品的激光等离子体光谱测量。分析结果表明，激光等离子体发射强度整体得到增强，激光作用创面减小，光谱数据稳定性与重复性大幅提高，样品不均匀性测量误差降低，元素测量灵敏度提高，样品激光作用点热效应影响减弱。举例如表1所示：
表1采用本发明测量的结果分析表
土壤样品激光等离子体发射强度随激光脉冲能量变化关系如图4所示。从图4可以看出，激光分束前随着脉冲能量的增加，激光诱导等离子体发射强度并未随之线性增强，这是由于激光等离子体形成后的屏蔽效应，导致高能量的激光脉冲并不能得到充分利用，从而激光诱导等离子体呈现出饱和趋势；分束后各子光束激发产生的激光等离子体强度之和与激光能量之间呈现了较好的线性关系，因为分束后的各子光束(每束激光脉冲能量/峰值功率超过被分析对象击穿阈值)有效克服了单束高能激光应用中的饱和问题，有效提高了单束高能激光脉冲利用率。

Claims (5)

1.多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：包括：
激光光源系统，其发射激光脉冲；
光束整形、分束及聚焦系统，其由光束整形部件、光束分束部件、光束聚焦部件构成，光束整形部件接收激光光源系统发射的激光脉冲，并对激光脉冲进行整形，光束分束部件将整形后的激光脉冲分束为多个子光束激光脉冲，光束聚焦部件将多个子光束激光脉冲同时聚焦成至少两个相互平行的焦平面，每个焦平面上均具有多个聚焦点，其中一个或多个焦平面落在被测样品表面以激发被测样品产生激光等离子体光谱，另一个或多个焦平面落在被测样品表面环境气体中以同时激发环境气体产生激光等离子体光谱，形成近似面源的多点双焦同时激发的产生激光等离子体光谱发射；
激光等离子体收集与光纤传输系统，其收集近似面源的多点双焦同时激发的产生激光等离子体光谱并通过光纤进行传输；
光谱分光与探测系统，其接收激光等离子体收集与光纤传输系统通过光纤传输的信号，并对信号进行光谱分光和探测；
电路控制、数据采集与处理系统，其采集光谱分光与探测系统探测的分光光谱信号后，对分光光谱信号进行处理，且电路控制、数据采集与处理系统向激光光源系统发送控制触发信号，以控制激光光源系统发射激光脉冲。
2.根据权利要求1所述的多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：光束分束部件采用分束光栅，光束分束部件将激光光源系统发射的激光脉冲分为多个束能量和光学特性相同的子光束激光脉冲。
3.根据权利要求1所述的多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：光束聚焦部件采用双焦距透镜或者多焦点透镜；
当光束聚焦部件为双焦距透镜时，其产生两个相互平行的焦平面，每个焦平面上均具有多个聚焦点，其中一个焦平面落在被测样品表面以激发被测样品产生激光等离子体光谱，另一个焦平面落在被测样品表面环境气体中以同时激发环境气体产生激光等离子体光谱；
当光束聚焦部件为多焦点透镜时，其产生多个相互平行的焦平面，每个焦平面上均具有多个聚焦点，其中部分焦平面落在被测样品表面以激发被测样品产生激光等离子体光谱，其余焦平面落在被测样品表面环境气体中以同时激发环境气体产生激光等离子体光谱。
4.根据权利要求3所述的多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：相邻焦平面之间的距离、各焦点的激光脉冲能量大小根据被分析对象材质与激光脉冲特性进行设计。
5.根据权利要求3所述的多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统，其特征在于：每个焦平面上聚焦点的分布形状根据激发需要设计。
CN201710325014.4A 2017-05-10 2017-05-10 多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统 Active CN107192705B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710325014.4A CN107192705B (zh) 2017-05-10 2017-05-10 多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710325014.4A CN107192705B (zh) 2017-05-10 2017-05-10 多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN107192705A CN107192705A (zh) 2017-09-22
CN107192705B true CN107192705B (zh) 2019-06-18

Family

ID=59873700

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710325014.4A Active CN107192705B (zh) 2017-05-10 2017-05-10 多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN107192705B (zh)

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108445073A (zh) * 2018-03-16 2018-08-24 常州英诺激光科技有限公司 解决常压敞开式激光质谱仪中待测等离子体寿命短的方法及质谱仪
CN109030463B (zh) * 2018-09-21 2024-01-30 中国工程物理研究院流体物理研究所 单次多点同时测量的激光诱导击穿光谱系统及测量方法
CN109030466A (zh) * 2018-09-30 2018-12-18 清华大学 一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统
CN109521000B (zh) * 2019-01-24 2023-08-08 中国工程物理研究院流体物理研究所 光栅分光式同时多点激光诱导击穿光谱测量系统及方法
CN112945936B (zh) * 2021-01-28 2023-02-03 西安电子科技大学 基于激光等离子体自约束的液体样品光谱测量方法与装置
CN114047174B (zh) * 2021-09-29 2024-05-10 云南华谱量子材料有限公司 一种二维等离子体点阵光栅增强激光诱导击穿光谱检测灵敏度装置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009068952A (ja) * 2007-09-12 2009-04-02 Funai Electric Advanced Applied Technology Research Institute Inc 物質検出装置及び物質検出方法
CN105784662A (zh) * 2016-04-27 2016-07-20 武汉大学 基于多光阱编码微球阵列和双光子荧光检测的液相悬浮式生物芯片
WO2016163560A1 (ja) * 2015-04-09 2016-10-13 国立大学法人神戸大学 ディジタルホログラフィック顕微鏡

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009068952A (ja) * 2007-09-12 2009-04-02 Funai Electric Advanced Applied Technology Research Institute Inc 物質検出装置及び物質検出方法
WO2016163560A1 (ja) * 2015-04-09 2016-10-13 国立大学法人神戸大学 ディジタルホログラフィック顕微鏡
CN105784662A (zh) * 2016-04-27 2016-07-20 武汉大学 基于多光阱编码微球阵列和双光子荧光检测的液相悬浮式生物芯片

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Investigating Diffusing on Highly Curved Water-Oil Interface Using Three-Dimensional Single Particle Tracking;Yaning Zhong et al.;《The Journal of physical chemistry》;20170323;第121卷;第8023-8032页 *
激光诱导击穿光谱技术研究进展;赵南京等;《大气与环境光学学报》;20160930;第11卷(第5期);第367-382页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN107192705A (zh) 2017-09-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN107192705B (zh) 多点双焦同时激发的激光诱导击穿光谱增强测量系统
US20170018415A1 (en) Divided-aperture laser differential confocal libs and raman spectrum-mass spectrum microscopic imaging method and device
CN107014804B (zh) 一种微波辅助激发抑制激光诱导击穿光谱自吸收效应的装置和方法
Košler et al. Present trends and the future of zircon in geochronology: laser ablation ICPMS
US6661511B2 (en) Method and apparatus for enhanced laser-induced plasma spectroscopy using mixed-wavelength laser pulses
CN107219214B (zh) 一种光谱结合质谱的未知样品中元素的定量分析装置
JP4463228B2 (ja) 毛管電気泳動装置のための光学的整合方法及び装置
CN109884034B (zh) 一种飞秒等离子体光栅诱导击穿光谱检测的方法及装置
CN110940659B (zh) 基于时空整形的飞秒激光诱导击穿光谱发生与采集系统
CN102279171B (zh) 一种提高激光击穿光谱水体金属污染物探测灵敏度的方法
JP2015506537A (ja) イメージング質量分析計および質量分析法の方法
CN108169092B (zh) 大气颗粒物重金属及其同位素在线探测装置及其方法
JP2009063305A (ja) 光照射装置、微粒子解析装置及び光照射方法
CN105067593A (zh) 静电辅助增强激光诱导击穿光谱污水重金属元素检测装置
CN109030466A (zh) 一种基于光束整形的激光击穿光谱测量系统
CN101067603A (zh) 双通道共振增强激光诱导击穿光谱痕量元素分析仪及方法
US20230094973A1 (en) Detection method and device based on laser-induced breakdown spectroscopy enhanced by 2d plasma grating
CN111289497A (zh) 一种瞬稳态激光诱导击穿光谱检测系统
CN106706601B (zh) 基于光纤波导循环激发的激光诱导击穿荧光光谱分析系统
CN108776129A (zh) 多功能环形磁铁阵列激光等离子体约束装置及其应用系统
Chen et al. Automated in situ trace element analysis of silicate materials by laser ablation inductively coupled plasma mass spectrometry
CN112945936A (zh) 基于激光等离子体自约束的液体样品光谱测量方法与装置
CN207020086U (zh) 一种激光诱导击穿固体光谱的增强装置
CN105445239B (zh) 基于背景扣除的元素检测方法和系统
CN107271427A (zh) 一种激光诱导击穿固体光谱的增强装置及其使用方法

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant