CN106842546B - 一种指向和隔振一体化多维并联平台及系统 - Google Patents

一种指向和隔振一体化多维并联平台及系统 Download PDF

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Abstract

本申请提供一种指向和隔振一体化多维并联平台及系统，并联平台包括上平台、下平台、六根驱动支腿和加速度传感器，加速度传感器设置在驱动支腿的上方，用于测量驱动支腿的运动加速度，并将运动加速度反馈至控制系统，以使控制系统控制驱动支腿运动，实现振动隔离。驱动支腿包括位移传感器，用于测量驱动支腿的轴向位移，并将轴向位移反馈至控制系统，以使控制系统控制上平台的位姿，实现精确指向；即所述指向和隔振一体化多维并联平台集成了指向功能和隔振功能于一体，使得指向和隔振一体化多维并联平台代替现有技术中的独立工作的隔振系统和精密指向系统，从而大大节省空间设备的体积和重量。

Description

一种指向和隔振一体化多维并联平台及系统
技术领域
本发明涉及航天器技术领域，尤其涉及一种指向和隔振一体化多维并联平台及系统。
背景技术
随着航空航天技术的发展，仪器和设备的精度不断提高，航天器在生命周期内可能会收到各种干扰或者非引力作用，仪器处于微重力的条件下，微小振动都会对仪器设备造成严重影响。例如，空间平台通常搭载对环境稳定性要求较高的大型光学望远镜，当振动较大时，会导致光学望远镜无法正常工作，影响其工作性能；另外，空间平台上还搭载一些对定向精度要求极高的空间设备，例如光学遥感器的次镜，需要调整次镜的位姿，同时还要保证一定的定位精度，以保证成像质量。
为了保证上述的空间设备能够正常工作，空间平台上需要搭载隔振系统和精密指向系统，但目前在空间遥感器以及其他工程应用中，隔振系统和精密指向系统都是独立工作的，占据较大的空间平台空间，造成了空间设备的体积和重量较大，对空间望远镜的发展造成较大阻碍。
发明内容
有鉴于此，本发明提供一种指向和隔振一体化多维并联平台及系统，以解决现有技术中隔振系统和精密指向系统独立工作，占据较大的空间平台空间，造成空间设备的体积和重量均较大的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种指向和隔振一体化多维并联平台，包括：
上平台、下平台、六根驱动支腿；
所述六根驱动支腿中相邻两个驱动支腿相互垂直，所述六根驱动支腿按照Stewart平台形式安装；六根所述驱动支腿的结构相同，均包括：壳体；位于所述壳体内部的音圈电机，所述音圈电机为所述驱动支腿的动力源；位移传感器，用于测量所述驱动支腿的轴向位移，并将所述轴向位移反馈至控制系统，以使所述控制系统控制所述上平台的位姿，实现精确指向；
设置在所述上平台朝向所述下平台的表面上的六个加速度传感器，所述加速度传感器设置在所述驱动支腿的上方，且与所述驱动支腿一一对应设置，所述加速度传感器用于测量所述驱动支腿的运动加速度，并将所述运动加速度反馈至所述控制系统，以使所述控制系统控制所述音圈电机运动，实现振动隔离。
优选地，每个所述驱动支腿与所述上平台通过两个柔性铰链连接，且所述两个柔性铰链通过连接杆连接。
优选地，所述柔性铰链为圆柱体结构，且沿垂直于所述圆柱体的轴线的两个相对的方向上，在所述圆柱体上具有相互反向的活动间隙。
优选地，每个所述驱动支腿的壳体与所述下平台固定连接。
优选地，所述位移传感器为光栅尺。
优选地，所述光栅尺包括光栅尺板和光栅尺本体，所述光栅尺设置在所述驱动支腿的壳体上，所述光栅尺板设置在所述驱动支腿的壳体内的腔体内。
优选地，还包括限位装置，所述限位装置包括限位动板和限位定板，所述限位动板与所述上平台固定连接，所述限位定板与所述下平台固定连接。
优选地，所述限位装置内部为腔体结构，所述指向和隔振一体化多维并联平台还包括气浮装置，所述气浮装置设置在所述限位装置的腔体结构内。
本发明还提供一种指向和隔振一体化系统，包括上面任一所述的指向和隔振一体化多维并联平台和控制系统，所述控制系统与所述指向和隔振一体化多维并联平台的加速度传感器和位移传感器相连，并根据所述加速度传感器测量得到的驱动支腿的运动加速度，控制所述驱动支腿内的音圈电机运动，实现振动隔离，以及根据所述位移传感器测量得到的所述驱动支腿的轴向位移，控制所述指向和隔振一体化多维并联平台的上平台的位姿，实现精确指向。
经由上述的技术方案可知，本发明提供的指向和隔振一体化多维并联平台包括上平台、下平台、六根驱动支腿和六个加速度传感器，且每个驱动支腿上还设置有位移传感器，其中，位移传感器，用于测量驱动支腿的轴向位移，并将轴向位移反馈至控制系统，以使控制系统控制上平台的位姿，实现精确指向；加速度传感器用于测量驱动支腿的运动加速度，并将运动加速度反馈至控制系统，以使控制系统控制音圈电机运动，实现振动隔离。也即通过设置加速度传感器和位移传感器测量驱动支腿的运动量，从而反馈至控制系统，进而使得控制系统对驱动支腿和上平台进行控制，集成指向功能和隔振功能于一体，得到指向和隔振一体化多维并联平台，使得指向和隔振一体化多维并联平台代替现有技术中的独立工作的隔振系统和精密指向系统，从而大大节省空间设备的体积和重量。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。
图1为本发明实施例提供的一种指向和隔振一体化多维并联平台结构示意图；
图2为本发明实施例提供的一种驱动支腿的剖面结构示意图；
图3为本发明实施例提供的一种弹簧片的结构示意图；
图4A为弹簧片应力测试结果图；
图4B为弹簧片的径向刚度测试结果图；
图4C为弹簧片的轴向刚度测试结果图；
图5为本发明实施例提供的一种上平台结构示意图；
图6为本发明实施例提供的一种柔性铰链的结构示意图；
图7为本发明实施例提供的一种限位装置剖面结构示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
正如现有技术部分所述的，现有技术中在空间遥感器以及其他工程应用中，隔振系统和精密指向系统都是独立工作的，虽然隔振平台和指向平台在应用中都取得了不错的发展，但是，同时具备指向功能和隔振功能的平台仍然处于研究阶段，本发明把指向功能、隔振功能集成到一个并联平台上，相对于现有技术中独立工作的隔振平台和指向平台而言，节省了空间，减少了设备的体积和质量，对空间望远镜的发展研究具有重要意义。
具体地，请参见图1，图1为本发明实施例提供的一种指向和隔振一体化多维并联平台结构示意图，包括：上平台1、下平台4、六根驱动支腿3；六根驱动支腿3中相邻两个驱动支腿相互垂直，六根驱动支腿按照Stewart平台形式安装；六根驱动支腿的结构相同，均包括：壳体；位于壳体内部的音圈电机，音圈电机为驱动支腿的动力源；位移传感器，用于测量驱动支腿的轴向位移，并将轴向位移反馈至控制系统，以使控制系统控制上平台的位姿，实现精确指向；设置在上平台1朝向下平台4的表面上的六个加速度传感器5，加速度传感器5设置在驱动支腿3的上方，且与驱动支腿3一一对应设置，加速度传感器5用于测量驱动支腿3的运动加速度，并将运动加速度反馈至控制系统，以使控制系统控制音圈电机运动，实现振动隔离。
如图1所示，本发明中所述指向和隔振一体化多维并联平台的上平台1和下平台4之间通过六根驱动支腿3连接，需要说明的是，本发明实施例中六根驱动支腿的结构均相同，其中，任意相邻的两个驱动支腿相互垂直设置，六根驱动支腿按照Cubic构型Stewart平台形式安装，从而实现六个自由度运动的解耦，能够提高指向和隔振一体化多维并联平台的运动精度。
本发明实施例中通过在上平台的下表面安装加速度传感器5，并使加速度传感器5沿驱动支腿3的轴向方向，从而使得加速度传感器能够测量对应的驱动支腿的运动加速度，当加速度传感器将测量的加速度数据反馈至控制系统时，控制系统根据反馈的加速度数据，控制驱动支腿3的运动，从而实现振动隔离的功能。具体的，上平台1为承载平面，安装载荷，在不额外添加约束的情况下，通过驱动支腿3驱动，可以实现六个自由度的运动，下平台4为基础平台，与基础连接，基础多为振动平台；将下平台固定在振动平台上后，通过加速度传感器5测试振动平台的振动特性，并将所述振动特性反馈至控制系统，如上位机，上位机计算得到输出信号，从而控制驱动支腿3运动，实现上平台振动隔离效果。
本发明实施例中通过在驱动支腿3内安装位移传感器，从而可以测量驱动支腿的轴向线性位移，位移传感器将轴向位移反馈至控制系统，如上位机，上位机通过计算得到输出信号，控制驱动支腿3的轴向位移，使得驱动支腿3进行伸缩，从而对上平台1的位姿进行调整，实现特定指向控制。
需要说明的是，本发明实施例对所述位移传感器不做限定，可以是接触式位移传感器，也可以是非接触式位移传感器，但考虑到指向和隔振一体化多维并联平台属于精密设备，接触式位移传感器可能会影响驱动支腿的运动精度，因此，本实施例中所述位移传感器优选为非接触式位移传感器。
非接触式位移传感器包括激光式位移传感器、光栅式位移传感器、涡流式位移传感器等。本实施例提供的指向和隔振一体化多维并联平台应用于航天器，为避免占用空间较大，本实施例所述的指向和隔振一体化多维并联平台的结构紧凑，使得驱动支腿内部的空间有限，且本发明实施例中驱动支腿中设置有音圈电机，所述音圈电机包括音圈电机定子，所述音圈电机定子优选为永磁体，有较强的磁场干扰，所以对于位移传感器有结构小、质量轻、便于安装、不受磁场影响等要求。而激光式位移传感器体积较大，价格较高；涡流式位移传感器在强磁场环境中无法正常工作。基于此，本发明实施例中优选的，所述位移传感器为光栅位移传感器，也即光栅尺。
光栅尺包括光栅尺板和光栅尺本体，所述光栅尺设置在所述驱动支腿的壳体上，所述光栅尺板设置在所述驱动支腿的壳体内的腔体内。具体的，请参考图2，图2为本发明实施例提供的一种驱动支腿的剖面结构示意图，驱动支腿3包括：上压环31、上下弹簧片32、壳体33、音圈电机动子34、音圈电机定子35、下夹板36、上夹板37、光栅尺板38、光栅尺本体39、连接柱310、转接板311、下压环312。其中，驱动支腿3的壳体33为音圈电机定子35的安装基座，上下弹簧片32保护音圈电机，且串联单个驱动支腿，上下弹簧片32为音圈电机动子34及驱动支腿3上部结构提供弹性支撑；音圈电机动子34通过上弹簧片及驱动支腿3的上层结构为并联平台提供特定频率、推力的轴向振动；连接柱310用于连接音圈电机动子34和上下弹簧片32，且可以防止驱动支腿3的轴向位移超出设计指标，避免对驱动支腿的结构造成破坏，同时，连接两个弹簧片32，保证音圈电机动子34只能沿驱动支腿的轴线方向运动；上压环31、下夹板36、上夹板37、下压环312起到固定作用，上压环31和下压环312分别把上下弹簧片32外圈固定在驱动腿壳体33上端和下端，上夹板37把上弹簧片内圈固定在连接柱310上端，下夹板36把下弹簧片内圈固定在转接板311上，转接板311用于将连接柱310下端、弹簧片32内圈和下夹板36连接在一起。
本发明实施例中，可选的，上下弹簧片32如图3所示，采用五层分布的圆环组成，每个圆环由四组均布的圆槽花纹组成，本实施例中不限定所述圆槽花纹的具体制作工艺，可选的，所述圆槽花纹采用电化学蚀刻加工，由于制作过程中，无宏观切削力，消除了机械加工带来的残余应力，对所述弹簧片起到保护作用，本实施例中同样不限定所述上下弹簧片32的材质，可选的，弹簧片的材料可以采用铍铜。通过弹簧片的优化设计，能够使得并联平台的工作频率最高可以达到400Hz，使该平台能够在400Hz的振动环境中也可以正常工作。如图4A所示，为弹簧片应力测试结果图，当在弹簧片中心加载2mm位移时，最大应力为193MPa，应力集中现象不明显，图4B为弹簧片的径向刚度测试结果图，径向刚度为3105.6N/mm，图4C为弹簧片的轴向刚度测试结果图，轴向刚度为8.39N/mm，弹簧片轴向刚度远远低于径向刚度，可以保证驱动支腿的轴向运动。
需要说明的是，本发明实施例中不限定上平台1和下平台4的结构，可选的，所述上平台为进行了轻量化处理的上平台，本实施例中可选的，如图5所示，所述上平台采用加强筋结构，且加强筋分布采用等边三角形交叉分布，在质量一定的情况下，能够增加上平台的刚度。
需要说明的是，如图1所示，本发明实施例提供的指向和隔振一体化多维并联平台中，每个驱动支腿3与上平台1通过两个柔性铰链2连接，且两个柔性铰链2通过连接杆6连接。刚性铰链在运动中，存在间隙，会产生非线性误差，导致指向存在较大的误差，难以控制。虽然可以通过装调和预压紧减小间隙，但很难从根本上解决非线性误差。而本实施例中采用柔性铰链，如图6所示，柔性铰链采用圆柱形结构，且沿垂直于圆柱体的轴线的两个相对的方向上，在圆柱体上具有相互反向的活动间隙21。柔性铰链具有无间隙(此处间隙是指多个结构部件之间的间隙)、无摩擦、体积小、轴向刚度大、精度高等特点。相对于胡克铰链，柔性铰链体积更小，并且没有间隙(此处间隙是指多个结构部件之间的间隙)，能够消除铰链运动产生的非线性误差，从而不会产生非线性误差，能够实现精确指向。本实施例中通过采用两个柔性铰链，能够实现上平台的六个自由度的运动，即分别沿着X、Y、Z轴方向的移动和绕X、Y、Z轴方向的转动。
本实施例中驱动支腿与下平台之间的连接方式，本实施例中对此不做限定，可选的，本实施例中如图1所示，驱动支腿3与下平台4之间为固定连接，每个驱动支腿3的壳体与下平台4之间固定连接，也即驱动支腿3的壳体直接固定在下平台4上，从而使得驱动支腿质量最大的部分(音圈电机和壳体)直接固定在下平台上，能够提高并联平台的固有频率，并联平台工作频率带宽随之提高，经过实验验证，本实施例提供的指向和隔振一体化多维并联平台的有效带宽为0.1～500Hz，激振量级为10-5g～10-3g。
需要说明的是，为了限定上平台与下平台之间的上下位移和侧向位移，如图1所示，本发明实施例提供的指向和隔振一体化多维并联平台还包括限位装置8，如图7所示，为本发明实施例提供的限位装置的剖面结构示意图；限位装置8包括限位动板81和限位定板82，限位动板81与上平台1固定连接，限位定板82与下平台4固定连接。限位装置8能够限制上平台轴方向的上下、侧向位移均不超过3mm，保证驱动支腿的安全。
需要说明的是，由于本发明实施例中提供的指向和隔振一体化多维并联平台最终是应用于太空中的，考虑到并联平台后期的地面试验测试、调整、控制等工作需要模拟太空环境，如图1所示，本发明实施例提供的指向和隔振一体化多维并联平台还可以包括气浮装置7，气浮装置7用于卸载所述上平台的自身重力以及所述上平台上的负载重力，从而模拟无重力试验环境。
综上所述，本发明实施例提供的指向和隔振一体化多维并联平台工作时，调节气浮装置7可以实现负载的重力卸载，模拟无重力环境。调节6根驱动支腿的伸缩控制上平台及负载的六维运动，可实现位姿调整和振动隔离功能。通过上平台安装的六个加速度传感器测量所在环境的振动，反馈至控制系统，如上位机，控制音圈电机完成振动的隔离；通过光栅尺测量单腿位移量，与指定位移量差值返回至上位机，完成并联平台的精密指向。指向和隔振一体化多维并联平台输出的振动形式为特定谱型的多维随机振动，有效带宽为0.1～500Hz，激振量级为10-5g～10-3g。
本发明提供的指向和隔振一体化多维并联平台的应用领域包括空间平台上精密设备的微振动隔离及位姿调整，为其提供超静运动平台，如空间光学遥感器的次镜调整与振动隔离。同时，也可以应用于地面，提供超静运动平台、模拟空间多维微振动等。
本发明提供的指向和隔振一体化多维并联平台包括上平台、下平台、六根驱动支腿和六个加速度传感器，且每个驱动支腿上还设置有位移传感器，其中，位移传感器，用于测量驱动支腿的轴向位移，并将轴向位移反馈至控制系统，以使控制系统控制上平台的位姿，实现精确指向；加速度传感器用于测量驱动支腿的运动加速度，并将运动加速度反馈至控制系统，以使控制系统控制音圈电机运动，实现振动隔离。也即通过设置加速度传感器和位移传感器测量驱动支腿的运动量，从而反馈至控制系统，进而使得控制系统对驱动支腿和上平台进行控制，集成指向功能和隔振功能于一体，得到指向和隔振一体化多维并联平台，使得指向和隔振一体化多维并联平台代替现有技术中的独立工作的隔振系统和精密指向系统，从而大大节省空间设备的体积和重量。
本发明另外的实施例还提供一种指向和隔振一体化系统，包括上面实施例所述的指向和隔振一体化多维并联平台和控制系统，所述控制系统与所述指向和隔振一体化多维并联平台的加速度传感器和位移传感器相连，并根据所述加速度传感器测量得到的驱动支腿的运动加速度，控制所述驱动支腿内的音圈电机运动，实现振动隔离，以及根据所述位移传感器测量得到的所述驱动支腿的轴向位移，控制所述指向和隔振一体化多维并联平台的上平台的位姿，实现精确指向。
所述控制系统可以是上位机或其他控制器组成的控制系统，本实施例中对此不做限定。
本发明提供的指向和隔振一体化系统，通过加速度传感器和位移传感器的测量，并将测量数据反馈给控制系统，控制系统根据反馈内容控制驱动支腿或上平台运动，从而实现隔振和精确指向，将隔振和指向集成在一个并联平台上，从而节省空间设备的体积和重量。
需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，包括：
上平台、下平台、六根驱动支腿；
所述六根驱动支腿中相邻两个驱动支腿相互垂直，所述六根驱动支腿按照Stewart平台形式安装；每个所述驱动支腿与所述上平台通过两个柔性铰链连接，且所述两个柔性铰链通过连接杆连接；
六根所述驱动支腿的结构相同，均包括：壳体；位于所述壳体内部的音圈电机，所述音圈电机为所述驱动支腿的动力源；位移传感器，用于测量所述驱动支腿的轴向位移，并将所述轴向位移反馈至控制系统，以使所述控制系统控制所述上平台的位姿，实现精确指向；
设置在所述上平台朝向所述下平台的表面上的六个加速度传感器，所述加速度传感器设置在所述驱动支腿的上方，且与所述驱动支腿一一对应设置，所述加速度传感器用于测量所述驱动支腿的运动加速度，并将所述运动加速度反馈至所述控制系统，以使所述控制系统控制所述音圈电机运动，实现振动隔离。
2.根据权利要求1所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，所述柔性铰链为圆柱体结构，且沿垂直于所述圆柱体的轴线的两个相对的方向上，在所述圆柱体上具有相互反向的活动间隙。
3.根据权利要求1所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，每个所述驱动支腿的壳体与所述下平台固定连接。
4.根据权利要求1所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，所述位移传感器为光栅尺。
5.根据权利要求4所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，所述光栅尺包括光栅尺板和光栅尺本体，所述光栅尺设置在所述驱动支腿的壳体上，所述光栅尺板设置在所述驱动支腿的壳体内的腔体内。
6.根据权利要求1所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，还包括限位装置，所述限位装置包括限位动板和限位定板，所述限位动板与所述上平台固定连接，所述限位定板与所述下平台固定连接。
7.根据权利要求6所述的指向和隔振一体化多维并联平台，其特征在于，所述限位装置内部为腔体结构，所述指向和隔振一体化多维并联平台还包括气浮装置，所述气浮装置设置在所述限位装置的腔体结构内。
8.一种指向和隔振一体化系统，其特征在于，包括权利要求1-7任意一项所述的指向和隔振一体化多维并联平台和控制系统，所述控制系统与所述指向和隔振一体化多维并联平台的加速度传感器和位移传感器相连，并根据所述加速度传感器测量得到的驱动支腿的运动加速度，控制所述驱动支腿内的音圈电机运动，实现振动隔离，以及根据所述位移传感器测量得到的所述驱动支腿的轴向位移，控制所述指向和隔振一体化多维并联平台的上平台的位姿，实现精确指向。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109027088B (zh) * 2018-09-20 2019-11-12 上海大学 一种基于Stewart结构的混合型减振器
CN110439958B (zh) * 2019-08-29 2023-09-26 华南理工大学 一种平面二自由度微扰动柔性主动隔振装置与方法
CN113915281B (zh) * 2021-09-02 2023-02-28 季华实验室 隔振装置及隔振系统
CN114362471B (zh) * 2021-12-10 2023-07-14 浙江大学杭州国际科创中心 双级多自由度空间位置精密稳定系统
CN114354110B (zh) * 2021-12-30 2023-03-24 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 多维微振动模拟器
CN114608775B (zh) * 2022-03-15 2024-04-30 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种基于粗精级驱动组件的支腿型多维微振动模拟器
CN115291516B (zh) * 2022-08-02 2024-03-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 隔振指向平台模态解耦控制方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6196514B1 (en) * 1998-09-18 2001-03-06 Csa Engineering, Inc. Large airborne stabilization/vibration isolation system
CN103267210B (zh) * 2013-05-16 2015-06-10 燕山大学 一种六自由度并联指向平台
CN103587724B (zh) * 2013-09-24 2016-04-13 南京航空航天大学 一种基于Stewart并联机构的六自由度隔振平台
CN105204543B (zh) * 2015-09-15 2017-08-01 上海交通大学 一种电磁驱动的Stewart主被动一体隔振平台
CN105252530A (zh) * 2015-11-27 2016-01-20 哈尔滨工业大学 一种六自由度大行程柔性并联平台

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