CN106884137A - 镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置 - Google Patents

镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置 Download PDF

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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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Abstract

本发明提供一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，镀膜阴极端头侧面的水路接口用水端密封盖予以密封，镀膜阴极端头顶面上安装有气路检漏接口与水路检漏接口；所述镀膜阴极端头置入一个中空腔体内，并用真空腔密封盖将所述中空腔体予以密封，所述真空腔密封盖开有孔，以供所述气路检漏接口与水路检漏接口外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面密封连接；所述中空腔体还设有抽真空接口，用于与抽真空装置或真空检漏设备相连通。本发明提供的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的检测状态基本等同于实际工作状态，因此可以保证检漏的高准确率，避免镀膜线保养失败而造成的重新维护费时费钱的问题。

Description

镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置
技术领域
本发明涉及一种镀膜阴极端头离线检测装置，同时可以将镀膜阴极端头进行真空处理，使其安装后可快速进入使用状态。
背景技术
通常在镀膜阴极端头维护后，无法仿真实际使用环境，容易造成维护后的备件安装后造成镀膜线保养失败的问题。镀膜线是真空设备，如果维护后阴极端头出现问题，重复镀膜线保养流程，一般维护流程为24小时。这样就造成了人力、物力严重浪费的问题，并每次会造成公司数十万元的损失。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种结构简单、成本不高、操作简便的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置。
为达上述目的，本发明一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：
镀膜阴极端头侧面的水路接口用水端密封盖予以密封，镀膜阴极端头顶面上安装有气路检漏接口与水路检漏接口；
所述镀膜阴极端头置入一个中空腔体内，并用真空腔密封盖将所述中空腔体予以密封，所述真空腔密封盖开有孔，以供所述气路检漏接口与水路检漏接口外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面密封连接；
所述中空腔体还设有抽真空接口，用于与抽真空装置或真空检漏设备相连通。
所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：所述抽真空接口连接有中空波纹管。
所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：所述中空波纹管与所述中空腔体之间还设有中心环密封圈。
所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：在所述镀膜阴极端头的顶面上用螺栓固定有真空检漏注入底座，在所述中空检漏注入底座上设有所述气路检漏接口与水路检漏接口。
所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：所述中空腔密封盖与所述中空腔体之间设有真空腔密封圈。
所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其中：所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面之间设有端头密封圈。
本发明镀膜阴极端头离线检测装置与现有技术相比较，取得了如下技术效果：本发明达到完全仿真镀膜阴极端头实际使用环境来进行动态及静态检测，并且能够使镀膜阴极端头维护后的水气进行干燥处理，使其尽快进入真空使用状态。
下面结合附图对本发明作进一步说明。
附图说明
图1为本发明镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的分解结构示意图；
图2为本发明镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的组装剖面图；
图3为本发明镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的组装外观立体图。
附图标记说明：1-水端密封盖；2-真空腔密封盖；3-真空检漏注入底座；4-真空腔体；5-镀膜阴极端头；6-真空波纹管；7-端头密封圈；8-真空腔密封圈；9-中心环密封圈；10-气路检漏接口；11-水路检漏接口。
具体实施方式
以下结合附图和实施例，对本发明上述的和另外的技术特征和优点作更详细的说明。
本发明提供的一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，如图1、图2、图3所示，包含如下结构：
镀膜阴极端头5侧面的水路接口用水端密封盖1予以密封，在所述镀膜阴极端头5上还用螺栓固定有真空检漏注入底座3，在所述中空检漏注入底座3上用螺纹连接有6mm口径的气路检漏接口10与10mm口径的水路检漏接口11，所述气路检漏接口10可用于检测所述镀膜阴极端头5的气路泄露情况，所述水路检漏接口11可用于检测所述镀膜阴极端头5的水路泄露情况；
然后将所述镀膜阴极端头5置入中空腔体4内，再用真空腔密封盖2将所述中空腔体4予以密封，所述真空腔密封盖2上开有孔，以供所述气路检漏接口10与水路检漏接口11外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头5的顶面密封连接；而且，所述中空腔密封盖2与所述中空腔体4之间用真空腔密封圈8相接，所述孔的周缘与所述中空腔密封盖2之间用端头密封圈7相接，以增强气密效果；
所述中空腔体4还设有抽真空接口，所述抽真空接口与中空波纹管6通过中心环密封圈9密接，通过所述中空波纹管6能够与抽真空装置或真空检漏设备相接。
安装好以后，先用抽真空装置将中空腔体4内抽成真空状态，然后将真空波纹管6与真空检漏设备相连，接下来，将检测气体(如氦气)分别通入气路检漏接口10与水路检漏接口11，然后通过所述真空波纹管6以及真空检漏设备进行漏率检测，即可检测所述镀膜阴极端头5的气路与水路是否存在泄露。
由于本发明提供的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置的检测状态基本等同于实际工作状态，因此可以保证检漏的高准确率，避免镀膜线保养失败而造成的重新维护费时费钱的问题。
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：
镀膜阴极端头侧面的水路接口用水端密封盖予以密封，镀膜阴极端头顶面上安装有气路检漏接口与水路检漏接口；
所述镀膜阴极端头置入一个中空腔体内，并用真空腔密封盖将所述中空腔体予以密封，所述真空腔密封盖开有孔，以供所述气路检漏接口与水路检漏接口外露，所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面密封连接；
所述中空腔体还设有抽真空接口，用于与抽真空装置或真空检漏设备相连通。
2.根据权利要求1所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：所述抽真空接口连接有中空波纹管。
3.根据权利要求2所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：所述中空波纹管与所述中空腔体之间还设有中心环密封圈。
4.根据权利要求1所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：在所述镀膜阴极端头的顶面上用螺栓固定有真空检漏注入底座，在所述中空检漏注入底座上设有所述气路检漏接口与水路检漏接口。
5.根据权利要求1所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：所述中空腔密封盖与所述中空腔体之间设有真空腔密封圈。
6.根据权利要求1所述的镀膜阴极端头离线真空泄漏检测装置，其特征在于：所述孔的周缘与所述镀膜阴极端头的顶面之间设有端头密封圈。
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