CN107024302B - 一种延迟线型声表面波传感器阵列 - Google Patents

一种延迟线型声表面波传感器阵列 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种延迟线型声表面波传感器阵列，包括：至少两个延迟线型声表面波传感器；每个延迟线型声表面波传感器包括：压电基底；叉指换能器，设置于压电基底上；反射栅组，设置于压电基底上，且位于叉指换能器的一侧；反射栅组和叉指换能器之间具有第一间距；其中，任意两个延迟线型声表面波传感器中的第一间距不相等；任意两个延迟线型声表面波传感器中的压电基底和反射栅组相同。本发明实现了并行传感(敏感)，且读取速度快。具有标定简单的优点。另外，阵列中各延迟线型声表面波传感器的反射栅时延信息互相作为参考，可以有效消除空间环境的干扰，大大提高了抗干扰能力。

Description

一种延迟线型声表面波传感器阵列
技术领域
本发明涉及声表面波传感器领域，尤其涉及一种延迟线型声表面波传感器阵列。
背景技术
目前，声表面波是在固体半空间表面存在的一种沿表面传播、能量集中于表面附近的弹性波。1965年R.M.White发表“一种新型声表面波声-电转换器”的论文，在压电材料表面激励声表面波的金属叉指换能器IDT的发明，奠定了声表面波技术的发展。压电材料为各向异性材料，外界物理量影响材料属性。基于此原理做成的声表面波传感器可以应用于测量多种参数，例如：机械应变、应力、微小位移、作用力、温度等。声表面波传感器依据结构不同分为谐振器型和延迟线型。
现有的声表面波传感器阵列都是由若干谐振器型声表面波传感器组成，谐振器型声表面波传感器采用频分多址技术，其存在以下缺陷：
1、系统频谱利用率低，依据目前的设计，单个谐振器型声表面波传感器带宽约为2MHz，整体系统一般包含六个以上传感器。现有谐振器型声表面波传感器大多工作在433MHz，整体系统很难满足现有频谱划分标准。
2、谐振器型声表面波传感器，由于其自身谐振耦合特性并且必须采用全向天线，导致距离衰减明显。
3、采用频分设计，各传感器参数的读取不能实现并行处理，采用一次扫频和谐振频率轮询扫频模式，数据刷新周期长，时间敏感度低。
4、阻抗会对回波产生影响，因此日常维护所导致的位置迁移也需要校准。
5、以谐振器型声表面波传感器作为传感器阵列，各传感器独立设计，需要逐个标定。
发明内容
本发明的目的是提供一种延迟线型声表面波传感器阵列，标定简单、能够实现并行传感，时间敏感度高，具有读取速率快、抗干扰能力强、维护简单的优点。
本发明提供的技术方案如下：
一种延迟线型声表面波传感器阵列，包括：阅读器和至少两个延迟线型声表面波传感器；所述阅读器和每个所述延迟线型声表面波传感器无线通信连接；每个所述延迟线型声表面波传感器包括：压电基底；叉指换能器，设置于所述压电基底上；反射栅组，设置于所述压电基底上，且位于所述叉指换能器的一侧；所述反射栅组和所述叉指换能器之间具有第一间距；其中，任意两个所述延迟线型声表面波传感器中的第一间距不相等；任意两个所述延迟线型声表面波传感器中的所述压电基底相同；任意两个所述延迟线型声表面波传感器中的所述反射栅组相同。
在上述技术方案中，利用各延迟线型声表面波传感器形成延迟线型声表面波传感器阵列，微型化设计，方便安装、使用，且具有标定简单，读取速度快，抗干扰能力强的优点。
进一步，所述反射栅组包括：至少三条反射栅，每条所述反射栅沿声表面波的传播方向设置于所述压电基底上。
在上述技术方案中，反射栅之间的时延互为参考，以便消除空间环境对信号的干扰。
进一步，相邻两条所述反射栅之间具有第二间距，任意两个第二间距不相等。
在上述技术方案中，相邻反射栅不等距的设计，一方面避免多次反射的相互干扰；同时借鉴多频采样方法，拓展动态范围。
进一步，所述第二间距的最小值由所述阅读器的时间分辨率决定。
进一步，每个延迟线型声表面波传感器的反射栅组中，距离所述叉指换能器最近的为第一反射栅，距离所述第一反射栅最近的为第二反射栅，所述第一反射栅和所述第二反射栅之间具有第二子间距；距离所述第一反射栅最远的为第三反射栅，所述第一反射栅和所述第三反射栅之间具有第二从间距；当所述延迟线型声表面波传感器的数量为双数时，两两一组；同一组中的两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差小于所述第二子间距；不同组中的任意两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差大于所述第二从间距。
进一步，每个延迟线型声表面波传感器的反射栅组中，距离所述叉指换能器最近的为第一反射栅，距离所述第一反射栅最近的为第二反射栅，所述第一反射栅和所述第二反射栅之间具有第二子间距；距离所述第一反射栅最远的为第三反射栅，所述第一反射栅和所述第三反射栅之间具有第二从间距；当所述延迟线型声表面波传感器的数量为单数时，其中一个所述延迟线型声表面波传感器单独为一组，其余的所述延迟线型声表面波传感器两两一组；同一组中的两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差小于所述第二子间距；不同组中的任意两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差大于所述第二从间距。
具体的，以分组的方式来设置第一间距，从而使第一间距符合一定规则，达到提高延迟线型声表面波传感器阵列编码密度的效果。
进一步，所述叉指换能器与每条所述反射栅被设置于同一声道。
在上述技术方案中，同声道延迟线型声表面波传感器组成的延迟线型声表面波传感器阵列中反射栅整体回波能量大。
进一步，各所述延迟线型声表面波传感器为多声道延迟线型声表面波传感器。
在上述技术方案中，多声道的设计提高了反射栅回波的一致性。
进一步，所述叉指换能器包括：第一汇流条，其沿所述声表面播的传播方向延伸，所述第一汇流条的一侧垂直设有多个第一指部；与所述第一汇流条平行的第二汇流条，所述第二汇流条靠近所述第一汇流条的一侧垂下直设有与所述第一指部配合的第二指部，所述第二指部与所述第一指部相互交叉。
在上述技术方案中，本发明中各延迟线型声表面波传感器中只采用了一个叉指换能器，时分复用实现输入和输出的功能的隔离，大大减小了延迟线型声表面波传感器的体积，易于推广、使用。
与现有技术相比，本发明的延迟线型声表面波传感器阵列有益效果在于：
实现了并行传感(敏感)，且读取速度快。各延迟线型声表面波传感器具有相同的反射栅组结构，具有标定简单的优点。另外，阵列中各延迟线型声表面波传感器的反射栅时延信息互相作为参考，可以有效消除空间环境的干扰，大大提高了抗干扰能力。
附图说明
下面将以明确易懂的方式，结合附图说明优选实施方式，对一种延迟线型声表面波传感器阵列的上述特性、技术特征、优点及其实现方式予以进一步说明。
图1是本发明延迟线型声表面波传感器阵列一个实施例的结构示意图；
图2是本发明延迟线型声表面波传感器一个实施例的结构示意图；
图3是图1中一个延迟线型声表面波传感器第一间距和第二间距示意图；
图4是图1中另一个延迟线型声表面波传感器第一间距和第二间距示意图；
图5是本发明同声道延迟线型声表面波传感器一个实施例的结构示意图；
图6是本发明多声道延迟线型声表面波传感器另一个实施例的结构示意图；
图7是本发明本发明延迟线型声表面波传感器阵列另一个实施例的结构示意图。
附图标号说明：
100.阅读器，201.第一延迟线型声表面波传感器，202.第二延迟线型声表面波传感器，203.第三延迟线型声表面波传感器，204.第四延迟线型声表面波传感器，205.第五延迟线型声表面波传感器，206.第六延迟线型声表面波传感器，21.压电基底，22.叉指换能器，221.第一汇流条，222.第一指部，223.第二汇流条，224.第二指部，23.第一反射栅，24.第二反射栅，25.第三反射栅，300.基座。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。
为使图面简洁，各图中只示意性地表示出了与本发明相关的部分，它们并不代表其作为产品的实际结构。另外，以使图面简洁便于理解，在有些图中具有相同结构或功能的部件，仅示意性地绘示了其中的一个，或仅标出了其中的一个。在本文中，“一个”不仅表示“仅此一个”，也可以表示“多于一个”的情形。
在本发明的一个实施例中，如图1、图2所示，一种延迟线型声表面波传感器阵列，包括：阅读器100和六个(可以更多，也可更少，但是至少要有两个)延迟线型声表面波传感器(第一延迟线型声表面波传感器201，第二延迟线型声表面波传感器202，第三延迟线型声表面波传感器203，第四延迟线型声表面波传感器204，第五延迟线型声表面波传感器205，第六延迟线型声表面波传感器206)；阅读器100和每个延迟线型声表面波传感器无线通信连接。延迟线型声表面波传感器上设有天线(图中未示出)，天线与叉指换能器电连接。每个延迟线型声表面波传感器包括：压电基底21；叉指换能器22，设置于压电基底21上；反射栅组(由三条反射栅：第一反射栅23、第二反射栅24和第三反射栅25构成)，设置于压电基底21上，且位于叉指换能器22的一侧(反射栅组和叉指换能器处在压电基底的同一板面上)；反射栅组和叉指换能器之间具有第一间距D；其中，任意两个延迟线型声表面波传感器中的第一间距D不相等；任意两个延迟线型声表面波传感器中的压电基底相同；任意两个延迟线型声表面波传感器中的反射栅组相同。
具体的，各延迟线型声表面波传感器上的第一间距D的值是基于时分多路复用规则而设置的，从而实现各延迟线型声表面波传感器的(数据传输的)防碰撞设计。第一间距可以理解为延迟线型声表面波传感器内叉指换能器与反射栅组起始位置的间距/时延，即距离叉指换能器最近的第一反射栅到叉指换能器的距离。
本发明是基于延迟线型声表面波传感器而设计的，由多个延迟线型声表面波传感器构成延迟线型声表面波传感器阵列。延迟线型声表面波传感器，自身带宽范围比较宽，且工作于受迫振动状态，波速直观反映为时延变化，通过对反射栅间时延的测量，可以解析出相应待测物理量的值。
本发明中延迟线型声表面波传感器阵列的工作原理如下：叉指换能器将接收的电磁波转化为声表面波，声表面波遇到金属反射栅组(中的反射栅)，因阻抗不匹配产生反射，此反射回波则携带了反射栅的位置和传感信息。阅读器收到叉指换能器反馈的由此反射回波对应的电磁波，可以解析出延迟线型声表面波传感器的位置和传感信息。
每个延迟线型声表面波传感器通过自己的天线与阅读器进行信息的交互，因此，本发明的各延迟线型声表面波传感器只需要摆放在阅读器覆盖的范围内即可，各延迟线型声表面波传感器的方位和距离并不会互相产生影响。
如图1所示，各延迟线型声表面波传感器可部署在同一基座300，将此基座300布置于阅读器的覆盖范围内。在其他实施例中，各延迟线型声表面波传感器也可以分布式部署，只要让各延迟线型声表面波传感器处在阅读器的覆盖范围内即可。
在本发明的延迟线型声表面波传感器阵列中，每个延迟线型声表面波传感器都具有相同的压电基底(从而方便实现传感器阵列中各传感器的设计和传感标定)和反射栅组。
压电基底，为各向异性材料，外界物理参数如压力、温度等将影响传播波速的变化，利用传感器的回波时延信息实现对待测物理量的传感。
每个延迟线型声表面波传感器上的反射栅组的结构相同，即对应位的反射栅电极数、敷金比、膜厚、声孔径完全相同。简化了设计流程，实现了量产和器件的一致性，从而简化了对本发明中各延迟线型声表面波传感器的标定工作。由于采用一体化设计(相同的压电基底和反射栅组结构)，对于单个传感器的校验，可以简单推用至全体传感器阵列中，从而简化了标定工作。
每个延迟线型声表面波传感器的区别在于：1)每个反射栅组和叉指换能器之间的第一间距D的值不同。各延迟线型声表面波传感器内反射栅组具有相同结构，可以理解为，不同延迟线型声表面波传感器的反射栅组，仅在时延上存在平移效果。2)叉指换能器会根据第一间距的值做差异化设计，以保证各延迟线型声表面波传感器之间的回波一致性。
例如：如图3、图4所示，以延迟线型声表面波传感器阵列中的两个延迟线型声表面波传感器为例(第一延迟线型声表面波传感器201和第二延迟线型声表面波传感器202)，第一延迟线型声表面波传感器201中反射栅组到叉指换能器的第一间距D为D1，第二延迟线型声表面波传感器202中反射栅组到叉指换能器的第一间距D为D2，D1不等于D2。
本发明中各延迟线型声表面波传感器采用相同的压电基底，因此，声表面波的传波速度相同，而反射栅组和叉指换能器之间的第一间距不同，使每个声表面波在同时接收到信号时，其反馈的信息所用的时间是不同的，从而反映为时延的不同。各延迟线型声表面波传感器的第一间距不同，以便实现防碰撞设计，即阅读器可同时接收、提取延迟线型声表面波传感器阵列的反馈信号，且不会形成相互干扰，从而快速检测与定位到故障点。
本发明中各延迟线型声表面波传感器的第一间距的值符合时分多路复用规则。时分多路复用是指，按传输信号的时间进行分割，使不同的信号在不同的时间内传输，从而使每一时间分片只有一路信号存在。
本发明的延迟线型声表面波传感器阵列实现了并行传感(敏感)，且读取速度快。类比谐振器型声表面波传感器阵列，单个谐振器型声表面波传感器的数据读取时间在200ms以上，(例如：当前公开的谐振器型声表面波传感器阵列包含6个及以上谐振器型声表面波传感器，一次完整读取时间在1.2s以上)。而本发明公开的延迟线型声表面波传感器阵列，可在10us内同时完成传感阵列内所有延迟线型声表面波传感器的数据读取。
另外，本发明的延迟线型声表面波传感器阵列具有抗干扰能力强的优点，阵列中各延迟线型声表面波传感器的反射栅时延信息互相作为参考，可以有效消除空间环境的干扰。
最后，声表面波的波速是电磁波波速的10-5量级，采用单端延迟线设计，时延计算往返路径，因此本发明中的延迟线型声表面波传感器的体积可折半。
优选地，如图2所示，反射栅组包括：第一反射栅23、第二反射栅24和第三反射栅25(还可以有更多条反射栅，但是反射栅组需要包括至少三条反射栅)，每条反射栅沿声表面波的传播方向(互相平行)设置于压电基底上。
具体的，本领域技术人员可以理解，三条及以上反射栅的设计，实现了参数测量范围与测量精度的折中。反射栅间时延差的计算可有效消除空间干扰。
优选地，在一个延迟线型声表面波传感器中，相邻两条反射栅之间具有第二间距L，任意两个第二间距L不相等。一个反射栅组中各反射栅之间的第二间距的值不构成等差。
具体的，如图3所示，以第一延迟线型声表面波传感器201为例，其第一反射栅和其第二反射栅之间的第二间距L为L1，其第二反射栅和其第三反射栅之间的第二间距L为L2，L1不等于L2。当其有第四反射栅时，其第四反射栅与其第三反射栅之间的第二间距L为L3，L1、L2和L3各不相等，且三者之间也不构成等差。
而如上述所说，每个延迟线型声表面波传感器具有相同结构的反射栅组结构，每个延迟线型声表面波传感器的区别仅在于第一间距不同。以第一延迟线型声表面波传感器201和第二延迟线型声表面波传感器202为例，第二延迟线型声表面波传感器的第一反射栅和第二延迟线型声表面波传感器的第二反射栅之间的第二间距L为L3，第二延迟线型声表面波传感器的第二反射栅和第二延迟线型声表面波传感器的第三反射栅之间的第二间距L为L4。
每个延迟线型声表面波传感器具有相同结构反射栅组具体表现为：第一延迟线型声表面波传感器的第一反射栅和第二延迟线型声表面波传感器的第一反射栅的结构相同；第一延迟线型声表面波传感器的第二反射栅和第二延迟线型声表面波传感器的第二反射栅的结构相同；第一延迟线型声表面波传感器的第三反射栅和第二延迟线型声表面波传感器的第三反射栅结构相同；L1等于L3，L2等于L4。
另外，同一个延迟线型声表面波传感器中为了获得回波一致性，每条反射栅的结构可以存在差异。例如：第一延迟线型声表面波传感器的第一反射栅和第一延迟线型声表面波传感器的第二反射栅的结构(孔径、敷金比、反射栅宽度、反射栅长度等)可能不同；第一延迟线型声表面波传感器的第一反射栅和第一延迟线型声表面波传感器的第三反射栅结构可能也不同。
相邻反射栅不等距的设计是为了避免多次反射的相互干扰，以保证参数测量的精准性。另外，第二间距的值需要根据阅读器的测量精度、测量范围和防碰撞进行设置。优选地，第二间距的最小值由阅读器的时间分辨率确定。
优选地，在同一个延迟线型声表面波传感器中，每条反射栅的长度不相同。
具体的，反射栅的长度不等长可以用于回波一致性的补偿。这里不局限反射栅的补偿方式。
在本发明的另一个实施例中，如图5所示，叉指换能器22包括：第一汇流条221，其沿声表面播的传播方向延伸，第一汇流条的一侧垂直设有多个第一指部222；与第一汇流条221平行的第二汇流条223，第二汇流条靠近第一汇流条的一侧垂直设有与第一指部配合的第二指部224，第二指部与第一指部相互交叉。
具体的，本发明中各延迟线型声表面波传感器中只采用了一个叉指换能器，实现输入和输出的功能。仅采用一个叉指换能器的设计大大减小了延迟线型声表面波传感器的体积，易于推广、使用。
需要注意的是，本发明中延迟线型声表面波传感器阵列中的各延迟线型声表面波传感器中的叉指换能器中的第一指部和第二指部的数量根据第一间距的值来确定，例如：第一延迟线型声表面波传感器201上的叉指换能器上的第一指部和第二指部分别为25个，第二延迟线型声表面波传感器202上的叉指换能器上的第一指部和第二指部分别为30个等。这种设计使各延迟线型声表面波传感器之间的回波保持了一致性，保证了延迟线型传感器阵列数据的准确性。在本发明的另一个实施例中，除与上述相同的之外，如图5所示，叉指换能器与每条反射栅被设置于同一声道。
具体的，叉指换能器的中心与每条反射栅的中心处于同一轴线。同声道延迟线型声表面波传感器组成的延迟线型声表面波传感器阵列中反射栅整体回波能量大。
在本发明的另一个实施例中，除与上述相同的之外，如图6所示，各所述延迟线型声表面波传感器为多声道延迟线型声表面波传感器。
具体的，多声道的设计提高了反射栅回波的一致性。同声道或多声道延迟线型声表面波传感器阵列，可以根据实际的应用场合选用，以满足不同的需求，提高参数的精准性。
在本发明的另一个实施例中，除与上述相同的之外，还可以如图7所示的方式设置各延迟线型声表面波传感器上第一间距的值。
每个延迟线型声表面波传感器的反射栅组中，距离所述叉指换能器最近的为第一反射栅，距离所述第一反射栅最近的为第二反射栅，所述第一反射栅和所述第二反射栅之间具有第二子间距；距离所述第一反射栅最远的为第三反射栅，所述第一反射栅和所述第三反射栅之间具有第二从间距。即，第二间距包括：第二子间距和第二从间距。
当所述延迟线型声表面波传感器的数量为双数时，两两一组；同一组中的两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差小于所述第二子间距；不同组中的任意两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差大于所述第二从间距。
具体的，第二延迟线型声表面波传感器的第一反射栅和第二延迟线型声表面波传感器的第二反射栅之间的第二子间距为L3，第二延迟线型声表面波传感器的第三反射栅和第二延迟线型声表面波传感器的第一反射栅的第二从间距为L3+L4；第二延迟线型声表面波传感器的第一反射栅到其叉指换能器的第一间距为D2。第一延迟线型声表面波传感器的第一反射栅到其叉指换能器的第一间距为D1。
那么，以第一延迟线型声表面波传感器201和第二延迟线型声表面波传感器202为同组的延迟线形声表面波传感器为例，D2和D1之差的绝对值小于L3。
若第一延迟线型声表面波传感器201和第二延迟线型声表面波传感器202为不同组的延迟线形声表面波传感器，则D2和D1之差的绝对值大于L3+L4。
需要注意的是，上述的反射栅组仅由三条反射栅构成，因此，第二从间距的才是L3+L4，若是由四条、五条或更多条，以实际第一反射栅(离叉指换能器最近的一条反射栅)和第三反射栅(离第一反射栅最远的一条反射栅)之间的实际间距为准。
在本发明的另一个实施例中，除与上述相同的之外，当所述延迟线型声表面波传感器的数量为单数时，其中一个所述延迟线型声表面波传感器单独为一组，其余的所述延迟线型声表面波传感器两两一组；同一组中的两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差小于所述第二子间距；不同组中的任意两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差大于所述第二从间距。
需要注意的是，除了以两个延迟线形声表面波传感器为一组外，还可以以三个、四个等延迟线型声表面波传感器为一组，分别设置各延迟线型声表面波传感器的第一间距值，以获得较高的编码密度。
例如：有多个延迟线型声表面波传感器(Sensor1、Sensor2……SensorN)，叉指换能器IDT作为反射栅回波时延计算的起点和终点。为表现直观性，图示中所有延迟线型声表面波传感器的IDT中心对齐。延迟线型声表面波传感器Sensor1和延迟线型声表面波传感器Sensor2为第一组，它们的反射栅，在时间/空间上呈现交错排布，同理为延迟线型声表面波传感器Sensor3和延迟线型声表面波传感器Sensor4(Sensor3和Sensor4为第二组)；第一组中反射栅组与第二组反射栅组在时间上呈先后关系，两者无交错。以此类推。
在本发明的另一个实施例中，一种延迟线型声表面波传感器阵列，包括：阅读器100和至少两个延迟线型声表面波传感器；阅读器100和每个延迟线型声表面波传感器无线通信连接；每个延迟线型声表面波传感器包括：压电基底21；叉指换能器22，设置于压电基底上；反射栅组，设置于压电基底21上，且位于叉指换能器22的一侧(反射栅组和叉指换能器处在压电基底的同一板面上)；反射栅组和叉指换能器22之间具有第一间距D；其中，任意两个延迟线型声表面波传感器中的第一间距D不相等；任意两个所述延迟线型声表面波传感器中的所述压电基底相同；任意两个所述延迟线型声表面波传感器中的所述反射栅组相同。反射栅组包括：至少三条反射栅，每条反射栅沿声表面波的传播方向设置于压电基底上；相邻两条反射栅之间具有第二间距，任意两个第二间距不相等；第二间距的最小值由阅读器的时间分辨率决定。叉指换能器22包括：第一汇流条221，其沿声表面播的传播方向延伸，第一汇流条的一侧垂直设有多个第一指部222；与第一汇流条平行的第二汇流条223，第二汇流条靠近第一汇流条的一侧垂直设有与第一指部配合的第二指部224，第二指部与第一指部相互交叉。
具体的，本发明中的延迟线型声表面波传感器阵列中各延迟线型传感器属于微型化设计，方便安装、使用，且具有标定简单，读取速度快，抗干扰能力强的优点。
应当说明的是，上述实施例均可根据需要自由组合。以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (6)

1.一种延迟线型声表面波传感器阵列，其特征在于，包括：
至少两个延迟线型声表面波传感器；
每个所述延迟线型声表面波传感器包括：
压电基底；
叉指换能器，设置于所述压电基底上；
反射栅组，设置于所述压电基底上，且位于所述叉指换能器的一侧；
所述反射栅组和所述叉指换能器之间具有第一间距；
其中，任意两个所述延迟线型声表面波传感器中的第一间距不相等；任意两个所述延迟线型声表面波传感器中的所述压电基底相同；任意两个所述延迟线型声表面波传感器中的所述反射栅组相同；
所述反射栅组包括：至少三条反射栅，每条所述反射栅沿声表面波的传播方向设置于所述压电基底上；
每个延迟线型声表面波传感器的反射栅组中，距离所述叉指换能器最近的反射栅为第一反射栅，距离所述第一反射栅最近的反射栅为第二反射栅，所述第一反射栅和所述第二反射栅之间具有第二子间距；距离所述第一反射栅最远的反射栅为第三反射栅，所述第一反射栅和所述第三反射栅之间具有第二从间距；
当所述延迟线型声表面波传感器的数量为双数时，两两一组；同一组中的两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差小于所述第二子间距；不同组中的任意两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差大于所述第二从间距；
当所述延迟线型声表面波传感器的数量为单数时，其中一个所述延迟线型声表面波传感器单独为一组，其余的所述延迟线型声表面波传感器两两一组；同一组中的两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差小于所述第二子间距；不同组中的任意两个所述延迟线形声表面波传感器的第一间距之差大于所述第二从间距。
2.如权利要求1所述的延迟线型声表面波传感器阵列，其特征在于：
相邻两条所述反射栅之间具有第二间距，任意两个第二间距不相等。
3.如权利要求2所述的延迟线型声表面波传感器阵列，其特征在于：
所述第二间距的最小值由阅读器的时间分辨率决定。
4.如权利要求1-3任一所述的延迟线型声表面波传感器阵列，其特征在于：
所述叉指换能器与每条所述反射栅被设置于同一声道。
5.如权利要求1-3任一所述的延迟线型声表面波传感器阵列，其特征在于：
各所述延迟线型声表面波传感器为多声道延迟线型声表面波传感器。
6.如权利要求1所述的延迟线型声表面波传感器阵列，其特征在于，所述叉指换能器包括：
第一汇流条，其沿所述声表面播的传播方向延伸，所述第一汇流条的一侧垂直设有多个第一指部；
与所述第一汇流条平行的第二汇流条，所述第二汇流条靠近所述第一汇流条的一侧垂直设有与所述第一指部配合的第二指部，所述第二指部与所述第一指部相互交叉。
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