CN107062828A - 一种真空干燥装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种真空干燥装置，包括：真空腔室；及，设置在所述真空腔室内，用于承载待处理物的承载台；所述承载台包括：承载平台；设置在所述承载平台上的多个支撑部件；以及，能够移动所述支撑部件的移动机构。本发明提供的真空干燥装置，其承载台上设置的支撑部件可移动，从而可以改变与基板的接触位置，解决现有技术中显示基板与支撑部柱接触点形成不良的问题。

Description

一种真空干燥装置

技术领域

本发明涉及显示器制造技术领域，尤其涉及一种真空干燥装置。

背景技术

显示器等产品在制造过程中，通常需要采用真空干燥装置等来对基板进行工艺处理。其中，以现有技术中的真空干燥装置为例，包括真空腔室，在真空腔室内设有用于承载玻璃显示基板的承载台，在承载台上通常设置有承载基板的支撑柱。由于现有技术中真空干燥装置的承载台上支撑柱是固定的，对于显示基板的支撑位置不能进行改变，在抽真空时，会使显示基板承受一个较大的向下压力，在显示基板与支撑柱的接触点处容易形成不良，而这种不良是很难彻底解决。

发明内容

本发明的目的在于提供一种真空干燥装置，其承载台上设置的支撑部件可移动，而可以改变与基板的接触位置，从而可解决现有技术中显示基板与支撑部柱接触点形成不良的问题。

本发明所提供的技术方案如下：

一种真空干燥装置，包括：真空腔室；及，设置在所述真空腔室内，用于承载待处理物的承载台；所述承载台包括：

承载平台；

设置在所述承载平台上的多个支撑部件；

以及，能够移动所述支撑部件的移动机构。

进一步的，所述移动机构为磁悬浮式移动机构，包括：

悬浮底座，所述悬浮底座上设有磁性部件，每一所述支撑部件的底端设置有一个所述悬浮底座；

以及，设置在所述承载平台下方，能够与所述悬浮底座上的磁性部件产生磁性相互作用的悬浮移动基座；

其中所述悬浮底座具有第一状态和第二状态；

在所述第一状态，所述悬浮底座在其与所述悬浮移动基座的相互作用下，吸引固定在所述承载平台上；

在所述第二状态，所述悬浮底座在其与所述悬浮移动基座的相互作用下，悬浮于所述承载平台上方预设高度处，并能够进行移动。

进一步的，所述悬浮底座上的所述磁性部件包括内环磁体和环套于所述内环磁体之外的外环磁体，其中所述外环磁体的面向所述悬浮移动基座的一侧的磁性为第一极性，所述内环磁体的面向所述悬浮移动基座的一侧的磁性为第二极性，所述第一极性和所述第二极性相反。

进一步的，所述悬浮移动基座包括磁性器件阵列，所述磁性器件阵列包括呈阵列排布的多个磁性器件，每一所述磁性器件的面向所述悬浮底座的一侧的磁性能够在所述第一极性和所述第二极性之间切换；

且所述磁性器件阵列中包括：与所述外环磁体在所述磁性器件阵列上的正投影形状相同的第一区域；以及，与所述内环磁体在所述磁性器件阵列上的正投影形状相同的第二区域，所述第一区域和所述第二区域内分别分布有多个所述磁性器件。

进一步的，所述磁性器件为电磁器件；所述悬浮移动基座还包括用于控制各所述电磁器件的工作状态的控制单元；其中，

在所述第一状态，所述控制单元控制所述第一区域内的各所述电磁器件的磁性为第二极性、所述第二区域内的各所述电磁器件的磁性为第一极性，且所述第一区域与所述外环磁体在所述磁性器件阵列上的正投影重合，所述第二区域与所述内环磁体在所述磁性器件阵列上的正投影重合，以使所述悬浮底座吸引固定在所述承载平台上；

在所述第二状态，所述控制单元控制所述第一区域和所述第二区域内各所述电磁器件的磁性均为所述第一极性或者所述控制单元控制所述第一区域内各所述电磁器件的磁性为第一极性、所述第二区域内各所述电磁器件的磁性为第二极性，且所述第一区域和所述第二区域能够沿所述悬浮底座的预定移动方向、按照预定偏移距离偏移，以使所述悬浮底座悬浮于所述承载平台上方预设高度处，并进行移动。

进一步的，所述真空干燥装置还包括与所述真空腔室连通的抽真空气管；

其中，在所述真空腔室的至少一侧内侧壁上形成有与所述抽真空气管相连通的出气结构。

进一步的，所述出气结构包括：

设置在所述真空腔室内侧壁上的沟槽层，所述沟槽层上交错分布有多个沟槽；

以及，匀气板，所述匀气板整面分布多个气孔，且所述匀气板覆盖在所述沟槽层上，并与所述沟槽之间形成气体通道，所述气体通道与所述抽真空管相连通。

进一步的，所述匀气板为采用多孔的高分子材料形成的高分子材料基板。

进一步的，在所述真空腔室的各个内侧壁上均设置有所述出气结构。

进一步的，所述真空腔室包括上盖部分及与所述上盖部分扣合的下座部分，所述上盖部分具有用于与所述下座部分对接的第一扣合面，所述下座部分具有用于与所述上盖部分对接的第二扣合面；

其中，在所述下座部分的侧壁内部具有第一通气管道，所述第一通气管道的第一端口与所述抽真空气管相连，所述第一通气管道的第二端口位于所述第二扣合面上；

在所述上盖部分的侧壁内部具有第二通气管道，所述第二通气管道的第一端口与所述上盖部分的侧壁上的所述沟槽相通，所述第二通气管道的第二端口位于所述第一扣合面上，并与所述第二扣合面上的第一通气管道的第二端口正对。

本发明所带来的有益效果如下：

本发明提供的真空干燥装置，其承载台上设置的支撑部件可移动，从而可以改变与基板的接触位置，解决现有技术中显示基板与支撑部柱接触点形成不良的问题。

附图说明

图1表示本发明实施例中所提供的真空干燥装置的主视图；

图2表示本发明实施例中所提供的真空干燥装置的侧视图；

图3表示本发明实施例中所提供的真空干燥装置的下座部分的俯视图；

图4表示本发明实施例中所提供的真空干燥装置的上盖部分的仰视图；

图5表示本发明实施例中所提供的真空干燥装置的移动机构的结构示意图；

图6表示本发明实施例中所提供的真空干燥装置的移动机构中磁性器件阵列的工作原理示意图。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

针对现有技术中真空干燥装置的承载台上的支撑柱固定，不能移动，在支撑柱与基板的接触点处容易形成不良的技术问题，本发明提供了一种真空干燥装置，其承载台上设置的支撑部件可移动，而可以改变与基板的接触位置，从而可解决现有技术中显示基板与支撑部柱接触点形成不良的问题。

如图1至图3所示，本发明实施例中所提供的真空干燥装置，包括：真空腔室100；及，设置在所述真空腔室100内，用于承载待处理物的承载台200；所述承载台200包括：

承载平台；

设置在所述承载平台上的多个支撑部件300；

以及，能够移动所述支撑部件300的移动机构400。

本发明提供的真空干燥装置，其承载台200上设置的支撑部件300可移动，从而可以改变与基板的接触位置，解决现有技术中显示基板与支撑柱接触点形成不良的问题。

以显示基板为例，显示基板上具有很多和良率无关的区域，行业内叫Dummy区(周边区)，不同型号的产品的Dummy区不一样，采用本发明实施例所提供的真空干燥装置，可以将支撑部件300根据显示基板的不同型号，将支撑部件300移动到显示基板的Dummy区，便可以大大的提升产品的良率。

以下说明本发明所提供的真空干燥装置的优选实施例。

如图1至图3、图5所示，在本发明所提供的优选实施例中，所述移动机构400为磁悬浮式移动机构，包括：

悬浮底座410，所述悬浮底座410上设有磁性部件，每一所述支撑部件300的底端设置有一个所述悬浮底座410；

以及，设置在所述承载平台下方，能够与所述悬浮底座410上的磁性部件产生磁性相互作用的悬浮移动基座420；

其中所述悬浮底座410具有第一状态和第二状态；

在所述第一状态，所述悬浮底座410在其与所述悬浮移动基座420的相互作用下，吸引固定在所述承载平台上；

在所述第二状态，所述悬浮底座410在其与所述悬浮移动基座420的相互作用下，悬浮于所述承载平台上方预设高度处，并进行移动。

采用上述方案，采用磁悬浮移动方式来实现对支撑部件300的移动，采用磁悬浮移动方式可以实现支撑部件300的非接触式移动、定位，与接触式移动方式相比，具有更利于整个设备环境的清洁度、方便控制等优点。

当然可以理解的是，在本发明的其他实施例中，所述移动机构还可以是采用其他方式来移动支撑部件300，以上仅是提供一种所述移动机构的优选实施方式，但并不对此进行限定。

在本发明所提供的优选实施例中，进一步优选的，所述悬浮底座410上的磁性部件包括内环磁体411和环套于所述内环磁体411之外的外环磁体412，其中所述外环磁体412的面向所述悬浮移动基座420的一侧的磁性为第一极性，所述内环磁体411的面向所述悬浮移动基座420的一侧的磁性为第二极性，所述第一极性和所述第二极性相反。

采用上述方案，所述悬浮底座410上的磁性部件可以是双环或多环结构，采用内环磁体411与外环磁体412环套设置，且内环磁体411与外环磁体412在面向所述悬浮移动基座420的同一侧的磁性刚好相反，这样可以分别调节内、外环磁体与悬浮移动基座420之间的相互作用力，进而实现悬浮底座410悬浮或固定在所述承载平台上的目的。

需要说明的是，在上述方案中，所述悬浮底座410上的磁性部件采用的内、外环磁体412结构，在本发明的其他实施例中，所述悬浮底座410上的磁性部件还可以是其他结构，对此并不进行限定。

此外，在本发明所提供的优选实施例中，如图5和图6所示，所述悬浮移动基座420包括磁性器件阵列421，所述磁性器件阵列421包括呈阵列排布的多个磁性器件4211，每一所述磁性器件4211的面向所述悬浮底座410的一侧的磁性能够在所述第一极性和所述第二极性之间切换；

且所述磁性器件阵列421中包括：与所述外环磁体412在所述磁性器件阵列421上的正投影形状相同的第一区域A；以及，与所述内环磁体411在所述磁性器件阵列421上的正投影形状相同的第二区域，所述第一区域A和所述第二区域B内分别分布有多个所述磁性器件4211。

采用上述方案，所述悬浮移动基座420采用磁性器件阵列421结构，所述外环磁体412和所述内环磁体411能够分别对应多个磁性器件4211，可以通过切换磁性器件阵列421中与外环磁体412所正对的多个磁性器件4211(即第一区域A内的多个磁性器件)的磁性、以及与内环磁体411所正对的多个磁性器件4211(即第二区域B内的多个磁性器件)的磁性，来实现所述支撑部件300的固定、悬浮及移动。当与所述外环磁体412、所述内环磁体411所正对的多个磁性器件4211的磁性与所述外环磁体412、所述内环磁体411的磁性相反时，则所述磁性部件在与所述磁性器件阵列421之间的磁力作用下，而被固定在所述磁性器件阵列421上；当与所述外环磁体412、所述内环磁体411正对的多个磁性器件4211的磁性与所述外环磁体412、所述内环磁体411的磁性相同，且以预设规则切换磁性时，则所述磁性部件在与所述磁性器件阵列421的磁力作用下进行悬浮移动。

优选的，所述磁性器件4211为电磁器件；所述悬浮移动基座420还包括用于控制各电磁器件的工作状态的控制单元；其中，

在所述第一状态，所述控制单元控制所述第一区域A内的各电磁器件的磁性为第二极性、所述第二区域B内的各电磁器件的磁性为第一极性，且所述第一区域A与所述外环磁体412在所述磁性器件阵列421上的正投影重合，所述第二区域B与所述内环磁体411在所述磁性器件阵列421上的正投影重合，以使所述悬浮底座410吸引固定在所述承载平台上；

在所述第二状态，所述控制单元控制所述第一区域A和所述第二区域B内各所述电磁器件的磁性均为所述第一极性或者所述控制单元控制所述第一区域A内各电磁器件的磁性为第一极性、所述第二区域B内各电磁器件的磁性为第二极性，且所述第一区域A和所述第二区域B能够沿所述悬浮底座410的预定移动方向、按照预定偏移距离偏移，以使所述悬浮底座410悬浮于所述承载平台上方预设高度处，并进行移动。

采用上述方案，所述磁性器件4211为电磁器件，可以通过控制所述电磁器件的通电流状态，来控制所述电磁器件的磁性在第一极性、第二极性之间切换以及控制所述电磁器件的磁性大小，便于实现控制。当然可以理解的是，所述磁性器件4211也可以采用其他磁性器件4211来实现，对此不进行限定。

具体地，所述控制单元控制所述第一区域A内的各电磁器件的磁性为第二极性、所述第二区域B内的各电磁器件的磁性为第一极性，且所述第一区域A与所述外环磁体412在所述磁性器件阵列421上的正投影重合，所述第二区域B与所述内环磁体411在所述磁性器件阵列421上的正投影重合，也就是说，当所述外环磁体412的磁性和与该外环磁体412正对的多个电磁器件的磁性相反，且所述内环磁体411的磁性和与该内环磁体411正对的多个电磁器件的磁性相反时，则所述悬浮底座410被紧紧固定在所述悬浮移动基座420上，例如，当所述外环磁体412的面向所述悬浮底座410的一侧的磁性为S极、所述内环磁体411的面向所述悬浮底座410的一侧的磁性为N极时，与该外环磁体412正对的多个电磁器件的磁性为N极，与该内环磁体411正对的多个电磁器件的磁性为S极，则所述磁性部件在其与所述磁性器件阵列421的磁力作用下被固定在所述悬浮移动基座420上，即实现了支撑部件300的固定；

当所述控制单元控制所述第一区域A和所述第二区域B内各所述电磁器件的磁性均为所述第一极性或者所述控制单元控制所述第一区域A内各电磁器件的磁性为第一极性、所述第二区域B内各电磁器件的磁性为第二极性时，且所述第一区域A与所述外环磁体412在所述磁性器件阵列421上的正投影重合，所述第二区域B与所述内环磁体411在所述磁性器件阵列421上的正投影重合，也就是说，当所述外环磁体412的磁性和悬浮移动基座420上与该外环磁体412正对的多个电磁器件的磁性相同，且所述内环磁体411的磁性和悬浮移动基座420上与该内环磁体411正对的多个电磁器件的磁性相反时，由于外环磁体412与悬浮移动基座420之间的相互排斥力会大于内环磁体411的与悬浮移动基座420之间的相互吸引力，那么在外环磁体41与悬浮移动基座420上第一区域A内各电磁器件的相互排斥力、内环磁体411与悬浮移动基座420上第二区域B内各电磁器件的相互吸引力以及内环磁体411、外环磁体412和支撑部件300的重力作用下相平衡时，则所述悬浮底座410则悬浮在所述悬浮移动基座420上；或者，当所述外环磁体412的磁性和悬浮移动基座420上与该外环磁体412正对的多个电磁器件的磁性相同，且所述内环磁体411的磁性和悬浮移动基座420上与该内环磁体411正对的多个电磁器件的磁性相同时，那么在外环磁体41与悬浮移动基座420上第一区域A内各电磁器件的相互排斥力、内环磁体411与悬浮移动基座420上第二区域B内各电磁器件的相互排斥力及外环磁体412、内环磁体411和支撑部件300的重力相平衡时，则所述悬浮底座410则悬浮在所述悬浮移动基座420上。

其中，可以通过控制所述电磁器件的磁性大小，来控制所述悬浮底座410的悬浮高度及稳定性，例如，当所述外环磁体412的面向所述悬浮底座410的一侧的磁性为S极、所述内环磁体411的面向所述悬浮底座410的一侧的磁性为N极时，而与该外、内环磁体411所对应的电磁器件的磁性均为S极时，该悬浮底座410静止在其与所述磁性器件阵列421的磁力作用下悬浮在所述悬浮移动基座420的正上方，也就是，实现所述支撑部件300的悬浮；

而若要实现所述悬浮底座410在悬浮状态下移动，则可以通过所述第一区域A和所述第二区域B沿所述悬浮底座410的预定移动方向、按照预定偏移距离偏移，也就是说，当所述外环磁体412、所述内环磁体411所对应的多个电磁器件的磁性在所述控制单元的控制下沿所述悬浮底座410的预定移动方向、按照预定偏移距离挨个切换时，所述悬浮底座410在磁力的作用下则相应地进行悬浮移动，例如，当所述外环磁体412的面向所述悬浮底座410的一侧的磁性为S极、所述内环磁体411的面向所述悬浮底座410的一侧的磁性为N极时，而与该外、内环磁体所对应的电磁器件的磁性均为S极时，若该支撑部件300需要沿第一方向移动，则控制位于与该外、内环磁体所对应的电磁器件在第一方向上相邻的电磁器件的磁性挨个依次切换至S极，则在电磁器件与磁性器件4211之间的磁力作用下，带动所述磁性部件向第一方向移动，即实现所述支撑部件300的悬浮移动。

此外，在上述方案中，所述电磁器件可以选用能够产生磁性的微型继电器，通过控制电流的方向来改变其磁性。

需要说明的是，在上述方案中，所述控制机构可以是通过挨个改变各磁性器件4211的磁性来实现悬浮移动，也可以是通过挨个改变各磁性器件4211的位置来实现悬浮移动，对此并不进行限定。

此外，目前的真空干燥装置，其抽真空技术为：真空管直接接在真空腔室、的底部，因此，该真空干燥装置是一维的(只在一个方向进行抽真空)，并且与该真空干燥装置的真空腔室直接连通，这就导致该真空干燥装置的真空腔室内部的抽真空气流不是均匀的，造成基板在竖直方向上承受一个向下的压力，而这个压力容易导致多种产品不良。

为了解决上述问题，在本发明所提供的实施例中，优选的，如图1和图2所示，所述真空干燥装置还包括与所述真空腔室100连通的抽真空气管500；其中，在所述真空腔室100的至少一侧内侧壁上形成有与所述抽真空气管500相连通的出气结构。

采用上述方案，将所述真空腔室100内连接的抽真空气管500的出气结构设置在真空腔室100的至少一侧内壁上，来改变所述真空腔室100内气流方向单一的问题，使得基板可以不在竖直方向上承受一个向下的压力，而减少由于向下压力的存在而导致的产品不良。

优选的，在所述真空腔室100的上、下、左、右、前、后侧各个内侧壁上均设置有所述出气结构，通过对真空强势的各个面上出气结构的设计，使该真空干燥装置具备了从各个方向同时均匀抽真空的能力，以改变所述真空腔室100内气流方向单一的问题，使得真空腔室100内的气流方向均匀，从而实现了抽真空的立体化(即三维化)。

在本发明所提供的实施例中，优选的，如图1至图4所示，所述出气结构包括：设置在所述真空腔室100内侧壁上的沟槽层601，所述沟槽层601上交错分布有多个沟槽；以及，匀气板602，所述匀气板602整面分布多个气孔6021，且所述匀气板602覆盖在所述沟槽层601上，并与所述沟槽之间形成气体通道，所述气体通道与所述抽真空管相连通。

采用上述方案，所述出气结构改变传统的真空干燥装置的出气口结构，将所述出气结构设计为由一层沟槽层601和一个匀气板602配合的结构，其中多个沟槽可以形成气流通道，而所述匀气板602上具有多个气孔6021，空气可以从所述匀气板602上的气孔6021经多个沟槽而进入抽真空气管500，能够均匀的分散抽真空时的气体压力，能够简化抽真空时该真空腔室100内部的气流方向，使之前的点真空源变为一个面真空源。

优选的，所述匀气板602为采用多孔的高分子材料形成的高分子材料基板。

采用上述方案，所述匀气板602采用绵密多孔的耐高压高分子材料形成，其上设置的微小孔洞能够均匀的分散抽真空时的气体压力，能够简化抽真空时该腔室内部的气流方向，使之前的点真空源变为一个面真空源。通过利用该密多孔的高分子材料基板的分散压力特性，并结合内部均匀交错的多个沟槽设计，使抽真空实现了均匀化。

此外，在本发明所提供的实施例中，优选的，如图1至图4所示，所述真空腔室100包括上盖部分110及与所述上盖部分110扣合的下座部分120，所述上盖部分110具有用于与所述下座部分120对接的第一扣合面112，所述下座部分120具有用于与所述上盖部分110对接的第二扣合面122；其中，在所述下座部分120的侧壁内部具有第一通气管道121，所述第一通气管道121的第一端口与所述抽真空气管500相连，所述第一通气管道121的第二端口位于所述第二扣合面122上；在所述上盖部分110的侧壁内部具有第二通气管道111，所述第二通气管道111的第一端口与所述上盖部分110的侧壁上的沟槽相通，所述第二通气管道111的第二端口位于所述第一扣合面112上，并与所述第二扣合面上的第一通气管道121的第二端口正对。

采用上述方案，所述真空干燥装置中，抽真空气管500的可以通向真空腔室100的顶部，并利用了真空腔室100的上盖部分110和下座部分120来形成气体通道，不需额外设置气管等，整个装置的结构更为简化。

当然可以理解的是，在实际应用中，对于所述抽真空气管500的具体连接方式不进行限定。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种真空干燥装置，包括：真空腔室；及，设置在所述真空腔室内，用于承载待处理物的承载台；其特征在于，所述承载台包括：

承载平台；

设置在所述承载平台上的多个支撑部件；

以及，能够移动所述支撑部件的移动机构。

2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，

所述移动机构为磁悬浮式移动机构，包括：

悬浮底座，所述悬浮底座上设有磁性部件，每一所述支撑部件的底端设置有一个所述悬浮底座；

以及，设置在所述承载平台下方，能够与所述悬浮底座上的所述磁性部件产生磁性相互作用的悬浮移动基座；

其中所述悬浮底座具有第一状态和第二状态；

在所述第一状态，所述悬浮底座在其与所述悬浮移动基座的相互作用下，吸引固定在所述承载平台上；

在所述第二状态，所述悬浮底座在其与所述悬浮移动基座的相互作用下，悬浮于所述承载平台上方预设高度处，并能够进行移动。

3.根据权利要求2所述的真空干燥装置，其特征在于，

所述悬浮底座上的所述磁性部件包括内环磁体和环套于所述内环磁体之外的外环磁体，其中所述外环磁体的面向所述悬浮移动基座的一侧的磁性为第一极性，所述内环磁体的面向所述悬浮移动基座的一侧的磁性为第二极性，所述第一极性和所述第二极性相反。

4.根据权利要求3所述的真空干燥装置，其特征在于，

所述悬浮移动基座包括磁性器件阵列，所述磁性器件阵列包括呈阵列排布的多个磁性器件，每一所述磁性器件的面向所述悬浮底座的一侧的磁性能够在所述第一极性和所述第二极性之间切换；

且所述磁性器件阵列中包括：与所述外环磁体在所述磁性器件阵列上的正投影形状相同的第一区域；以及，与所述内环磁体在所述磁性器件阵列上的正投影形状相同的第二区域，所述第一区域和所述第二区域内分别分布有多个所述磁性器件。

5.根据权利要求4所述的真空干燥装置，其特征在于，

所述磁性器件为电磁器件；所述悬浮移动基座还包括用于控制各所述电磁器件的工作状态的控制单元；其中，

在所述第一状态，所述控制单元控制所述第一区域内的各所述电磁器件的磁性为所述第二极性、所述第二区域内的各所述电磁器件的磁性为所述第一极性，且所述第一区域与所述外环磁体在所述磁性器件阵列上的正投影重合，所述第二区域与所述内环磁体在所述磁性器件阵列上的正投影重合，以使所述悬浮底座吸引固定在所述承载平台上；

在所述第二状态，所述控制单元控制所述第一区域和所述第二区域内各所述电磁器件的磁性均为所述第一极性或者所述控制单元控制所述第一区域内各所述电磁器件的磁性为所述第一极性、所述第二区域内各所述电磁器件的磁性为所述第二极性，且所述第一区域和所述第二区域能够沿所述悬浮底座的预定移动方向、按照预定偏移距离偏移，以使所述悬浮底座悬浮于所述承载平台上方预设高度处，并进行移动。

6.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，

所述真空干燥装置还包括与所述真空腔室连通的抽真空气管；

其中，在所述真空腔室的至少一侧内侧壁上形成有与所述抽真空气管相连通的出气结构。

7.根据权利要求6所述的真空干燥装置，其特征在于，

所述出气结构包括：

设置在所述真空腔室内侧壁上的沟槽层，所述沟槽层上交错分布有多个沟槽；

以及，匀气板，所述匀气板整面分布多个气孔，且所述匀气板覆盖在所述沟槽层上，并与所述沟槽之间形成气体通道，所述气体通道与所述抽真空管相连通。

8.根据权利要求7所述的真空干燥装置，其特征在于，

所述匀气板为采用多孔的高分子材料形成的高分子材料基板。

9.根据权利要求7所述的真空干燥装置，其特征在于，

在所述真空腔室的各个内侧壁上均设置有所述出气结构。

10.根据权利要求9所述的真空干燥装置，其特征在于，

所述真空腔室包括上盖部分及与所述上盖部分扣合的下座部分，所述上盖部分具有用于与所述下座部分对接的第一扣合面，所述下座部分具有用于与所述上盖部分对接的第二扣合面；

其中，在所述下座部分的侧壁内部具有第一通气管道，所述第一通气管道的第一端口与所述抽真空气管相连，所述第一通气管道的第二端口位于所述第二扣合面上；

在所述上盖部分的侧壁内部具有第二通气管道，所述第二通气管道的第一端口与所述上盖部分的侧壁上的所述沟槽相通，所述第二通气管道的第二端口位于所述第一扣合面上，并与所述第二扣合面上的第一通气管道的第二端口正对。