CN107025016B - 电容式压力感测装置及方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种电容式压力感测装置，包含:一上基板，包含有一第一表面与相对于该第一表面的一第二表面；一第一电极层设置于该上基板的第二表面且包含多个第一感应电极；一第二电极层，位于该第一电极层背对该上基板的一侧，其包含至少一个第二感应电极；一介电材料层，位于该第一电极层与第二电极层之间；一电容侦测电路，将一电容感应激励讯号施加于该至少一个第二感应电极并自该第二感应电极输入一压力感应讯号，以作压力侦测操作。
Description
技术领域
本发明有关于一种感测装置，特别是一种电容式压力感测装置及方法。
背景技术
轻薄短小的行动装置带动触控显示面板的潮流，且由于触控的人机界面技术成熟与使用者对3D触控的操作需求不断提升，压力触控的技术也随的推陈出新；现有的压力触控显示面板往往将微机电的压力感测器置于显示面板的边缘或角落，借以感测面板表面的触碰压力；不仅感测器成本高昂且贴合不易。故压力感测触控面板仍有改善的空间。
发明内容
为改善上述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种电容式压力感测装置及方法。
本发明提供的电容式压力感测装置，包含:
一上基板，包含有一第一表面与相对于该第一表面的一第二表面；一第一电极层设置于该上基板的第二表面且包含多个第一感应电极；
一第二电极层，位于该第一电极层背对该上基板的一侧，其包含至少一个第二感应电极；
一介电材料层，位于该第一电极层与第二电极层之间；
一电容侦测电路，将一电容感应激励讯号施加于该至少一个第二感应电极并自该第二感应电极输入一压力感应讯号，以作压力侦测操作。
作为优选技术方案，该介电材料层包含一弹性胶质材料，该弹性胶质材料遇压力时体积压缩变形，并于除去压力时回复原有的体积与形状。
作为优选技术方案，该电容侦测电路又依序或随机将一对应激励讯号施加于与该至少一个第二感应电极相对的选定第一感应电极。
作为优选技术方案，该对应激励讯号是一直流参考电压或该电容感应激励讯号的反相讯号。
作为优选技术方案，该电容侦测电路又依序或随机将与该电容感应激励讯号的同相讯号施加于非选定的第一感应电极。
作为优选技术方案，该电容感应激励讯号是一交变讯号或是一电流源。
作为优选技术方案，该交变讯号为一弦波，方波，三角波或梯形波。
作为优选技术方案，该电容侦测电路是一自电容侦测电路。
作为优选技术方案，该上基板是一玻璃基板或一高分子材料基板。
作为优选技术方案，上述的电容式压力感测装置，又包含一下基板位于该第二电极层背对该介电材料层的一侧，其是一玻璃基板或一高分子材料基板。
作为优选技术方案，该下基板是一显示萤幕的彩色滤光基板。
本发明还提供一种电容式压力感测方法，包含:
提供一电容式压力感测装置，该电容式压力感测装置包含：
一上基板，其一表面设置有一第一电极层，该第一电极层包含多个第一感应电极；
一第二电极层，其包含有至少一第二感应电极；
一介电材料层，置于该第一电极层与该第二电极层之间，该介电材料遇压力时体积压缩变形，并于除去压力时回复原有的体积与形状；及
一电容侦测电路；
将一电容激励讯号施加于该至少一第二感应电极，并自该第二感应电极输入一压力感应讯号作压力侦测。
作为优选技术方案，该电容感应激励讯号是一交变讯号。
作为优选技术方案，该交变讯号为弦波，方波，三角波或梯形波。
作为优选技术方案，又依序或随机将一对应激励讯号施加于选定的第一感应电极。
作为优选技术方案，该对应激励讯号是一直流参考电压或该电容感应激励讯号的反相讯号。
作为优选技术方案，该直流参考电压是一零电位的接地讯号。
作为优选技术方案，更将该电容感应激励讯号的同相讯号施加于非选定的第一感应电极。
作为优选技术方案，该电容侦测电路是一自电容侦测电路。
本发明能够达到如下技术效果：
借由本发明的电容式压力感测装置，可防止感测装置的介电材料层受压翘曲造成的干扰。
附图说明
图1A为依据本发明一具体实例的电容式压力感测装置用于触控感测的示意图。
图1B为依据本发明另一具体实例的电容式压力感测装置的示意图。
图2A及图2B分别为说明一具有触控与压力感测的装置的一操作状态侧视图。
图3A及图3B分别为说明此具有触控与压力感测的装置的另一操作状态侧视图。
图4A至图4C分别为说明本发明的电容式压力感测装置的示意图。
图5A至图5C为说明依据另一实施例的本发明的电容式压力感测装置。
图6A为说明依据另一实施例的本发明的电容式压力感测装置。
图6B为说明依据另一实施例的本发明的电容式压力感测装置。
图7为依据本发明一实施例的电容式压力感测装置的部份上视图。
图8A~8C，为说明本发明电容式压力感测装置其余实现方式的示意图。
图9为本发明的一具体实例的自电容侦测电路的示意图。
图10为依据本发明的一实施例的电容式压力感测方法流程图。
附图标记说明：
10 电容式压力感测装置；
12具有触控与压力感测的装置；
100, 120上基板 ；
100a, 120a 第一表面；
100b, 120b 第二表面；
110, 120C 第一电极层；
E1~E9, En 第一感应电极；
200, 220 介电材料层；
300,300', 320 第二电极层；
310, 310a, 310b 第二感应电极；
50 电容侦测电路；
50' 自电容侦测电路；
52电容激励驱动电路；
520讯号源；
522驱动器；
54电容读取电路；
56, 57 同相放大器；
59 反相放大器；
Vc1 触控感应讯号；
Vc2压力感应讯号；
Vs 电容感应激励讯号；
Vr 反射讯号；
Va 辅助讯号；
Vp 电容感应激励讯号；
Vp1 遮蔽讯号；
Vo 对应激励讯号；
60 感应电极；
542 第一阻抗；
522a 第二阻抗；
522b第三阻抗；
540 差动放大器；
544 第一电容；
62 第一杂散电容；
64 第二杂散电容；
540a, 540b 输入端；
540c 输出端；
410偏光层；
400 下基板；
S10- S 20步骤。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好的理解本发明并能予以实施，但所举实施例不作为对本发明的限定。
请参考图2A及图2B，分别为说明一具有触控与压力感测的装置12的一操作状态侧视图。该具有触控与压力感测的装置12包含由上而下的上基板120、介电材料层220及第二电极层320，其中此上基板120具有一第一表面120a、一第二表面120b及在第二表面120b上的第一电极层120C。此第一电极层120C包含多数的第一感应电极E1~E8。如图2A所示，在外力未施加时，第一电极层120C及第二电极层320大致维持相同距离，因此第一感应电极E1~E8与第二电极层320彼此间的电容大致相等。参见图2B，在外力施加（例如施加到对应一特定第一感应电极E4的位置）时，即会造成介电材料层220在该处位置的变形，使对应的电容C2电容值增加，借以侦测压力位置。
参考图3A及图3B，分别为说明此具有触控与压力感测的装置12的另一操作状态侧视图。如图3A所示是一大面积轻触，而如图3B所示则是单指小面积重压触碰；当此具有触控与压力感测的装置12做触控操作时，借由手指接触点与第一感应电极E1~E8间的电容变化，即可由一电容侦测电路（未图示）感测电容值变化并进一步判别手指或手掌接触位置，而达成触控功能。然而参见图3B所示，若此具有触控与压力感测的装置12发生翘曲，导致电容值因为第一感应电极E1~E8与及第二电极层320彼此距离改变而变化，其增大的电容侦测值(压力)可能与图3A因大面积轻触的大量感应电荷堆积造成的电容侦测值雷同，进而导至压力侦测值误判的结果。如图3B所示当翘曲量大时触碰点E4周遭E3，E5与第二电极层320间的电容值亦加大造成触控位置(面积)的误判。
为了改善现有技术缺失及上述具有触控与压力感测的装置12的缺失，本发明提供一种整合触控与压力感测的电容式压力感测装置，下面配合附加图示对本发明的具体实例做进一步说明。
参见图1A，为依据本发明一具体实例的电容式压力感测装置10的示意图。此电容式压力感测装置10包含一由上而下的上基板100、介电材料层200及第二电极层300，其中此上基板100具有一第一表面100a、一第二表面100b及在第二表面100b上的第一电极层110。此第一电极层110包含多數的第一感应电极，例如如此图所示的第一感应电极E1~E9，但是须知此图所示仅为一侧视图，因此第一感应电极的数量及分布方式不限于此。此电容式压力感测装置10尚且包含一电容侦测电路50，此电容侦测电路50包含一电容激励驱动电路52及一电容读取电路54。
复参见图1A，为说明本发明的电容式压力感测装置10用于触控感测的操作状况。此电容激励驱动电路52包含一讯号源520及一驱动器522，并依序或随机将一用于触控感测的电容感应激励讯号(stimulus signal)Vs施加于选定的一第一感应电极（例如第一感应电极E4）。此外电容激励驱动电路52将此第一电容感应激励讯号Vs送至一同相放大器56，该同相放大器56的增益值较佳为一，以产生与电容感应激励讯号Vs同相位的辅助讯号(auxiliary signal)Va，此辅助讯号Va施加于相对的至少一个第二感应电极310。由于在相对的至少一个第二感应电极310施加与电容感应激励讯号Vs同相位的讯号，等效上即可在对应选定第一感应电极E4与相对的至少一个第二感应电极310之间产生没有电压差或是几乎没有电压差的状态，亦即不会有电容产生或是仅有微量电容产生（不至于影响触控感测结果的微量电容），即可避免在侦测对应选定第一感应电极E4的触控操作时，因为介电材料层200受压翘曲而产生电容的干扰，同时亦阻绝了经由第二感应电极310与接地点间电容并联效应引发的干扰。
配合参见图7，为依据本发明一实施例的电容式压力感测装置10的部份上视图，主要绘示第一感应电极E1~E8, En及第二感应电极310的分布状况。如此图所示，第二电极层300包含两个第二感应电极310a, 310b，且每一第一感应电极E1~E8, En都相对于至少一个第二感应电极310a或是310b，此处所谓的相对，为由投影角度观之，每一第一感应电极E1~E8, En都与至少一个第二感应电极310部份重叠，或是邻近至少一个第二感应电极310，以达成前述的防止介电材料层200受压翘曲而产生电容的干扰的影响。例如对于上述的选定第一感应电极E4而言，其相对的第二感应电极即为第二感应电极310a。若第一感应电极的面积大于第二感应电极，则每一第一感应电极则可能对应多个第二感应电极。因此上述的范例仅为说明本发明的一具体实施方式，而非对于本发明的限制。再者，对于第二感应电极310a，其相对的第一感应电极可为第一感应电极E1~E4，及第一感应电极E1~E4两侧的第一感应电极En。
借由图1A所示的电容式压力感测装置10，可利用辅助讯号Va减少或是完全消除介电材料层200翘曲或是变形的影响。在电容侦测电路50的电容激励驱动电路52将电容感应激励讯号Vs施加于选定第一感应电极E4后，电容侦测电路50的电容读取电路54可在检测点P读取触控感应讯号Vc1，即可精确地判断触控位置。
复参见图1B，为说明依据本发明另一实施例的电容式压力感测装置，且此电容式压力感测装置用于触控感测的操作状况的示意图。图1B所示实施例与图1A所示者大致相同，然而此电容式压力感测装置10尚且包含另一同相放大器57，可产生与电容感应激励讯号Vs同相位的反射讯号Vr，且此反射讯号Vr是施加于该选定的第一感应电极E4周遭的第一感应电极，例如第一感应电极E3, E5，或将此反射讯号Vr是施加于该选定的第一感应电极E4以外的所有第一感应电极，以使感应电力线更集中在该选定的第一感应电极E4，增加感应的灵敏度。同样地，此实施例可利用辅助讯号Va减少或是完全消除介电材料层200翘曲或是变形的影响；且反射讯号Vr使感应电力线更集中在选定的第一感应电极E4。在电容侦测电路50的电容激励驱动电路52将电容感应激励讯号Vs施加于选定第一感应电极E4后，电容侦测电路50的电容读取电路54可在检测点P读取触控感应讯号Vc1，即可精确地判断触控位置。
参见图4A及图4B，为说明本发明的电容式压力感测装置10的操作状况。本发明的电容式压力感测装置10的压力感测阶段，例如可以延续如图1A所示的触控感测操作阶段之后立即进行；更具体而言，此压力感测是在对于选定第一感应电极E4进行完触控感测后，对于和选定第一感应电极E4相对的第二感应电极（例如第二感应电极310a）进行或是所有第二感应电极进行。此外，此电容式压力感测装置10的压力感测也可与触控感测独立进行。复参见图7，与第一感应电极E4相对的第二感应电极为第二感应电极310a，因此如图4B所示，对于此第二感应电极310a施加一用于压力感测的电容感应激励讯号Vp。此电容式压力感测装置10的电容侦测电路50具有一同相放大器56，该同相放大器56的增益值较佳为一，可对于此电容感应激励讯号Vp做同相放大以产生遮蔽讯号Vp1。在下面的实施例中，即以电容式压力感测装置10的压力感测与触控感测独立进行为范例说明。如图4A所示的实例中，选定的第一感应电极即为与第二感应电极310a相对的第一感应电极，亦即第一感应电极E1~E4，及第一感应电极E1~E4两侧的第一感应电极En，其余的第一感应电极E5~E8(及第一感应电极E5~E8两侧的第一感应电极En)则为非选定第一感应电极。上述的遮蔽讯号Vp1是施加到非选定第一感应电极E5~E8及第一感应电极E5~E8两侧的第一感应电极En （参见图4A），亦即除了选定第一感应电极E1~E4外的至少部份其他第一感应电极。此电容式压力感测装置10的电容侦测电路50具有一直流参考讯号源53，可产生一对应激励讯号Vo施加于选定第一感应电极E1~E4，此对应激励讯号Vo施加方式可为依序或是随机。
参见图4A，为说明本发明电容式压力感测装置10的部份上视图，主要绘示第一感应电极E1~E8, En及第二感应电极310a, 310b的分布状况及对应用于压力感测的电容感应激励讯号Vp、遮蔽讯号Vp1、及对应激励讯号Vo讯号施加状况。复参见图4B，在进行压力感测时，是将与电容感应激励讯号Vp做同相的遮蔽讯号Vp1施加到非选定的第一感应电极，以遮蔽来自手指操作的电容变化，提高压力感测精确度。再者，是将一具有预定位准的对应激励讯号Vo施加到选定第一感应电极，以增强相对的第二感应电极的压力感测灵敏度。电容侦测电路50的电容读取电路54可在检测点P读取来自第二感应电极（例如第二感应电极310a）的压力感应讯号Vc2，即可精确地判断是否有按压动作与压力的大小。参见图4C，上述的选定的第一感应电极也可为对应侦测压力的第二感应电极310a相对的第一感应电极中位于较为中央部份的电极，例如第一感应电极E2, E3；而其余第一感应电极E1, E4, E5~E8及En则为非选定的第一感应电极。同样地，与电容感应激励讯号Vp做同相的遮蔽讯号Vp1施加到非选定的第一感应电极，以遮蔽来自手指操作的电容变化，提高压力感测精确度。再者，将一具有预定位准的对应激励讯号Vo施加到选定第一感应电极E2, E3，以增强相对的第二感应电极的压力感测灵敏度。换言的，于图4A实施例中量测的是整个第二感应电极310a相对面积上的压力状态；而图4C实施例中是更精确地仅量测第一感应电极E2, E3相对面积上的压力状态；同理，在其它可能实施例中亦可仅将Vo施加到第一感应电极E4，其余第一感应电极则全部施予遮蔽讯号Vp1，以更精准量测第一感应电极E4对应面积上的压力状态，不另一一赘述。参见图5A、图5B及图5C，为说明依据另一实施例的本发明的电容式压力感测装置10。此实施例大致与图4A至4C所示者类似，然在此实施例中，电容侦测电路50中用于产生遮蔽讯号Vp1的同相放大器57输入不连接到电容读取电路54的检测点P，例如可直接连接到讯号源520，以避免来自电容读取电路54检测点P的压力感应讯号Vc2的影响。
参见图6A，为说明依据另一实施例的本发明的电容式压力感测装置10。此电容式压力感测装置10类似图4B所示的实施例，然而电容侦测电路50是具有一反相放大器59以取代直流参考讯号源53，换言的，此实施例的电容式压力感测装置10是由反相放大器59产生与电容感应激励讯号Vp反相的交变讯号，以作为对应激励讯号Vo；同样地，也可增强相对的第二感应电极的压力感测灵敏度。
参见图6B，为说明依据另一实施例的本发明的电容式压力感测装置10。此电容式压力感测装置10类似图5B所示的实施例，然而电容侦测电路50是也具有一反相放大器59以取代直流参考讯号源53，换言的，此实施例的电容式压力感测装置10是由反相放大器59产生与电容感应激励讯号Vp反相的交变讯号，以作为对应激励讯号Vo；同样地，也可增强相对的第二感应电极的压力感测灵敏度。此外，此实施例的电容侦测电路50中用于产生遮蔽讯号Vp1的同相放大器56输入是不连接到电容读取电路54的输入点，例如可直接连接到讯号源520，以避免来自电容读取电路54输入点的压力感应讯号Vc2的影响。
参见图8A~8C，为说明本发明电容式压力感测装置10其余实现方式的示意图。参见图8A，此电容式压力感测装置10更包含一偏光层410及一下基板400。此偏光层410介于介电材料层200及第二电极层300之间；此下基板400位于该第二电极层300背对该介电材料层200的一侧。参见图8B，此电容式压力感测装置10更包含一下基板400，且第二电极层为可具有偏光作用的第二电极层300'。同样地，此下基板400位于该第二电极层300'背对该介电材料层200的一侧。参见图8C，此电容式压力感测装置10与图8A所示者类似，然而偏光层410位于第二电极层300及下基板400之间。图8A~8C所示的实施例中，下基板400可为一玻璃基板或一高分子材料基板，或是一显示萤幕的彩色滤光基板。
在上述的各个实施例中，介电材料层200包含一弹性胶质材料，该弹性胶质材料遇压力时体积压缩变形，并于除去压力时回复原有的体积与形状。此弹性胶质材料例如可为（但是不限于）聚二甲基硅氧烷（Polydimethylsiloxane，PDMS）材料。电容感应激励讯号Vs及电容感应激励讯号Vp是一交变讯号，如一弦波，方波，三角波或梯形波；电容感应激励讯号Vs及电容感应激励讯号Vp亦可为一电流源。对应感应激励讯号Vo是一直流参考讯号或一与电容感应激励讯号Vp反相位的交变讯号。
请参考图9，其为本发明的一具体实例的自电容侦测电路的示意图。该自电容侦测电路50'包含一电容激励驱动电路52及一电容读取电路54，以侦测电容读取点P的电容变化值。该电容激励驱动电路52包含一讯号源520、一驱动器522（包含第二阻抗522a及第三阻抗522b）。该电容读取电路54包含一差动放大器540、一第一阻抗542及一第一电容544，以侦测一感应电极60上的电容变化，此感应电极60有附带的第一杂散电容62及一第二杂散电容64。
该讯号源520电性连接至该第一阻抗542及该第二阻抗522a；该第一阻抗542电性连接至该第一电容544；该第一电容544电性连接至该差动放大器540的该第一输入端540a；该第二阻抗522a电性连接至该差动放大器540的该第二输入端540b；该感应电极60经由该自电容侦测电路50'的一接点而连接至该第二阻抗522a及该差动放大器540的该第二输入端540b；该第一杂散电容62电性连接至该接脚；该第二杂散电容64电性连接至该感应电极60。
在图9所示的自电容侦测电路50'中，该感应电极60是感应手指或各类导体或物件的触碰而接收一触控讯号；该讯号源520是一周期性的输入讯号至该第三阻抗522b，且该第一阻抗542的阻抗值等于该第二阻抗522a的阻抗值；该差动放大器540是依据该输入讯号及该触控讯号使得该输出端540c输出差动放大后的一触控讯号，该第一电容544的电容值等于该第一杂散电容62及该第二杂散电容64并联的电容值，当手指或各类导体或物件接近该感应电极60时，该第二杂散电容64的电容值会改变以使得该第一输入端540a及该第二输入端540b的电压值不同，经由该差动放大器540差动放大之后，该输出端540c输出放大后的该触控讯号，透过量测该差动放大器540的输出变化，以分辨该感应电极60所产生的微量电容值改变，可以有效排除电路、电源等杂讯所造成的干扰，并量测到微量电容值改变。此外，此自电容侦测电路50'的更完整细节可参见同一申请人的发明专利申请I473001号微量阻抗变化检测装置所揭露的自电容侦测电路技术。
参考图10，为依据本发明的一实施例的电容式压力感测方法，其包含： 步骤S10：提供一电容式压力感测装置，该电容式压力感测装置又包含：一上基板，其一表面设置有一第一电极层，该第一电极层包含多个第一感应电极；一第二电极层，其包含有至少一个第二感应电极；一介电材料层，位于该第一电极层与第二电极层之间，该介电材料层遇压力时体积压缩变形，并于除去压力时回复原有的体积与形状；一电容侦测电路（例如图9所示的自电容侦测电路50'）；步骤S20：将一电容激励讯号施加于该至少一第二感应电极，并自该第二感应电极输入一压力感应讯号作压力侦测。在上述时序S20中，电容侦测电路又可将一对应激励讯号施加于选定的第一感应电极，以便精确判断压力点的位置与该点的压力大小，该选定的第一感应电极与该至少一第二感应电极相对；该对应激励讯号是一直流参考电压（例如一零电位的接地讯号）或该电容感应激励讯号的反相讯号。此外，在上述步骤S20中，电容侦测电路又可将该电容感应激励讯号的同相位讯号（遮蔽讯号）施加于非选定的第一感应电极。
再者，于上述侦测时序中，电容感应激励讯号是一交变讯号，如一弦波，方波，三角波或梯形波；该电容感应激励讯号亦可为一电流源。
以上所述实施例仅是为充分说明本发明而所举的较佳的实施例，本发明的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本发明基础上所作的等同替代或变换，均在本发明的保护范围之内。本发明的保护范围以权利要求书为准。
Claims (17)
1.一种电容式压力感测装置，其特征在于，包含:
一上基板，包含有一第一表面与相对于该第一表面的一第二表面；一第一电极层设置于该上基板的第二表面且包含多个第一感应电极；
一第二电极层，位于该第一电极层背对该上基板的一侧，其包含至少一个第二感应电极；
一介电材料层，位于该第一电极层与第二电极层之间；
一电容侦测电路，将一电容感应激励讯号施加于该至少一个第二感应电极并自该第二感应电极输入一压力感应讯号，以作压力侦测操作；
该电容侦测电路是一自电容侦测电路。
2.如权利要求1所述的电容式压力感测装置，其特征在于，该介电材料层包含一弹性胶质材料，该弹性胶质材料遇压力时体积压缩变形，并于除去压力时回复原有的体积与形状。
3.如权利要求1所述的电容式压力感测装置，其特征在于，该电容侦测电路又依序或随机将一对应激励讯号施加于与该至少一个第二感应电极相对的选定第一感应电极。
4.如权利要求3所述的电容式压力感测装置，其特征在于，该对应激励讯号是一直流参考电压或该电容感应激励讯号的反相讯号。
5.如权利要求3所述的电容式压力感测装置，其特征在于，该电容侦测电路又依序或随机将与该电容感应激励讯号的同相讯号施加于非选定的第一感应电极。
6.如权利要求1所述的电容式压力感测装置，其特征在于，该电容感应激励讯号是一交变讯号或是一电流源。
7.如权利要求6所述的电容式压力感测装置，其特征在于，该交变讯号为一弦波，方波，三角波或梯形波。
8.如权利要求1所述的电容式压力感测装置，其特征在于，该上基板是一玻璃基板或一高分子材料基板。
9.如权利要求1所述的电容式压力感测装置，其特征在于，又包含一下基板位于该第二电极层背对该介电材料层的一侧，其是一玻璃基板或一高分子材料基板。
10.如权利要求9所述的电容式压力感测装置，其特征在于，该下基板是一显示萤幕的彩色滤光基板。
11.一种电容式压力感测方法，其特征在于，包含:
提供一电容式压力感测装置，该电容式压力感测装置包含：
一上基板，其一表面设置有一第一电极层，该第一电极层包含多个第一感应电极；
一第二电极层，其包含有至少一第二感应电极；
一介电材料层，置于该第一电极层与该第二电极层之间，该介电材料遇压力时体积压缩变形，并于除去压力时回复原有的体积与形状；及
一电容侦测电路；
将一电容激励讯号施加于该至少一第二感应电极，并自该第二感应电极输入一压力感应讯号作压力侦测；
该电容侦测电路是一自电容侦测电路。
12.如权利要求11所述的电容式压力感测方法，其特征在于，该电容感应激励讯号是一交变讯号。
13.如权利要求12所述的电容式压力感测方法，其特征在于，该交变讯号为弦波，方波，三角波或梯形波。
14.如权利要求11所述的电容式压力感测方法，其特征在于，又依序或随机将一对应激励讯号施加于选定的第一感应电极。
15.如权利要求14所述的电容式压力感测方法，其特征在于，该对应激励讯号是一直流参考电压或该电容感应激励讯号的反相讯号。
16.如权利要求15所述的电容式压力感测方法，其特征在于，该直流参考电压是一零电位的接地讯号。
17.如权利要求14所述的电容式压力感测方法，其特征在于，更将该电容感应激励讯号的同相讯号施加于非选定的第一感应电极。
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