CN107021491B - 一种Ti5Si3金属间化合物微纳米线及其制备方法 - Google Patents
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Abstract
本发明属于金属间化合物的微纳米材料领域,具体涉及一种Ti5Si3金属间化合物微纳米线及其制备方法。该制备方法包括原料准备、混料压制、熔炼冷却和腐蚀萃取等步骤。本发明具有工艺简单、设备要求低、成本低、生产效率高的特点,并且可以通过改变合金凝固过程中的冷却速度来控制Ti5Si3金属间化合物微纳米线的尺寸;所制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线处于晶态,热稳定性好,有良好的高温强度,且具有一定的柔韧性和抗高温氧化性,其直径为20‑200nm,长度为5‑100μm。
Description
技术领域:
本发明属于金属间化合物微纳米材料领域,具体涉及一种Ti5Si3金属间化合物微纳米线及其制备方法。
背景技术:
随着传感器和激光器等电子技术的发展,微纳米材料由于具有优异的物理和化学性能,并且有助于实现电子器件的微型化,因此在微电子科技中具有广阔的应用前景,近年来,受到越来越多的关注和研究。各国研究者相继开发了诸如碳纳米管、SiC微纳米线、纳米金刚石涂层的Si微纳米线和一些金属氧化物与金属间化合物的微纳米线材料。Ti5Si3金属间化合物由于既有与其金属相同的金属键,又有金属中不存在的共价键,因此,其兼具金属和陶瓷的部分性能,如较高的导电性、高熔点、高硬度及很好的抗高温氧化性能等。基于其独特性质,Ti5Si3被认为极有希望取代现有高温合金材料,作为新一代的高温结构材料应用于航空发动机等领域。此外,Ti5Si3与硅基底集成电路有很低的接触电阻和良好的兼容性,因此其也可作为场发射器件、微传感器件、器件互联和源/漏/栅极欧姆接触的材料应用于大规模的集成电路中,而Ti5Si3的微纳米化是实现其该应用的关键。当前对于Ti5Si3金属间化合物,大部分研究集中于结构材料的开发,但是对于其微纳米化,特别是微纳米线的制备和研究还较少。浙江大学杜丕一课题组发明了一种常压化学气相沉积法(APCVD)制备Ti5Si3及TiSi2复合纳米钉及其纳米线簇的方法(ZL 200610050486.5和ZL 200610050490.1),该方法实现了常压下Ti5Si3及TiSi2复合纳米材料的制备,对设备要求较低且效率较高,但该方法制备过程复杂、成本高。因此开发一种工艺简单、成本低、适合规模化生产的Ti5Si3纳米线制备工艺,对于其应用至关重要。
发明内容:
本发明的目的在于提供一种通过常规冶金法与化学萃取技术相结合制备Ti5Si3金属间化合物微纳米线的方法。该方法工艺简单、设备要求低、成本低且效率高,同时可通过合金凝固过程中冷却速度的改变来控制Ti5Si3金属间化合物微纳米线的尺寸,制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线直径在20-200nm之间,长度在5-100μm之间。
一种Ti5Si3金属间化合物微纳米线的制备方法,其特征在于:所述制备方法由以下步骤组成:
(1)原料准备:准备好制备Ti5Si3金属间化合物微纳米线所需的原料,按质量百分比称取,工业纯铜 77-98%、铜粉1-11.5%、钛粉0.7-8.5%和硅粉0.3-3%;
(2)混料压制:将称量好的铜粉、钛粉和硅粉充分混合均匀,将混合均匀的粉料压制成长20mm、宽 20mm、高15mm的预制块;
(3)熔炼冷却:在氩气的保护下,将称量好的工业纯铜放置在高频感应炉中加热至1200-1500℃,将压制好的预制块加入到熔融的铜熔体中,待预制块完全消失后用石墨棒搅拌均匀,保温2-4分钟后,将合金熔体浇入模具中或采用其他方法冷却凝固;
(4)腐蚀萃取:将步骤(3)得到的合金块体用稀硫酸和双氧水的混合溶液腐蚀,待腐蚀完毕后,分别用去离子水和酒精洗涤萃取,然后将萃取物烘干,即可得到黑色或深灰色Ti5Si3金属间化合物微纳米线。
所述Ti5Si3金属间化合物微纳米线的制备方法,步骤(3)根据需要将合金熔体浇入到具有不同冷却能力的模具中得到合金块体,所述模具包括铸铁模具、铜模具和石墨模具等,通过采用不同的模具可实现对 Ti5Si3金属间化合物微纳米线尺寸的控制。
Ti5Si3金属间化合物微纳米线的制备方法,步骤(3)所述其他方法冷却凝固包括使用单辊甩带法、雾化法等得到合金薄带或者合金粉末,实现合金快速凝固,通过采用不同的冷却凝固方式可实现对Ti5Si3金属间化合物微纳米线尺寸的控制。
Ti5Si3金属间化合物微纳米线的制备方法,步骤(1)中的工业纯铜为1号铜,铜粉、钛粉和硅粉纯度均≥99%;步骤(2)中预制块的压制装置压强为50-80MPa;步骤(4)中萃取物的烘干温度为60-80℃。
该方法制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线处于晶态,热稳定性好,有良好的高温强度,且具有一定的柔韧性和抗高温氧化性,其直径为20-200nm,长度为5-100μm。
本发明具有以下优点:1、制备工艺简单稳定,易于操作,无需使用催化剂;2、设备要求低;3、成本低、效率高;4、可利用不同的冷却速度来控制Ti5Si3金属间化合物微纳米线的尺寸;5、适用于工业化生产和应用。
附图说明:
图1是制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线XRD图谱。
图2是实例1制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线SEM形貌图。
图3是实例2制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线SEM形貌图。
图4是实例3制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线SEM形貌图。
具体实施方式:
下面结合具体实施例,进一步阐述发明。应说明的是:以下实施例仅用以说明本发明而并非限制本发明所描述的技术方案。一切不脱离本发明的精神和范围的技术方案及其改进,其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
实施例1:
(1)原料准备:准备好制备Ti5Si3金属间化合物微纳米线材料所需的原料,按质量百分比称取,工业纯铜96.2%,铜粉1.9%,钛粉1.4%,硅粉0.5%;
(2)混料压制:将称量好的铜粉、钛粉和硅粉充分混合均匀,然后将混合均匀的粉料压制成长20mm、宽20mm、高15mm的预制块;
(3)熔炼冷却:在氩气保护下,将称量好的工业纯铜放置在高频感应炉中加热至1300℃,将压制好的预制块加入到熔融的铜熔体中,待预制块完全消失后用石墨棒搅拌均匀,保温3分钟后,将合金熔体浇入铸铁方形模具中冷却凝固;
(4)腐蚀萃取:将上述得到的样品用稀硫酸和双氧水的混合溶液腐蚀;待腐蚀完毕后,分别用去离子水和酒精洗涤萃取到的物质;然后将萃取物烘干,即可得到黑色或深灰色Ti5Si3金属间化合物微纳米线。
该方法制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线处于晶态,热稳定性好,有良好的高温强度,且具有一定的柔韧性和抗高温氧化性,其直径为100-200nm,长度为20-100μm。
实施例2:
(1)原料准备:准备好制备Ti5Si3金属间化合物微纳米线材料所需的原料,按质量百分比称取,工业纯铜88.4%,铜粉5.8%,钛粉4.3%,硅粉1.5%;
(2)混料压制:将称量好的铜粉、钛粉和硅粉充分混合均匀,然后将混合均匀的粉料压制成长20mm、宽20mm、高15mm的预制块;
(3)熔炼冷却:在氩气保护下,将称量好的工业纯铜放置在高频感应炉中加热至1400℃,将压制好的预制块加入到熔融的铜熔体中,待预制块完全消失后用石墨棒搅拌均匀,保温3分钟后,将合金熔体浇入铸铁U形模具中冷却凝固;
(4)腐蚀萃取:将上述得到的样品用稀硫酸和双氧水的混合溶液腐蚀;待腐蚀完毕后,分别用去离子水和酒精洗涤萃取到的物质;然后将萃取物烘干,即可得到黑色或深灰色Ti5Si3金属间化合物微纳米线。
该方法制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线处于晶态,热稳定性好,有良好的高温强度,且具有一定的柔韧性和抗高温氧化性,其直径为50-150nm,长度为5-80μm。
实施例3:
(1)原料准备:准备好制备Ti5Si3金属间化合物微纳米线材料所需的原料,按质量百分比称取,工业纯铜82.4%,铜粉8.8%,钛粉6.5%,硅粉2.3%;
(2)混料压制:将称量好的铜粉、钛粉和硅粉充分混合均匀,然后将混合均匀的粉料压制成长20mm、宽20mm、高15mm的预制块;
(3)熔炼冷却:在氩气保护下,将称量好的工业纯铜放置在高频感应炉中加热至1500℃,将压制好的预制块加入到熔融的铜熔体中,待预制块完全消失后用石墨棒搅拌均匀,保温4分钟后,将合金熔体浇入铜U型模具中冷却凝固;
(4)腐蚀萃取:将上述得到的样品用稀硫酸和双氧水的混合溶液腐蚀;待腐蚀完毕后,分别用去离子水和酒精洗涤萃取到的物质;然后将萃取物烘干,即可得到黑色或深灰色Ti5Si3金属间化合物微纳米线。
该方法制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线处于晶态,热稳定性好,有良好的高温强度,且具有一定的柔韧性和抗高温氧化性,其直径为40-60nm,长度为5-50μm。
Claims (5)
1.一种Ti5Si3金属间化合物微纳米线的制备方法,其特征在于:所述制备方法由以下步骤组成:
(1)原料准备:准备好制备Ti5Si3金属间化合物微纳米线所需的原料,按质量百分比称取,工业纯铜77-98%、铜粉1-11.5%、钛粉0.7-8.5%和硅粉0.3-3%;
(2)混料压制:将称量好的铜粉、钛粉和硅粉充分混合均匀,将混合均匀的粉料压制成长20mm、宽20mm、高15mm的预制块;
(3)熔炼冷却:在氩气的保护下,将称量好的工业纯铜放置在高频感应炉中加热至1200-1500℃,将压制好的预制块加入到熔融的铜熔体中,待预制块完全消失后用石墨棒搅拌均匀,保温2-4分钟后,将合金熔体浇入模具中或采用其他方法冷却凝固;
(4)腐蚀萃取:将步骤(3)得到的合金块体用稀硫酸和双氧水的混合溶液腐蚀,待腐蚀完毕后,分别用去离子水和酒精洗涤萃取,然后将萃取物烘干,即可得到黑色或深灰色Ti5Si3金属间化合物微纳米线。
2.如权利要求1所述的一种Ti5Si3金属间化合物微纳米线的制备方法,其特征在于:步骤(3)根据需要将合金熔体浇入到具有不同冷却能力的模具中得到合金块体,所述模具包括铸铁模具、铜模具和石墨模具,通过采用不同的模具可实现对Ti5Si3金属间化合物微纳米线尺寸的控制。
3.如权利要求1所述的一种Ti5Si3金属间化合物微纳米线的制备方法,其特征在于:步骤(3)所述其他方法冷却凝固包括使用单辊甩带法、雾化法得到合金薄带或者合金粉末,实现合金快速凝固,通过采用不同的冷却凝固方式可实现对Ti5Si3金属间化合物微纳米线尺寸的控制。
4.如权利要求1所述的一种Ti5Si3金属间化合物微纳米线的制备方法,其特征在于:步骤(1)中的工业纯铜为1号铜,铜粉、钛粉和硅粉纯度均≥99%;步骤(2)中预制块的压制装置压强为50-80MPa;步骤(4)中萃取物的烘干温度为60-80℃。
5.如权利要求1所述制备方法制备的Ti5Si3金属间化合物微纳米线,其特征在于:所述制备Ti5Si3金属间化合物微纳米线处于晶态,热稳定性好,有良好的高温强度,且具有一定的柔韧性和抗高温氧化性,直径在20-200nm之间,长度在5-100μm之间。
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