CN107084927B - 基板色度检测方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种基板色度检测方法及装置，装置包括：第一位移驱动机构、第二位移驱动机构、光源单元、光接收单元和处理单元；光源单元与光接收单元相向且相对设置，光接收单元与处理单元电连接；光源单元用于对齐待测基板的测试区域并向待测基板发射光束，测试区域为待测基板在进行显影步骤后的无膜层图案的区域；光接收单元用于接收从测试区域穿透的透射光；处理单元用于对光接收单元接收的透射光进行解析，获取测试区域的色度值。由于测试区域的尺寸远远大于子像素线宽，通过对测试区域发射光束并接收透过测试区域的透射光，有效避免因子像素过于密集且线宽较小导致混色测量导致的偏差，有效提高色度的检测精度。

Description

基板色度检测方法及装置

技术领域

本发明涉及显示屏基板检测技术领域，特别是涉及基板色度检测方法及装置。

背景技术

液晶显示器(Liquid Crystal Display，简称LCD)被广泛的应用于手机、电视、笔记本电脑、台式计算机、数字相机以及个人数字助理等各种消费性电子产品，成为显示装置中的主流。

彩膜(Color Filter，简称CF)是实现LCD彩色显示的关键材料，决定着显示器的色彩、亮度和对比度等光学特性。在CF生产过程中，红绿蓝(Red，Green，Blue，简称RGB)膜层的色度对最终产品的良率有着重要的影响，故需要对RGB膜层的色度进行管控。

传统对RGB膜层的色度检测是采用分光计来测量的，在生产过程中利用分光计对RGB色度进行离线测量，对其不能做到时时监控，无法做到对异常基板的及时发现与处理，增加了不良品流入下一制程的风险。

传统的分光计测量，测量前通过高精度的显微镜将像素放大，并将单一子像素选择出来，接收单元获取透过单一子像素的透射光谱，经过处理后获得色度值，在测量过程中需要将点光源与光探测头对准单一子像素的中心处，而彩膜RGB的单一子像素的线宽一般在20～100μm，故要求测量光束的宽度要小于子像素的线宽且设备运动精度较好，才能防止因混色导致测量的误差；对于高密度的像素，其子像素线宽小，且子像素之间的间隔较小，在测量时常常出现RGB混色严重，导致测量结果不准确的现象。

发明内容

基于此，有必要针对传统的分光计对彩膜的色度检测中，由于子像素的线宽较小，且子像素之间的间隔较小，在测量时常常出现RGB混色严重，导致测量结果不准确的现象的缺陷，提供一种基板色度检测方法及基板色度检测装置。

一种基板色度检测装置，包括：第一位移驱动机构、第二位移驱动机构、光源单元、光接收单元和处理单元；

所述第一位移驱动机构与所述光源单元驱动连接，所述第二位移驱动机构与所述光接收单元驱动连接，所述光源单元与所述光接收单元相向且相对设置，且所述光源单元与所述光接收单元用于分别设置于待测基板的两侧，所述光接收单元与所述处理单元电连接；

所述光源单元用于对齐所述待测基板的测试区域并向所述待测基板发射光束，其中所述测试区域为所述待测基板在进行涂胶、曝光和显影步骤后的无膜层图案的区域；

所述光接收单元用于接收从所述测试区域穿透的透射光；

所述处理单元用于对所述光接收单元接收的透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值。

在其中一个实施例中，还包括判断单元，所述判断单元与所述处理单元电连接，所述判断单元用于获取所述处理单元的所述色度值，判断所述色度值与预设标准值是否匹配，生成判断信息，输出所述判断信息。

在其中一个实施例中，还包括报警单元，所述报警单元与所述判断单元电连接，所述报警单元用于在所述色度值与预设标准值不匹配时发出警报。

在其中一个实施例中，所述光接收单元包括光学显微镜和图像传感器，所述光学显微镜用于对所述测试区域进行光学放大，所述图像传感器用于通过所述光学显微镜获取所述测试区域的图像。

在其中一个实施例中，所述光接收单元还包括光谱探测器，所述光谱探测器用于接收所述透射光，获取所述透射光的光谱；

所述处理单元用于对所述透射光的光谱进行解析，获取所述测试区域的所述色度值。

在其中一个实施例中，还包括控制单元，所述控制单元分别与所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构电连接，所述控制单元用于获取预设图案，根据所述预设图案获取所述待测基板上的各所述测试区域的位置信息，根据所述位置信息控制所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构。

在其中一个实施例中，还包括传输机构，所述传送机构设置于所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构之间，所述传送机构用于传输所述待测基板，并用于将所述待测基板传输至所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构之间。

一种基板色度检测方法，包括：

对齐待测基板的测试区域向所述待测基板发射光束，其中所述测试区域为所述待测基板在进行涂胶、曝光和显影步骤后的无膜层图案的区域；

接收从所述测试区域穿透的透射光；

对所述透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值。

在其中一个实施例中，在所述向所述待测基板发射光束的步骤之前还包括：

提供经过涂胶且未经过曝光的待测基板。

在其中一个实施例中，所述对所述透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值的步骤包括：

对所述透射光进行解析，获取所述透射光的光谱；

对所述透射光的光谱进行解析，获取所述测试区域的所述色度值。

上述基板色度的检测方法及装置，由于测试区域为显影步骤后的无膜层图案的区域，测试区域的尺寸远远大于子像素线宽，使得光源单元以及光接收单元能够准确对齐于测试区域，通过对测试区域发射光束并接收透过测试区域的透射光，使得光束能够准确对齐测试区域并从测试区域透射，有效避免因子像素过于密集且线宽较小导致混色测量导致的偏差，有效提高色度的检测精度，且由于在待测基板可在显影前进行色度检测，能够及时检测出异常的基板，防止基板进入下一加工制程，有效降低生产成本，提高基板的良率。

附图说明

图1为一个实施例的基板色度检测装置的结构示意图；

图2为一个实施例的基板色度检测装置的逻辑连接示意图；

图3为另一个实施例的基板色度检测装置的结构示意图；

图4A为一个实施例的基板色度检测方法的流程示意图；

图4B为另一个实施例的基板色度检测方法的流程示意图；

图4C为另一个实施例的基板色度检测方法的流程示意图。

具体实施方式

为了便于理解本发明，下面将参照相关附图对本发明进行更全面的描述。附图中给出了本发明的较佳实施方式。但是，本发明可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施方式。相反地，提供这些实施方式的目的是使对本发明的公开内容理解的更加透彻全面。

除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本发明的技术领域的技术人员通常理解的含义相同。本文中所使用的术语只是为了描述具体的实施方式的目的，不是旨在于限制本发明。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。

例如，一种基板色度检测装置，包括：第一位移驱动机构、第二位移驱动机构、光源单元、光接收单元和处理单元；所述第一位移驱动机构与所述光源单元驱动连接，所述第二位移驱动机构与所述光接收单元驱动连接，所述光源单元与所述光接收单元相向且相对设置，且所述光源单元与所述光接收单元用于分别设置于待测基板的两侧，所述光接收单元与所述处理单元电连接；所述光源单元用于对齐所述待测基板的测试区域并向所述基板发射光束，其中所述测试区域为所述待测基板在进行显影步骤后的无膜层图案的区域；所述光接收单元用于接收从所述测试区域穿透的透射光；所述处理单元用于对所述光接收单元接收的透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值。

上述实施例中，由于测试区域为显影步骤后的无膜层图案的区域，测试区域的尺寸远远大于子像素线宽，使得光源单元以及光接收单元能够准确对齐于测试区域，通过对测试区域发射光束并接收透过测试区域的透射光，使得光束能够准确对齐测试区域并从测试区域透射，有效避免因子像素过于密集且线宽较小导致混色测量导致的偏差，有效提高色度的检测精度，且由于在待测基板可在显影前进行色度检测，能够及时检测出异常的基板，防止基板进入下一加工制程，有效降低生产成本，提高基板的良率。

在一个实施例中，提供一种基板色度检测装置10，如图1和图2所示，包括：第一位移驱动机构110、第二位移驱动机构120、光源单元130、光接收单元140和处理单元150；所述第一位移驱动机构110与所述光源单元130驱动连接，所述第二位移驱动机构120与所述光接收单元140驱动连接，所述光源单元130与所述光接收单元140相向且相对设置，且所述光源单元130与所述光接收单元140用于分别设置于待测基板的两侧，所述光接收单元140与所述处理单元150电连接；所述光源单元130用于对齐所述待测基板的测试区域并向所述待测基板发射光束，例如，所述光源单元130为卤素灯，其中所述测试区域为所述待测基板在进行显影步骤后的无膜层图案的区域；所述光接收单元140用于接收从所述测试区域穿透的透射光；所述处理单元150用于对所述光接收单元140接收的透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值。例如，所述基板色度检测装置还包括支架，所述光源单元与所述光接收单元分别设置于所述支架的两端部，所述支架的中部用于放置或固定待测基板，以使得所述光源单元与所述光接收单元分别位于待测基板的两侧，所述光源单元对齐所述待测基板的测试区域并向所述待测基板发射光束，所述光接收单元接收从所述测试区域穿透的透射光。例如，所述支架具有平面结构或者凹部。

具体地，基板为玻璃基板，这样，基板具有透光性，基板在制作成显示器的基板过程中，一般来说，需要依次经过涂胶、曝光、显影和烘烤的制程或工序，其中，涂胶为对玻璃基板进行涂覆彩膜，该彩膜即彩膜RGB，使得玻璃基板表面形成膜层，随后，涂胶后的玻璃基板依次通过曝光和显影，使得玻璃基板上形成预设图案的膜层，例如，采用预设图案掩膜版(mask)对玻璃基板进行曝光和显影，使得玻璃基板上形成预设图案的膜层，而玻璃基板上被曝光显影去除掉膜层的区域即为测试区域，或者说，玻璃基板上经过曝光显影而形成的无膜层图案的区域为测试区域，该测试区域也可称为dummy区域。

应该理解的是，基板通常包括多个显示区域，每一显示区域即为一个显示面板(panel)，测试区域可以是显示面板之间的区域，而由于基板面积较大，而掩膜版面积较小，在曝光显影时需要通过掩膜版多次对基板进行掩膜，每一次掩膜形成一个掩膜区域，这样，测试区域也可以是掩膜区域之间的区域。测试区域的尺寸范围一般介于1mm至几十毫米之间，例如，测试区域的宽度为1mm～90mm，彩膜RGB结构的子像素线宽约20μm～100μm，测试区域的尺寸远远大于彩膜RGB结构的子像素线宽。一般来说，基板上的测试区域为多个，例如，测试区域均匀分布在基板上，又如，测试区域不规则地分布在基板上。

本实施例中，待测基板为经过涂胶制程的基板，即具有涂胶层的基板。请参见图1，待测基板200位于光源单元130以及光接收单元140之间，即待测基板200的两个相背的表面分别朝向光源单元130以及光接收单元140，光源单元130以及光接收单元140分别与待测基板200的两个相背的表面相邻，且光源单元130以及光接收单元140分别朝向待测基板200。所述第一位移驱动机构110用于驱动所述光源单元130移动至对齐于待测基板200的测试区域，所述第二位移驱动机构120用于驱动所述光接收单元140移动至对齐于待测基板的测试区域，通过所述第一位移驱动机构110以及所述第二位移驱动机构120的驱动，使得光源单元130与光接收单元140对齐，这样，光源单元130发射的光束则能够穿透测试区域被光接收单元140所接收。

本实施例中，处理单元用于根据光接收单元接收到的透射光，对透射光进行解析处理，计算获取测试区域的色度值，进而检测出待测基板是否异常。例如，该色度值为颜色的色度的值，其反映的是颜色的色调和饱和度。由于测试区域为显影步骤后的无膜层图案的区域，测试区域的尺寸远远大于子像素线宽，使得光源单元以及光接收单元能够准确对齐于测试区域，通过对测试区域发射光束并接收透过测试区域的透射光，使得光束能够准确对齐测试区域并从测试区域透射，有效避免因子像素过于密集且线宽较小导致混色测量导致的偏差，有效提高色度的检测精度，且由于在待测基板可在显影前进行色度检测，能够及时检测出异常的基板，防止基板进入下一加工制程，有效降低生产成本，提高基板的良率；此外，由于测试区域的尺寸较大，使得第一位移驱动机构和第二位移驱动机构的运动精度无需太高，且对光源单元和光接收单元的精度要求也降低，使得成本进一步降低。

为了实现基板的自动检测，例如，基板色度检测装置还包括传输机构(图未示)，所述传送机构设置于所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构之间，所述传送机构用于传输所述待测基板，并用于将所述待测基板传输至所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构之间。这样，通过该传输机构对待测基板的输送，使得待测基板能够自动输送至光源单元和光接收单元之间，实现了待测基板的自动检测，降低了人工成本。

例如，传输机构包括传送滚轴。例如，待测基板垂直于传送滚轴的径向，并在传送滚轴的滚动下传输至光源单元和光接收单元之间。当待测基板传输至光源单元和光接收单元之间时，传输机构停止运动，例如，当待测基板传输至光源单元和光接收单元之间的预设位置时，传输机构停止运动，则待测基板的位置得到固定，而通过调整光源单元和光接收单元对齐待测基板的测试区域即可实现测量，而无需调整待测基板的位置，使得测量更为精确。

为了实现待测基板的自动检测，在一个实施例中，如图2所示，基板色度检测装置10还包括判断单元152，所述判断单元152与所述处理单元150电连接，判断单元152用于获取所述处理单元150的所述色度值，判断所述色度值与预设标准值是否匹配，生成判断信息，输出所述判断信息。具体地，预设标准值为合格的基板的dummy区域的色度值，预设标准值用于作为参考标准，预设标准值可以是一个具体的值，也可以是一个范围值，当色度值与预设标准值匹配时，则表明当前检测的待测基板合格，否则待测基板不合格。具体地，判断色度值与预设标准值是否匹配可以是判断色度值与预设标准值是否相等，或者判断色度值是否处于预设标准值的范围内，或者判断两者之间的差值是否小于预设阈值，例如，判断单元用于判断所述色度值与预设标准值之间的差值是否小于预设阈值，并根据判断结果生成判断信息，该判断信息包括了判断结果，通过判断单元对色度值的对比和判断，实现了待测基板的自动检测，而无需人工判断。

应该理解的是，不同型号的基板具有不同的预设标准值，在进行色度值与预设标准值的对比中，是对同一型号的基板的对比，即待测基板的型号与预设标准值对应的基板的型号相同。

为了使得判断结果能够展示，例如，如图2所示，基板色度检测装置10还包括显示单元154，显示单元154与处理单元150电连接，例如，显示单元154与判断单元152连接，例如，判断单元用于将判断信息输出至显示单元，例如，显示单元用于显示判断信息，这样，通过显示单元，检测人员能够直观地观测到检测结果，进而获知待测基板的色度值是否合格，例如，处理单元还用于将色度值输出至显示单元，例如，显示单元还用于显示待测基板的测试区域的色度值，这样，能够便于检测人员观测基板的测试区域的色度值。

为了使得检测人员能够及时发现不合格的基板，对基板做出处理，在一个实施例中，请再次参见图2，基板色度检测装置10还包括报警单元156，所述报警单元156与所述判断单元152电连接，所述报警单元156用于在所述色度值与预设标准值不匹配时发出警报。例如，所述判断单元用于在色度值与预设标准值不匹配向所述报警单元输出报警信号，所述报警单元用于在接收到所述报警信号后发出警报，例如，所述报警单元包括声音报警器，所述声音报警器用于接收到报警信号后发出声音警报，例如，所述报警单元包括发光报警器，所述发光报警器用于接收到报警信号后发出灯光警报，例如，所述报警单元包括声光报警器，这样，通过报警单元的发出的声音或者灯光警报，使得检测人员能够及时发现不合格的基板，对基板做出处理，避免不合格的基板进入下一制成，避免造成基板的报废，降低成本。

例如，基板色度检测装置还包括暂存机构，所述暂存机构与传输机构连接，所述暂存机构与所述判断单元电连接，所述暂存机构用于在所述色度值与预设标准值不匹配时将所述待测基板输送至暂存区域，例如，所述判断单元用于在色度值与预设标准值不匹配向所述暂存机构输出暂存信号，所述暂存机构用于在接收到暂存信号时将所述待测基板输送至暂存区域。具体地，暂存区域用于暂存不合格的基板，当色度值与预设标准值不匹配时，表明待测基板不合格，则暂存机构将待测基板输送至暂存区域，使得不合格的基板与其他合格的基板分开存放，避免不合格的基板进入下一制程。例如，暂存机构包括传送滚轴。又如，暂存机构包括机械手，机械手用于夹持待测基板，将待测基板夹持至暂存区域。

为了计算获得测试区域的色度值，例如，所述光接收单元还包括光谱探测器，所述光谱探测器用于接收所述透射光，获取所述透射光的光谱；所述处理单元用于对所述透射光的光谱进行解析，获取所述测试区域的所述色度值。本实施例中，通过透射光的光谱，对该光谱进行解析处理，获得对应的测试区域的色度值。

为了让检测人员能够观测到测试区域，并使得光源单元和光接收单元能够对齐测试区域，在一个实施例中，所述光接收单元包括光学显微镜和图像传感器，所述光学显微镜用于对所述测试区域进行光学放大，所述图像传感器用于通过所述光学显微镜获取所述测试区域的图像。例如，该图像传感器为CCD(Charge-coupled Device，电荷耦合元件)镜头，该图像传感器通过该光学显微镜能够获得放大后的测试区域的图像，进而使得测试区域的图像更为清晰，进而使得检测人员能够控制第一位移驱动机构和第二位移驱动机构，进而使得光源单元和光接收单元能够准确对齐测试区域。应该理解的是，第一位移驱动机构和第二位移驱动机构可以是通过人工控制，也可以是根据控制单元的控制指令实现自动控制。

为了实现对第一位移驱动机构和第二位移驱动机构的自动控制，在一个实施例中，基板色度检测装置还包括控制单元，所述控制单元分别与所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构电连接，所述控制单元用于获取预设图案，根据所述预设图案获取所述待测基板上的各所述测试区域的位置信息，根据所述位置信息控制所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构。

具体地，预设图案即为掩膜版的图案，由于基板的曝光显影时通过掩膜版进行的，曝光显影后形成的图案基于掩膜版实现，基板基于掩膜版而曝光显影形成的显示区域与dummy区域，这样，待测基板上在后续步骤中将形成的dummy区域的位置信息则可根据预设图案解析获得，本实施例中，控制单元通过获取预设图案，并解析预设图案获取到测试区域在待测基板上的位置信息，该位置信息即为待测基板表面上的坐标位置信息，例如，该坐标位置信息包括X轴位置信息和Y轴位置信息，其中，X轴方向与Y轴方向垂直，这样，通过位置信息能够准确定位测试区域的位置，应该理解的是，待测基板是未经曝光显影制程的基板，但待测基板的型号是可知的，待测基板的尺寸大小也是可知的，根据预设图案以及对待测基板的尺寸大小，即可获取到对应的待测基板上将会形成的dummy区域的位置信息，dummy区域的位置信息也即测试区域的位置信息。控制单元根据位置信息控制第一位移驱动机构以及第二位移驱动机构，进而使得第一位移驱动机构以及第二位移驱动机构分别驱动光源单元和光接收单元对齐于测试单元，进而实现了光源单元和光接收单元的位置的自动调整，提高了光源单元和光接收单元的对齐精度，且提高了测量效率。

例如，第一位移驱动机构和第二位移驱动机构分别包括X轴方向移动机构和Y轴方向移动机构，X轴方向和Y轴方向相互垂直，且X轴方向和Y轴方向均与待测基板的表面平行。例如，请再次参见图1，第一位移驱动机构110包括平行于待测基板200表面的第一导轨111以及滑动设置于所述第一导轨111上的第一滑块112，所述光源单元与所述第一滑块112连接，第二位移驱动机构120包括平行于待测基板200表面的第二导轨121以及滑动设置于所述第二导轨121上的第二滑块122，所述光接收单元与所述第二滑块122连接，即第一导轨111和第一滑块112、第二导轨121和第二滑块122均为X轴方向移动机构，即可于X轴方向移动，第一位移驱动机构110和第二位移驱动机构120还包括平行于待测基板200表面，且垂直于第一导轨111的第三导轨181以及第四导轨182，第一导轨111的两端分别连接有第一滑动件113，两个第一滑动件113分别滑动设置于第三导轨181和第四导轨182上，第二导轨121的两端分别连接有第二滑动件123，两个第二滑动件123分别滑动设置于第三导轨181和第四导轨182上，第三导轨181和第四导轨182均为Y轴方向移动机构，即可于Y轴方向移动。

这样，光源单元和光接收单元还可以沿着平行于待测基板表面运动，进而对齐待测基板上的任一位置，使得光源单元和光接收单元能够对待测基板上多个测试区域的色度值进行检测和测量。

在另外的实施例中，第一位移驱动机构和第二位移驱动机构分别包括横移驱动机构和纵向移动机构，横移驱动机构沿平行于待测基板的表面的方向运动，纵向移动机构沿垂直于待测基板的表面的方向运动，例如，横向移动机构包括第一方向移动机构和第二方向移动机构，第一方向移动机构和第二方向移动机构的运动方向相互垂直。例如，垂直于待测基板表面的方向为Z轴方向，平行于待测基板表面的方向为X轴方向和Y轴方向，X轴方向和Y轴方向相互垂直。

例如，如图3所示，第一位移驱动机构310包括第一Z轴导轨311、第一Z轴滑块314、第一X轴导轨312、第一X轴滑块315、第一Y轴导轨313和第一Y轴滑块316，第一Z轴滑块314滑动设置于第一Z轴导轨311上，第一X轴导轨312与第一Z轴滑块314连接，第一X轴滑块315滑动设置于第一X轴导轨312上，第一Y轴导轨313与所述第一X轴滑块315连接，第一Y轴滑块316滑动设置于第一Y轴导轨313上，光源单元330与所述第一Y轴滑块316连接，所述第一Z轴滑块314、第一X轴滑块315以及第一Y轴滑块316分别通过丝杆(图未示)与一驱动电机(图未示)连接，各所述驱动电机分别与控制单元电连接；例如，第二位移驱动机构320包括第二Z轴导轨321、第二Z轴滑块324、第二X轴导轨322、第二X轴滑块325、第二Y轴导轨323和第二Y轴滑块326，第二Z轴滑块324滑动设置于第二Z轴导轨321上，第二X轴导轨322与第二Z轴滑块324连接，第二X轴滑块325滑动设置于第二X轴导轨322上，第二Y轴导轨323与所述第二X轴滑块325连接，第二Y轴滑块326滑动设置于第二Y轴导轨323上，光接收单元340与所述第二Y轴滑块326连接，所述第二Z轴滑块324、第二X轴滑块325以及第二Y轴滑块326分别通过丝杆(图未示)与一驱动电机(图未示)连接，各所述驱动电机分别与控制单元电连接。例如，第一Z轴导轨311和第二Z轴导轨321相连，即第一Z轴导轨311和第二Z轴导轨321处于同一直线上。

这样，控制单元通过控制各驱动电机工作，进而控制所述第一Z轴滑块、第一X轴滑块、第一Y轴滑块、所述第二Z轴滑块、第二X轴滑块以及第二Y轴滑块运动，光源单元和光接收单元均可以在垂直于待测基板表面的方向上运动，调节与待测基板之间的距离，且光源单元和光接收单元还可以沿着平行于待测基板表面运动，进而对齐待测基板上的任一位置，使得光源单元和光接收单元能够对待测基板上多个测试区域的色度值进行检测和测量。

值得一提的是，上述各实施例中的处理单元和控制单元均可以是具有数据处理功能的计算机或者单片机，而显示单元可以是计算机的显示器。

在一个实施例中，如图4A所示，提供一种基板色度检测方法，包括：

步骤420，对齐待测基板的测试区域向所述待测基板发射光束，其中所述测试区域为所述待测基板在进行显影步骤后的无膜层图案的区域。

本实施例中，该待测基板为玻璃基板，玻璃基板具有透光性，测试区域为经过曝光显影后形成的dummy区域。具体地，涂胶后的玻璃基板依次通过曝光和显影，使得玻璃基板上形成预设图案的膜层，例如，采用预设图案掩膜版(mask)对玻璃基板进行曝光和显影，使得玻璃基板上形成预设图案的膜层，而玻璃基板上被曝光显影去除掉膜层的区域即为测试区域，或者说，玻璃基板上经过曝光显影而形成的无膜层图案的区域为测试区域，该测试区域也可称为dummy区域。

本实施例中，步骤420之前还包括获取预设图案，根据所述预设图案获取所述待测基板上的各所述测试区域的位置信息，根据所述位置信息控制光源单元和光接收单元对齐同一测试区域。本实施例中，预设图案即掩膜版的图案，待测基板在经过曝光显影而形成的dummy区域是基于掩膜版形成，此时的待测基板未进行曝光显影，但通过获取掩膜版的图案即可获取到待测基板在后续工序中形成的dummy区域的位置信息，即可使得光源单元和光接收单元能够对齐同一测试区域，进而对测试区域进行色度值测量。

光源单元对齐测试区域向测试区域发射光束，光束从测试区域透射形成透射光。

步骤440，接收从所述测试区域穿透的透射光。

具体地，通过光接收单元对透射光进行接收，该光接收单元对齐于测试区域，这样，从测试区域透射的透射光将被光接收单元接收。

步骤460，对所述透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值。

本步骤中，对接收到的透射光进行解析，计算获取对应的测试区域的色度值。

例如，步骤460之后还包括输出色度值并显示色度值，这样，通过将色度值输出并显示，使得检测人员能够准确观测待测基板的色度值，进而检测出不合格的基板。

例如，步骤460之后还包括判断所述测试区域的色度值与预设标准值是否匹配，并生成判断信息，输出所述判断信息，例如，显示所述判断信息。通过色度值与预设标准值的对比，生成包含判断结果的判断信息，并输出显示，实现自动检测，使得检测人员能够获取到对比结果，检测出不合格的基板。

例如，当所述测试区域的色度值与预设标准值不匹配时，输出警报。例如，该警报为声音警报，例如，该警报为灯光警报，通过警报使得检测人员能够及时发现不合格的基板，有效提高检测效率。

在一个实施例中，该待测基板为经过涂胶且未经过曝光的基板，例如，如图4B所示，步骤420之前还包括，步骤400，提供经过涂胶且未经过曝光的待测基板。即，该基板经过涂胶制程后，基板表面形成彩膜，而基板在未进行曝光制程以及显影制程之前则经过输送机构传输至光源单元以及光接收单元之间，进行步骤420至步骤460的色度值测量。本实施例中，在基板未进行曝光显影即进行色度值测量，能够及时检测出不合格的基板，避免不合格的基板流入至下一工序制程，有效降低了生产成本，且有效提高了基板的良率。

在一个实施例中，如图4C所示，步骤460包括：

步骤462，对所述透射光进行解析，获取所述透射光的光谱。

步骤464，对所述透射光的光谱进行解析，获取所述测试区域的所述色度值。

具体计算过程如下：

在国际照明委员会规定的标准色度系统中，利用X、Y、Z来表示一个颜色的三刺激值，定义如下：

其中K为归一化系数，波长λ的范围在380～780nm，S_λ(λ)为光源的相对光谱分布，ρ_λ(λ)为样品的透过率，

为标准色度观察者的色匹配函数。三个刺激值的总和代表这个颜色中的红光、绿光及蓝光的总量，Y反映样品对光的透过率情况，通过对光谱透过率ρ_λ(λ)的测量可获得彩膜的色度参数。在公式(4)～(6)中，采用小写x、y、z定义红绿蓝三个分量所占的比例，称为色度坐标。通常用x、y色度坐标和透过率Y来表征色度，即色度值。

x＝X/(X+Y+Z) (4)

y＝Y/(X+Y+Z) (5)

z＝Z/(X+Y+Z) (6)

通过上述公式(1)～(6)即可计算出测试区域的色度值。

上述基板色度的检测方法及装置，由于测试区域为显影步骤后的无膜层图案的区域，测试区域的尺寸远远大于子像素线宽，使得光源单元以及光接收单元能够准确对齐于测试区域，通过对测试区域发射光束并接收透过测试区域的透射光，使得光束能够准确对齐测试区域并从测试区域透射，有效避免因子像素过于密集且线宽较小导致混色测量导致的偏差，有效提高色度的检测精度，且由于在待测基板可在显影前进行色度检测，能够及时检测出异常的基板，防止基板进入下一加工制程，有效降低生产成本，提高基板的良率。

应该说明的是，上述系统实施例中，所包括的各个模块只是按照功能逻辑进行划分的，但并不局限于上述的划分，只要能够实现相应的功能即可；另外，各功能模块的具体名称也只是为了便于相互区分，并不用于限制本发明的保护范围。

以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。

以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (10)

1.一种基板色度检测装置，其特征在于，包括：第一位移驱动机构、第二位移驱动机构、光源单元、光接收单元和处理单元；

所述第一位移驱动机构与所述光源单元驱动连接，所述第二位移驱动机构与所述光接收单元驱动连接，所述光源单元与所述光接收单元相向且相对设置，且所述光源单元与所述光接收单元用于分别设置于待测基板的两侧，所述光接收单元与所述处理单元电连接；

所述光源单元用于对齐所述待测基板的测试区域并向所述待测基板发射光束，其中所述测试区域为所述待测基板在进行涂胶、曝光和显影步骤后的无膜层图案的区域，其中测试区域的尺寸大于子像素线宽；

所述光接收单元用于接收从所述测试区域穿透的透射光；

所述处理单元用于对所述光接收单元接收的透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值。

2.根据权利要求1所述的基板色度检测装置，其特征在于，还包括判断单元，所述判断单元与所述处理单元电连接，所述判断单元用于获取所述处理单元的所述色度值，判断所述色度值与预设标准值是否匹配，生成判断信息，输出所述判断信息，基板色度检测装置还包括显示单元，所述显示单元与所述判断单元连接，所述判断单元用于将所述判断信息输出至所述显示单元，所述显示单元用于显示所述判断信息。

3.根据权利要求2所述的基板色度检测装置，其特征在于，还包括报警单元，所述报警单元与所述判断单元电连接，所述报警单元用于在所述色度值与预设标准值不匹配时发出警报。

4.根据权利要求1所述的基板色度检测装置，其特征在于，所述光接收单元包括光学显微镜和图像传感器，所述光学显微镜用于对所述测试区域进行光学放大，所述图像传感器用于通过所述光学显微镜获取所述测试区域的图像。

5.根据权利要求1所述的基板色度检测装置，其特征在于，所述光接收单元还包括光谱探测器，所述光谱探测器用于接收所述透射光，获取所述透射光的光谱；

所述处理单元用于对所述透射光的光谱进行解析，获取所述测试区域的所述色度值。

6.根据权利要求1所述的基板色度检测装置，其特征在于，还包括控制单元，所述控制单元分别与所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构电连接，所述控制单元用于获取预设图案，根据所述预设图案获取所述待测基板上的各所述测试区域的位置信息，根据所述位置信息控制所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构。

7.根据权利要求1所述的基板色度检测装置，其特征在于，还包括传输机构，所述传输机构设置于所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构之间，所述传输机构用于传输所述待测基板，并用于将所述待测基板传输至所述第一位移驱动机构以及所述第二位移驱动机构之间。

8.一种基板色度检测方法，其特征在于，包括：

对齐待测基板的测试区域向所述待测基板发射光束，其中所述测试区域为所述待测基板在进行涂胶、曝光和显影步骤后的无膜层图案的区域，其中测试区域的尺寸大于子像素线宽；

接收从所述测试区域穿透的透射光；

对所述透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值。

9.根据权利要求8所述的基板色度检测方法，其特征在于，在所述向所述待测基板发射光束的步骤之前还包括：

提供经过涂胶且未经过曝光的待测基板。

10.根据权利要求8所述的基板色度检测方法，其特征在于，所述对所述透射光进行解析，获取所述测试区域的色度值的步骤包括：

对所述透射光进行解析，获取所述透射光的光谱；

对所述透射光的光谱进行解析，获取所述测试区域的所述色度值。

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