CN106796985A - 无机多层层压转印膜 - Google Patents
无机多层层压转印膜 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106796985A CN106796985A CN201580045381.8A CN201580045381A CN106796985A CN 106796985 A CN106796985 A CN 106796985A CN 201580045381 A CN201580045381 A CN 201580045381A CN 106796985 A CN106796985 A CN 106796985A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- layer
- transfer film
- lamination stack
- heat stable
- former
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims abstract description 81
- 238000003475 lamination Methods 0.000 title claims description 84
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 58
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 41
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 166
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 64
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 claims description 43
- -1 polysiloxanes Polymers 0.000 claims description 43
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 34
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 26
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 25
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 14
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 13
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 11
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 claims description 7
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 claims description 7
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 4
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 claims description 4
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 3
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 claims 2
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 claims 2
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 claims 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 152
- 239000010408 film Substances 0.000 description 50
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 20
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 19
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 18
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 17
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 17
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 15
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 15
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 14
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 13
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 13
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 13
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 12
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 12
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 12
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 12
- 239000000047 product Substances 0.000 description 10
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 10
- BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N Methyl acrylate Chemical compound COC(=O)C=C BAPJBEWLBFYGME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 9
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 9
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 9
- 238000000280 densification Methods 0.000 description 9
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 9
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 9
- 238000000197 pyrolysis Methods 0.000 description 9
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 9
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 9
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 8
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 8
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 8
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 8
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 7
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 description 7
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 7
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 7
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 7
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 6
- 230000003750 conditioning effect Effects 0.000 description 6
- 238000001125 extrusion Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 6
- 150000002431 hydrogen Chemical group 0.000 description 6
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 6
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 6
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N Acetic acid Chemical compound CC(O)=O QTBSBXVTEAMEQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 5
- 239000008199 coating composition Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol Natural products OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 5
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 5
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 5
- DXPPIEDUBFUSEZ-UHFFFAOYSA-N 6-methylheptyl prop-2-enoate Chemical group CC(C)CCCCCOC(=O)C=C DXPPIEDUBFUSEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical class CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical class C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N acetylacetone Chemical compound CC(=O)CC(C)=O YRKCREAYFQTBPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000013019 agitation Methods 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 150000003254 radicals Chemical group 0.000 description 4
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 4
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 4
- 239000007962 solid dispersion Substances 0.000 description 4
- 238000007711 solidification Methods 0.000 description 4
- 230000008023 solidification Effects 0.000 description 4
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 4
- 239000003643 water by type Substances 0.000 description 4
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical class COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 3
- 239000004594 Masterbatch (MB) Substances 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N Phenol Chemical compound OC1=CC=CC=C1 ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 229910052794 bromium Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 3
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007046 ethoxylation reaction Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 3
- 238000007731 hot pressing Methods 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052740 iodine Inorganic materials 0.000 description 3
- 229920001684 low density polyethylene Polymers 0.000 description 3
- 239000004702 low-density polyethylene Substances 0.000 description 3
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 3
- 239000003607 modifier Substances 0.000 description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 3
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 3
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 3
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 3
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 3
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 3
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 3
- PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N (fluoren-9-ylideneamino) n-naphthalen-1-ylcarbamate Chemical compound C12=CC=CC=C2C2=CC=CC=C2C1=NOC(=O)NC1=CC=CC2=CC=CC=C12 PFNQVRZLDWYSCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M .beta-Phenylacrylic acid Natural products [O-]C(=O)\C=C\C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-VOTSOKGWSA-M 0.000 description 2
- 125000003860 C1-C20 alkoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 description 2
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 241001465754 Metazoa Species 0.000 description 2
- 240000007594 Oryza sativa Species 0.000 description 2
- 235000007164 Oryza sativa Nutrition 0.000 description 2
- XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N Phosphine Chemical compound P XYFCBTPGUUZFHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 2
- 229920002873 Polyethylenimine Polymers 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000577 Silicon-germanium Inorganic materials 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005083 Zinc sulfide Substances 0.000 description 2
- CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N acetylacetonate Chemical compound CC(=O)[CH-]C(C)=O CUJRVFIICFDLGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001345 alkine derivatives Chemical class 0.000 description 2
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 2
- ILRRQNADMUWWFW-UHFFFAOYSA-K aluminium phosphate Chemical compound O1[Al]2OP1(=O)O2 ILRRQNADMUWWFW-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 235000013339 cereals Nutrition 0.000 description 2
- GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N cerium Chemical compound [Ce] GWXLDORMOJMVQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N copper(I) oxide Inorganic materials [Cu]O[Cu] BERDEBHAJNAUOM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 description 2
- KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N cuprous oxide Chemical compound [O-2].[Cu+].[Cu+] KRFJLUBVMFXRPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000021186 dishes Nutrition 0.000 description 2
- 238000004821 distillation Methods 0.000 description 2
- KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N dysprosium atom Chemical compound [Dy] KBQHZAAAGSGFKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CWAFVXWRGIEBPL-UHFFFAOYSA-N ethoxysilane Chemical compound CCO[SiH3] CWAFVXWRGIEBPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 2
- OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N europium atom Chemical compound [Eu] OGPBJKLSAFTDLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000011888 foil Substances 0.000 description 2
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 2
- UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N gadolinium atom Chemical compound [Gd] UIWYJDYFSGRHKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000008187 granular material Substances 0.000 description 2
- XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N hydrogen iodide Chemical compound I XMBWDFGMSWQBCA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 2
- 229910052746 lanthanum Inorganic materials 0.000 description 2
- FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N lanthanum atom Chemical compound [La] FZLIPJUXYLNCLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011572 manganese Substances 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N methanoic acid Natural products OC=O BDAGIHXWWSANSR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 2
- 150000002924 oxiranes Chemical group 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010422 painting Methods 0.000 description 2
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical class OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 2
- PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N praseodymium atom Chemical compound [Pr] PUDIUYLPXJFUGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000001436 propyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 2
- QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N propylene Natural products CC=C QQONPFPTGQHPMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004805 propylene group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([*:1])C([H])([H])[*:2] 0.000 description 2
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 2
- 230000001698 pyrogenic effect Effects 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 238000012827 research and development Methods 0.000 description 2
- 235000009566 rice Nutrition 0.000 description 2
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Chemical compound [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 2
- CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N strontium atom Chemical compound [Sr] CIOAGBVUUVVLOB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RINCXYDBBGOEEQ-UHFFFAOYSA-N succinic anhydride Chemical compound O=C1CCC(=O)O1 RINCXYDBBGOEEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010345 tape casting Methods 0.000 description 2
- OCGWQDWYSQAFTO-UHFFFAOYSA-N tellanylidenelead Chemical compound [Pb]=[Te] OCGWQDWYSQAFTO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XSOKHXFFCGXDJZ-UHFFFAOYSA-N telluride(2-) Chemical compound [Te-2] XSOKHXFFCGXDJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 2
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 2
- VTHOKNTVYKTUPI-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(3-triethoxysilylpropyltetrasulfanyl)propyl]silane Chemical class CCO[Si](OCC)(OCC)CCCSSSSCCC[Si](OCC)(OCC)OCC VTHOKNTVYKTUPI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 2
- JNELGWHKGNBSMD-UHFFFAOYSA-N xanthone Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3OC2=C1 JNELGWHKGNBSMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BVNZLSHMOBSFKP-UHFFFAOYSA-N (2-methylpropan-2-yl)oxysilane Chemical compound CC(C)(C)O[SiH3] BVNZLSHMOBSFKP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N (4,7,7-trimethyl-3-bicyclo[2.2.1]heptanyl) prop-2-enoate Chemical compound C1CC2(C)C(OC(=O)C=C)CC1C2(C)C PSGCQDPCAWOCSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N (E)-8-Octadecenoic acid Natural products CCCCCCCCCC=CCCCCCCC(O)=O WRIDQFICGBMAFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IDXCKOANSQIPGX-UHFFFAOYSA-N (acetyloxy-ethenyl-methylsilyl) acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](C)(C=C)OC(C)=O IDXCKOANSQIPGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PBRXKNKPUMMYPO-UHFFFAOYSA-N 1-$l^{1}-oxidanyl-2-methylpropane Chemical compound CC(C)C[O] PBRXKNKPUMMYPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LNBMZFHIYRDKNS-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-1-phenylethanone Chemical class COC(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 LNBMZFHIYRDKNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone Chemical class C=1C=CC=CC=1C(OC)(OC)C(=O)C1=CC=CC=C1 KWVGIHKZDCUPEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NVGOMBGPKHQEFQ-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-hydroxyethoxy)ethoxy]ethanol;2-methylprop-2-enoic acid Chemical class CC(=C)C(O)=O.OCCOCCOCCO NVGOMBGPKHQEFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BBDGCEOSTKYTOQ-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-hydroxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethanol;2-methylprop-2-enoic acid Chemical class CC(=C)C(O)=O.OCCOCCOCCOCCO BBDGCEOSTKYTOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 2-aminophenol Chemical class NC1=CC=CC=C1O CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxy-1-(7-oxabicyclo[4.1.0]hepta-1,3,5-trien-2-yl)-2-phenylethanone Chemical compound OC(C(=O)c1cccc2Oc12)c1ccccc1 NLGDWWCZQDIASO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 2-methoxy-6-methylphenol Chemical compound [CH]OC1=CC=CC([CH])=C1O KXGFMDJXCMQABM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 2-methylpropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)COC(=O)C=C CFVWNXQPGQOHRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 20:1omega9c fatty acid Natural products CCCCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O LQJBNNIYVWPHFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GISWNRNUVGGVOS-UHFFFAOYSA-N 3,4-dihydroxybutan-2-yl prop-2-enoate Chemical class OCC(O)C(C)OC(=O)C=C GISWNRNUVGGVOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LVGFPWDANALGOY-UHFFFAOYSA-N 8-methylnonyl prop-2-enoate Chemical compound CC(C)CCCCCCCOC(=O)C=C LVGFPWDANALGOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 9-Heptadecensaeure Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O QSBYPNXLFMSGKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 1
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920005440 Altuglas® Polymers 0.000 description 1
- KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K Aluminum fluoride Inorganic materials F[Al](F)F KLZUFWVZNOTSEM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N Aluminum nitride Chemical compound [Al]#N PIGFYZPCRLYGLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012958 Amine synergist Substances 0.000 description 1
- 229910000967 As alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M Bisulfite Chemical compound OS([O-])=O LSNNMFCWUKXFEE-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N Butylmethacrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C(C)=C SOGAXMICEFXMKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 240000001829 Catharanthus roseus Species 0.000 description 1
- 229920001747 Cellulose diacetate Polymers 0.000 description 1
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N Cinnamic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-SREVYHEPSA-N 0.000 description 1
- 239000004821 Contact adhesive Substances 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DIWVBIXQCNRCFE-UHFFFAOYSA-N DL-alpha-Methoxyphenylacetic acid Chemical group COC(C(O)=O)C1=CC=CC=C1 DIWVBIXQCNRCFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N Dimethyl ether Chemical class COC LCGLNKUTAGEVQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000790917 Dioxys <bee> Species 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 1
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M Fluoride anion Chemical compound [F-] KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M Ilexoside XXIX Chemical compound C[C@@H]1CC[C@@]2(CC[C@@]3(C(=CC[C@H]4[C@]3(CC[C@@H]5[C@@]4(CC[C@@H](C5(C)C)OS(=O)(=O)[O-])C)C)[C@@H]2[C@]1(C)O)C)C(=O)O[C@H]6[C@@H]([C@H]([C@@H]([C@H](O6)CO)O)O)O.[Na+] DGAQECJNVWCQMB-PUAWFVPOSA-M 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000500881 Lepisma Species 0.000 description 1
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004425 Makrolon Substances 0.000 description 1
- PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N Manganese Chemical compound [Mn] PWHULOQIROXLJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N Methanethiol Chemical compound SC LSDPWZHWYPCBBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical class COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- IGFHQQFPSIBGKE-UHFFFAOYSA-N Nonylphenol Natural products CCCCCCCCCC1=CC=C(O)C=C1 IGFHQQFPSIBGKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005642 Oleic acid Substances 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N Oleic acid Natural products CCCCCCCCC=CCCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002665 PbTe Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 239000004820 Pressure-sensitive adhesive Substances 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910008051 Si-OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003978 SiClx Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020447 SiO2/2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006358 Si—OH Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000021355 Stearic acid Nutrition 0.000 description 1
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 description 1
- ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N Triethylamine Chemical class CCN(CC)CC ZMANZCXQSJIPKH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 1
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910009257 Y—Si Inorganic materials 0.000 description 1
- HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N Zinc Chemical compound [Zn] HCHKCACWOHOZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PTFCDOFLOPIGGS-UHFFFAOYSA-N Zinc dication Chemical compound [Zn+2] PTFCDOFLOPIGGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007381 Zn3Sb2 Inorganic materials 0.000 description 1
- FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-prop-2-enoyloxyphenyl)propan-2-yl]phenyl] prop-2-enoate Chemical compound C=1C=C(OC(=O)C=C)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OC(=O)C=C)C=C1 FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N [diacetyloxy(ethenyl)silyl] acetate Chemical compound CC(=O)O[Si](OC(C)=O)(OC(C)=O)C=C NOZAQBYNLKNDRT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N acetaldehyde Chemical compound [14CH]([14CH3])=O IKHGUXGNUITLKF-XPULMUKRSA-N 0.000 description 1
- 125000002252 acyl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 238000004220 aggregation Methods 0.000 description 1
- 230000002776 aggregation Effects 0.000 description 1
- 150000001335 aliphatic alkanes Chemical class 0.000 description 1
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001350 alkyl halides Chemical class 0.000 description 1
- 125000005336 allyloxy group Chemical group 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000323 aluminium silicate Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 1
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000410 antimony oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- CZJCMXPZSYNVLP-UHFFFAOYSA-N antimony zinc Chemical compound [Zn].[Sb] CZJCMXPZSYNVLP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 1
- CVXNLQMWLGJQMZ-UHFFFAOYSA-N arsenic zinc Chemical compound [Zn].[As] CVXNLQMWLGJQMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N azanylidyneindigane Chemical compound [In]#N NWAIGJYBQQYSPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000852 azido group Chemical group *N=[N+]=[N-] 0.000 description 1
- LUZARLKNZGALGS-UHFFFAOYSA-N aziridin-1-yl(diazonio)azanide Chemical compound [N-]=[N+]=NN1CC1 LUZARLKNZGALGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L barium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ba+2] OYLGJCQECKOTOL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001632 barium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052454 barium strontium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N barium titanate Chemical compound [Ba+2].[Ba+2].[O-][Ti]([O-])([O-])[O-] JRPBQTZRNDNNOP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002113 barium titanate Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 230000037429 base substitution Effects 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012965 benzophenone Substances 0.000 description 1
- 230000033228 biological regulation Effects 0.000 description 1
- 229940106691 bisphenol a Drugs 0.000 description 1
- INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N boron carbide Chemical compound B12B3B4C32B41 INAHAJYZKVIDIZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAQRGUVFOMOMEM-UHFFFAOYSA-N but-2-ene Chemical group CC=CC IAQRGUVFOMOMEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 229910052793 cadmium Inorganic materials 0.000 description 1
- BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N cadmium atom Chemical compound [Cd] BDOSMKKIYDKNTQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003739 carbamimidoyl group Chemical group C(N)(=N)* 0.000 description 1
- 125000003917 carbamoyl group Chemical group [H]N([H])C(*)=O 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- XTUSLLYSMVWGPS-UHFFFAOYSA-N carbonic acid;cyclohexene Chemical compound OC(O)=O.C1CCC=CC1 XTUSLLYSMVWGPS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NPAXBRSUVYCZGM-UHFFFAOYSA-N carbonic acid;propane-1,2-diol Chemical compound OC(O)=O.CC(O)CO NPAXBRSUVYCZGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 239000001913 cellulose Substances 0.000 description 1
- 229920002678 cellulose Polymers 0.000 description 1
- CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N ceric oxide Chemical compound O=[Ce]=O CETPSERCERDGAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000422 cerium(IV) oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003153 chemical reaction reagent Substances 0.000 description 1
- UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N chlorotrifluoroethylene Chemical compound FC(F)=C(F)Cl UUAGAQFQZIEFAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229940114081 cinnamate Drugs 0.000 description 1
- 229930016911 cinnamic acid Natural products 0.000 description 1
- 235000013985 cinnamic acid Nutrition 0.000 description 1
- 238000005352 clarification Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000008119 colloidal silica Substances 0.000 description 1
- 229920000891 common polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 229940112669 cuprous oxide Drugs 0.000 description 1
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011353 cycloaliphatic epoxy resin Substances 0.000 description 1
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- ZXPDYFSTVHQQOI-UHFFFAOYSA-N diethoxysilane Chemical compound CCO[SiH2]OCC ZXPDYFSTVHQQOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PKTOVQRKCNPVKY-UHFFFAOYSA-N dimethoxy(methyl)silicon Chemical compound CO[Si](C)OC PKTOVQRKCNPVKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQGOWXYZDLJBFL-UHFFFAOYSA-N dimethoxysilane Chemical compound CO[SiH2]OC YQGOWXYZDLJBFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O HNPSIPDUKPIQMN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N disilane Chemical class [SiH3][SiH3] PZPGRFITIJYNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N dodecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCC(O)=O POULHZVOKOAJMA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SCPWMSBAGXEGPW-UHFFFAOYSA-N dodecyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCCCCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC SCPWMSBAGXEGPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N erbium Chemical compound [Er] UYAHIZSMUZPPFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VQCBHWLJZDBHOS-UHFFFAOYSA-N erbium(III) oxide Inorganic materials O=[Er]O[Er]=O VQCBHWLJZDBHOS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triethoxy)silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)C=C FWDBOZPQNFPOLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N ethenyl(trimethoxy)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)C=C NKSJNEHGWDZZQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FEHYCIQPPPQNMI-UHFFFAOYSA-N ethenyl(triphenoxy)silane Chemical compound C=1C=CC=CC=1O[Si](OC=1C=CC=CC=1)(C=C)OC1=CC=CC=C1 FEHYCIQPPPQNMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GBFVZTUQONJGSL-UHFFFAOYSA-N ethenyl-tris(prop-1-en-2-yloxy)silane Chemical compound CC(=C)O[Si](OC(C)=C)(OC(C)=C)C=C GBFVZTUQONJGSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 1
- 229920001038 ethylene copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229920002313 fluoropolymer Polymers 0.000 description 1
- 235000019253 formic acid Nutrition 0.000 description 1
- 125000002485 formyl group Chemical class [H]C(*)=O 0.000 description 1
- 239000001530 fumaric acid Substances 0.000 description 1
- 229910021485 fumed silica Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 1
- 229920001002 functional polymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007306 functionalization reaction Methods 0.000 description 1
- VTGARNNDLOTBET-UHFFFAOYSA-N gallium antimonide Chemical compound [Sb]#[Ga] VTGARNNDLOTBET-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N hafnium atom Chemical compound [Hf] VBJZVLUMGGDVMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003760 hair shine Effects 0.000 description 1
- 125000000592 heterocycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- CZWLNMOIEMTDJY-UHFFFAOYSA-N hexyl(trimethoxy)silane Chemical compound CCCCCC[Si](OC)(OC)OC CZWLNMOIEMTDJY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N holmium atom Chemical compound [Ho] KJZYNXUDTRRSPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JYTUFVYWTIKZGR-UHFFFAOYSA-N holmium oxide Inorganic materials [O][Ho]O[Ho][O] JYTUFVYWTIKZGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007970 homogeneous dispersion Substances 0.000 description 1
- 125000000717 hydrazino group Chemical group [H]N([*])N([H])[H] 0.000 description 1
- 125000005638 hydrazono group Chemical group 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 150000003949 imides Chemical class 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N indium;tin;hydrate Chemical compound O.[In].[Sn] MRNHPUHPBOKKQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- 150000002484 inorganic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N isooleic acid Natural products CCCCCCCC=CCCCCCCCCC(O)=O QXJSBBXBKPUZAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N kaolin Chemical compound O.O.O=[Al]O[Si](=O)O[Si](=O)O[Al]=O NLYAJNPCOHFWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- YAFKGUAJYKXPDI-UHFFFAOYSA-J lead tetrafluoride Chemical compound F[Pb](F)(F)F YAFKGUAJYKXPDI-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 1
- RQQRAHKHDFPBMC-UHFFFAOYSA-L lead(ii) iodide Chemical compound I[Pb]I RQQRAHKHDFPBMC-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229920000092 linear low density polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004707 linear low-density polyethylene Substances 0.000 description 1
- OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N lutetium atom Chemical compound [Lu] OHSVLFRHMCKCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003443 lutetium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L magnesium fluoride Chemical compound [F-].[F-].[Mg+2] ORUIBWPALBXDOA-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910001635 magnesium fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 1
- 229910001512 metal fluoride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002082 metal nanoparticle Substances 0.000 description 1
- UNBDCVXGGDKSCP-UHFFFAOYSA-N methyl 2-methylidenetetradecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCCC(=C)C(=O)OC UNBDCVXGGDKSCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920000609 methyl cellulose Polymers 0.000 description 1
- 150000004702 methyl esters Chemical class 0.000 description 1
- WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N methyl p-hydroxycinnamate Natural products OC(=O)C=CC1=CC=CC=C1 WBYWAXJHAXSJNI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001923 methylcellulose Substances 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 229910003455 mixed metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N n-methylprop-2-enamide Chemical compound CNC(=O)C=C YPHQUSNPXDGUHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N neodymium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Nd+3].[Nd+3] PLDDOISOJJCEMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005245 nitryl group Chemical group [N+](=O)([O-])* 0.000 description 1
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 description 1
- SNQQPOLDUKLAAF-UHFFFAOYSA-N nonylphenol Chemical compound CCCCCCCCCC1=CC=CC=C1O SNQQPOLDUKLAAF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC(O)=O QIQXTHQIDYTFRH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N octadecanoic acid Natural products CCCCCCCC(C)CCCCCCCCC(O)=O OQCDKBAXFALNLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLYCYWCVSGPDFR-UHFFFAOYSA-N octadecyltrimethoxysilane Chemical compound CCCCCCCCCCCCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC SLYCYWCVSGPDFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N oleic acid Chemical compound CCCCCCCC\C=C/CCCCCCCC(O)=O ZQPPMHVWECSIRJ-KTKRTIGZSA-N 0.000 description 1
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 1
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 1
- 150000003961 organosilicon compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920001558 organosilicon polymer Polymers 0.000 description 1
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 1
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N oxoantimony Chemical compound [Sb]=O VTRUBDSFZJNXHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920001568 phenolic resin Polymers 0.000 description 1
- HOKBIQDJCNTWST-UHFFFAOYSA-N phosphanylidenezinc;zinc Chemical compound [Zn].[Zn]=P.[Zn]=P HOKBIQDJCNTWST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002467 phosphate group Chemical group [H]OP(=O)(O[H])O[*] 0.000 description 1
- 150000003009 phosphonic acids Chemical class 0.000 description 1
- 229910000073 phosphorus hydride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004038 photonic crystal Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000636 poly(norbornene) polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 229920006254 polymer film Polymers 0.000 description 1
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000131 polyvinylidene Polymers 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- HWCLLTUGXYQSRI-UHFFFAOYSA-N propan-2-yloxysilicon Chemical compound CC(C)O[Si] HWCLLTUGXYQSRI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N rhenium atom Chemical compound [Re] WUAPFZMCVAUBPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N samarium atom Chemical compound [Sm] KZUNJOHGWZRPMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FKTOIHSPIPYAPE-UHFFFAOYSA-N samarium(III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Sm+3].[Sm+3] FKTOIHSPIPYAPE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N selanylidenegallium;selenium Chemical compound [Se].[Se]=[Ga].[Se]=[Ga] VSZWPYCFIRKVQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002094 self assembled monolayer Substances 0.000 description 1
- 239000013545 self-assembled monolayer Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000001235 sensitizing effect Effects 0.000 description 1
- SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N silanol Chemical compound [SiH3]O SCPYDCQAZCOKTP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 1
- 229910052708 sodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000894007 species Species 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 230000003019 stabilising effect Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- 239000008117 stearic acid Substances 0.000 description 1
- 150000003890 succinate salts Chemical class 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N tantalum atom Chemical compound [Ta] GUVRBAGPIYLISA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052713 technetium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKLVYJBZJHMRIY-UHFFFAOYSA-N technetium atom Chemical compound [Tc] GKLVYJBZJHMRIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N tellanylidenegermanium Chemical compound [Te]=[Ge] JBQYATWDVHIOAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N terbium atom Chemical compound [Tb] GZCRRIHWUXGPOV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N tert-butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical class CC(=C)C(=O)OC(C)(C)C SJMYWORNLPSJQO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052716 thallium Inorganic materials 0.000 description 1
- BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N thallium Chemical compound [Tl] BKVIYDNLLOSFOA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 1
- ZIKATJAYWZUJPY-UHFFFAOYSA-N thulium (III) oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Tm+3].[Tm+3] ZIKATJAYWZUJPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FRNOGLGSGLTDKL-UHFFFAOYSA-N thulium atom Chemical compound [Tm] FRNOGLGSGLTDKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010023 transfer printing Methods 0.000 description 1
- UWSYCPWEBZRZNJ-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(2,4,4-trimethylpentyl)silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CC(C)CC(C)(C)C UWSYCPWEBZRZNJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NMEPHPOFYLLFTK-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(octyl)silane Chemical compound CCCCCCCC[Si](OC)(OC)OC NMEPHPOFYLLFTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- MEYZYGMYMLNUHJ-UHFFFAOYSA-N tunicamycin Natural products CC(C)CCCCCCCCCC=CC(=O)NC1C(O)C(O)C(CC(O)C2OC(C(O)C2O)N3C=CC(=O)NC3=O)OC1OC4OC(CO)C(O)C(O)C4NC(=O)C MEYZYGMYMLNUHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N vanadium atom Chemical compound [V] LEONUFNNVUYDNQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001567 vinyl ester resin Polymers 0.000 description 1
- 239000005301 willow glass Substances 0.000 description 1
- NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N ytterbium Chemical compound [Yb] NAWDYIZEMPQZHO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FIXNOXLJNSSSLJ-UHFFFAOYSA-N ytterbium(III) oxide Inorganic materials O=[Yb]O[Yb]=O FIXNOXLJNSSSLJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 description 1
- VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N yttrium atom Chemical compound [Y] VWQVUPCCIRVNHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- HWLMPLVKPZILMO-UHFFFAOYSA-N zinc mercury(1+) selenium(2-) Chemical compound [Zn+2].[Se-2].[Hg+] HWLMPLVKPZILMO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N zinc;sulfide Chemical compound [S-2].[Zn+2] DRDVZXDWVBGGMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical compound O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/18—Layered products comprising a layer of synthetic resin characterised by the use of special additives
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/02—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by a sequence of laminating steps, e.g. by adding new layers at consecutive laminating stations
- B32B37/025—Transfer laminating
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/03—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor characterised by the shape of the extruded material at extrusion
- B29C48/07—Flat, e.g. panels
- B29C48/08—Flat, e.g. panels flexible, e.g. films
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
- B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
- B29C48/00—Extrusion moulding, i.e. expressing the moulding material through a die or nozzle which imparts the desired form; Apparatus therefor
- B29C48/16—Articles comprising two or more components, e.g. co-extruded layers
- B29C48/18—Articles comprising two or more components, e.g. co-extruded layers the components being layers
- B29C48/21—Articles comprising two or more components, e.g. co-extruded layers the components being layers the layers being joined at their surfaces
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B27/00—Layered products comprising a layer of synthetic resin
- B32B27/28—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42
- B32B27/283—Layered products comprising a layer of synthetic resin comprising synthetic resins not wholly covered by any one of the sub-groups B32B27/30 - B32B27/42 comprising polysiloxanes
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B37/00—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding
- B32B37/06—Methods or apparatus for laminating, e.g. by curing or by ultrasonic bonding characterised by the heating method
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
- B32B7/02—Physical, chemical or physicochemical properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B7/00—Layered products characterised by the relation between layers; Layered products characterised by the relative orientation of features between layers, or by the relative values of a measurable parameter between layers, i.e. products comprising layers having different physical, chemical or physicochemical properties; Layered products characterised by the interconnection of layers
- B32B7/04—Interconnection of layers
- B32B7/12—Interconnection of layers using interposed adhesives or interposed materials with bonding properties
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/022—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being a laminate, i.e. composed of sublayers, e.g. stacks of alternating high-k metal oxides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02107—Forming insulating materials on a substrate
- H01L21/02109—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates
- H01L21/02205—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition
- H01L21/02208—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si
- H01L21/02214—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and oxygen
- H01L21/02216—Forming insulating materials on a substrate characterised by the type of layer, e.g. type of material, porous/non-porous, pre-cursors, mixtures or laminates the layer being characterised by the precursor material for deposition the precursor containing a compound comprising Si the compound comprising silicon and oxygen the compound being a molecule comprising at least one silicon-oxygen bond and the compound having hydrogen or an organic group attached to the silicon or oxygen, e.g. a siloxane
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/44—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
- H01L33/46—Reflective coating, e.g. dielectric Bragg reflector
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
- H10K71/80—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass using temporary substrates
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/40—Properties of the layers or laminate having particular optical properties
- B32B2307/416—Reflective
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/40—Properties of the layers or laminate having particular optical properties
- B32B2307/418—Refractive
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2315/00—Other materials containing non-metallic inorganic compounds not provided for in groups B32B2311/00 - B32B2313/04
- B32B2315/08—Glass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2457/00—Electrical equipment
- B32B2457/20—Displays, e.g. liquid crystal displays, plasma displays
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2551/00—Optical elements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
- Y02E10/549—Organic PV cells
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Extrusion Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
Abstract
本发明公开了转印膜、由其制造的制品,以及制造和使用转印膜以形成无机光学叠堆的方法。
Description
背景技术
多层光学膜(MOF)已通过聚合物的共挤出来制造。最终的膜可包括大量的高折射率和低折射率的交替聚合物层,并且可被称为布拉格反射器或1-D光子晶体。基于在层叠堆界面处反射的光的相长干涉,可选择性地反射或透射不同波长的光。MOF已经被设计成主要反射IR和/或可见光。在MOF中利用的常用聚合物包括PEN、PMMA、共-PMMA、PET、共-PET和共-PEN。
发明内容
本公开涉及无机多层层压转印膜、形成这些层压转印膜的方法以及使用这些层压转印膜的方法。这些无机多层层压转印膜可具有包括无机纳米粒子、牺牲材料和任选地可致密化以形成无机光学叠堆的无机前体的交替层。
在一个方面,转印膜包括形成原层叠堆的多个共延伸层。每个层独立地包括至少25重量%牺牲材料和热稳定材料,并且具有小于25微米的均匀厚度。
在另一方面,转印膜包括形成原层叠堆的多个共延伸层。每个层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下独立地表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
在另一方面,如本文所述,方法包括将转印膜层合至受体基底,并且然后烘除在转印膜中的牺牲材料以形成光学叠堆。
在另一方面,形成转印膜的方法包括沉积多个共延伸层以形成原层叠堆。每个层独立地包括至少25重量%牺牲材料和热稳定材料,并且具有小于25微米的均匀厚度。
在另一方面,形成转印膜的方法包括沉积多个共延伸层以形成原层叠堆。每个层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下独立地表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
在另一个方面,形成转印膜的方法包括共挤出多个共延伸层以形成原层叠堆。每个层独立地包括至少25重量%牺牲材料和热稳定材料,并且具有小于25微米的均匀厚度。
在另一个方面,形成转印膜的方法包括共挤出多个共延伸层以形成原层叠堆。每个层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下独立地表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
在另一个方面,转印膜包括形成原层叠堆的多个共延伸层。至少所选择的层独立地包括至少25重量%牺牲材料和热稳定材料,并且具有小于25微米的均匀厚度。
在另一方面,转印膜包括形成原层叠堆的多个共延伸层。至少所选择的层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下独立地表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
通过阅读以下具体实施方式,这些以及各种其它特征和优点将显而易见。
附图说明
结合附图,参考以下对本公开的各种实施方案的详细说明,可更全面地理解本公开,其中:
图1为形成转印膜和光学叠堆的例示性方法的示意性工艺流程图;
图2A至图2D是在烘除步骤期间原层致密化的示意图;
图3是通过如实施例1所述的层压转印法和烘除形成的四层光学叠堆的SEM图像;并且
图4是通过如实施例2所述层压转印法和烘除形成的四层光学叠堆的SEM图像。
具体实施方式
在下面的详细说明中,参考了形成说明的一部分的附图,并且在附图中通过举例说明的方式示出了若干具体实施方案。应当理解,在不脱离本公开的范围或实质的情况下,设想并可进行其它实施方案。因此,以下具体实施方式不应被视为具有限制意义。
除非另外指明,否则本文中使用的所有的科学和技术术语具有在本领域中所普遍使用的含义。本文提供的定义旨在有利于理解本文频繁使用的一些术语,并无限制本公开范围之意。
除非另外指明,否则说明书和权利要求书中使用的表示特征尺寸、数量和物理特性的所有数字应该理解为在所有情况下均被术语“约”修饰。因此,除非有相反的说明,否则在上述说明书和所附权利要求书中列出的数值参数均为近似值,这些近似值可根据本领域的技术人员使用本文所公开的教导内容寻求获得的特性而变化。
通过端点表述的数值范围包括该范围内所包含的所有数值(例如,1至5包括1、1.5、2、2.75、3、3.80、4和5)和该范围内的任何范围。
除非本文内容以其他方式明确指出,否则本说明书和所附权利要求中使用的单数形式“一个”、“一种”和“所述”涵盖了具有复数指代对象的实施方案。
除非本文内容以其他方式明确指出,否则本说明书和所附权利要求中使用的术语“或”一般以包括“和/或”的意义使用。
如本文所用,“具有”、“包括”、“包含”、“含有”等等均以其开放性意义使用,并且一般是指“包括但不限于”。应当理解,“基本上由...组成”、“由...组成”等等包含在“包括”等等之中。
在本公开中:
“烘除”是指通过热解、燃烧、升华或蒸发大体上除去存在于层中的牺牲材料的工艺;
“烘除温度”是指在通过热解或燃烧、升华或蒸发大体上除去层中的牺牲材料的工艺期间达到的最大温度;
“使燃烧”或“燃烧”是指在氧化大气环境中对包含有机材料的层进行加热,使得有机材料与氧化剂发生化学反应的工艺;
“使热解”或“热解”是指在惰性气氛中对牺牲层进行加热使得制品中的有机材料分解的工艺;
“原层”是指在转印膜中的层,其在最终烘除叠堆中转化为无机或热稳定层;
“热稳定的”是指在去除牺牲材料期间保持基本上完整的材料、可被致密化和/或化学转化以形成无机材料的材料;
“聚硅氧烷”是指高度支化的低聚的或聚合的有机硅化合物并且可包含碳-碳和/或碳-氢键,同时仍被视为无机化合物;
“使...致密化”是指在烘除工艺期间热稳定材料的重量和/或体积分数增加的工艺。例如,在致密层中,纳米粒子的局部浓度(重量或体积%)相对于在原层中的局部浓度(重量或体积%)增加。然而,单个纳米粒子的平均体积可不随着致密化工艺的结果而改变;
“光学叠堆”是指在选自200nm至1mm的波长范围上组合产生光学效应的两个或更多个层;
“光学原层叠堆”是指在转印膜中的两个或更多个层,其是在最终烘除制品中的光学叠堆的前体,其中光学叠堆在选自200nm至1mm的波长范围上产生光学效应;
除非另外指明,否则“折射率”或“RI”,是指材料在该材料平面内相对于在633nm处和垂直或接近垂直(即8度)入射光的折射率;以及
“高折射率”和“低折射率”为相关术语;当均从关注的面内方向比较两层时,具有较高平均面内折射率的层为高折射率层,而具有较低平均面内折射率的层为低折射率层;
本公开涉及无机多层层压转印膜、形成这些层压转印膜的方法以及使用这些层压转印膜的方法。这些无机多层层压转印膜具有包括无机纳米粒子、牺牲材料和任选的可致密化以形成无机光学叠堆的无机前体的交替层。转印膜通过叠堆多个共延伸层来形成。该转印膜可称为“原层”叠堆。在该原层叠堆中的每个层可具有小于25微米的厚度。在该原层叠堆中的每个层或所选择的层可具有至少25重量%牺牲材料。在该原层叠堆中的每个层或所选择的层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下可表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。在许多实施方案中,原层叠堆透射可见光。可将这些转印膜施加至热稳定的基底并且烘除以整体形成光学元件,例如诸如防反射涂层、UV反射器、IR反射器或太阳镜等。通过下文提供的实施例的阐述将获得对本发明各方面的理解,然而本发明并不因此受限制。
图1为形成转印膜100和光学叠堆25的例示性方法的示意性工艺流程图50;图2A至图2D是在烘除步骤期间原层20致密化的示意图;转印膜100包括形成原层叠堆20的多个共延伸层(或原层)22和24。每个层22和24独立地包括牺牲材料23和热稳定材料21以及大致均匀的共延伸厚度。
在许多实施方案中,原层22和24各自具有小于30微米或小于25微米或小于20微米或小于15微米或在1微米至25微米范围内的均匀厚度。在其它实施方案中,原层22和24各自具有小于1微米或小于750微米或小于500微米或小于250微米或在100微米至1000微米范围内的均匀厚度。
原层叠堆20和所得光学叠堆25可由任何数量的原层形成,诸如至少4层、至少10层、至少25层、至少50层或至少100层。其中许多层,光学元件的透射光谱(在烘除后)可受到调控,以满足一定范围的电磁辐射的特定透射或反射要求。在许多实施方案中,原层叠堆20和所得光学叠堆25具有至少5%,或至少10%,或至少25%,或至少50%,或至少75%,或至少90%的可见光透射率。在各种实施方案中,所得光学叠堆25的各个层配合以反射至少50%或75%或90%的可见光照、IR光或UV光。
每个原层22和24的成分受到调控,以在最终烘除的光学叠堆中提供不同特性。在许多实施方案中,一个或多个第一原层22具有牺牲材料和第一热稳定材料,并且一个或多个第二原层22具有牺牲材料和第二热稳定材料。第一热稳定材料和第二热稳定材料是具有不同物理特性或光学特性的不同的材料或不同种类的材料。例如,第一原层22的成分可具有热稳定材料或热稳定材料的前体,该材料具有与第二原层24的热稳定材料不同的折射率(例如至少0.1或至少0.2或至少0.3或至少0.4)。这些不同种类的材料的示例包括无机纳米粒子诸如,二氧化硅和氧化锆材料,如在下面的实施例中举例说明。
虽然原层叠堆20被示为具有四层交替层成分22和24(或A和B),但是应当理解,原层叠堆20可具有三种不同的层成分A、B和C或四种不同的层成分A、B、C和D。在许多实施方案中,原层叠堆20具有诸如二元组22和24(或A和B)或三元组A、B、C或四元组A、B、C和D的重复单元。这些重复单元原层叠堆20可具有1、2、3、4、5、6、7、8、9、10或更多个重复单元。
在一个实施方案中,原层叠堆20在六个原层叠堆或CACDBD的重复六层顺序中利用四种层成分A、B、C、D。在US 2005/0141093中针对多层光学干涉反射膜示出并描述了该布置。每个原层和随后烘除的光学层的厚度可受到调控,以抑制更高阶的光反射。
例如,可通过任何涂覆方法或挤出方法来沉积形成原层叠堆20的多个共延伸层(或原层)22和24。具有热塑性特征的原层成分可挤出、模塑或(如果可溶的话)溶剂浇铸。具有热固性特征的原层成分可通过溶剂浇铸,随后去除溶剂和热或光化学固化步骤来施加。这些方法中的每个都与辊对辊工艺兼容。多层可通过适当的技术,包括多层挤出(例如,US6827886)、多层涂覆或坡流涂覆获得。为了实现这些涂覆或挤出方法,在原层叠堆中的每个层或所选择的层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下可表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
原层叠堆20可在具有可剥离表面13的聚合物支撑层或载体层11上沉积或形成。在一些实施方案中,聚合物支撑层或载体层11不存在。聚合物支撑层或载体层11可借助为原层叠堆20提供机械支撑的热稳定柔性膜来实现。聚合物支撑层11具有可剥离表面13,意味着聚合物支撑层11允许剥离施加到可剥离表面13上的原层叠堆20。聚合物支撑层或载体层11在高于70℃,或另选地高于120℃的温度下可为热稳定的。载体膜的一个示例是聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)。
由各种热固性或热塑性聚合物组成的各种聚合物膜基底适合用作聚合物支撑层或载体层11。聚合物支撑层或载体层11可为单层膜或多层膜。可用作载体层膜的聚合物的例示性示例包括:(1)氟化聚合物,例如聚(三氟氯乙烯)、聚(四氟乙烯-共聚-六氟丙烯)、聚(四氟乙烯-共聚-全氟代(烷基)乙烯基醚)、聚(偏二氟乙烯-共聚-六氟丙烯);(2)具有钠离子或锌离子的聚(乙烯-共聚-甲基丙烯酸)离子键乙烯共聚物,诸如可得自特拉华州威明顿市的杜邦化学公司(E.I.duPont de Nemours,Wilmington,DE.)的SURLYN-8920品牌和SURLYN-9910品牌;(3)低密度聚烯烃,诸如低密度聚乙烯;线性低密度聚乙烯;和极低密度聚乙烯;增塑型卤化乙烯聚合物,诸如增塑型聚(氯乙烯);(4)聚乙烯共聚物,包括酸官能聚合物,诸如聚(乙烯-共聚-丙烯酸)“EAA”、聚(乙烯-共聚-甲基丙烯酸)“EMA”、聚(乙烯-共聚-马来酸)、和聚(乙烯-共聚-延胡索酸);丙烯酸官能聚合物,诸如聚(乙烯-共聚-丙烯酸烷基酯),其中烷基基团为甲基、乙基、丙基、丁基等,或CH3(CH2)n-,其中n为0至12,以及聚(乙烯-共聚-醋酸乙烯)“EVA”;和(5)(例如)脂族聚氨酯。聚合物支撑层或载体层11可为烯属聚合物材料,其通常包含至少50重量%的具有2至8个碳原子的烯属烃,其中最常用的是乙烯和丙烯。其它聚合物支撑层或载体层11包括例如聚(萘二甲酸乙二酯)、聚碳酸酯、聚(甲基)丙烯酸酯(例如,聚甲基丙烯酸甲酯或“PMMA”)、聚烯烃(例如,聚丙烯或“PP”)、聚酯(例如,聚对苯二甲酸乙二醇酯或“PET”)、聚酰胺、聚酰亚胺、酚醛树脂、二乙酸纤维素、三乙酸纤维素(TAC)、聚苯乙烯、苯乙烯-丙烯腈共聚物、环烯烃共聚物、环氧树脂等等。在一些实施方案中,聚合物支撑层或载体层11可包括纸材、剥离覆盖纸材(release-coated paper)、非织造物、织造物(织物)、金属膜,以及金属箔。
在一些实施方案中,聚合物支撑层或载体层11可包括牺牲材料,该牺牲材料可在转印工艺期间保持在原层叠堆20上。例如,聚合物支撑层或载体层11可包括PET层上的PMMA剥离层,其中在从PET层剥离后剥离层保持在原层叠堆20上。牺牲材料(诸如PMMA剥离层),可通过使其经受热条件而热解,该热条件可使存在于牺牲层中的基本上全部有机材料蒸发或分解为挥发性副产品。在这些情况下,层可称为牺牲剥离层。这些牺牲层也可经受燃烧以烧尽存在于牺牲层中的全部有机材料。通常,透明的高纯度聚合物,诸如聚(甲基丙烯酸甲酯)或聚(丙烯酸乙酯-共聚-甲基丙烯酸甲酯),可用作牺牲材料。可用的牺牲材料在烘除温度下热解或燃烧后保留非常低的有机残余物(灰分),通常小于1重量%残余物。
原层叠堆20可通过任何可用的方法形成并施加或设置在支撑层或载体层11上(箭头2)。在许多实施方案中,原层叠堆20通过在彼此上顺序地形成每个层22、24来形成。在其它实施方案中,原层叠堆20通过同时挤出或形成每个层22、24来形成。牺牲粘合剂层30可施加到或设置在原层叠堆20(箭头4)上,以在层压工艺(箭头6)期间有助于将原层叠堆20粘附到受体基底40。然后可烘除该层压的转印膜/受体基底制品110(箭头8)以除去原层22、24中的牺牲材料23。所得烘除制品为光学叠堆25。牺牲粘合剂30和任何剥离材料13可烘除,另外保留固定到受体基底40的光学叠堆25。
受体基底40的示例包括玻璃,诸如显示器母玻璃(例如,后板母玻璃)、显示器覆盖玻璃、照明母玻璃、建筑玻璃、压延玻璃和柔性玻璃。柔性压延玻璃的示例可以商品名WILLOW玻璃从康宁公司(Corning Incorporated)商购获得。受体基底的其它示例包括金属,诸如金属部件、金属薄片和金属箔。受体基底的其它示例包括镓、氮化物、蓝宝石、硅、二氧化硅和碳化硅。在许多实施方案中,受体基底40为玻璃、石英或蓝宝石。受体基底40可为平坦的或弯曲的。
显示器后板母玻璃受体基底可在层压转印膜所施加至的受体基底的一侧任选地包括缓冲层。缓冲层的示例在美国专利6,396,079中有所描述,该专利以引用方式并入本文,如同进行了充分阐述。一种类型的缓冲层是SiO2薄层,如K.Kondoh等人在《非晶态固体杂志》(J.of Non-Crystalline Solids 178(1994)189-98),第178卷,1994年,第189-198页)和T-K.Kim等人在“Mat.Res.Soc.Symp.Proc.(《材料研究学会会议论文集》)第448卷(1997)419-23中所述,这两者均以引用方式并入本文,如同进行了充分阐述。
本文所述的转印膜和方法的特定优点是将光学叠堆赋予具有大表面积的基底,诸如显示器母玻璃或建筑玻璃的能力。本文所述的转印膜100具有足够大的尺寸,以用于将光学叠堆赋予例如至少整个大的数字显示器基底(例如,55英寸对角AMOLED HDTV,其中尺寸为52英寸宽×31.4英寸高)上。
在原层叠堆20的每个层中的牺牲材料可被干净地烘除,保留限定光学叠堆25的每个层的热稳定材料的致密层。在一些实施方案中,热稳定材料的致密层可完全地或部分地熔合到类似玻璃的材料中。图2A至图2D是在烘除步骤期间原层20致密化的示意图;在一些实施方案中,致密层不是完全致密的并且具有一些孔隙。致密层可具有小于70%孔隙,或小于60%孔隙,或小于50%孔隙,或小于40%孔隙,或小于30%孔隙,或小于20%孔隙,或小于10%孔隙,或小于5%孔隙。
图2A示出由在彼此上叠堆的两个共延伸的原层对22、24形成的原层叠堆20。层22的放大视图被示出为2A,并且示出了分散在牺牲材料23中的热稳定材料(在这种情况下为纳米粒子)21。应当理解,对应层对层24包括分散在牺牲材料中的热稳定材料(不同于热稳定材料21)。在许多实施方案中,牺牲材料在形成原层叠堆20的每个层中是相同种类或相同的材料。在其它实施方案中,原层具有形成每个原层对的每个原层的不同种类或类型的牺牲材料。热稳定材料21可在1重量%至65重量%的范围内存在于每个原层中。
图2B示出原层叠堆20,其中牺牲材料23的一部分例如经由烘除而除去。层22的放大视图被示出为2B,并且示出了在牺牲材料23中轻微致密化的热稳定材料21。图2C示出原层叠堆20,其中牺牲材料23的另一部分例如经由烘除而除去。层22的放大视图被示出为2C,并且示出了在牺牲材料23中进一步致密化的热稳定材料21。图2D示出光学叠堆25,其中牺牲材料23例如经由烘除而除去。层22的放大视图被示出为2D,并且示出了致密化且形成光学叠堆25的热稳定材料21。在该例示的实施方案中,热稳定材料包括纳米粒子和粘结剂。在图2D中的放大视图示出致密的纳米粒子21和各个纳米粒子之间的小体积。该体积可包括空隙(例如孔隙)或充当用于纳米粒子的粘结剂的热稳定材料。
形成光学叠堆25的层彼此共延伸并且每个层具有小于5微米或小于3微米或小于2微米或小于1微米或在500微米至2微米范围内的均匀厚度。在其它实施方案中,形成光学叠堆25的层彼此共延伸并且每个层具有小于500纳米或小于250纳米或小于100纳米或在40纳米至500纳米范围内的均匀厚度。
热稳定材料
热稳定材料用于形成光学叠堆。热稳定材料可致密化以形成无机光学叠堆。热稳定材料包括例如,在牺牲材料的去除期间诸如在“烘除”或热解期间保持基本上完整的热稳定分子种类。热稳定材料包括无机纳米粒子和任选地聚硅氧烷和来源于无机材料的化学前体的无机残余物。
热稳定材料包括无机纳米粒子。这些纳米粒子可具有各种尺寸和形状。纳米粒子可具有小于约1000nm、小于约500nm、小于约250nm、小于约100nm、小于约50nm或小于约35nm的平均粒径。纳米粒子可具有约3nm至约50nm,或约3nm至约35nm,或约5nm至约25nm的平均粒径。如果纳米粒子聚集,则聚集粒子的最大横截面尺寸可在任何上述范围内,并且还可大于约100nm。还可使用“热解法”纳米粒子,诸如其中初级粒径小于约50nm的二氧化硅和氧化铝,诸如可得自马萨诸塞州波士顿的卡博特公司(Cabot Co.Boston,MA)的CAB-O-SPERSEPG 002热解法二氧化硅、CAB-O-SPERSE 2017A热解法二氧化硅和CAB-O-SPERSE PG 003热解法氧化铝。可基于透射电子显微镜(TEM)对这些粒子进行测量。纳米粒子基本上可充分凝结。充分凝结的纳米粒子,诸如胶态二氧化硅,通常在其内部基本上不具有任何羟基。不含二氧化硅的充分凝结的纳米粒子通常具有(作为分离的粒子测量)大于55%、优选地大于60%、并且更优选地大于70%的结晶度。例如,结晶度可在至多约86%或更高的范围内。结晶度可通过X射线衍射技术来确定。凝结的晶体(例如,氧化锆)纳米粒子具有高的折射率,而无定形的纳米粒子通常具有低的折射率。可使用无机纳米粒子的各种形状,诸如球形、杆、片、管、线、立方体、锥、四面体等等。
可选择粒子的粒径以避免最终制品中的显著可见光散射。所选择的纳米材料可赋予各种光学特性(即,折射率、双折射率)、电特性(例如,热导率)、机械特性(例如,韧性、铅笔硬度、耐刮擦性)或这些特性的组合。
合适的无机纳米粒子的示例包括金属纳米粒子或其相应氧化物,包括元素锆(Zr)、钛(Ti)、铪(Hf)、铝(Al)、铁(Fe)、钒(V)、锑(Sb)、锡(Sn)、金(Au)、铜(Cu)、镓(Ga)、铟(In)、铬(Cr)、锰(Mn)、钴(Co)、镍(Ni)、锌(Zn)、钇(Y)、铌(Nb)、钼(Mo)、锝(Te)、钌(Ru)、铑(Rh)、钯(Pd)、银(Ag)、镉(Cd)、镧(La)、钽(Ta)、钨(W)、铼(Rh)、锇(Os)、铱(Ir)、铂(Pt)、铈(Ce)、锶(Sr)以及它们的任何组合(例如氧化铟锡)。
合适的无机纳米粒子的另外的示例包括氟化物,诸如氟化镁、氟化钙、氟化铅、氟化铝和氟化钡。合适的无机纳米粒子的另外的示例包括氮化物诸如氮化硅。合适的无机纳米粒子的另外的示例包括钛酸盐诸如钛酸锶、钛酸钡和钛酸锶钡。合适的无机纳米粒子的另外的示例包括混合金属氧化物(例如,铝硅酸盐)、混合金属氟化物、混合氮化物和混合金属钛酸盐。
在优选的实施方案中,使用锆氧化物(氧化锆)的纳米粒子。氧化锆纳米粒子的粒径可为大约5nm至100nm,或5nm至25nm,或10nm。氧化锆可以商品名NALCO OOSSOO8得自伊利诺伊州内珀维尔的纳尔科化学公司(Nalco Chemical Co.(Naperville,Ill.)),以及以商品名“Buhler zirconia Z-WO sol”得自瑞士乌茨维尔的布勒公司(Buhler AG Uzwil,20Switzerland)。氧化锆纳米粒子可另外制备,诸如美国专利7,241,437(Davidson等人)和美国专利6,376,590(Kolb等人)中所述。二氧化钛、氧化锑、氧化铝、氧化锡和/或混合金属氧化物纳米粒子可存在于原层或光学叠堆中。
合适的无机纳米粒子的其它示例包括元素和称为半导体的合金及其相应氧化物,诸如硅(Si)、锗(Ge)、碳化硅(SiC)、硅锗(SiGe)、氮化铝(AlN)、磷化铝(AlP)、氮化硼(BN)、碳化硼(B4C)、锑化镓(GaSb)、磷化铟(InP)、氮砷化镓(GaAsN)、磷砷化镓(GaAsP)、氮砷化铟铝(InAlAsN)、氧化锌(ZnO)、硒化锌(ZnSe)、硫化锌(ZnS)、碲化锌(ZnTe)、汞硒化锌(HgZnSe)、硫化铅(PbS)、碲化铅(PbTe)、硫化锡(SnS)、碲化铅锡(PbSnTe)、碲化铊锡(Tl2SnTe5)、磷化锌(Zn3P2)、砷化锌(Zn3As2)、锑化锌(Zn3Sb2)、碘化铅(II)(PbI2)、氧化亚铜(I)(Cu2O)。
二氧化硅(Silicon dioxide)(二氧化硅(silica))纳米粒子可具有5nm至100nm,或10nm至30nm,或20nm的粒径。合适的二氧化硅可以商品名NALCO COLLOIDAL SILICAS从伊利诺伊州内珀维尔的纳尔科化学公司(Nalco Chemical Co.(Naperville,Ill.))商购获得。例如,二氧化硅包括NALCO商品名1040、1042、1050、1060、2327以及2329。有机二氧化硅还可从得克萨斯州休斯敦的日产化学美国公司(Nissan Chemical America Co.Houston,TX)以产品名称IPA-ST-MS、IPA-ST-L、IPA-ST、IPA-ST-UP、MA-ST-M和MT-ST获得,并且还可从得克萨斯州休斯敦的日产化学美国公司(Nissan Chemical America Co.Houston,TX)以产品名称SNOWTEX ST-40、ST-50、ST-20L、ST-C、ST-N、ST-O、ST-OL、ST-ZL、ST-UP和ST-OUP获得。合适的热解法二氧化硅包括例如可得自德国埃森的赢创公司(Evonik AG,(Essen,Germany))的以商品名AEROSIL系列OX-50、-130、-150和-200出售的产品,以及可得自伊利诺伊州塔斯科拉的卡博特公司(Cabot Corp.(Tuscola,Ill.))的CAB-O-SPERSE 2095、CAB-O-SPERSE A105、CAB-O-SIL M5。
合适的无机纳米粒子的示例包括称为稀土元素的元素及其氧化物,诸如镧(La)、铈(CeO2)、镨(Pr6O11)、钕(Nd2O3)、钐(Sm2O3)、铕(Eu2O3)、钆(Gd2O3)、铽(Tb4O7)、镝(Dy2O3)、钬(Ho2O3)、铒(Er2O3)、铥(Tm2O3)、镱(Yb2O3)和镥(Lu2O3)。
可用表面处理剂处理纳米粒子。对纳米级粒子进行表面处理可提供在牺牲材料中的稳定分散体。优选地,表面处理使纳米粒子稳定,使得这些粒子很好地分散在基本上均质的组合物中。此外,可在纳米粒子表面的至少一部分上用表面处理剂对纳米粒子进行改性,使得稳定化的粒子在固化期间可与组合物的部分共聚或反应。一般来讲,表面处理剂具有第一末端和第二末端,第一末端将附接至粒子表面(通过共价键、离子键或强物理吸附作用),第二末端使粒子与组合物相容,和/或在固化期间与组合物反应。表面处理剂的示例包括醇、胺、羧酸、磺酸、膦酸、硅烷和钛酸盐。优选类型的处理剂部分地由金属氧化物表面的化学性质确定。对于二氧化硅和其它含硅填料来说,硅烷是优选的。硅烷和羧酸对金属氧化物诸如氧化锆来说是优选的。表面改性可在与单体混合之后即进行或在混合完成后进行。就硅烷而言,优选在掺入到组合物中之前使硅烷与粒子或与纳米粒子表面反应。所需表面改性剂的量取决于若干因素,诸如粒径、粒子类型、改性剂分子量和改性剂类型。一般来讲,优选将大约单层的改性剂附接至粒子的表面。所需的附接过程或反应条件也取决于所用的表面改性剂。对于硅烷而言,优选在酸性或碱性的条件下、在高温下表面处理大约1小时至24小时。表面处理剂诸如羧酸可不需要高温或延伸时间。
适用于组合物的表面处理剂的代表性实施方案包括诸如例如以下化合物:异辛基三甲氧基硅烷、N-(3-三乙氧基甲硅烷基丙基)甲氧基乙氧基乙氧基乙氧基乙基三乙氧基甲硅烷(PEG3TES)、N-(3-三乙氧基甲硅烷基丙基)甲氧基乙氧基乙氧基乙基三乙氧基甲硅烷(PEG2TES)、3-(甲基丙烯酰氧基)丙基三甲氧基硅烷、3-烯丙氧丙基三甲氧基硅烷、3-(甲基丙烯酰氧基)丙基三乙氧基硅烷、3-(甲基丙烯酰氧基)丙基甲基二甲氧基硅烷、3-(丙烯酰氧基丙基)甲基二甲氧基硅烷、3-(甲基丙烯酰氧基)丙基二甲基乙氧基硅烷、乙烯基二甲基乙氧基硅烷、苯基三甲氧基硅烷、正辛基三甲氧基硅烷、十二烷基三甲氧基硅烷、十八烷基三甲氧基硅烷、丙基三甲氧基硅烷、己基三甲氧基硅烷、乙烯基甲基二乙酰氧基硅烷、乙烯基甲基二乙氧基硅烷、乙烯基三乙酰氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、乙烯基三异丙氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三苯氧基硅烷、乙烯基三叔丁氧基硅烷、乙烯基三异丁氧基硅烷、乙烯基三异丙烯氧基硅烷、乙烯基三(2-甲氧基乙氧基)硅烷、苯乙烯基乙基三甲氧基硅烷、巯基丙基三甲氧基硅烷、3-缩水甘油氧基丙基三甲氧基硅烷、丙烯酸、甲基丙烯酸、油酸、硬脂酸、十二烷酸、2-[2-(2-甲氧基乙氧基)乙氧基]乙酸(MEEAA)、丙烯酸β-羧乙基酯、2-(2-甲氧基乙氧基)乙酸、甲氧基苯基乙酸以及它们的混合物。另外,已发现可以商品名“Silquest A1230”从西弗吉尼亚州弗兰德利的迈图公司(Momentive,Friendly,WV)商购获得的专有硅烷表面改性剂是尤其合适的。
示例性聚硅氧烷树脂可以商品名PERMANEW 6000获得,其可得自加利福尼亚州丘拉维斯塔的加州硬涂料公司(California Hardcoating Company,Chula Vista,CA)。这些分子通常具有无机组分(其导致高度的尺寸稳定性、机械强度和耐化学品性)和有机组分(其有助于溶解性和反应性)。
可用作热稳定材料的聚硅氧烷树脂属于由通式(如下)表示的一类高度支化的有机硅低聚物和聚合物,所述低聚物和聚合物可进一步反应以通过Si-OH基团的同型冷凝、与剩余可水解基团(例如,烷氧基)的异型冷凝和/或通过官能有机基团(例如,烯键式不饱和基团)的反应而形成交联网络。这类材料主要来源于具有以下通式的有机硅烷:
RxSiZ4-x,
其中
R选自氢、取代或未取代的C1-C20烷基、取代或未取代的C2-C10亚烷基、取代或未取代的C2-C20亚烯基、C2-C20亚炔基、取代或未取代的C3-C20环烷基、取代或未取代的C6-C20芳基、取代或未取代的C6-C20亚芳基、取代或未取代的C7至C20芳基烷基基团、取代或未取代的C1至C20杂烷基基团、取代或未取代的C2至C20杂环烷基基团和/或这些的组合。
Z为可水解基团,诸如卤素(含有元素F、Br、Cl或I)、C1-C20烷氧基、C5-C20芳氧基和/或这些的组合。
大部分组合物可由RSiO3/2单元组成,因此,该类材料通常称为倍半硅氧烷(或T树脂),然而它们也可包含单-(R3Si-O1/2)、二-(R2SiO2/2)和四官能基团(Si-O4/2)。由下式表示的有机改性的二硅烷:
Z3-nRnSi-Y-Si RnZ3-n
通常用于可水解组合物中以进一步使材料的特性改性(以形成所谓的桥联倍半硅氧烷),R和Z基团如上定义。材料可进一步配制并且与金属醇盐(M(OR)m)反应以形成准金属-倍半硅氧烷。
在许多实施方案中,高度支化的有机硅低聚物和聚合物可通过以下通式来描述:
R1选自氢、取代或未取代的C1-C20烷基、取代或未取代的C2-C10亚烷基、取代或未取代的C2-C20亚烯基、C2-C20亚炔基、取代或未取代的C3-C20环烷基、取代或未取代的C6-C20芳基、取代或未取代的C6-C20亚芳基、取代或未取代的C7至C20芳烷基基团、取代或未取代的C1至C20杂烷基基团、取代或未取代的C2至C20杂环烷基基团和/或这些的组合;
R2选自氢、取代或未取代的C1-C20烷基、取代或未取代的C2-C10亚烷基、取代或未取代的C2-C20亚烯基、C2-C20亚炔基、取代或未取代的C3-C20环烷基、取代或未取代的C6-C20芳基、取代或未取代的C6-C20亚芳基、取代或未取代的C7至C20芳烷基基团、取代或未取代的C1至C20杂烷基基团、取代或未取代的C2至C20杂环烷基基团和/或这些的组合;
R3选自氢、取代或未取代的C1-C20烷基、取代或未取代的C2-C10亚烷基、取代或未取代的C2-C20亚烯基、C2-C20亚炔基、取代或未取代的C3-C20环烷基、取代或未取代的C6-C20芳基、取代或未取代的C6-C20亚芳基、取代或未取代的C7至C20芳烷基基团、取代或未取代的C1至C20杂烷基基团、取代或未取代的C2至C20杂环烷基基团和/或这些的组合;
R4选自氢、取代或未取代的C1-C20烷基、取代或未取代的C2-C10亚烷基、取代或未取代的C2-C20亚烯基、C2-C20亚炔基、取代或未取代的C3-C20环烷基、取代或未取代的C6-C20芳基、取代或未取代的C6-C20亚芳基、取代或未取代的C7至C20芳烷基基团、取代或未取代的C1至C20杂烷基基团、取代或未取代的C2至C20杂环烷基基团和/或这些的组合;
R5选自氢、取代或未取代的C1-C20烷基、取代或未取代的C2-C10亚烷基、取代或未取代的C2-C20亚烯基、C2-C20亚炔基、取代或未取代的C3-C20环烷基、取代或未取代的C6-C20芳基、取代或未取代的C6-C20亚芳基、取代或未取代的C7至C20芳烷基基团、取代或未取代的C1至C20杂烷基基团、取代或未取代的C2至C20杂环烷基基团和/或这些的组合;
Z为可水解基团,诸如卤素(含有元素F、Br、Cl或I)、C1-C20烷氧基、C6-C20芳氧基、C1-C20酰氧基和/或这些的组合。
m为0至500的整数;
n为1至500的整数;
p为0至500的整数;
q为0至100的整数。
如本文所用,术语“取代的”是指被选自以下项中的至少一个取代基取代的一者替代化合物的氢:卤素(含有元素F、Br、Cl、或I)、羟基基团、烷氧基基团、硝基基团、氰基基团、氨基基团、叠氮基基团、脒基基团、肼基基团、亚肼基基团、羰基基团、氨甲酰基基团、硫醇基团、酯基团、羧基基团或其盐、磺酸基团或其盐、磷酸基团或其盐、烷基基团、C2至C20烯基基团、C2至C20炔基基团、C6至C30芳基基团、C7至C13芳基烷基基团、C1至C4氧烷基基团、C1至C20杂烷基基团、C3至C20杂芳基烷基基团、C3至C30环烷基基团、C3至C15环烯基基团、C6至C15环炔基基团、杂环烷基基团以及它们的组合。
所得高度支化的有机硅聚合物具有在150Da至300,000Da范围内或优选地在150Da至30,000Da范围内的分子量。
牺牲材料
牺牲材料为能够被烘除或以其他方式除去而保留基本上完整的热稳定材料的材料。根据转印膜的构造,牺牲材料包括例如在每个原层和任选的牺牲可剥离层以及任选的牺牲粘合剂层内的牺牲材料。在许多实施方案中,牺牲材料由可聚合组合物制成。牺牲材料在至少所选择的层或每个层中存在至少20重量%,或至少25重量%,或至少30重量%,或至少40重量%或至少50重量%。牺牲材料在至少所选择的层或每个层中以20重量%至99重量%或25重量%至95重量%或30重量%至90重量%、40重量%至90重量%或50重量%至90重量%的范围存在。
可用的可聚合组合物包含本领域中已知的可固化官能团,诸如环氧基团、烯丙氧基基团、(甲基)丙烯酸酯基团、环氧化物、乙烯基、羟基、乙酰氧基、羧酸、氨基、酚类、乙醛、肉桂酸、烯烃、炔烃、烯键式不饱和基团、乙烯基醚基团、以及它们的任何衍生物和任何化学相容的组合。
用于制备牺牲材料的可聚合组合物根据辐射可固化部分可为一官能的或多官能的(例如,二官能、三官能和四官能)。合适的一官能可聚合前体的示例包括苯乙烯、α-甲基苯乙烯、取代的苯乙烯、乙烯基酯、乙烯基醚、(甲基)丙烯酸辛酯、壬基酚乙氧基化(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异冰片酯、(甲基)丙烯酸异壬酯、2-(2-乙氧基乙氧基)乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸2-乙基己酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、β-羧乙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸1-叔丁酯、脂环族环氧树脂、α-环氧化物、(甲基)丙烯酸-2-羟乙酯、(甲基)丙烯酸异癸酯、(甲基)丙烯酸十二烷基酯、甲基丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸己酯、(甲基)丙烯酸、N-乙烯基己内酰胺、(甲基)丙烯酸十八烷基酯、羟基官能己内酯(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸羟甲酯、(甲基)丙烯酸羟丙酯、(甲基)丙烯酸羟基异丙酯、(甲基)丙烯酸羟丁酯、(甲基)丙烯酸羟基异丁酯、(甲基)丙烯酸四氢糠酯以及它们的任何组合。
合适的多官能可聚合前体的示例包括二(甲基)丙烯酸乙二醇酯、二(甲基)丙烯酸己二醇酯、二(甲基)丙烯酸三甘醇酯、二(甲基)丙烯酸四甘醇酯、三羟甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸酯、三(甲基)丙烯酸甘油酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、二(甲基)丙烯酸新戊二醇酯、双酚A二(甲基)丙烯酸酯、聚(1,4-丁二醇)二(甲基)丙烯酸酯、上文所列材料的任何取代的、乙氧基化或丙氧基化型式或它们的任何组合。
聚合反应一般导致三维的“交联”大分子网络的形成,并且在本领域中已知为负性光致抗蚀剂,如由Shaw等人,“用于光学平板印刷的负性光致抗蚀剂(Negativephotoresists for optical lithography)”,IBM研究与发展杂志(IBM Journal ofResearch and Development)(1997)41,81-94所评论的。网络的形成可通过共价键合、离子键合、或氢键合,或通过物理交联机构(诸如链缠结)来发生。也可通过一种或多种中间体种类(诸如,生成自由基的光引发剂、光敏剂、光生酸剂、光生碱剂、或热生酸剂)来引发反应。使用的固化剂的类型取决于所使用的可聚合前体,以及用于固化可聚合前体的辐射的波长。合适的可商购获得的生成自由基的光引发剂的示例包括二苯酮、安息香醚、和酰基氧化膦光引发剂,诸如以商品名“IRGACURE”和“DAROCUR”从纽约州塔里敦的汽巴精化有限公司(Ciba Specialty Chemicals,Tarrytown,NY)出售的那些。其它示例性光引发剂包括2,2-二甲氧基-2-苯基苯乙酮(DMPAP)、2,2-二甲氧基苯乙酮(DMAP)、氧杂蒽酮和噻吨酮。
共引发剂和胺增效剂也可被包括在内以便改善固化速率。基于可聚合前体的总重量,在交联基质中的固化剂的合适浓度在约1重量%至约10重量%的范围内,并且尤其合适的浓度在约1重量%至约5重量%的范围内。
可用于牺牲材料的其它材料包括聚乙烯醇(PVA)、聚环氧乙烷(PEO)、聚乙烯亚胺(PEI)、乙基纤维素、甲基纤维素、聚降冰片烯、聚(甲基丙烯酸甲酯)(PMMA)、聚(乙烯醇缩丁醛)、聚(环己烯碳酸酯)、聚(环己烯丙二醇)碳酸酯、聚(碳酸亚乙酯)、聚(碳酸丙二醇酯)和其它脂族聚碳酸酯、以及它们的任何共聚物或共混物,以及在R.E.Mistler、E.R.Twiname的Tape Casting:Theory and Practice,American Ceramic Society,2000(流延法:理论与实践,美国陶瓷学会,2000年)中的第二章,第2.4节“Binders”(粘结剂)中所述的其它材料。这些材料有许多商业来源。这些材料通常容易通过溶解或者经由热解或燃烧的热分解而除去。热加热通常为许多制造工艺的一部分,因此牺牲材料的去除可在现有加热步骤期间实现。因此,经由热解或燃烧的热分解是更优选的去除方法。
存在牺牲材料中优选的若干特性。材料优选能够经由坡流涂覆、挤出、刮刀涂覆、溶剂涂覆、浇铸和固化或其它典型的涂覆方法被涂覆到基底上。优选的是,材料在室温下为固体。对于热塑性牺牲材料,优选的是,定义为在玻璃化转变温度(Tg)或在其中材料表现出适于挤出的粘度的温度范围和热分解开始(Tdec)之间的工作温度为足够大,诸如至少50摄氏度至100摄氏度,以允许其作为多层膜的一部分挤出。用于在挤出操作中制备膜的聚合物在100/秒的剪切速率下必须表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。通常,这些聚合物具有足够高的分子量以提供根据ASTM D4603-91使用苯酚/邻二氯苯的60/40混合物作为溶剂在30摄氏度下测量的0.4dl/g的本征粘度。
具有低灰分或低总残余物的热分解的材料优于具有较高残余物的那些材料。留在基底上的残余物可不利地影响最终产品的电特性和/或光学特性,诸如导电性、透明度或颜色。由于期望使最终产品的这些特性的任何改变最小化,所以小于1000ppm的残余物含量是优选的。小于500ppm的残余物含量是更优选的,并且50ppm以下的残余物含量是最优选的。
术语“干净地烘除”意指牺牲层可通过热解或燃烧被除去,而不保留大量的残余物质(诸如,灰分)。上面提供了优选残余物含量的示例,但是可根据具体应用使用不同的残余物含量。
牺牲粘合剂层
牺牲粘合剂层可利用增强转印膜对受体基底的粘附力而基本上不会不利影响转印膜或所得光学叠堆的性能的任何材料来实现。该层也可描述为粘合增进层。牺牲粘合剂层看起来有利于受体基底和被烘除热稳定结构之间的最终永久性粘结。在本文所述的方法期间牺牲粘合剂层能够被干净地烘除。
可用的牺牲粘合剂或粘合增进材料包括光致抗蚀剂(正性和负性)、自组装单层、硅烷偶联剂和大分子。在一些实施方案中,倍半硅氧烷可用作粘合增进层。其它示例性材料可包括苯并环丁烯、聚酰亚胺、聚酰胺、硅氧烷、聚硅氧烷、硅氧烷杂合聚合物、(甲基)丙烯酸酯以及用诸如以下的多种反应性基团官能化的其它硅烷或大分子:环氧基、环硫基、乙烯基、羟基、烯丙氧基、(甲基)丙烯酸酯、异氰酸酯、氰基酯、乙酰氧基、(甲基)丙烯酰胺、硫醇、硅烷醇、羧酸、氨基、乙烯醚、酚基、醛基、卤代烷、肉桂酸酯、叠氮基、氮丙啶、烯烃、氨基甲酸酯、酰亚胺、酰胺、炔烃,以及这些基团的任何衍生物或组合。
通过以下实施例进一步说明了本公开的目的和优点,但在这些实施例中列举的具体材料及其量以及其它条件和细节不应理解为是对本公开的不当限制。
实施例
除非另外指明,否则这些实施例中的所有份数、百分比、比率等均按重量计。除非不同地指明,否则所用溶剂和其它试剂均得自密苏里州圣路易斯的西格玛-奥德里奇公司(Sigma-Aldrich Corp.,St.Louis,Missouri)。
实施例1:涂覆和固化
在这些实施例中使用的基底是使用辊到辊网涂覆工艺用来自共聚物在2-丁酮中的20重量%溶液的6微米厚的PMMA共聚物(75重量%甲基丙烯酸甲酯,25重量%丙烯酸乙酯,“PRD510-A”,Altuglas有限公司)涂覆的2密耳PET膜。PMMA共聚物剥离层进一步用通过使用#12缠线棒(纽约韦伯斯特的RD特种产品公司(RD Specialties,Webster,NY))施加在2-丁酮中的乙氧基化的双酚A二丙烯酸酯(Sartomer SR540)(75重量%)和Darocur 4265光引发剂(2重量%)的溶液的溶剂阻隔处理。将所得涂层在70℃的强制通风烘箱中干燥5分钟,并通过穿过配备有以100%功率操作的D型汞灯的辐深紫外线系统有限公司(Fusion UVSystems,Inc.)的Lighthammer UV处理器并使用在氮气惰化下为20英尺/分钟的传送速度进行固化。
树脂A-SR540/二氧化硅的制备
将配备有搅拌棒、搅拌板、加热套、冷凝器和热电偶/控制器的2000ml的单颈圆底烧瓶装入600克的Nalco 2327(20nm胶态二氧化硅在水中的41%固体分散体,伊利诺伊州内珀维尔的纳尔科公司(Nalco Company,Naperville,IL))。在混合下将800克1-甲氧基-2-丙醇(马萨诸塞州瓦德希尔的阿法埃莎公司(Alfa Aesar,Ward Hill,MA))加入该分散体中。所得分散体为半透明的蓝色混合物。接着,向批料中加入76.45克Silquest A1230(西弗吉尼亚州弗兰德利的迈图公司(Momentive,Friendly,WV)),随后加入100克1-甲氧基-2-丙醇以冲洗干净添加烧杯。将批料加热至80℃并且保持大约16小时,之后使其冷却至室温。通过交替地真空蒸馏和添加1000克1-甲氧基-2-丙醇从批料中除去水。通过真空蒸馏将批料浓缩,得到具有62.5重量%固体的流动性很强的半透明分散体。
向500ml的1颈圆底烧瓶中装入以上制备的100.0克的A1230-处理的Nalco 2327二氧化硅粒子的62.5重量%固体分散体。接着,将200.0克1-甲氧基-2-丙醇(马萨诸塞州沃德希尔的阿法埃莎公司(Alfa Aesar,Ward Hill,MA))加入批料中。在混合下将批料在室温下保持大约15分钟。接着,在搅拌下加入62.5克Sartomer SR540(宾夕法尼亚州沃灵顿的沙多玛公司(Sartomer,Warrington,PA))和0.50克的5重量%Prostab 5198(新泽西州弗洛厄姆帕尔克的巴斯夫公司(BASF,Florham Park,NJ))水溶液。将批料放置在旋转蒸发仪上,并且用真空除去溶剂并加热至60℃。最终混合物是粘性的、几乎澄清的分散体,分离得126.0克的产量。
树脂B-SR540/氧化锆的制备
向500ml的3颈圆底烧瓶中装入100.0克的10nm氧化锆粒子的45.2重量%固体分散体(如美国专利7,241,437和美国专利6,376,590中所述制备)。接着,将200.0克1-甲氧基-2-丙醇(马萨诸塞州沃德希尔的阿法埃莎公司(Alfa Aesar,Ward Hill,MA))加入批料中。在混合下将批料在室温下保持大约15分钟。接着,在搅拌下将0.38克Prostab 5198(新泽西州弗洛厄姆帕尔克的巴斯夫公司(BASF,Florham Park,NJ))的5重量%水溶液、7.32克PEG350琥珀酸酯酸(succinate ester acid)(使用在WO 2010074862中所述的方法由聚乙二醇350和琥珀酸酐制备)和48.0克Sartomer SR540(宾夕法尼亚州沃灵顿的沙多玛公司(Sartomer,Warrington,PA))加入批料中。将批料放置在旋转蒸发仪上,并且用真空除去溶剂并加热至60℃。最终混合物是流动性很强的、几乎澄清的分散体,分离得102.3克的产量。
涂层成分的制备
向琥珀色玻璃螺旋盖广口瓶中装入2.00g树脂A、2.50g在2-丁酮中的20重量%部分封端的乙烯基倍半硅氧烷树脂(根据在2013年12月提交的3M专利申请74705US002,US61/913568中的实施例1制备)、0.04g的Darocur 4265光引发剂和38g的2-丁酮。将广口瓶内容物混合以产生具有5.97重量%固体和二氧化硅:乙烯基倍半硅氧烷树脂比例为2:1的均匀分散体(涂层成分1)。
向第二琥珀色玻璃螺旋盖广口瓶中装入2.00g树脂B、0.50g四(乙酰丙酮)锆(Zracac,可购自威斯康星州密尔沃基的西格玛-奥德里奇公司(Sigma-Aldrich,Milwaukee,WI))和0.04g的Darocur 4265光引发剂和38g的2-丁酮。将广口瓶内容物混合以产生具有6.27重量%固体和氧化锆:Zr acac比例为2:1的均匀分散体(涂层成分2)。
在玻璃上的层压转印膜和氧化锆/二氧化硅多层叠堆的制备
将上述PET/PMMA/SR540膜基底的片材粘贴到涂覆侧朝上的玻璃板上。然后使用#12缠线棒用涂层成分2涂覆,并且将涂层在70℃的强制通风烘箱中干燥3分钟。通过单程通过配备有以100%功率操作的D型汞灯的辐深紫外线系统有限公司(Fusion UV Systems,Inc.)的Lighthammer UV处理器并使用在氮气惰化下为20英尺/分钟的传送速度进行固化。然后使用相同的过程在成分2涂层上施加并固化涂层成分1。使用成分2的第二涂层和成分1的第二涂层重复该顺序,得到四层叠堆。最后,使用#15缠线棒施加压敏粘合剂(如在USRE24,906(Ulrich)中所述的丙烯酸异辛酯(IOA)/丙烯酸(AA)(93/7),在乙酸乙酯中15重量%固体),并将所得涂层在70℃下干燥5分钟。
使用粘合剂辊将以上粘合剂涂覆的四层叠堆层压到干净的载玻片上,并除去膜支撑件。图3A是受体基底40(玻璃)上的层压转印膜110的SEM图像。图3B是图3A的更高倍放大SEM图像。IOA/AA压敏粘合剂层30将转印膜粘附至玻璃40。四层氧化锆22/二氧化硅24的原层叠堆20具有约2.4微米的总厚度。SR540的任选溶剂阻隔26和共-PMMA剥离层13完成层压转印膜110。层压转印膜110具有约25微米的厚度。
将玻片置于陶瓷炉中,并以10℃/min的速率将温度升至500℃并保持2小时,然后使其冷却至室温。玻片在涂覆区域中断裂并通过扫描电子显微镜(SEM)来检查。该烘除叠堆25的断裂横截面的SEM图像在图3C中示出。图像示出在烘除步骤之后剩余的氧化锆和二氧化硅的清楚离散的交替层。首先涂覆在剥离基底上的氧化锆位于转印的四层叠堆的顶部处。烘除的四层叠堆25在烘除后具有约1.35微米的厚度,并且在烘除前具有约2.4微米的厚度。
在层压到玻璃上之后并且在烘除之前和之后在层压转移叠堆上进行可见光透射率(%T)和雾度(%H)的测量,得到以下结果:在烘除前,91.7%T,2.0%H;在烘除后,91.2%T,1.9%H。给定的结果是使用HazeGard Plus(马里兰州哥伦比亚的毕克-加特纳公司(BYK-Gardner USA,Columbia,MD))进行的样品的不同位置上的两次测量的平均值。
实施例2:经由热压形成四层膜
表面处理的二氧化硅分散体的制备
将配备有搅拌棒、搅拌板、加热套、冷凝器和热电偶/控制器的2000ml的单颈圆底烧瓶装入400克的Nalco 2327(20nm胶态二氧化硅在水中的41%固体分散体,伊利诺伊州内珀维尔的纳尔科公司(Nalco Company,Naperville,IL))。接着,将400克去离子水加入烧瓶中。通过在塑料烧杯中混合制备400克异丙醇(宾夕法尼亚州拉德诺的VWR国际公司(VWRInternational,Radnor,PA))和50.96克Silquest A1230(西弗吉尼亚州弗兰德利的迈图公司(Momentive,Friendly,WV))的预混物。将该预混物缓慢加入烧瓶中。将批料加热到50℃并且保持约30分钟。在保持30分钟后,向该批料中加入另外的400克异丙醇,并且将批料加热至80℃。将批料在80℃下保持约16小时,并且然后冷却至室温。通过交替地真空蒸馏和添加800克去离子水从批料中除去异丙醇。通过真空蒸馏将批料浓缩,以得到具有39.8重量%固体的流动性很强的黄色分散体。
聚(环氧乙烷)(PEO)溶液
向一加仑玻璃广口瓶中装入100克聚(环氧乙烷)(平均分子量200,000(威斯康辛州密尔沃基的奥德里奇化学公司(Aldrich Chemical Company,Inc,Milwaukee,WI),目录号18,199-4))和1900克去离子水。将搅拌棒加入广口瓶中,并且将加盖的广口瓶放置在搅拌板上,并在适度搅动下搅拌过夜。所得混合物为混浊溶液。使用Centra MP4离心机(国际设备公司(International Equipment Company))以5000rpm将溶液在~15ml等分试样中处理5分钟,以将溶液与存在于起始聚合物固体中的少量分散的二氧化硅粒子分离。将所得澄清溶液滗出到干净的一加仑玻璃广口瓶中。澄清的滗出溶液的固含量测量为4.8重量%。
SA-PEG550过程
三升三颈圆底烧瓶配备有机械搅拌器、热电偶和冷凝器。向烧瓶中加入以下项:323.7克琥珀酸酐、1.9克三乙胺和1800.7克聚乙二醇甲基醚550。在良好搅动下,将反应混合物加热至80℃,当反应接近目标温度时,观察初始放热。将批料在80℃下保持6小时,并且然后排出至广口瓶中储存。
氧化锆/PEO母料
向500ml的三颈圆底烧瓶中装入30.0克的10nm氧化锆粒子的45.4重量%固体分散体(如美国专利7,241,437和美国专利6,376,590中所述制备)。接着,将3.19克SA-PEG550(如上所述制备)加入烧瓶中。最后,将321.8克的PEO 200,000的4.8%固体水溶液加入烧瓶中。将混合物搅拌约30分钟,并且然后转移到9英寸×13英寸铝盘中,并在80℃的烘箱中放置约四小时以除去水。所得复合混合物为含有42重量%氧化锆的易碎不透明均质膜。将膜破碎成约一平方英寸并放置在玻璃广口瓶中储存。
二氧化硅/PEO母料
向500ml的三颈圆底烧瓶中装入50.0克的A1230硅烷处理的Nalco 2327的39.8重量%固体分散体(如以上制备)。接着,将49.5克去离子水加入烧瓶中。最后,将319.2克的PEO 200,000的4.8%固体水溶液加入烧瓶中。将混合物搅拌约30分钟,并且然后转移到9英寸×13英寸铝盘中,空气干燥两天,并且然后在80℃的烘箱中放置约四小时以除去水。所得复合混合物为含有约43重量%二氧化硅的易碎不透明均质膜。将膜破碎成约一平方英寸并放置在玻璃广口瓶中储存。
无机多层叠堆的形成
为了产生多层叠堆,通过在去离子水中将适量的上述纳米粒子/PEO母料与另外的PEO 200,000(如上所述预先处理以除去在如由供应商供给的材料中存在的二氧化硅粒子)混合来制备含有约1重量%二氧化硅(SiO2)或氧化锆(ZrO2)纳米粒子的PEO的水溶液。在室温下搅拌以溶解固体后,将这些溶液倾注到铝盘中并放置在90℃的烘箱中以蒸发掉水。
将SiO2/PEO和ZrO2/PEO残余物单独地在2000psi和170℃下热压三分钟,以在模拟挤出操作中制备膜。然后冷却这些膜,并且将每个膜的最薄部分以交替方式分层以形成四层叠堆。将四层叠堆在2000psi和170℃下再次热压三分钟。然后将叠堆放置到载玻片上并在550℃烘烤一个小时,以除去牺牲PEO载体并形成SiO2和ZrO2纳米粒子的交替层(参见图4)。浅色带或层是ZrO2层,并且较暗的较少本色(bense)带或层是SiO2层。
因此,本发明公开了无机多层层压转印膜的实施方案。
本文所引用的所有参考文献和公布全文均明确地以引用方式并入本公开,但可与本公开直接冲突的内容除外。虽然本文已经举例说明并描述了具体实施方案,但本领域的普通技术人员应理解,在不脱离本公开的范围的情况下,可用多种另选和/或等同形式的具体实施来代替所示出的和所描述的具体实施方案。本专利申请旨在涵盖本文所讨论的具体实施方案的任何调整或变型。因此,本公开旨在仅受权利要求书及其等同形式的内容限制。所公开的实施方案仅为举例说明而非限制目的而给出。
Claims (43)
1.一种转印膜,所述转印膜包括:
形成原层叠堆的多个共延伸层,每个层独立地包含至少25重量%牺牲材料和热稳定材料,并且具有小于25微米的均匀厚度。
2.根据权利要求1所述的转印膜,所述转印膜还包括具有可剥离表面的聚合物支撑层,所述可剥离表面接触所述原层叠堆。
3.根据权利要求1所述的转印膜,其中所述原层叠堆具有至少5%的可见光透射率。
4.根据权利要求1所述的转印膜,其中所述原层叠堆具有至少50%的可见光透射率。
5.根据权利要求1所述的转印膜,其中至少所选择的层包含具有小于250nm平均粒径的无机纳米粒子。
6.根据权利要求1所述的转印膜,其中所述原层叠堆包括多个共延伸层对,每个层对包括各自包含牺牲材料的第一层和第二层,所述第一层包含第一热稳定材料,并且所述第二层包含第二热稳定材料,所述第一热稳定材料是与所述第二热稳定材料不同的材料。
7.根据权利要求6所述的转印膜,其中所述第一热稳定材料包含第一无机纳米材料,并且所述第二热稳定材料包含第二无机纳米材料,其中所述第一无机纳米材料和所述第二无机纳米材料具有至少0.2的折射率差。
8.根据权利要求1所述的转印膜,其中所述热稳定材料包含聚硅氧烷材料。
9.根据权利要求1所述的转印膜,其中所述热稳定材料包含无机纳米材料和聚硅氧烷材料。
10.根据权利要求1所述的转印膜,其中所述牺牲材料包含有机聚合物材料。
11.根据权利要求1所述的转印膜,其中所述热稳定材料在每个层中以1重量%至65重量%的范围存在。
12.根据权利要求1所述的转印膜,其中所述多个共延伸层形成由表示为A、B、C和D的四种不同层成分形成的一个或多个六层单元。
13.根据权利要求13所述的转印膜,其中所述六层单元以六层顺序CACDBD进行叠堆。
14.一种转印膜,所述转印膜包括:
形成原层叠堆的多个共延伸层,每个层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下独立地表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
15.根据权利要求14所述的转印膜,其中所述原层叠堆具有至少50%的可见光透射率。
16.根据权利要求14所述的转印膜,其中至少所选择的层包含具有小于250nm平均粒径的无机纳米粒子。
17.根据权利要求14所述的转印膜,其中所述原层叠堆包括多个共延伸层对,每个层对包括各自包含牺牲材料的第一层和第二层,所述第一层包含第一热稳定材料,并且所述第二层包含第二热稳定材料,所述第一热稳定材料是与所述第二热稳定材料不同的材料。
18.根据权利要求14所述的转印膜,其中所述热稳定材料包含聚硅氧烷材料。
19.根据权利要求14所述的转印膜,其中所述热稳定材料包含无机纳米材料和聚硅氧烷材料。
20.根据权利要求14所述的转印膜,其中所述牺牲材料包含有机聚合物材料。
21.根据权利要求14所述的转印膜,其中所述热稳定材料在每个层中以1重量%至65重量%的范围存在。
22.一种方法,所述方法包括:
将根据权利要求1所述的转印膜层合至受体基底;
烘除所述牺牲材料以形成光学叠堆。
23.根据权利要求22所述的方法,其中所述受体基底包括玻璃、石英或蓝宝石。
24.根据权利要求22所述的方法,其中所述光学叠堆具有至少10%的可见光透射率。
25.根据权利要求22所述的方法,其中所述光学叠堆的每个层独立地具有小于2微米的均匀厚度。
26.根据权利要求22所述的方法,其中所述光学叠堆包括至少50层。
27.一种方法,所述方法包括:
将根据权利要求14所述的转印膜层合至受体基底;
烘除牺牲材料以形成光学叠堆。
28.根据权利要求27所述的方法,其中所述受体基底包括玻璃、石英或蓝宝石。
29.根据权利要求27所述的方法,其中所述光学叠堆具有至少10%的可见光透射率。
30.根据权利要求27所述的方法,其中所述光学叠堆的每个层独立地具有小于2微米的均匀厚度。
31.根据权利要求27所述的方法,其中所述光学叠堆包括至少50层。
32.一种形成转印膜的方法,所述方法包括:
沉积形成原层叠堆的多个共延伸层,每个层独立地包含至少25重量%牺牲材料和热稳定材料,并且具有小于25微米的均匀厚度。
33.根据权利要求32所述的方法,其中所述原层叠堆形成在聚合物支撑基底的可剥离表面上。
34.根据权利要求32所述的方法,其中所述原层叠堆具有至少5%的可见光透射率。
35.一种形成转印膜的方法,所述方法包括:
沉积形成原层叠堆的多个共延伸层,每个层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下独立地表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
36.根据权利要求35所述的方法,其中所述原层叠堆形成在聚合物支撑基底的可剥离表面上。
37.根据权利要求35所述的方法,其中所述原层叠堆具有至少5%的可见光透射率。
38.一种形成转印膜的方法,所述方法包括:
共挤出多个共延伸层以形成原层叠堆,每个层独立地包含至少25重量%牺牲材料和热稳定材料,并且具有小于25微米的均匀厚度。
39.根据权利要求38所述的方法,其中所述原层叠堆具有至少5%的可见光透射率。
40.一种形成转印膜的方法,所述方法包括:
共挤出多个共延伸层以形成原层叠堆,每个层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下独立地表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
41.根据权利要求40所述的方法,其中所述原层叠堆具有至少5%的可见光透射率。
42.一种转印膜,所述转印膜包括:
形成原层叠堆的多个共延伸层,至少所选择的层独立地包含牺牲材料和热稳定材料,并且具有小于25微米的均匀厚度。
43.一种转印膜,所述转印膜包括:
形成原层叠堆的多个共延伸层,至少所选择的层当加热到在其Tg和Tdec之间的温度时,在100/s的剪切速率下独立地表现出在103泊和104泊之间的复数粘度。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US14/470,258 US9586385B2 (en) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | Inorganic multilayer lamination transfer films |
US14/470,258 | 2014-08-27 | ||
PCT/US2015/046953 WO2016033185A1 (en) | 2014-08-27 | 2015-08-26 | Inorganic multilayer lamination transfer films |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106796985A true CN106796985A (zh) | 2017-05-31 |
CN106796985B CN106796985B (zh) | 2020-06-05 |
Family
ID=54065474
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201580045381.8A Active CN106796985B (zh) | 2014-08-27 | 2015-08-26 | 无机多层层压转印膜 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9586385B2 (zh) |
EP (1) | EP3186081A1 (zh) |
JP (1) | JP2017528345A (zh) |
KR (1) | KR20170048418A (zh) |
CN (1) | CN106796985B (zh) |
SG (1) | SG11201701507QA (zh) |
TW (1) | TW201613762A (zh) |
WO (1) | WO2016033185A1 (zh) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201701508SA (en) | 2014-08-27 | 2017-03-30 | 3M Innovative Properties Co | Electrical multilayer lamination transfer films |
US9586385B2 (en) | 2014-08-27 | 2017-03-07 | 3M Innovative Properties Company | Inorganic multilayer lamination transfer films |
JP6995491B2 (ja) * | 2017-04-21 | 2022-01-14 | キヤノン株式会社 | 光学薄膜、光学素子、光学素子の製造方法 |
JP6944849B2 (ja) * | 2017-10-18 | 2021-10-06 | 野村マイクロ・サイエンス株式会社 | 立体造形物の製造方法及び立体造形用サポート材組成物 |
WO2019169110A1 (en) * | 2018-02-28 | 2019-09-06 | Arizona Board Of Regents On Behalf Of The University Of Arizona | Flexible curved components for providing spectral characteristics for large surfaces |
WO2020014976A1 (en) * | 2018-07-20 | 2020-01-23 | Yangtze Memory Technologies Co., Ltd. | Methods for forming three-dimensional memory devices |
JP7418098B2 (ja) * | 2019-04-26 | 2024-01-19 | キヤノン株式会社 | 光学多層膜の成膜方法および光学素子の製造方法 |
KR102181145B1 (ko) * | 2019-05-09 | 2020-11-20 | 한양대학교 산학협력단 | 접착력 차이를 이용한 층상자기조립박막의 전사적 적층 방법 및, 이를 이용하여 제조된 광반사 다중적층박막 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1303358A (zh) * | 1998-05-27 | 2001-07-11 | 新材料公共服务公司研究所 | 多层光学系统的生产方法 |
CN101031825A (zh) * | 2004-09-30 | 2007-09-05 | 伊斯曼柯达公司 | 光学膜及其制备方法 |
WO2013124017A1 (de) * | 2012-02-20 | 2013-08-29 | Bayer Materialscience Ag | Mehrschichtaufbau als reflektor mit erhöhter mechanischer stabilität |
US20140021492A1 (en) * | 2012-07-20 | 2014-01-23 | 3M Innovative Properties Company | Structured lamination transfer films and methods |
Family Cites Families (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CA677797A (en) | 1955-11-18 | 1964-01-14 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Sheet material having a pressure-sensitive adhesive coating of acrylate ester copolymer |
US4949005A (en) | 1988-11-14 | 1990-08-14 | General Electric Company | Tantala-silica interference filters and lamps using same |
US5849162A (en) | 1995-04-25 | 1998-12-15 | Deposition Sciences, Inc. | Sputtering device and method for reactive for reactive sputtering |
JP3444053B2 (ja) | 1995-10-13 | 2003-09-08 | ソニー株式会社 | 薄膜半導体装置 |
US5976424A (en) | 1996-07-31 | 1999-11-02 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Method for making multilayer optical films having thin optical layers |
US6808658B2 (en) | 1998-01-13 | 2004-10-26 | 3M Innovative Properties Company | Method for making texture multilayer optical films |
US6376590B2 (en) | 1999-10-28 | 2002-04-23 | 3M Innovative Properties Company | Zirconia sol, process of making and composite material |
US6582807B2 (en) | 2000-04-07 | 2003-06-24 | Case Western Reserve University | Polymer 1D photonic crystals |
US6849558B2 (en) | 2002-05-22 | 2005-02-01 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Replication and transfer of microstructures and nanostructures |
US7294298B2 (en) | 2002-07-24 | 2007-11-13 | Tdk Corporation | Functional film for transfer having functional layer, object furnished with functional layer and process for producing the same |
US7064897B2 (en) | 2002-12-31 | 2006-06-20 | 3M Innovative Properties Company | Optical polarizing films with designed color shifts |
JP2005144876A (ja) * | 2003-11-17 | 2005-06-09 | Toyo Kohan Co Ltd | 多層樹脂フィルム、樹脂被覆金属板、多層樹脂フィルムの製造方法、および樹脂被覆金属板の製造方法 |
US7019905B2 (en) | 2003-12-30 | 2006-03-28 | 3M Innovative Properties Company | Multilayer reflector with suppression of high order reflections |
CN1997516A (zh) * | 2004-08-06 | 2007-07-11 | 东洋钢钣株式会社 | 多层树脂膜、树脂被覆金属板、多层树脂膜的制造方法及树脂被覆金属板的制造方法 |
US20060147614A1 (en) | 2004-12-30 | 2006-07-06 | 3M Innovative Properties Company | Transferable antireflection material for use on optical display |
US7241437B2 (en) | 2004-12-30 | 2007-07-10 | 3M Innovative Properties Company | Zirconia particles |
US20070047080A1 (en) * | 2005-08-31 | 2007-03-01 | 3M Innovative Properties Company | Methods of producing multilayer reflective polarizer |
US7508130B2 (en) | 2005-11-18 | 2009-03-24 | Eastman Kodak Company | OLED device having improved light output |
ITMI20060094A1 (it) | 2006-01-20 | 2007-07-21 | Alice Engineering | Pellicola trasferibile per il tivestimento di superfici procedimento per la sua realizzazione e procedimento di applicazione |
ES2296533B1 (es) | 2006-09-22 | 2009-04-01 | Consejo Superior Investig. Cientificas | Procedimiento de preparacion de multicapas con estructura mesoporosa ordenada, material asi obtenido y utilizacion. |
ES2304104B1 (es) | 2007-02-23 | 2009-08-25 | Consejo Superior De Investigaciones Cientificas | Estructura multicapa formada por laminas de nanoparticulas con propiedades de cristal fotonico unidimensional, procedimiento para su fabricacion y sus aplicaciones. |
US8446666B2 (en) | 2009-05-18 | 2013-05-21 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | UV-reflective structural color |
US8313798B2 (en) | 2009-05-18 | 2012-11-20 | Toyota Motor Engineering & Manufacturing North America, Inc. | Structural colors having UV reflectance via spray layer-by-layer processing |
US20100075136A1 (en) * | 2008-09-19 | 2010-03-25 | Kevin Sun Song | Functional Nanofilms |
SG171872A1 (en) | 2008-12-15 | 2011-07-28 | 3M Innovative Properties Co | High refractive index inorganic oxide nanoparticles comprising surface treatment, polymerizable resin, and articles |
WO2010075383A1 (en) * | 2008-12-22 | 2010-07-01 | 3M Innovative Properties Company | Multilayer optical films having side-by-side polarizer/polarizer zones |
EP2244033A1 (en) | 2009-04-24 | 2010-10-27 | Ronda S.P.A. | Reflecting panel with dielectric reflective coating and method for the manufacturing thereof |
KR20130018785A (ko) * | 2010-03-26 | 2013-02-25 | 쓰리엠 이노베이티브 프로퍼티즈 컴파니 | 텍스쳐화 필름 및 이의 제조 방법 |
CN102959432B (zh) * | 2010-06-30 | 2016-08-03 | 3M创新有限公司 | 多层光学膜 |
WO2013052927A2 (en) | 2011-10-07 | 2013-04-11 | Svaya Nanotechnologies, Inc. | Broadband solar control film |
WO2013165726A1 (en) | 2012-05-03 | 2013-11-07 | 3M Innovative Properties Company | Durable solar mirror films |
JP5711713B2 (ja) * | 2012-10-01 | 2015-05-07 | 住友電気工業株式会社 | 多層熱回復物品 |
JP2016506544A (ja) | 2012-12-20 | 2016-03-03 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | 層ごとに自己集合された層を含む多層光学フィルム及び物品の製造方法 |
US20140242343A1 (en) * | 2013-02-27 | 2014-08-28 | 3M Innovative Properties Company | Lamination transfer films for forming embedded nanostructures |
US9246134B2 (en) * | 2014-01-20 | 2016-01-26 | 3M Innovative Properties Company | Lamination transfer films for forming articles with engineered voids |
US11247501B2 (en) | 2014-08-27 | 2022-02-15 | 3M Innovative Properties Company | Layer-by-layer assembled multilayer lamination transfer films |
US9586385B2 (en) | 2014-08-27 | 2017-03-07 | 3M Innovative Properties Company | Inorganic multilayer lamination transfer films |
-
2014
- 2014-08-27 US US14/470,258 patent/US9586385B2/en active Active
-
2015
- 2015-08-26 JP JP2017511285A patent/JP2017528345A/ja active Pending
- 2015-08-26 SG SG11201701507QA patent/SG11201701507QA/en unknown
- 2015-08-26 WO PCT/US2015/046953 patent/WO2016033185A1/en active Application Filing
- 2015-08-26 TW TW104127985A patent/TW201613762A/zh unknown
- 2015-08-26 KR KR1020177007685A patent/KR20170048418A/ko unknown
- 2015-08-26 CN CN201580045381.8A patent/CN106796985B/zh active Active
- 2015-08-26 EP EP15760344.0A patent/EP3186081A1/en not_active Withdrawn
-
2017
- 2017-01-20 US US15/411,436 patent/US9776384B2/en active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1303358A (zh) * | 1998-05-27 | 2001-07-11 | 新材料公共服务公司研究所 | 多层光学系统的生产方法 |
CN101031825A (zh) * | 2004-09-30 | 2007-09-05 | 伊斯曼柯达公司 | 光学膜及其制备方法 |
WO2013124017A1 (de) * | 2012-02-20 | 2013-08-29 | Bayer Materialscience Ag | Mehrschichtaufbau als reflektor mit erhöhter mechanischer stabilität |
US20140021492A1 (en) * | 2012-07-20 | 2014-01-23 | 3M Innovative Properties Company | Structured lamination transfer films and methods |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9776384B2 (en) | 2017-10-03 |
SG11201701507QA (en) | 2017-03-30 |
US20170190161A1 (en) | 2017-07-06 |
KR20170048418A (ko) | 2017-05-08 |
CN106796985B (zh) | 2020-06-05 |
US20160059528A1 (en) | 2016-03-03 |
JP2017528345A (ja) | 2017-09-28 |
WO2016033185A1 (en) | 2016-03-03 |
TW201613762A (en) | 2016-04-16 |
EP3186081A1 (en) | 2017-07-05 |
US9586385B2 (en) | 2017-03-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10988979B2 (en) | Microoptics for glazing | |
CN106796985A (zh) | 无机多层层压转印膜 | |
CN105917485B (zh) | 用于形成具有工程化空隙的制品的叠层转印膜 | |
CN105917253B (zh) | 用于形成抗反射结构的叠层转印膜 | |
EP2961601B1 (en) | Lamination transfer films for forming embedded nanostructures | |
CN105916674B (zh) | 用于形成凹入结构的叠层转印膜 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |