CN107056021A - 一种超薄电子玻璃成型设备和成型方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种超薄电子玻璃成型设备和成型方法，包括成型槽、成型介质供给系统、检测控制装置、加热装置、以及成型拉边机，所述成型槽沿其长度方向和玻璃液运行方向依次分为高温成型段和低温成型段；所述成型槽上方为待成型的玻璃液，成型槽内的上部设有挂钩，挂钩上固定并锁紧两层成型介质混合器，成型槽内的底部设有若干吹扫器和放水阀，成型槽的两侧还设有用于泄压的排气阀。用该成型设备和成型方法能达到以下目标：①一次成型后的电子玻璃厚度在0.5mm以下；②使电子玻璃达到国家标准中的各项规定，满足后续加工使用要求；③在成型过程中无毒无污染、同时成型介质成本低。

Description

一种超薄电子玻璃成型设备和成型方法

技术领域

本发明涉及超薄电子玻璃技术领域，特别是涉及一种超薄电子玻璃成型设备和成型方法。

背景技术

超薄电子玻璃是指厚度在0.1～1.1mm范围内的电子玻璃。电子玻璃系指可应用于电子、微电子、光电子领域的一类高技术产品，主要用于制作集成电路以及具有光电、热电、声光、磁光等功能元器件的玻璃材料。

基板玻璃作为超薄电子玻璃的一种，是目前在微电子、光电子和新能源等高新技术中应用最广、发展最快的特种超薄电子玻璃之一；主要包括液晶基板玻璃、太阳能电池用基板玻璃、存储器用基板玻璃以及集成电路制作过程中制备光刻用的基板玻璃。

目前液晶基板玻璃全球市场份额美国康宁公司约占60％，日本的旭硝子公司约占20％，其它公司如肖特、电气硝子、国内的彩虹等公司总共占20％左右的份额。此外，目前国内使用的主要是G6代及以下的生产线(G6面板尺寸为1500×1800mm)，而世代越高的生产线能够生产出尺寸越大、板宽越宽、面积越大的基板玻璃，这样的一块基板玻璃上越能裁切成大板，能够裁切出的产品就越多，裁切率越高，成本就越低。因此，G8.5代(面板尺寸为2200×2500mm)的生产线在生产60吋及以上的液晶基板玻璃上优势明显。但是G8.5代及以上生产线生产出的液晶基板玻璃和盖板的市场被国外公司垄断，目前主流的成型方法有两种：溢流法和浮法。

溢流法，美国康宁公司专利，生产出的玻璃质量好，不需要研磨抛光等二次加工等，但生产线投资大，主要投资在于熔化和成型设备的内衬全部要采用白金包裹，白金内衬的投资巨大。且用溢流法生产世代越高的液晶基板玻璃(G8.5代及以上)的设备投资相应越贵，技术要求也相应越高。

浮法具有吨位大，板宽宽，和生产成本低的特点；目前成功量产的只有旭硝子公司。然而浮法工艺中，采用锡槽作为成型设备，成型过程中将金属锡加热成液态并保持成型需要的温度。虽然一般浮法玻璃的成型温度只需650-1050℃，但是超薄电子玻璃由于其组成中氧化铝含量高、粘度大，因此成型温度也需要更高，一般要达到700-1250℃。浮法成型玻璃时，因金属锡的存在，玻璃下表面容易沾锡，需要研磨抛光等二次处理，后期加工成本高，使得利用浮法生产出的超薄电子玻璃产品性能达不到高世代液晶基板玻璃的要求，且加热金属锡需要较高能耗。因此，浮法高世代超薄电子玻璃技术发展遭遇了技术壁垒。

因此，一种能够满足应用于超薄电子玻璃的成型方法和设备是本领域亟需的。

发明内容

本发明的目的是针对现有技术中存在的技术缺陷，第一方面，提供一种能够显著提高产品性能的超薄电子玻璃成型设备，包括成型槽、向成型槽中提供气态成型介质的成型介质供给系统、用于检测和控制成型介质参数和成型参数的检测控制装置、用于达到成型介质温度和成型温度的加热装置、以及设置在成型槽两侧上方用于牵引玻璃液使其成型的成型拉边机，所述成型槽沿其长度方向和玻璃液运行方向依次分为高温成型段和低温成型段；所述成型槽上方为待成型的玻璃液，成型槽内的上部设有挂钩，挂钩上固定并锁紧有两层成型介质混合器，成型槽内的底部设有若干用于定期清理成型介质混合器的吹扫器和用于定期排出冷却水及杂质的放水阀，成型槽的两侧还设有用于泄压的排气阀。

所述成型槽包括一纵剖面呈倒置梯形的壳体和包覆在壳体外部的保温层，壳体的长度为35-42m，深度为180-350mm，侧面与底面的角度为10-22°。

所述成型介质混合器为均匀分布有若干通孔的不锈钢板，有两层，由下至上依次为第一成型介质混合器和第二成型介质混合器，且两者的通孔交错设置；优选的，第一成型介质混合器的厚度为12-15mm，孔径为40-60μm，相邻两孔的圆心距为90-120μm；第二成型介质混合器的厚度为7-8mm，其上分布的小孔孔径为20-30μm，相邻两个小孔之间的圆心距离为60-90μm；更优选的，第二成型介质混合器与玻璃液之间的距离为5-8mm，与第一成型介质混合器之间的距离为10-25mm。

所述成型介质供给系统包括提供氮气和氩气的氮站、提供去离子水的水站及均匀分布在成型槽底部的成型介质出口；所述成型介质出口分为设置在高温成型段和低温成型段的氮气出口、设置在高温成型段的氩气出口和设置在低温成型段的水蒸气出口；氮站通过氮气管道和氩气管道与氮气出口和氩气出口相连，水站通过去离子水管道与水蒸气出口相连；氮气管道、氩气管道和去离子水管道上均设有阀门，还设有用于加热管道中N₂、Ar和去离子水使去离子水成为水蒸气的烟气余热加热系统；优选的，烟气余热加热系统与成型介质出口之间的氮气管道、氩气管道和去离子水管道外部还设有保温隔层。

所述检测控制装置包括压力检测控制装置、温度检测控制装置和流量检测控制装置；其中，压力检测控制装置设置在成型介质混合器与玻璃液之间和成型介质混合器与成型槽底部之间，温度检测控制装置设置在两层成型介质混合器之间，流量检测控制装置设置在氮气管道、氩气管道、去离子水管道上。

所述加热装置包括烟气余热加热系统和设置在成型槽的壳体和保温层之间的电加热系统。

第二方面，本发明提供一种超薄电子玻璃成型方法，使用上述超薄电子玻璃成型设备，包括以下步骤：

(1)高温成型段成型介质的调试：开启氮气管道、氩气管道以及烟气余热加热系统，将N₂和Ar加热后通过氮气出口和氩气出口喷入成型槽内的高温成型段，并依次经第一成型介质混合器和第二成型介质混合器混合后，作为高温段成型介质，其压力为10-20Pa，温度为960-1280℃；优选的，高温段成型介质由按体积百分含量为85-95％的N₂和5-15％Ar组成；

(2)初步成型：将熔融状态的玻璃液通至成型槽的上方，此时高温段成型介质向上喷出，在玻璃液下表面形成微正压，同时成型拉边机在成型槽两侧上方牵引玻璃液，使玻璃液初步成型成接近所需尺寸和厚度的初步玻璃液；

(3)低温成型段成型介质的调试：开启氮气管道和去离子水管道，以及烟气余热加热系统，将去离子水加热成水蒸气后和加热后的N₂分别通过水蒸气出口和氮气出口喷入成型槽的低温成型段，并依次经第一成型介质混合器和第二成型介质混合器混合后，作为低温段成型介质，其压力为8-16Pa，温度为690-960℃；优选的，低温段成型介质由按体积百分含量为70-90％的N₂和10-30％的水蒸气组成；

(4)准确成型：步骤(2)得到的初步玻璃液继续沿成型槽的长度方向行进至低温成型段，此时低温段成型介质向上喷出，在初步玻璃液下表面形成微正压，同时成型拉边机在成型槽两侧上方牵引玻璃液，将处于接近所需尺寸和厚度的初步玻璃液微调至所需尺寸和厚度，通过拉边机的对数、拉引速度和角度来完成准确成型，得到超薄电子玻璃。

当成型介质的压力过高时，成型槽两侧的排气阀自动打开进行泄压，直到压力下降到设定压力；当压力过低时，成型介质供给系统自动提高成型介质的供给压力，直到压力上升至设定压力。

定期使用所述吹扫器对成型介质混合器进行吹扫，吹扫使用压力为0.4-0.7MPa、流量为40-60Nm³/h、温度为150-280℃的氮气。

第三方面，本发明提供一种超薄电子玻璃，是由上述成型方法得到的。

与现有技术相比，本发明的有益效果是：

本发明的超薄电子玻璃成型设备，与现有锡槽成型设备相比，由于成型介质不使用锡，因此彻底解决了玻璃表面沾锡和熔化锡单位能耗高的问题。还因为本发明的成型设备中成型介质是氮气、氩气和饱和水蒸气，对环境没有污染、对现有设备的改造程度低、成型介质来源广泛、成本低、并能充分利用玻璃熔窑产生的废热对成型介质进行加热，能够满足国内对超薄电子玻璃大型化的发展要求，生产出的玻璃尺寸可达2200×2500mm以上，完全能够满足G8.5代及以上电子玻璃的要求。用本发明的成型设备和成型方法能达到以下效果：①实现薄型化，一次成型后的电子玻璃厚度在0.5mm以下；②实现功能化，使电子玻璃达到GB/T20314-2006液晶显示器用薄浮法玻璃标准中的各项规定，满足后续加工使用要求；③实现环保化，在超薄电子玻璃的成型过程中绿色成型、无毒、对环境无污染、同时成型介质成本低。

附图说明

图1所示为本发明超薄电子玻璃成型设备的结构示意图；

图2所示为图1中成型槽的纵剖面图；

图3所示为图1中第二成型介质混合器的俯视图；

图4所示为图1中成型槽的侧视图。

具体实施方式

本发明用于超薄电子玻璃的成型设备包括成型槽、成型介质供给系统、检测控制装置、加热装置。

其中，成型槽是用来将熔融好的玻璃液成型的装置。成型介质供给系统用来将成型介质——高温的氮气、氩气和过热饱和水蒸汽分别通过管道输送到成型槽中后，进行混合，用于玻璃成型。检测控制装置是用来检测、调节各管道、成型槽中参数，并保证参数的稳定。加热装置是为了保证成型温度的要求而设置的，主要采用硅碳棒来加热成型槽壳体，壳体再将热量传导给成型槽内的成型介质，保证成型槽的温度满足成型的要求。

以下结合具体实施例，更具体地说明本发明的内容，并对本发明作进一步阐述，但这些实施例绝非对本发明进行限制。

本发明提供的超薄电子玻璃成型设备，如图1所示，包括成型槽2、成型介质供给系统、检测控制装置、加热装置和成型拉边机24。其中，

一、成型槽

成型槽2如图2所示，包括壳体3和包覆在壳体3外部的保温层4。壳体3为一长槽体，其纵剖面呈倒置梯形，即开口由下至上逐渐增大的梯形，梯形的斜边与底边的角度为10-22°，壳体3的长度为35-42m，深度为180-350mm。壳体3的上方为待成型的玻璃液1，并沿长度和玻璃液运行方向(如图4中箭头所示)分为高温成型段和低温成型段。保温层4采用多层保温材料，以减少壳体3的散热，节约能源。

壳体3内的上部设有成型介质混合器。成型介质混合器为均匀分布有若干通孔的不锈钢板，不锈钢材质选用310S，由下至上设置两层，分别为第一成型介质混合器6和第二成型介质混合器5。第一成型介质混合器6的厚度为12-15mm，孔径为40-60μm，相邻两孔的圆心距为90-120μm。第二成型介质混合器5如图3所示，厚度为7-8mm，上面分布的小孔20的孔径为20-30μm，相邻两个小孔之间的圆心距离为60-90μm。第二成型介质混合器5与待成型的玻璃液1之间的距离为5-8mm，与第一成型介质混合器6之间的距离为10-25mm。第二成型介质混合器5与第一成型介质混合器6的通孔交错设置，以使成型介质能够得到进一步的混合。

在壳体3内部两侧对应成型介质混合器的位置还设置有挂钩23，用来将成型介质混合器固定并紧锁在壳体3内。成型槽2的底部与第一成型介质混合器6之间的空间为底槽。成型槽2的壳体3底部内侧还设有若干吹扫器22，可以对成型介质混合器定期进行吹扫，将其表面的杂质吹扫干净，吹扫器22采用压力为0.4-0.7MPa、流量为40-60Nm³/h、温度为150-280℃的氮气进行吹扫，由于吹扫时压力急剧升高，因此需要在成型槽2的两侧对称设置排气阀17，自动泄压。在成型槽2低温成型段的底部还设有放水阀19，定期将成型过程中液化后的冷却水及其它杂质一起排出。

二、成型介质供给系统

成型介质供给系统包括提供氮气和氩气的氮站9、提供去离子水的水站10及成型介质出口7。

成型介质出口7均匀分布在成型槽2的底部，分为氮气出口、氩气出口和水蒸气出口；其中，氮气出口均匀分布在成型槽高温成型段和低温成型段的底部，而氩气出口仅分布在成型槽高温成型段的底部，水蒸气出口则分布在成型槽低温成型段的底部。

氮站9利用空分法制备得到氮气和氩气，氮站9上连接有氮气管道12和氩气管道11分别将氮气和氩气输送至氮气出口和氩气出口。水站10内储存有去离子水，并与去离子水管道13连接将去离子水输送至水蒸气出口。氮气管道12、氩气管道11和去离子水管道13上均设有阀门8，还设有烟气余热加热系统21，用来加热管道中的N₂、Ar和去离子水，并将去离子水加热至水蒸气；为了减少管道的散热，输送加热后成型介质(N₂、Ar和水蒸气)的管道外设有保温隔层14。

氮气和氩气作为高温成型段的成型介质，先在成型槽高温成型段的下部进行初步混合，然后向上运行至第一成型介质混合器6和第二成型介质混合器5，得到充分混合后，作用在待成型的玻璃液底面，使其初步成型。氮气和水蒸气作为低温成型段的成型介质，先在成型槽低温成型段的下部进行初步混合，然后向上运行至第一成型介质混合器6和第二成型介质混合器5，得到充分混合后，作用在初步成型的玻璃底面，使其最终成型。

高温成型段和低温成型段的交界处并不进行严格的隔离，因此交界处实际上高温成型介质和低温成型介质都存在，即氮气、氩气和水蒸气都有，温度和压力也介于高温成型段和低温成型段之间，以保证成型参数的连续性，从而使玻璃液在成型过程中性质稳定。

三、检测控制装置

检测控制装置分为压力检测控制装置、温度检测控制装置和流量检测控制装置，设置在氮气管道12、氩气管道11、去离子水管道13和成型槽2上。

流量检测控制装置25仅设置在氮气管道12、氩气管道11和去离子水管道13上，用来检测和控制N₂、Ar和去离子水(或水蒸气)的流量。

成型槽2中的压力检测控制装置15设置在第二成型介质混合器5上方，玻璃液1底面的下方，用来检测成型介质的压力，并控制成型介质的压力保持在10-20Pa之间，当压力大于20Pa时，成型槽两侧的排气阀17自动打开进行泄压，直到压力下降到10-20Pa为止，当压力小于10Pa时，控制系统通过提高成型介质的供给压力，来提高成型介质的压力在10-20Pa之间；压力过高会将玻璃吹起，导致玻璃成型后表面不平整，压力过低会使玻璃因重力作用产生向下的变形、翘曲，压力过高或过低均不能使成型后的玻璃达到电子玻璃的使用要求。压力检测控制装置15还设在第一成型介质混合器6和成型槽2之间，即底槽中，用来调整成型介质的温度、压力和流量参数，底槽的空间较大，可用来稳定成型介质的压力，并保证成型介质的其它参数稳定。

温度检测控制装置16设置在第一成型介质混合器6和第二成型介质混合器5之间，用来检测成型介质的温度。

四、加热装置

加热装置包括烟气余热加热系统21和电加热系统18。其中，烟气余热加热系统21设置在成型介质供给系统中的氮气管道12、氩气管道11和去离子水管道13上。电加热系统18设置在成型槽2的壳体3和保温层4之间，用来提供成型所需要的温度。

由于成型槽内采用分区控制温度，因此可根据不同位置的温度要求来采用不同的加热功率，成型槽进入端相对功率大，装机功率为280kw，成型槽后端温度低，相对功率低，同时成型介质和玻璃本身也有一定温度，装机功率120kw，整个电加热系统装机功率为400kw。开始投产运行时满功率负荷，运行加热功率为300-350kw，正常运行时由于成型介质本身具有的温度和玻璃余热，需要加热的功率下降了，这时加热功率为150-220kw。

五、成型拉边机

成型拉边机24设置在成型槽2的上方，并沿成型槽2的长度方向对称设置若干台，待成型的玻璃液1在成型拉边机24的牵引作用下成型。由于高温成型段负责初步成型，低温成型段负责准确成型，因此，高温成型段和低温成型段两侧的成型拉边机24工作时的参数不同，高温成型段两侧的成型拉边机24用来将待成型的玻璃液初步成型至所需厚度和尺寸的范围内，低温成型段两侧的成型拉边机24用来将初步成型后的玻璃液精确成型至所需厚度和尺寸。

基于以上成型设备，本发明还提出了一种超薄电子玻璃成型方法，包括以下步骤：

(1)高温成型段成型介质的调试：开启氮气管道12和氩气管道11的阀门，以及烟气余热加热系统21，将N₂和Ar加热后通过氮气出口和氩气出口喷入成型槽2内的高温成型段，并以体积百分含量为85-95％的N₂和5-15％Ar作为高温段成型介质依次经第一成型介质混合器6和第二成型介质混合器5混合；混合后的高温段成型介质压力为10-20Pa，温度为960-1280℃；

(2)初步成型：成型槽2与熔化区相连接，将熔融状态的玻璃液1通至成型槽2的上方，此时高温段成型介质向上喷出，在玻璃液下表面形成微正压，同时成型拉边机24牵引玻璃液，使玻璃液初步成型成所需尺寸和厚度左右的初步玻璃液；

刚通入玻璃液时，为防止刚刚流入的玻璃液被吹起，高温段成型介质的压力可以稍低，然后通过成型拉边机固定玻璃两侧的位置，即确定尺寸，然后通过调整成型拉边机的对数、速度、角度来确定成型玻璃的厚度；

(3)低温成型段成型介质的调试：开启氮气管道12和去离子水管道13的阀门，以及烟气余热加热系统21，将去离子水加热成水蒸气后和加热后的N₂分别通过水蒸气出口和氮气出口喷入成型槽2的低温成型段，并以体积百分含量为70-90％的N₂和10-30％的H₂O(g)作为低温段成型介质依次经第一成型介质混合器6和第二成型介质混合器5混合；混合后的低温段成型介质压力为8-16Pa，温度为690-960℃；

(4)准确成型：达到此工序时的玻璃液粘度很大，主要对其尺寸和厚度进行微调，并保证最终玻璃产品的各项指标；于是初步成型后的初步玻璃液继续沿成型槽2的方向行进至低温成型段，低温段成型介质向上喷出，在初步玻璃液下表面形成微正压，同时成型拉边机24牵引玻璃液，将处于要求尺寸和厚度左右的初步玻璃液微调至要求尺寸和厚度，完成准确成型，得到超薄电子玻璃；成型槽的玻璃出口与退火窑相连，成型后的超薄电子玻璃再进行退火工序，消除玻璃的应力。

本发明的成型设备中成型介质向上喷出，在玻璃液下表面形成微正压，使玻璃液漂浮在具有一定压力的成型介质上方，同时通过成型拉边机的牵引实现玻璃液在成型介质上面成型，杜绝了现有技术中玻璃漂浮在熔融锡液上而使玻璃下表面发生沾锡的情况，减少了超薄电子玻璃成型后的二次加工工序，提高成品率，降低生产成本。本发明使用氮气和氩气作为高温成型段的成型介质，是因为氩气是惰性气体，不与其它介质发生化学反应，性质稳定，且氩气的密度为1.784kg/m³，比氮气和空气的密度都大，相同体积的气体密度大产生的浮力大，有利于玻璃成型；生产过程中可直接使用现有锡槽成型技术中制备氮气的设备，只需再增加一个制备氩气的分馏塔即可。本发明使用水蒸气作为低温成型段的成型介质，是因为低温成型段属于准确成型阶段，不需要那么高的成型温度，用水蒸气替代氩气即可满足成型温度的要求，又可降低生产成本和能耗，还有利于与后续的退火工序衔接；此外，水蒸气的来源是经过净化的去离子水，热源来自烟气余热，实现能量综合利用；不仅如此，水蒸气可与玻璃表面发生化学反应(H₂O+Na⁺→NaOH+H⁺)，使玻璃表面的碱金属离子溶出，于是玻璃表面形成贫碱层，从而使玻璃表面形成富硅层，有利于提高电子玻璃的化学性质和机械性能(如修复玻璃表面的微裂纹等)。可见，采用本发明的成型方法，不仅能够实现超薄电子玻璃的成型，减少锡对玻璃的污染，还能够减少玻璃表面的微裂纹，起到修复玻璃表面的作用。

本发明提供的超薄电子玻璃成型设备和成型方法中成型介质使用的是氮气、氩气和水蒸气，对环境没有污染、对现有设备的改造程度低、成型介质来源广泛，成本低、并能充分利用玻璃熔窑产生的废热对成型介质进行加热，能够满足国内对电子玻璃在大型化，薄型化，功能化，环保化，在超薄电子玻璃制造过程中绿色、产品环保的要求，有益于推广应用。

以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出的是，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的内容。

Claims (10)

1.一种超薄电子玻璃成型设备，其特征在于，包括成型槽、向成型槽中提供气态成型介质的成型介质供给系统、用于检测和控制成型介质参数和成型参数的检测控制装置、用于达到成型介质温度和成型温度的加热装置、以及设置在成型槽两侧上方用于牵引玻璃液使其成型的成型拉边机，所述成型槽沿其长度方向和玻璃液运行方向依次分为高温成型段和低温成型段；所述成型槽上方为待成型的玻璃液，成型槽内的上部设有挂钩，挂钩上固定并锁紧有两层成型介质混合器，成型槽内的底部设有若干用于定期清理成型介质混合器的吹扫器和用于定期排出冷却水及杂质的放水阀，成型槽的两侧还设有用于泄压的排气阀。

2.根据权利要求1所述超薄电子玻璃成型设备，其特征在于，所述成型槽包括一纵剖面呈倒置梯形的壳体和包覆在壳体外部的保温层，壳体的长度为35-42m，深度为180-350mm，侧面与底面的角度为10-22°。

3.根据权利要求1或2所述超薄电子玻璃成型设备，其特征在于，所述成型介质混合器为均匀分布有若干通孔的不锈钢板，有两层，由下至上依次为第一成型介质混合器和第二成型介质混合器，且两者的通孔交错设置；优选的，第一成型介质混合器的厚度为12-15mm，孔径为40-60μm，相邻两孔的圆心距为90-120μm；第二成型介质混合器的厚度为7-8mm，其上分布的小孔孔径为20-30μm，相邻两个小孔之间的圆心距离为60-90μm；更优选的，第二成型介质混合器与玻璃液之间的距离为5-8mm，与第一成型介质混合器之间的距离为10-25mm。

4.根据权利要求1-3任一所述超薄电子玻璃成型设备，其特征在于，所述成型介质供给系统包括提供氮气和氩气的氮站、提供去离子水的水站及均匀分布在成型槽底部的成型介质出口；所述成型介质出口分为设置在高温成型段和低温成型段的氮气出口、设置在高温成型段的氩气出口和设置在低温成型段的水蒸气出口；氮站通过氮气管道和氩气管道与氮气出口和氩气出口相连，水站通过去离子水管道与水蒸气出口相连；氮气管道、氩气管道和去离子水管道上均设有阀门，还设有用于加热管道中N₂、Ar和去离子水使去离子水成为水蒸气的烟气余热加热系统；优选的，烟气余热加热系统与成型介质出口之间的氮气管道、氩气管道和去离子水管道外部还设有保温隔层。

5.根据权利要求1-4任一所述超薄电子玻璃成型设备，其特征在于，所述检测控制装置包括压力检测控制装置、温度检测控制装置和流量检测控制装置；其中，压力检测控制装置设置在成型介质混合器与玻璃液之间和成型介质混合器与成型槽底部之间，温度检测控制装置设置在两层成型介质混合器之间，流量检测控制装置设置在氮气管道、氩气管道、去离子水管道上。

6.根据权利要求1-5任一所述超薄电子玻璃成型设备，其特征在于，所述加热装置包括烟气余热加热系统和设置在成型槽的壳体和保温层之间的电加热系统。

7.一种超薄电子玻璃的成型方法，其特征在于，使用权利要求1-6任一所述超薄电子玻璃成型设备，包括以下步骤：

(1)高温成型段成型介质的调试：开启氮气管道、氩气管道以及烟气余热加热系统，将N₂和Ar加热后通过氮气出口和氩气出口喷入成型槽内的高温成型段，并依次经第一成型介质混合器和第二成型介质混合器混合后，作为高温段成型介质，其压力为10-20Pa，温度为960-1280℃；优选的，高温段成型介质由按体积百分含量为85-95％的N₂和5-15％Ar组成；

(2)初步成型：将熔融状态的玻璃液通至成型槽的上方，此时高温段成型介质向上喷出，在玻璃液下表面形成微正压，同时成型拉边机在成型槽两侧上方牵引玻璃液，使玻璃液初步成型成接近所需尺寸和厚度的初步玻璃液；

(3)低温成型段成型介质的调试：开启氮气管道和去离子水管道，以及烟气余热加热系统，将去离子水加热成水蒸气后和加热后的N₂分别通过水蒸气出口和氮气出口喷入成型槽的低温成型段，并依次经第一成型介质混合器和第二成型介质混合器混合后，作为低温段成型介质，其压力为8-16Pa，温度为690-960℃；优选的，低温段成型介质由按体积百分含量为70-90％的N₂和10-30％的水蒸气组成；

(4)准确成型：步骤(2)得到的初步玻璃液继续沿成型槽的长度方向行进至低温成型段，此时低温段成型介质向上喷出，在初步玻璃液下表面形成微正压，同时成型拉边机在成型槽两侧上方牵引玻璃液，将处于接近所需尺寸和厚度的初步玻璃液微调至所需尺寸和厚度，通过拉边机的对数、拉引速度和角度来完成准确成型，得到超薄电子玻璃。

8.根据权利要求7所述成型方法，其特征在于，当成型介质的压力过高时，成型槽两侧的排气阀自动打开进行泄压，直到压力下降到设定压力；当压力过低时，成型介质供给系统自动提高成型介质的供给压力，直到压力上升至设定压力。

9.根据权利要求7或8所述成型方法，其特征在于，定期使用所述吹扫器对成型介质混合器进行吹扫，吹扫使用压力为0.4-0.7MPa、流量为40-60Nm³/h、温度为150-280℃的氮气。

10.一种超薄电子玻璃，其特征在于，是由权利要求7-9任一所述成型方法得到的。