CN107186665A - 一种划片机换刀工具 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种划片机换刀工具，包括：把套；卡盘，所述卡盘在所述把套的旋转轴的轴向上可移动地且与所述把套同轴设置在所述把套内；以及卡爪，所述卡爪设置在所述卡盘与所述把套之间，所述卡爪的底部通过第1弹性件连接在所述卡盘的外周且所述卡爪的顶端突出于所述卡盘的顶端，当所述卡盘沿着所述旋转轴在所述把套内移动时，所述卡爪在所述弹性件的作用下在垂直于所述旋转轴的方向上可张开以及可收拢。该划片机换刀工具可以适用于带有主轴气缸锁的划片机的换刀，能够方便拆装压刀锁母进行换刀，保护锁母不滑脱，并且提高更换效率。

Description

一种划片机换刀工具

技术领域

本发明涉及晶圆加工技术领域，特别地，涉及一种划片机换刀工具。

背景技术

划片机是半导体后封装关键设备，其作用是采用空气静压电主轴带动砂轮刀片高速旋转将晶圆分割成单个的电路单元，砂轮刀片通过压刀锁母固定在刀座上。换刀时主轴气缸通气，气缸杆顶在轴芯圆周沉孔内固定轴芯，通过换刀工具卡住压刀锁母，转动工具将压刀锁母拆下，更换刀具。

划片机工作过程中，由于刀具磨损或切割材料的改变，经常会进行刀具的更换。现有的划片机换刀工具是在把套上铆入销子，将销子插入锁母销孔，旋转把套将压刀锁母旋下，进行换刀，其缺陷是：换刀工具上销子对准压刀锁母销孔比较困难，对准过程销子持续在锁母表面滑动，容易划伤锁母表面；锁母拆下时，容易脱落损坏。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种能够方便拆装压刀锁母进行换刀、保护锁母不滑脱、并且更换效率高的划片机换刀工具。

为解决上述技术问题，本发明提供一种划片机换刀工具包括：把套；卡盘，所述卡盘在所述把套的旋转轴的轴向上可移动地且与所述把套同轴设置在所述把套内；以及卡爪，所述卡爪设置在所述卡盘与所述把套之间，所述卡爪的底部通过第1弹性件连接在所述卡盘的外周且所述卡爪的顶端突出于所述卡盘的顶端，当所述卡盘沿着所述旋转轴移动时，所述卡爪在所述第1弹性件的作用下在垂直于所述旋转轴的方向上可张开以及可收拢。

根据本发明实施例的划片机换刀工具，由于卡爪设置在把套内部，通过卡爪的张开与收拢，来设置和固定压刀锁母，进而可以通过旋转把套把压刀锁母旋下，进行换刀。换刀过程中，由于压刀锁母被卡爪卡住，因而可以避免其滑落，而且，该结构简单、便于拆装压刀锁母进行换刀，换刀效率高。

根据本发明的一些实施例，所述卡爪的顶端的外壁形成为向外侧倾斜有第1引导角，所述卡爪的底端的内壁形成为向内侧倾斜有第2引导角。由此，在卡爪随着卡盘推进时，所述卡爪可以通过所述第1引导角平稳地张开，且在所述卡盘退后时，所述卡爪可以通过所述第2引导角平稳地收拢。根据本发明的一些示例，所述第1引导角为4°～6°，所述第2引导角为2°～4°。

根据本发明的一些实施例，所述卡爪为多个，所述多个卡爪均匀地分布在所述卡盘的周向上。在本发明的一些示例中，例如，所述卡爪可以形成为6个，该6个卡爪沿着卡盘的周向均匀分布。通过多个卡爪能够更牢固地将压刀锁母卡合在卡盘上。

根据本发明的一些实施例，所述卡盘的底端通过第2弹性件与所述把套的底端相连。由此，在卡盘底端施加一个作用力时，卡盘可以沿着轴向推进，从而带动卡爪推进，卡爪在第1弹性件的作用力下向外张开，以便设定压刀锁母。当作用力撤消之后，卡盘在第2弹性件的作用力下向把套内部退回，从而带动卡爪收拢，由此将压刀锁母卡合在卡盘上。

根据本发明的一些实施例，所述把套的底端形成有沉头孔，所述第2弹性件设置在所述沉头孔内。由此，便于第2弹性件的设置。

进一步地，所述第2弹性件可以为多个，所述多个第2弹性件沿着所述卡盘的周向均匀分布。由此，可以使得卡盘在把套内平滑地移动，不至于因为作用在卡盘上的推进作用力的偏置导致卡盘的卡顿。

根据本发明的一些实施例，划片机换刀工具还包括：限位销，所述限位销沿着所述把套的径向穿设在所述把套的底部，在所述卡盘的底部外壁上设有限位槽，所述限位销的内端穿过所述把套延伸至所述限位槽内，以通过所述限位销对所述卡盘在所述旋转轴方向上的移动进行限位。由此，可以限制所述卡盘在轴向上的移动位置。

进一步地，所述限位销可以为多个，所述多个限位销沿着所述把套的圆周方向均匀分布。由此，有利于提高卡盘轴向移动的平滑进行。

根据本发明的一些实施例，所述卡盘上设有沿着所述旋转轴的轴向贯穿所述卡盘的安装孔，所述划片机换刀工具还包括：顶丝，所述顶丝设置在所述安装孔内；顶柱，所述顶柱设置在所述顶丝的顶部，且所述顶柱的顶端突出于所述卡盘的顶端，所述顶丝与所述顶柱通过第3弹性件相连。由此，在第3弹性件的作用力下，顶柱突出于卡盘的顶端，在顶柱对准压刀锁母上的定位孔的过程中，当顶柱接触到压刀锁母表面时，受到压刀锁母表面的压力而被压缩至卡盘内的安装孔内，从而不易划伤压刀锁母的表面。

进一步地，可以形成有多个所述安装孔，该多个所述安装孔在所述卡盘的周向上均匀分布。

上述实施例中，所述第1弹性件、第2弹性件、以及第3弹性件可以为弹簧。需要说明的是，这些弹性件并不限于弹簧，也可以为弹片、压簧等。

本发明的上述技术方案的有益效果如下：能够方便拆装压刀锁母进行换刀，拆装过程不会划伤锁母表面，保护锁母不滑脱，并且提高更换效率。

附图说明

图1a为根据本发明实施例的划片机换刀工具的主视图；

图1b为沿着图1a中的A-A箭头线的横截面图；

图1c为沿着图1a中的B-B箭头线的横截面图；

图2为根据本发明实施例的划片机换刀工具中的卡爪的立体图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

下面，参考附图对根据本发明实施例的划片机换刀工具进行详细说明。

图1a为根据本发明实施例的划片机换刀工具的主视图，图1b为沿着图1a中的A-A箭头线的横截面图，图1c为沿着图1a中的B-B箭头线的横截面图。其中，图1b及图1c中，为了说明压刀锁母与卡盘的配合情况，用虚线部分地示出了压刀锁母。

如图1a-1c所示，划片机换刀工具括：把套1、卡盘6、以及卡爪2。

卡盘6在把套1的旋转轴的轴向上可移动地且与把套1同轴设置在把套1内。具体地，卡盘6与把套1之间为间隙配合。

卡爪2设置在卡盘6与把套1之间，卡爪2的底部(即位于把套内的端部，图1b所示的左侧端部)通过第1弹性件4(图1b中所示为弹簧)连接在卡盘6的外周且卡爪2的顶端突出于卡盘6的顶端(即，在换刀时支持压刀锁母的端部，图1b所示的右侧端部)。当在卡盘6的底端施加一作用力，则卡盘6沿着旋转轴在把套1内推进，推动卡爪2向前推进且卡爪2在第1弹性件的作用下在垂直于所述旋转轴的方向上张开，当作用力撤消时，卡盘6向把套1内部回缩，当把套1施加在卡爪2上的作用力大于第1弹性件的恢复力时，卡爪2收拢。

如图1b所示，卡盘6的顶端外壁上设有周向槽，卡爪2设在该周向槽内，位于把套1与卡盘6之间。在卡盘6的顶端，在圆周上设有径向孔，第1弹性件4一端设在该径向孔内，另一端连接卡爪2的底部。该结构便于第1弹性件的安装。另外，为不致第1弹性间4脱落，卡爪2的底部设有沉孔，第1弹性件的所述另一端设置在该沉孔内。

根据本发明实施例的划片机换刀工具由于卡爪2设置在把套1内部，通过卡爪2的张开与收拢，来固定压刀锁母3，进而可以通过旋转把套1把压刀锁母3旋下，进行换刀。换刀过程中，由于压刀锁母被卡爪2卡住，由此可以避免压刀锁母在换刀过程中滑落，而且，该结构简单、便于拆装压刀锁母进行换刀，换刀效率高。

根据本发明的一些实施例，如图2所示，卡爪的顶端的外壁形成为向外侧倾斜有第1引导角(β)，卡爪2的底端的内壁形成为向内侧倾斜有第2引导角(α)。由此，在卡爪2随着卡盘6推进时，卡爪2可以通过第1引导角平稳地张开，且在卡盘回退时，卡爪2可以通过第2引导角平稳地收拢。

对于第1引导角和第2引导角的角度，可以根据卡爪的大小、所要卡合的压刀锁母的尺寸进行适当地调整，优选地，所述第1引导角(β)为4°～6°，第2引导角(α)为2°～4°。

根据本发明的一些实施例，卡爪2为多个，该多个卡爪2均匀地分布在卡盘6的周向上。图1a-1b所示的实施例中，卡爪2为6个，该6个卡爪2沿着卡盘6的周向均匀分布。通过多个卡爪2能够更牢固地将压刀锁母3卡合在卡盘6上。

根据本发明的一些实施例，卡盘6的底端(位于图1b的左侧端部)通过第2弹性件5与把套1的底端相连。由此，在卡盘6底端施加一个作用力时，卡盘6可以沿着轴向推进，从而带动卡爪2推进，卡爪2在第1弹性件4的作用力下向外张开，以便调整压刀锁母3。当作用力撤消之后，卡盘6在第2弹性件5的作用力下向把套1内部退回，从而带动卡爪2收拢，由此将压刀锁母3卡合在卡盘6上。

根据本发明的一些实施例，把套1的底端形成有沉头孔，所述第2弹性件5设置在该沉头孔内。由此，可以容易地设置第2弹性件5。

进一步地，第2弹性件5可以为多个，该多个第2弹性件5沿着卡盘6的周向均匀分布。由此，可以使得卡盘6在把套1内平滑地移动，不至于因为作用在卡盘6上的推进作用力的偏置导致卡盘6的卡顿。图1所示的实施例中，设有4个第2弹性件5，该4个第2弹性件5沿着卡盘6的周向均匀分布。

根据本发明的一些实施例，划片机换刀工具还包括：限位销8。限位销8沿着把套1的径向穿设在把套1的底部，在卡盘6的底部外壁上设有限位槽11，限位销8的内端(即靠近卡盘的一端)穿过把套1延伸至限位槽11内，以通过限位销8对卡盘6在旋转轴方向上的移动进行限位。由此，可以限制卡盘6在轴向上的移动位置。从而避免卡盘的过量推进。

进一步地，限位销8可以为多个，多个限位销8沿着把套1的圆周方向均匀分布。由此，有利于提高卡盘6轴向移动的平滑进行。例如，可以设有4个限位销8，该4个限位销沿着把套1的圆周方向均匀分布。

根据本发明的一些实施例，卡盘6上设有沿着所述旋转轴的轴向贯穿所述卡盘的安装孔12，划片机换刀工具还包括：顶丝7和顶柱10。顶丝7设置在安装孔12内。顶柱10设置在顶丝7的顶部，且顶柱10的顶端突出于卡盘6的顶端，顶丝7与顶柱10通过第3弹性件9相连。由此，在第3弹性件9的作用力下，顶柱10突出于卡盘6的顶端，在顶柱10对准压刀锁母3上的定位孔的过程中，当顶柱10接触到压刀锁母3表面时，受到压刀锁母3表面的压力而被压缩至卡盘6内的安装孔12内，从而不易划伤压刀锁母3的表面。

进一步地，可以形成有多个安装孔12，每个安装孔12内均设有顶丝7和顶柱10以及第3弹性件9。具体地，在图1c所示的实施例中，设有4个安装孔12，该4个安装孔在所述卡盘的周向上均匀分布。

上述实施例中，所述第1弹性件、第2弹性件、以及第3弹性件可以为弹簧。需要说明的是，这些弹性件并不限于弹簧，也可以为弹片、压簧等。

下面简单介绍一下换刀过程。

在卡盘6的底部施加一作用力，在该作用力的作用下卡盘6在把套1内沿着轴向推进，卡爪2在第1弹性件4的弹性恢复力作用下张开，套住压刀锁母3，在压刀锁母3端面的压力作用下顶柱10被压回卡盘6的安装孔内；此后，转动把套1，当顶柱10对准压刀锁母3上的销孔时顶柱10在第3弹性件的弹性恢复力作用下弹出，插入销孔；接着，撤消上述作用力，卡盘6在第2弹性件5的弹性恢复力作用下退回把套1内，当卡爪2受到把套1的压力作用大于第1弹性件的弹性恢复力时，卡爪2向把套1内部收缩，卡住压刀锁母3；此后，旋转把套1，将压刀锁母3旋下拆除，进行换刀。

本发明能够方便拆装压刀锁母进行换刀，拆装过程不会划伤锁母表面，保护锁母不滑脱，并且提高更换效率。

以上所述是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种划片机换刀工具，其特征在于，包括：

把套；

卡盘，所述卡盘在所述把套的旋转轴的轴向上可移动地且与所述把套同轴设置在所述把套内；以及

卡爪，所述卡爪设置在所述卡盘与所述把套之间，所述卡爪的底部通过第1弹性件连接在所述卡盘的外周且所述卡爪的顶端突出于所述卡盘的顶端，当所述卡盘沿着所述旋转轴在所述把套内伸出时，所述卡爪在所述第1弹性件的作用下在垂直于所述旋转轴的方向上可张开，以及可收拢。

2.如权利要求1所述的划片机换刀工具，其特征在于，所述卡爪的顶端的外壁形成为向外侧倾斜有第1引导角，所述卡爪的底端的内壁形成为向内侧倾斜有第2引导角。

3.如权利要求2所述的划片机换刀工具，其特征在于，所述第1引导角为4°～6°，所述第2引导角为2°～4°。

4.如权利要求1所述的划片机换刀工具，其特征在于，所述卡爪为多个，所述多个卡爪均匀地分布在所述卡盘的周向上。

5.如权利要求1所述的划片机换刀工具，其特征在于，所述卡盘的底端通过第2弹性件与所述把套的底端相连。

6.如权利要求5所述的划片机换刀工具，其特征在于，所述把套的底端形成有沉头孔，所述第2弹性件设置在所述沉头孔内。

7.如权利要求6所述的划片机换刀工具，其特征在于，所述第2弹性件为多个，所述多个第2弹性件沿着所述卡盘的周向均匀分布。

8.如权利要求1所述的划片机换刀工具，其特征在于，还包括：

限位销，所述限位销沿着所述把套的径向穿设在所述把套的底部；

在所述卡盘的底部外壁上设有限位槽，所述限位销的内端穿过所述把套延伸至所述限位槽内，以通过所述限位销对所述卡盘在所述旋转轴方向上的移动进行限位。

9.如权利要求8所述的划片机换刀工具，其特征在于，所述限位销为多个，所述多个限位销沿着所述把套的圆周方向均匀分布。

10.如权利要求1所述的划片机换刀工具，其特征在于，所述卡盘上设有沿着所述旋转轴的轴向贯穿所述卡盘的安装孔，所述划片机换刀工具还包括：

顶丝，所述顶丝设置在所述安装孔内；

顶柱，所述顶柱设置在所述顶丝的顶部，且所述顶柱的顶端突出于所述卡盘的顶端，所述顶丝与所述顶柱通过第3弹性件相连。