CN107015074B - 一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量系统 - Google Patents
一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107015074B CN107015074B CN201710201911.4A CN201710201911A CN107015074B CN 107015074 B CN107015074 B CN 107015074B CN 201710201911 A CN201710201911 A CN 201710201911A CN 107015074 B CN107015074 B CN 107015074B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- earth
- ferroelectric material
- fibre
- peak
- coupler
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 56
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims abstract description 52
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims abstract description 41
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 14
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 4
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 4
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 4
- 230000005611 electricity Effects 0.000 claims description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 2
- 239000002305 electric material Substances 0.000 claims 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 26
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 11
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000005621 ferroelectricity Effects 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 2
- 239000002689 soil Substances 0.000 description 2
- 238000010998 test method Methods 0.000 description 2
- 101100460147 Sarcophaga bullata NEMS gene Proteins 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 230000002902 bimodal effect Effects 0.000 description 1
- 230000000747 cardiac effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000003331 infrared imaging Methods 0.000 description 1
- 238000000386 microscopy Methods 0.000 description 1
- 238000010606 normalization Methods 0.000 description 1
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 1
- 231100000331 toxic Toxicity 0.000 description 1
- 230000002588 toxic effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/22—Measuring piezoelectric properties
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Strength Of Materials By Application Of Mechanical Stress (AREA)
Abstract
本发明涉及一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量系统，主要解决现有技术中存在的空间分辨率低技术问题，本发明通过采用包括光源(101)，与光源(101)连接的光纤耦合器(102)，与光纤耦合器连接的第一光纤自聚焦透镜(103)及光纤延迟线(105)；与所述第一光纤自聚焦透镜(103)依次连接的待测稀土掺杂铁电材料(104)、第二光纤自聚焦透镜(106)，所述待测稀土掺杂铁电材料(104)与电极(109)电连接；所述第二光纤自聚焦透镜(106)及光纤延迟线(105)连接到第二单模光纤耦合器(107)，所述单模光纤耦合器(107)与光谱仪(108)连接的技术方案，较好的解决了该问题，可用于稀土掺杂铁电材料压电系数的测试中。
Description
技术领域
本发明涉及压电系数测量领域，特别涉及到一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量系统。
背景技术
稀土掺杂铁电材料由于不含有毒成分PbO、具有优良的铁电和光学性能而在可调谐激光器、低强度红外成像器件、彩色显示、光学温度传感器等方面有重要应用。稀土掺杂铁电材料具有优异的压电性能使其可以制备各种压电型器件，如高频和微波压电换能器、压电振荡器、压电滤波器、压电传感器、压电声表面波器件以及非线性器件。压电效应是指压电材料在外加压力的作用下产生束缚电荷，束缚电荷与外加压力的大小成比例，即正压电效应；在外加电场的作用下产生机械形变，即逆压电效应。压电系数是反应材料压电效能。
目前测量压电材料的压电系数的方法有正压电效应测量法、逆压电效应测量法、激光干涉仪压电测试系统、扫描近场微波显微镜系统等方法。现有的测量方法或系统的很难实现纳米级微位移的压电性能的精准测试。MEMS、NEMS器件中大量采用纳米尺寸的压电材料，这些压电材料的尺寸只有数百纳米。纳米尺度下测量材料的压电性能是及其必要和迫切的，因此，提供一种空间分辨率更高的测试方法就很有必要。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是现有技术中存在的空间分辨率低的技术问题。提供一种新的压电系数测量系统，该测量系统具有具备测量速度快，测量精度高，并且不受环境因素的影响的特点。
为解决上述技术问题，采用的技术方案如下：
一种压电系数测量系统，包括光源101，与宽谱光源101连接的第一光纤耦合器102，与第一光纤耦合器连接的第一光纤自聚焦透镜103及电动光纤延迟线105；与所述第一光纤自聚焦透镜103依次连接的待测稀土掺杂铁电材料104、第二光纤自聚焦透镜106，所述待测稀土掺杂铁电材料104与电极109电连接；所述第二光纤自聚焦透镜106及光纤延迟线105连接到第二光纤耦合器107，所述第二光纤耦合器107与光谱仪108连接；所述第一光纤自聚焦透镜103用于将第一光纤耦合器的输出光转化为平型光束，第二光纤自聚焦透镜106用于聚焦待测稀土掺杂铁电材料104的输出光；所述电极109用于提供直流电，包括正电极及负电极，所述待测稀土掺杂铁电材料104两端分别连接正电极及负电极。
上述技术方案中，为优化，进一步地，所述光源101为宽谱光源。
进一步地，所述第一光纤耦合器102及第二光纤耦合器107耦合比均为1:1。
进一步地，所述第一光纤耦合器102及第二光纤耦合器107均为单模光纤耦合器。
进一步地，所述光纤延迟线105为电动光纤延迟线。
进一步地，所述压电系数测量系统用于测量稀土掺杂铁电材料的压电系数。
本发明还提供一种压电系数测量系统的使用方法，包括：
(1)启动所述测量系统，确定比例系数k；
(2)测量光源的中心波长和光谱宽度；
(3)移动光纤延迟线105，使得光谱仪108输出的干涉条纹包括两个干涉峰，记录λpeak1及λpeak2，第一峰值波长及第二峰值波长，所述第一峰值波长对应第一峰的光源波长，第二峰值波长对应第二峰的光源波长；
(4)通过电极109施加直流电于稀土掺杂铁电材料两端，记录第三峰值波长及第四峰值波长；所述第三峰值波长对应新的第一峰的光源波长，第四峰值波长对应新的第二峰的光源波长，根据步骤(3)中第一峰值波长及第二峰值波长，步骤(4)中第三峰值波长及第四峰值波长，计算Δλ1及Δλ2；
(5)根据Δλ1，Δλ/λo＝(λo-λpeak)/λo＝kΔx及步骤(1)中的比例系数k计算出Δx，根据Δx及U，计算出待测稀土掺杂铁电材料的压电系数；
其中，Δλ＝Δλ1，λpeak＝λpeak1，Δλ1为第一峰的波长移动量，Δλ2为第二峰的波长移动量Δλ2，λo为光源中心波长，λpeak1为第一峰值强度，λpeak2为第二峰值强度，U为施加在稀土掺杂铁电材料两端的电压。
进一步地，所述步骤(2)中移动光纤延迟线105，光谱仪108输出的干涉条纹包括两个干涉峰强度相等。
进一步第，所述步骤(1)包括：
(A)待测稀土掺杂铁电材料两端不施加电压，移动光纤延迟线105，使得光谱仪108输出的干涉条纹包括两个强度相等的干涉峰；
(B)移动光纤延迟线105，记录步骤(1)中干涉峰的峰值波长的移动量和对应的电动光纤延迟线的位移量，测量N组数据；
(C)测量光源的中心波长；
(D)线性拟合步骤(B)获得的N组数据及(C)中光源的中心波长，计算出k；其中，N为≥6的正整数。
进一步地，所述Δλ＝Δλ2，λpeak＝λpeak2。
本发明提出的基于光谱干涉的测量方法，通过光谱仪得到的干涉条纹峰值波长的移动来实现纳米级微形变的稀土掺杂压电材料的压电系数的测量。
通过构建一个马赫-曾德光纤干涉仪，通过光谱干涉的方法来测量稀土掺杂铁电材料的压电系数。测量系统中，光源101发出的光经单模光纤耦合器102后分成两路,一路光经过光纤延迟线105,另一路光经过自聚焦透镜103后入射到待测稀土掺杂铁电材料104中,从该材料输出的光通过自聚焦透镜106耦合进光纤中。两路光在单模光纤耦合器107中形成干涉,该干涉条纹通过光谱仪108接收。稀土掺杂铁电材料两端安装电极109，通过电极往待测稀土掺杂铁电材料两端施加直流电压而产生压电效应。
本发明提出的稀土掺杂铁电材料的压电系数的测量原理：稀土掺杂铁电材料在受到外界电场作用下，材料在平行和垂直电场方向都会发生形变，这就导致了光干涉仪的一臂的光程发生了变化，从而导致光谱干涉条纹发生移动，通过光谱干涉条纹峰值波长的移动量就可以得到稀土掺杂铁电材料的形变量。当对稀土掺杂铁电材料施加电压U时，稀土掺杂铁电材料中电荷极性随之产生变化而引起的位移量为Δx，则待测稀土掺杂铁电材料的压电系数d可表示为d＝Δx/U。
光谱仪得到的光谱强度为表示为：
IM(z,Δd,ω)＝I(z,ω)+Ix(ω)γxy(0,Δd,ω)+Iy(ω)γxy(0,Δd,ω)
+[Ix(ω)Iy(ω)]1/2Re[γxy(z,Δd,ω)+γxy(-z,Δd,ω)]
其中，Δd为光干涉仪两臂光程差，γxy(z,Δd,ω)为干涉条纹的复相干度。光源光谱密度G(ω)为一光谱半高宽为Δω的高斯函数，则G(ω)表示为：
其中，Δω为光谱半高宽，由此光谱仪接收到的光谱干涉条纹为：
其中，ΔωR为光谱仪响应函数的半高宽。
当干涉仪两臂光程差为π的整数倍时，会出现两个峰值强度相等的双峰干涉条纹。在该光程差处，干涉仪输出的光谱干涉条纹与干涉仪两臂光程差的变化具有最大的灵敏度，干涉仪两臂光程差的纳米级变化都将导致干涉光谱条纹两峰值波长的移动。通过光谱仪测量得到峰值波长的移动量，就可以得到待测稀土掺杂铁电材料的压电系数。
图2，为干涉仪两臂光程差变化80nm时，干涉仪输出光谱条纹的变化。峰值波长移动了12nm，而光谱仪的波长分辨率能达到0.1nm。所以，本发明提出的测试系统完能实现纳米级微位移的压电性能的测试。
任意峰值波长在稀土掺杂铁电材料发生压电效应时产生的位移量为Δx，根据式3可知在干涉仪两臂光程差变化在微米量级范围内，峰值波长的移动量Δλ与光源的中心波长λo的比值和稀土掺杂铁电材料的压电效应产生的位移Δx成线性关系，即
Δλ/λo＝(λo-λpeak)/λo＝kΔx
其中，k为比例系数。
因此，通过比例系数k，峰值波长的移动量Δλ和光源的中心波长λo计算出稀土掺杂铁电材料的压电位移量Δx，从而得到待测稀土掺杂铁电材料的压电系数。相比现有的压电系数的测量方法，该方法具备测量速度快，测量精度高，并且不受环境因素的影响等特点。
本发明的有益效果，
效果一，提高了测量精度，满足纳米级的压电系数测量要求；
效果二，提高了测量灵敏度。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1，压电系数测量系统示意图。
图2，归一化光谱强度示意图。
附图中，101-光源；102：第一光纤耦合器；103-第一光纤自聚焦透镜；104-待测稀土掺杂铁电材料；105-光纤延迟线；106-第二光纤自聚焦透镜；107-第二光纤耦合器；108-光谱仪；109-电极；1-第一峰；2-第二峰；3-第三峰，4-第四峰。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
实施例1
本实施例提供一种压电系数测量系统，包括光源101，与光源101连接的光纤耦合器102，与光纤耦合器连接的第一光纤自聚焦透镜103及光纤延迟线105；与所述第一光纤自聚焦透镜103依次连接的待测稀土掺杂铁电材料104、第二光纤自聚焦透镜106，所述待测稀土掺杂铁电材料104与电极109电连接；所述第二光纤自聚焦透镜106及光纤延迟线105连接到第二单模光纤耦合器107，所述单模光纤耦合器107与光谱仪108连接；所述第一光纤自聚焦透镜103用于将光纤耦合器的输出光转化为平型光束，第二光纤自聚焦透镜106用于聚焦待测稀土掺杂铁电材料104的输出光；所述电极109用于提供直流电，包括正电极及负电极，所述待测稀土掺杂铁电材料104两端分别连接正电极及负电极。
优选地，所述光源101为宽谱光源。宽谱光源能够提供频率更广、种类更多的光，丰富测量系统的功能。
优选地，第一光纤耦合器102及第二光纤耦合器107耦合比均为1:1。此时，测量系统的第一光纤耦合器102及第二光纤耦合器107均为单模光纤耦合器。单模光纤耦合器相对多模光纤耦合器制作简单、成本低。
所述光纤延迟线105为电动光纤延迟线，采用电动光纤延迟线可以自动控制光纤延迟度，能够简化测试系统的使用。
本实施例中的压电系数测量系统用于测量稀土掺杂铁电材料的压电系数。
本实施例的基于测量系统的测试方法，包括：
(1)启动所述测量系统，确定比例系数k；
(A)待测稀土掺杂铁电材料两端不施加电压，移动光纤延迟线105，使得光谱仪108输出的干涉条纹包括两个强度相等的干涉峰；
(B)移动光纤延迟线105，记录步骤(1)中干涉峰的峰值波长的移动量和对应的电动光纤延迟线的位移量，测量N组数据；
(C)测量光源的中心波长；
(D)线性拟合步骤(B)获得的N组数据及(C)中光源的中心波长，计算出k；其中，N为≥6的正整数。
(2)测量光源的中心波长和光谱宽度；
(3)移动光纤延迟线105，使得光谱仪108输出的干涉条纹包括两个干涉峰，记录λpeak 1及λpeak2，第一峰值波长及第二峰值波长，所述第一峰值波长对应第一峰的光源波长，第二峰值波长对应第二峰的光源波长；
(4)通过电极109施加直流电于稀土掺杂铁电材料两端，记录第三峰值波长及第四峰值波长；所述第三峰值波长对应新的第一峰的光源波长，第四峰值波长对应新的第二峰的光源波长，根据步骤(3)中第一峰值波长及第二峰值波长，步骤(4)中第三峰值波长及第四峰值波长，计算Δλ1及Δλ2；
(5)根据Δλ1，Δλ/λo＝(λo-λpeak)/λo＝kΔx及步骤(1)中的比例系数k计算出Δx，根据Δx及U，计算出待测稀土掺杂铁电材料的压电系数；
其中，Δλ＝Δλ1，λpeak＝λpeak1，Δλ1为第一峰的波长移动量，Δλ2为第二峰的波长移动量Δλ2，λo为光源中心波长，λpeak1为第一峰值强度，λpeak2为第二峰值强度，U为施加在稀土掺杂铁电材料两端的电压。
光干涉仪两臂光程差的纳米级变化都将导致干涉光谱条纹两峰值波长的移动。通过光谱仪测量得到峰值波长的移动量，就可以得到待测稀土掺杂铁电材料的压电系数，变化规律如图2，为干涉仪两臂光程差变化80nm时，干涉仪输出光谱条纹的变化。峰值波长移动了12nm，光谱仪的波长分辨率能达到0.1nm。所以，本发明提出的测试系统完能实现纳米级微位移的压电性能的测试。
实施例2
本实施例在实施例1的基础上，为提高测量灵敏度，提出另一种改进的测量方法。
具体地，所述步骤(2)中移动光纤延迟线(105)，光谱仪(108)输出的干涉条纹包括两个干涉峰强度相等。当干涉仪两臂光程差为π的整数倍时，会出现两个峰值强度相等的双峰干涉条纹。在该光程差处，干涉仪输出的光谱干涉条纹与干涉仪两臂光程差的变化具有最大的灵敏度，干涉仪两臂光程差的纳米级变化都将导致干涉光谱条纹两峰值波长的移动。通过光谱仪测量得到峰值波长的移动量，就可以得到待测稀土掺杂铁电材料的压电系数。
实施例3
本实施例在实施例1的基础上，使用第二峰的相关参数计算压电系数。具体包括：
步骤(5)：根据Δλ2，Δλ/λo＝(λo-λpeak)/λo＝kΔx及步骤(1)中的比例系数k计算出Δx，根据Δx及U，计算出待测稀土掺杂铁电材料的压电系数d可表示为d＝Δx/U。
其中，Δλ＝Δλ2，λpeak＝λpeak2，Δλ1为第一峰的波长移动量，Δλ2为第二峰的波长移动量Δλ2，λo为光源中心波长，λpeak1为第一峰值强度，λpeak2为第二峰值强度，U为施加在稀土掺杂铁电材料两端的电压。
尽管上面对本发明说明性的具体实施方式进行了描述，以便于本技术领域的技术人员能够理解本发明，但是本发明不仅限于具体实施方式的范围，对本技术领域的普通技术人员而言，只要各种变化只要在所附的权利要求限定和确定的本发明精神和范围内，一切利用本发明构思的发明创造均在保护之列。
Claims (5)
1.一种稀土掺杂铁电材料的压电系数测量系统，其特征在于：所述系统包括光源(101)，与光源(101)连接的光纤耦合器(102)，与光纤耦合器连接的第一光纤自聚焦透镜(103)及光纤延迟线(105)；与所述第一光纤自聚焦透镜(103)依次连接的待测稀土掺杂铁电材料(104)、第二光纤自聚焦透镜(106)，所述待测稀土掺杂铁电材料(104)与电极(109)电连接；所述第二光纤自聚焦透镜(106)及光纤延迟线(105)连接到第二单模光纤耦合器(107)，所述第二单模光纤耦合器(107)与光谱仪(108)连接；所述第一光纤自聚焦透镜(103)用于将光纤耦合器的输出光转化为平行光束，第二光纤自聚焦透镜(106)用于聚焦待测稀土掺杂铁电材料(104)的输出光；所述电极(109)用于提供直流电，包括正电极及负电极，所述待测稀土掺杂铁电材料(104)两端分别连接正电极及负电极。
2.根据权利要求1所述的压电系数测量系统，其特征在于：所述光源(101)为宽谱光源。
3.根据权利要求1所述的压电系数测量系统，其特征在于：所述光纤耦合器(102)及第二单模光纤耦合器(107)耦合比均为1:1。
4.根据权利要求3所述的压电系数测量系统，其特征在于：所述光纤耦合器(102)及第二单模光纤耦合器(107)均为单模光纤耦合器。
5.根据权利要求1所述的压电系数测量系统，其特征在于：所述光纤延迟线(105)为电动光纤延迟线。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710201911.4A CN107015074B (zh) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710201911.4A CN107015074B (zh) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量系统 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107015074A CN107015074A (zh) | 2017-08-04 |
| CN107015074B true CN107015074B (zh) | 2018-05-08 |
Family
ID=59445958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710201911.4A Active CN107015074B (zh) | 2017-03-30 | 2017-03-30 | 一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107015074B (zh) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107462529A (zh) * | 2017-06-27 | 2017-12-12 | 无锡贺邦汽车配件有限公司 | 一种应用于汽车铸造件的成分测量系统 |
| CN109740468B (zh) * | 2018-12-24 | 2021-01-05 | 核工业北京地质研究院 | 一种用于黑土有机质信息提取的自适应高斯低通滤波方法 |
| CN114674875B (zh) * | 2022-03-14 | 2023-04-18 | 电子科技大学 | 一种压电薄膜纵向有效压电系数的测量方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4929830A (en) * | 1987-11-05 | 1990-05-29 | Asea Brown Boveri Ag | Fiber-optic electric field sensor with piezoelectric body sensor |
| CN1288526A (zh) * | 1998-01-23 | 2001-03-21 | 石油大地服务(美国)有限公司 | 光导纤维传感器系统及方法 |
| US6278523B1 (en) * | 1998-02-13 | 2001-08-21 | Centre National De La Recherche Scientifique-Cnrs | Optical sensor on a silicon substrate and application for the in situ measurement of a fluorescent marker in the small bronchia |
| CN102175647A (zh) * | 2011-01-27 | 2011-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置及方法 |
| CN105092987A (zh) * | 2015-09-17 | 2015-11-25 | 天津港东科技发展股份有限公司 | 一种光学检测装置及方法 |
| CN205594083U (zh) * | 2015-12-25 | 2016-09-21 | 中南民族大学 | 一种检测压电陶瓷压电常数d31的装置 |
-
2017
- 2017-03-30 CN CN201710201911.4A patent/CN107015074B/zh active Active
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4929830A (en) * | 1987-11-05 | 1990-05-29 | Asea Brown Boveri Ag | Fiber-optic electric field sensor with piezoelectric body sensor |
| CN1288526A (zh) * | 1998-01-23 | 2001-03-21 | 石油大地服务(美国)有限公司 | 光导纤维传感器系统及方法 |
| US6278523B1 (en) * | 1998-02-13 | 2001-08-21 | Centre National De La Recherche Scientifique-Cnrs | Optical sensor on a silicon substrate and application for the in situ measurement of a fluorescent marker in the small bronchia |
| CN102175647A (zh) * | 2011-01-27 | 2011-09-07 | 哈尔滨工业大学 | 多光束激光外差法测量电致伸缩系数的装置及方法 |
| CN105092987A (zh) * | 2015-09-17 | 2015-11-25 | 天津港东科技发展股份有限公司 | 一种光学检测装置及方法 |
| CN205594083U (zh) * | 2015-12-25 | 2016-09-21 | 中南民族大学 | 一种检测压电陶瓷压电常数d31的装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107015074A (zh) | 2017-08-04 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107015074B (zh) | 一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量系统 | |
| JP3547714B2 (ja) | 光ファイバの残留応力及び光弾性効果測定のための測定装置及びその方法 | |
| CN103364775A (zh) | 基于光频梳校准的双色激光扫描绝对距离测量装置和方法 | |
| CN100491901C (zh) | 合成波干涉纳米表面三维在线测量系统及方法 | |
| CN100455987C (zh) | 利用合成波干涉全场纳米表面三维在线测量方法和系统 | |
| DE212018000128U1 (de) | Zweistrahlinterferenz-Kalibrierungsvorrichtung für ein Laservibrometer | |
| CN100455986C (zh) | 利用光线扫描的干涉型纳米表面三维在线测量系统及方法 | |
| CN102721827A (zh) | 一种光纤加速度计 | |
| JP2005331509A (ja) | 固有振動可変型のカンチレバーによる測定対象物の計測方法および装置 | |
| Li et al. | High sensitivity fiber acoustic sensor tip working at 1550 nm fabricated by two-photon polymerization technique | |
| Wang et al. | A novel integrated fiber-optic interferometer model and its application in micro-displacement measurement | |
| CN104330147A (zh) | 微悬臂梁热振动信号测量装置 | |
| CN102538866B (zh) | 一种可调谐拍波线扫描的表面三维干涉测量系统 | |
| DE102018104953B4 (de) | Messvorrichtung und Verfahren zum Bestimmen einer physikalischen Messgröße | |
| CN103697832B (zh) | 一种白光干涉垂直扫描开环控制的方法 | |
| Tanaka et al. | Data compensation and fiber optic probe for dynamic displacement measurement system with sinusoidally phase modulated reference light | |
| Liu et al. | Dual-detection-parameter SPR sensor based on graded index multimode fiber | |
| CN110850144B (zh) | 基于多纵模自混合效应的电压传感测量装置及方法 | |
| CN104792269B (zh) | 一种对线性相移误差不敏感的光纤端面高度值的解算方法 | |
| CN107064656A (zh) | 一种稀土掺杂铁电材料压电系数的测量方法 | |
| CN103712553A (zh) | 相位法和垂直扫描法兼容的干涉方法 | |
| Gao et al. | Research on measuring methods and sensors of high voltage DC electric field | |
| CN107462529A (zh) | 一种应用于汽车铸造件的成分测量系统 | |
| Bravo et al. | Slow-light and enhanced sensitivity in a displacement sensor using a lossy fiber-based ring resonator | |
| CN211668952U (zh) | 一种基于光纤传感技术测量线状材料杨氏模量的实验装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right | ||
| PE01 | Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right |
Denomination of invention: A Measuring System for Piezoelectric Coefficients of Rare Earth Doped Ferroelectric Materials Effective date of registration: 20221206 Granted publication date: 20180508 Pledgee: Ganzhou Bank Co.,Ltd. Xinfeng Sub branch Pledgor: XINFENG BAOGANG XINLI RARE EARTH Co.,Ltd. Registration number: Y2022980025196 |