CN106835278A - 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉 - Google Patents

一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉 Download PDF

Info

Publication number
CN106835278A
CN106835278A CN201710024371.7A CN201710024371A CN106835278A CN 106835278 A CN106835278 A CN 106835278A CN 201710024371 A CN201710024371 A CN 201710024371A CN 106835278 A CN106835278 A CN 106835278A
Authority
CN
China
Prior art keywords
heater
water
furnace
controller
crystal
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201710024371.7A
Other languages
English (en)
Inventor
蔺崇召
姚刚
孙占喜
李吾臣
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
XUCHANG TIANGE SILICON TECHNOLOGY Co Ltd
Original Assignee
XUCHANG TIANGE SILICON TECHNOLOGY Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by XUCHANG TIANGE SILICON TECHNOLOGY Co Ltd filed Critical XUCHANG TIANGE SILICON TECHNOLOGY Co Ltd
Priority to CN201710024371.7A priority Critical patent/CN106835278A/zh
Publication of CN106835278A publication Critical patent/CN106835278A/zh
Priority to PCT/CN2017/088929 priority patent/WO2018129862A1/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
    • C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
    • C30B29/16—Oxides
    • C30B29/20—Aluminium oxides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/10—Crucibles or containers for supporting the melt
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/14—Heating of the melt or the crystallised materials
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C30—CRYSTAL GROWTH
    • C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
    • C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
    • C30B15/20—Controlling or regulating
    • C30B15/206—Controlling or regulating the thermal history of growing the ingot

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)

Abstract

本发明公开供一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉，生长炉加热器，包括环形基筒、加热环以及电机，加热环设置在环形基筒的内壁上，且加热环通过导线与炉体外部的加热元件电源和控制器连接，炉体的炉盖上对称设置有两个电机，电机与控制器通过导线连接，电机的输出轴上绕设有提拉线，提拉线的下端穿过炉体并与环形基筒的上端固定连接。本发明的蓝宝石晶体生长炉为较为环保的低能耗生长炉，生长炉内的加热器可灵活调节，并且长晶炉还配有换热器，换热器用于保护气和冷却循环水之间的热量交换，利用冷却循环水的热量使充入炉体内的保护气升温，带有热量的保护气进入炉体内，能进一步提高炉内的保温效果，实现了坩埚冷却循环水热量的重新利用。

Description

一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉
技术领域
本发明涉及蓝宝石制备设备技术领域，具体涉及一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉。
背景技术
蓝宝石即AL203单晶体，具有熔点高、硬度高、导热性好、透过光波段宽、电绝缘性好、耐强酸强碱腐蚀等特点，因此作为重要的技术晶体材料，被广泛应用在国防、军事、科研等一系列高科技技术领域，同时在民用工业上也有大量的应用，如发光二极管、微电子电路、光学传感性、光波导器件及LED节能领域。。
随着技术进步，人工生产蓝宝石晶体的方法越来越多，但无论哪一种好方法，只有达到蓝宝石晶体的长晶温度，蓝宝石晶体才能生长，然而现有的很多长晶炉加热元件结构较为简单，若要使炉内达到2000多度的高温，保证蓝宝石晶体生长的温度，就得不停的大功率加热，对电的消耗巨大，能源浪费严重。
发明内容
本发明的目的是为解决上述技术问题的不足，提供一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉，晶体生长炉内的加热器可灵活调节，并且通过换热器可将坩埚冷却循环水的热量重新利用，用于炉体内部的保温。
本发明为解决上述技术问题的不足，所采用的技术方案是：一种晶体生长炉加热器，包括环形基筒、加热环以及用于驱动基筒上下移动的电机，加热环设置在环形基筒的内壁上，且加热环通过导线与炉体外部的加热元件电源和控制器连接，所述炉体的炉盖上对称设置有两个电机，电机与控制器通过导线连接，电机的输出轴上绕设有提拉线，提拉线的下端穿过炉体并与环形基筒的上端固定连接。
作为本发明一种晶体生长炉加热器的进一步改进：所述提拉线上设置有温度传感器，温度传感器通过导线与控制器连接。
一种蓝宝石晶体生长炉，包括上述的生长炉加热器。
作为上述一种蓝宝石晶体生长炉的进一步优化：生长炉包括炉体、坩埚、冷却器和换热器，所述炉体的内壁和底壁上均设置有隔热层，炉体的侧壁上部设置有用于向炉体内部充入惰性保护气的进气孔，炉体的侧壁下部设置有用于抽真空的排气孔，所述坩埚设置在炉体内部，炉体的顶部中心位置设置可供拉晶杆穿过的通孔，拉晶杆的下端穿过该通孔并置于坩埚上方，且拉晶杆的下端端头设置有籽晶；
所述坩埚的底部设置有冷却组件，冷却组件包括与坩埚底部紧密贴合的水冷盘以及用于支撑水冷盘的支杆，水冷盘的内部盘设有水冷管，炉体的底部对应支杆的下端处设置有管道口，所述支杆为中空杆体，水冷管的进水端和出水端均穿过支杆内部并置于炉体外；所述水冷管的出水端连接有排水管，排水管的尾端分为两根支管，其中一根支管连接至换热器的循环水流道进口，另外一根支管连接至冷却器的进水口，且两根支管上均设置有流量控制阀，流量控制阀通过导线与控制器连接，换热器的循环水流道出口和冷却器的出水口通过管道汇集后经进水管连接至水冷管的进水端，所述换热器的保护气流道进口连接至供气系统，换热器的保护气流道出口连接至炉体上的进气孔；
所述加热系统包括环形基筒、加热环以及用于驱动基筒上下移动的电机，环形基筒罩设在坩埚的外部，加热环设置在环形基筒的内壁上，且加热环通过导线与炉体外部的加热元件电源和控制器连接，所述炉体的炉盖上对称设置有两个电机，电机与控制器通过导线连接，电机的输出轴上绕设有提拉线，提拉线的下端穿过炉体并与环形基筒的上端固定连接。
作为上述蓝宝石晶体生长炉的进一步优化：所述炉体的侧壁还开设有观察窗。
作为上述蓝宝石晶体生长炉的进一步优化：所述隔热层的材质为氧化锆。
有益效果
一、本发明的晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉具有低能耗的优点，晶体生长炉内的加热器可灵活调节，不需要完全包裹坩埚的加热元件，但是通过加热器的不断移动，就能够保证坩埚达到所需的长晶温度，另外本发明的晶体生长炉还配有换热器，换热器用于保护气和冷却循环水之间的热量交换，利用冷却循环水的热量使充入炉体内的保护气升温，带有一定温度的保护气进入炉体内，能进一步提高炉内的保温效果，实现了坩埚冷却循环水热量的重新利用；
二、本发明的蓝宝石晶体生长炉还具有可智能调节的循环水冷却器，冷却器的冷却管道进水端设置分流调节阀，出水端设置温度传感器，根据温度传感器的反馈调节分流调节阀，控制需要冷却的水走直流管或者螺旋管，使出水口流出的水再要求温度下，有利于维持蓝宝石晶体生长炉的冷却系统的稳定性和冷却效果。
附图说明
图1为本发明晶体生长炉加热器的结构示意图；
图2为本发明蓝宝石晶体生长炉的内部结构示意图；
图3是本发明冷却器中冷却管道与分流器和汇流器的连接意图；
图4是本发明冷却器中分流器的结构示意图；
图5是本发明冷却器中汇流器的结构示意图；
图6是本发明冷却器的外部结构示意图。
图中标记：1、炉体，2、坩埚，3、冷却器，4、换热器，5、隔热层，6、进气孔，7、排气孔，8、拉晶杆，9、籽晶,10、水冷盘，11、支杆，12、水冷管，13、排水管，14、流量控制阀，15、进水管，16、环形基筒，17、加热环，18、电机，19、提拉线，20、箱体，21、分流器，22、汇流器，23、直流管，24、螺旋管。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明作进一步描述：
如图1所示：一种晶体生长炉加热器，包括环形基筒16、加热环17以及用于驱动基筒上下移动的电机18，环形基筒16罩设在坩埚2的外部，加热环17设置在环形基筒16的内壁上，且加热环17通过导线与炉体1外部的加热元件电源和控制器连接，所述炉体1的炉盖上对称设置有两个电机18，电机18与控制器通过导线连接，电机18的输出轴上绕设有提拉线19，提拉线19的下端穿过炉体1并与环形基筒16的上端固定连接。提拉线19上设置有温度传感器，温度传感器通过导线与控制器连接。
图2所示：一种蓝宝石晶体生长炉，包括炉体1、坩埚2、加热器、冷却器3、换热器4和控制器，加热器用于炉体1内部的加热，冷却器3用于冷却循环水，换热器4具有可进行热交换的循环水流道和保护气流道，所述炉体1的侧壁还开设有观察窗。所述炉体1的内壁和底壁上均设置有隔热层5，隔热层5的材质为氧化锆。炉体1的侧壁上部设置有用于向炉体1内部充入惰性保护气的进气孔6，炉体1的侧壁下部设置有用于抽真空的排气孔7，所述坩埚2设置在炉体1内部，炉体1的顶部中心位置设置可供拉晶杆8穿过的通孔，拉晶杆8的下端穿过该通孔并置于坩埚2上方，且拉晶杆8的下端端头设置有籽晶9。所述坩埚2的底部设置有冷却组件，冷却组件包括与坩埚2底部紧密贴合的水冷盘10以及用于支撑水冷盘10的支杆11，水冷盘10的内部盘设有水冷管12，炉体1的底部对应支杆11的下端处设置有管道口，所述支杆11为中空杆体，水冷管12的进水端和出水端均穿过支杆11内部并置于炉体1外；所述水冷管12的出水端连接有排水管13，排水管13的尾端分为两根支管，其中一根支管连接至换热器4的循环水流道进口，另外一根支管连接至冷却器3的进水口，且两根支管上均设置有流量控制阀14，流量控制阀14通过导线与控制器连接，换热器4的循环水流道出口和冷却器3的出水口通过管道汇集后经进水管15连接至水冷管12的进水端，所述换热器4的保护气流道进口连接至供气系统，换热器4的保护气流道出口连接至炉体1上的进气孔6。
如图3-6所示：为本发明中冷却器的具体结构，所述所述冷却器包括箱体20、分流器21、汇流器22和三组平行设置的冷却管道，分流器21和汇流器22分别设置在箱体20相对的两端，分流器21包括前表面设置的一个进水口和后表面设置的三组分流口，每组分流口包括两个通水口，分流器21的每一组分流口都设置一个分流调节阀，且分流调节阀与控制器通过线路控制连接，汇流器22包括前表面设置的三组汇流口和后表面设置的一个出水口，每组汇流口包括两个通水口，汇流器22的出水口处设置有温度传感器，且温度传感器与控制器通过线路控制连接，所述冷却管道包括直流管23和螺旋管24，直流管23设置在螺旋管24的螺旋中心，冷却管道的前端通过分流调节阀与分流器21连接，末端与汇流器22的汇流口连接。
冷却器中的温度传感器用于检测汇流器的出水口排出水的温度，通过设定对比值，当感应到的温度低于设定值时指示灯为绿色，说明冷却效果符合要求，感应到的温度值高于设定值时说明冷却水未达到需求的温度，需要调节分流调节阀，使冷却水得到更充分的冷却，操作台上的控制器设有手动工作模式和自动工作模式两种，自动工作模式下分流调节阀根据温度传感器的反馈进行智能调节，手动工作模式可根据操作台上的指示灯情况人工调节分流调节阀的工作情况，自动工作模式用于正常情况，手动工作模式用于冷却系统冷却效果不稳定，内部出现故障或维修时的调节等突发状况。通过传感器进行反馈调节，设置自动工作模式和手动工作模式，可应对使用中遇见的多种状况，可以大大减少冷却系统的冷却水的储备量，对冷却系统的冷却工作有很大的帮助。
以上说明对本发明而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本发明的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶体生长炉加热器，其特征在于：所述加热系统包括环形基筒（16）、加热环（17）以及用于驱动基筒上下移动的电机（18），加热环（17）设置在环形基筒（16）的内壁上，且加热环（17）通过导线与炉体（1）外部的加热元件电源和控制器连接，所述炉体（1）的炉盖上对称设置有两个电机（18），电机（18）与控制器通过导线连接，电机（18）的输出轴上绕设有提拉线（19），提拉线（19）的下端穿过炉体（1）并与环形基筒（16）的上端固定连接。
2.如权利要求1所述一种晶体生长炉加热器，其特征在于：所述提拉线（19）上设置有温度传感器，温度传感器通过导线与控制器连接。
3.一种蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：包括权利要求1或权利要求2所述的晶体生长炉加热器。
4.如权利要求3所述的蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：晶体生长炉还包括炉体（1）、坩埚（2）、冷却器（3）和换热器（4）；
所述炉体（1）的内壁和底壁上均设置有隔热层（5），炉体（1）的侧壁上部设置有用于向炉体（1）内部充入惰性保护气的进气孔（6），炉体（1）的侧壁下部设置有用于抽真空的排气孔（7），所述坩埚（2）设置在炉体（1）内部，炉体（1）的顶部中心位置设置可供拉晶杆（8）穿过的通孔，拉晶杆（8）的下端穿过该通孔并置于坩埚（2）上方，且拉晶杆（8）的下端端头设置有籽晶（9）；
所述坩埚（2）的底部设置有冷却组件，冷却组件包括与坩埚（2）底部紧密贴合的水冷盘（10）以及用于支撑水冷盘（10）的支杆（11），水冷盘（10）的内部盘设有水冷管（12），炉体（1）的底部对应支杆（11）的下端处设置有管道口，所述支杆（11）为中空杆体，水冷管（12）的进水端和出水端均穿过支杆（11）内部并置于炉体（1）外；所述水冷管（12）的出水端连接有排水管（13），排水管（13）的尾端分为两根支管，其中一根支管连接至换热器（4）的循环水流道进口，另外一根支管连接至冷却器（3）的进水口，且两根支管上均设置有流量控制阀（14），流量控制阀（14）通过导线与控制器连接，换热器（4）的循环水流道出口和冷却器（3）的出水口通过管道汇集后经进水管（15）连接至水冷管（12）的进水端，所述换热器（4）的保护气流道进口连接至供气系统，换热器（4）的保护气流道出口连接至炉体（1）上的进气孔（6）；
所述冷却器包括箱体（20）、分流器（21）、汇流器（22）和三组平行设置的冷却管道，分流器（21）和汇流器（22）分别设置在箱体（20）相对的两端，分流器（21）包括前表面设置的一个进水口和后表面设置的三组分流口，每组分流口包括两个通水口，分流器（21）的每一组分流口都设置一个分流调节阀，且分流调节阀与控制器通过线路控制连接，汇流器（22）包括前表面设置的三组汇流口和后表面设置的一个出水口，每组汇流口包括两个通水口，汇流器（22）的出水口处设置有温度传感器，且温度传感器与控制器通过线路控制连接，所述冷却管道包括直流管（23）和螺旋管（24），直流管（23）设置在螺旋管（24）的螺旋中心，冷却管道的前端通过分流调节阀与分流器（21）连接，末端与汇流器（22）的汇流口连接。
5.如权利要求4所述的一种蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述炉体（1）的侧壁还开设有观察窗。
6.如权利要求4所述的一种蓝宝石晶体生长炉，其特征在于：所述隔热层（5）的材质为氧化锆。
CN201710024371.7A 2017-01-13 2017-01-13 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉 Pending CN106835278A (zh)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710024371.7A CN106835278A (zh) 2017-01-13 2017-01-13 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉
PCT/CN2017/088929 WO2018129862A1 (zh) 2017-01-13 2017-06-19 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201710024371.7A CN106835278A (zh) 2017-01-13 2017-01-13 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106835278A true CN106835278A (zh) 2017-06-13

Family

ID=59124012

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201710024371.7A Pending CN106835278A (zh) 2017-01-13 2017-01-13 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉

Country Status (2)

Country Link
CN (1) CN106835278A (zh)
WO (1) WO2018129862A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018129862A1 (zh) * 2017-01-13 2018-07-19 许昌天戈硅业科技有限公司 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉
WO2018129863A1 (zh) * 2017-01-13 2018-07-19 许昌天戈硅业科技有限公司 一种低能耗蓝宝石晶体生长炉
CN112144109A (zh) * 2020-04-28 2020-12-29 天通银厦新材料有限公司 600kg蓝宝石晶体生长炉

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108980385B (zh) * 2018-09-21 2024-01-12 山东理工大学 可调流量多水路非晶结晶器
CN112374766B (zh) * 2020-11-13 2022-10-18 重庆理工大学 一种用于小尺寸圆管内壁薄膜沉积的装置
CN117512778A (zh) * 2024-01-02 2024-02-06 内蒙古晶环电子材料有限公司 保温结构的异常监测方法

Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201087816Y (zh) * 2007-03-29 2008-07-16 浙江银轮机械股份有限公司 一种管壳式热交换器的冷却管
CN101967675A (zh) * 2010-11-01 2011-02-09 王楚雯 制造单晶锭的装置
CN102084037A (zh) * 2008-06-16 2011-06-01 Gt太阳能公司 通过定向固化生长单晶硅锭的系统及方法
CN201962418U (zh) * 2011-02-24 2011-09-07 浙江昀丰新能源科技有限公司 一种蓝宝石单晶炉
CN201962419U (zh) * 2011-02-24 2011-09-07 浙江昀丰新能源科技有限公司 一种蓝宝石单晶炉
CN102345161A (zh) * 2011-08-29 2012-02-08 江苏同人电子有限公司 晶体生长炉加热器和蓝宝石晶体生长炉
CN103697719A (zh) * 2013-12-30 2014-04-02 国核华清（北京）核电技术研发中心有限公司 一种并联多支路冷却水分配与调节系统
CN203530480U (zh) * 2013-09-06 2014-04-09 上海森松压力容器有限公司 生长蓝宝石单晶的设备
CN103741204A (zh) * 2013-12-19 2014-04-23 江苏吉星新材料有限公司 一种晶体生长装置
CN204211856U (zh) * 2014-11-14 2015-03-18 英利能源（中国）有限公司 一种带有换热系统的多晶铸锭炉
CN204779922U (zh) * 2015-06-04 2015-11-18 浙江精功科技股份有限公司 一种具有侧加热器升降装置的铸锭炉

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
SE360276B (zh) * 1968-09-20 1973-09-24 Montedison Spa
CN102383187B (zh) * 2011-11-28 2014-04-23 天通控股股份有限公司 一种蓝宝石单晶生长方法
CN203820921U (zh) * 2014-03-21 2014-09-10 宁晋赛美港龙电子材料有限公司 一种单晶提拉装置
CN204281885U (zh) * 2014-10-13 2015-04-22 重庆工业职业技术学院 一种提拉法生长晶体的节能装置
CN205152397U (zh) * 2015-11-30 2016-04-13 山东省科学院能源研究所 一种提高物理气相传输法晶体生长炉温场均匀性的装置
CN106835278A (zh) * 2017-01-13 2017-06-13 许昌天戈硅业科技有限公司 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉

Patent Citations (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN201087816Y (zh) * 2007-03-29 2008-07-16 浙江银轮机械股份有限公司 一种管壳式热交换器的冷却管
CN102084037A (zh) * 2008-06-16 2011-06-01 Gt太阳能公司 通过定向固化生长单晶硅锭的系统及方法
CN101967675A (zh) * 2010-11-01 2011-02-09 王楚雯 制造单晶锭的装置
CN201962418U (zh) * 2011-02-24 2011-09-07 浙江昀丰新能源科技有限公司 一种蓝宝石单晶炉
CN201962419U (zh) * 2011-02-24 2011-09-07 浙江昀丰新能源科技有限公司 一种蓝宝石单晶炉
CN102345161A (zh) * 2011-08-29 2012-02-08 江苏同人电子有限公司 晶体生长炉加热器和蓝宝石晶体生长炉
CN203530480U (zh) * 2013-09-06 2014-04-09 上海森松压力容器有限公司 生长蓝宝石单晶的设备
CN103741204A (zh) * 2013-12-19 2014-04-23 江苏吉星新材料有限公司 一种晶体生长装置
CN103697719A (zh) * 2013-12-30 2014-04-02 国核华清（北京）核电技术研发中心有限公司 一种并联多支路冷却水分配与调节系统
CN204211856U (zh) * 2014-11-14 2015-03-18 英利能源（中国）有限公司 一种带有换热系统的多晶铸锭炉
CN204779922U (zh) * 2015-06-04 2015-11-18 浙江精功科技股份有限公司 一种具有侧加热器升降装置的铸锭炉

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2018129862A1 (zh) * 2017-01-13 2018-07-19 许昌天戈硅业科技有限公司 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉
WO2018129863A1 (zh) * 2017-01-13 2018-07-19 许昌天戈硅业科技有限公司 一种低能耗蓝宝石晶体生长炉
CN112144109A (zh) * 2020-04-28 2020-12-29 天通银厦新材料有限公司 600kg蓝宝石晶体生长炉

Also Published As

Publication number Publication date
WO2018129862A1 (zh) 2018-07-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106835278A (zh) 一种晶体生长炉加热器以及蓝宝石晶体生长炉
WO2018129863A1 (zh) 一种低能耗蓝宝石晶体生长炉
CN103636549B (zh) 一种可增氧控温的养殖池
CN103266348B (zh) 快速节能单晶硅拉制停炉工艺
CN109385648A (zh) 一种铜箔翘曲热处理装置及方法
CN206736402U (zh) 用于直拉法生产单晶硅棒的单晶炉
CN215365783U (zh) 一种具备控温功能的生物培养箱
CN105004188B (zh) 一种可直接进行水冷却的窑炉和用其进行烧青砖的方法
CN219689927U (zh) 一种直拉式单晶硅棒生产的冷却设备
CN207294942U (zh) 一种带石墨和水冷复合热屏的高效单晶生长炉
CN206620584U (zh) 一种基于太阳能热能的农业用蔬菜大棚
CN210945850U (zh) 新型液封冷却提拉晶体生长装置
CN206799790U (zh) 单晶炉
CN108361875A (zh) 废气热回收净化通风系统
CN106894082B (zh) 单晶硅生长炉
CN106718358A (zh) 一种温棚及其环境控制系统
CN206902281U (zh) 一种单晶炉
CN207135673U (zh) 一种温棚及其环境控制系统
CN204752521U (zh) 一种玻璃瓶退火窑冷却节能装置
CN204902601U (zh) 一种可直接进行水冷却的窑炉
CN211447388U (zh) 一种自动散热玻璃幕墙
CN208154684U (zh) 一种废气热回收净化通风系统
CN207600125U (zh) 一种耐火材料干燥炉
CN206739495U (zh) 一种基于室内种植箱的温度调节系统
CN207400063U (zh) 一种食用菌大棚用通风结构

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
AD01 Patent right deemed abandoned
AD01 Patent right deemed abandoned

Effective date of abandoning: 20200110