CN107034437B - 一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗 - Google Patents
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- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 43
- 210000001503 joint Anatomy 0.000 claims abstract description 45
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 20
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 11
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 abstract description 16
- 238000000576 coating method Methods 0.000 abstract description 16
- 230000000694 effects Effects 0.000 abstract description 4
- 239000007888 film coating Substances 0.000 description 7
- 238000009501 film coating Methods 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000005269 aluminizing Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000005002 finish coating Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
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- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Operating, Guiding And Securing Of Roll- Type Closing Members (AREA)
Abstract
本发明提供了一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗,包括平行设置的第一水平导轨和第二水平导轨、左U形框体、右U形框体以及微控电机,所述左U形框体的两侧边分别滑设在所述第一水平导轨和所述第二水平导轨上,所述右U形框体的两侧边分别滑设在所述第一水平导轨和所述第二水平导轨上,所述左U形框体的开口端和所述右U形框体的开口端对接并围设而成有铝金属蒸汽导流窗,所述微控电机驱动所述左U形框体和/或所述右U形框体左右滑动。该宽度自适应铝金属蒸汽导流窗具有设计科学、镀膜宽度均匀、镀膜效果好、实用性强的优点。
Description
技术领域
本发明涉及一种真空镀铝导流装置,具体的说,涉及了一种蒸发导流窗体。
背景技术
传统的铝镀膜蒸镀工艺包括三个步骤:首先,通过铝蒸发器将铝金属蒸发成铝蒸汽;然后,引导铝蒸气有序可控通过铝金属蒸汽导流窗;最后,铝蒸汽分子沉积在镀膜基材上,完成镀膜。
在蒸镀的同时,铝蒸汽分子也会不断地沉积在铝金属蒸汽导流窗上,时间久了,铝金属蒸汽导流窗的横向宽度就会变窄,这将导致镀膜基材上沉积的铝膜变窄、边缘部分镀层变薄以及废边变宽,影响镀膜成品效果。
为了解决以上存在的问题,人们一直在寻求一种理想的技术解决方案。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术的不足,从而提供一种设计科学、镀膜宽度均匀、镀膜效果好、实用性强的宽度自适应铝金属蒸汽导流窗。
为了实现上述目的,本发明所采用的技术方案是:一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗,包括平行设置的第一水平导轨和第二水平导轨、左U形框体、右U形框体以及微控电机,所述左U形框体的两侧边分别滑设在所述第一水平导轨和所述第二水平导轨上,所述右U形框体的两侧边分别滑设在所述第一水平导轨和所述第二水平导轨上,所述左U形框体的开口端和所述右U形框体的开口端对接并围设而成有铝金属蒸汽导流窗,所述微控电机驱动所述左U形框体和/或所述右U形框体左右滑动。
基于上述,所述右U形框体左端横向开设有对接槽道,所述对接槽道两侧壁均为导向薄板,所述左U形框体右端对应所述对接槽道设置有对接滑块。
基于上述,所述左U形框体右端横向设置有左对接板,所述右U形框体左端横向设置有右对接板,所述左对接板和所述右对接板一上一下地咬合在一起。
基于上述,所述左对接板的对接面上横向开设有多个凹槽,所述右对接板的对接面上对应多个所述凹槽分别设置凸条。
基于上述,所述左U形框体内和所述右U形框体内均开设有冷却腔,所述冷却腔内设置有降温盘管。
本发明相对现有技术具有突出的实质性特点和显著的进步,具体的说,本发明与传统的铝金属蒸汽导流窗相比,其通过所述微控电机,实现了所述左U形框体和/或所述右U形框体的定时滑动,实时地调整了所述铝金属蒸汽导流窗的横向宽度;进一步地,所述对接槽道和所述对接滑块的插接方式,使左右U形框体能够无缝隙地滑道,避免了铝蒸汽从缝隙中扩散到外界;进一步地,通过多个所述凹槽和所述凸条的相互配合,实现了左右对接面的紧密配合,对接面之间没有缝隙,避免了镀膜基材铝膜变薄;其具有设计科学、镀膜厚度均匀、镀膜效果好、实用性强的优点。
附图说明
图1是本发明中实施例1的结构示意图。
图2是本发明中实施例2的结构示意图。
图3是实施例2中左右对接板对接起来的结构示意图。
图4是实施例2中左对接板对接面的结构示意图。
图中:1. 对接槽道;2. 左U形框体;3. 右U形框体;4. 对接滑块;5. 第二水平导轨;6. 微控电机;7. 铝金属蒸汽导流窗;8. 左对接板;9. 右对接板;81. 凹槽;91.凸条。
具体实施方式
下面通过具体实施方式,对本发明的技术方案做进一步的详细描述。
实施例1
如图1所示,一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗,包括平行设置的第一水平导轨和第二水平导轨5、左U形框体2、右U形框体3以及微控电机6,左U形框体2的两侧边分别滑设在所述第一水平导轨和第二水平导轨5上,右U形框体3的两侧边分别滑设在所述第一水平导轨和第二水平导轨5上,左U形框体2的开口端和右U形框体3的开口端围设而成有铝金属蒸汽导流窗7,微控电机驱动6左U形框体2向左右滑动;微控电机6能够依照铝蒸汽在铝金属蒸汽导流窗7上的沉积速度,定时驱动左U形框体2向左微调,使铝金属蒸汽导流窗7的横向宽度为一定值,这种设定对于微控电机6而言,是一种常规的设定,是所属技术领域的技术人员容易实现的。
具体使用时,先将该宽度自适应铝金属蒸汽导流窗安装在铝蒸发器的挥发通道上,然后,将镀膜基材通过铝金属蒸汽导流窗7,铝蒸汽穿过铝金属蒸汽导流窗7后沉积在镀膜基材上,同时,微控电机6定时对左U形框体2的位置进行微调,保证镀膜宽度及镀层厚度不变,完成铝膜的蒸镀。
为了避免相对滑动时左右U形框体的对接处出现缝隙,右U形框体3左端横向开设有对接槽道1,对接槽道1两侧壁均为导向薄板,左U形框体2右端对应对接槽道1设置有对接滑块4;对接槽道1相对于对接滑块4而言是一个精密滑道,其能避免左右U形框体在相对运动过程中晃动,且由于所述导向薄板的厚度小,对镀膜均匀度而言没有任何影响,保证了镀膜质量。
实施例2
如图2和图3所示,本实施例与实施例1的区别主要在于左U形框体和右U形框体的对接方式上,具体结构如下:
左U形框体2右端横向设置有左对接板8,右U形框体3左端横向设置有右对接板9,左对接板8和右对接板9一上一下地咬合在一起;左右对接板可相对滑动地叠加在一起,使左右U形框体在相对移动时,中间也不会漏出缺口,保证了整个镀膜厚度的均匀。
如图4所示,为了提到左右U形框体在对接处的严密性,左对接板8的对接面上横向开设有四个凹槽81,右对接板9的对接面上对应四个凹槽81分别设置凸条91;凹槽81和凸条91的相互配合,使左右对接板的对接面结合更紧密,而且不影响左右U形框体的相对移动,减少了从对接面扩散出来的铝蒸汽,使铝镀膜的厚度更加均匀。
为了提高窗体耐用性,左U形框体2内和右U形框体3内均开设有冷却腔,所述冷却腔内设置有降温盘管;所述降温盘管外接冷源,铝蒸汽沉积在框体上后能够被及时降温,避免窗体变形。
最后应当说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案而非对其限制;尽管参照较佳实施例对本发明进行了详细的说明,所属领域的普通技术人员应当理解:依然可以对本发明的具体实施方式进行修改或者对部分技术特征进行等同替换;而不脱离本发明技术方案的精神,其均应涵盖在本发明请求保护的技术方案范围当中。
Claims (2)
1.一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗,其特征在于:包括平行设置的第一水平导轨和第二水平导轨、左U形框体、右U形框体以及微控电机,所述左U形框体的两侧边分别滑设在所述第一水平导轨和所述第二水平导轨上,所述右U形框体的两侧边分别滑设在所述第一水平导轨和所述第二水平导轨上,所述左U形框体的开口端和所述右U形框体的开口端对接并围设而成有铝金属蒸汽导流窗,所述微控电机驱动所述左U形框体和/或所述右U形框体左右定时滑动,实时调整所述铝金属蒸汽导流窗的横向宽度;
所述左U形框体右端横向设置有左对接板,所述右U形框体左端横向设置有右对接板,所述左对接板和所述右对接板一上一下地咬合在一起;所述左对接板的对接面上横向开设有四个凹槽,所述右对接板的对接面上对应四个所述凹槽分别设置凸条。
2.根据权利要求1所述的宽度自适应铝金属蒸汽导流窗,其特征在于:所述左U形框体内和所述右U形框体内均开设有冷却腔,所述冷却腔内设置有降温盘管。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710391353.2A CN107034437B (zh) | 2017-05-27 | 2017-05-27 | 一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201710391353.2A CN107034437B (zh) | 2017-05-27 | 2017-05-27 | 一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN107034437A CN107034437A (zh) | 2017-08-11 |
CN107034437B true CN107034437B (zh) | 2024-01-30 |
Family
ID=59539856
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201710391353.2A Active CN107034437B (zh) | 2017-05-27 | 2017-05-27 | 一种宽度自适应铝金属蒸汽导流窗 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN107034437B (zh) |
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