CN106783675B - 一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,石墨舟放置于侧向出舟机构的石墨舟承载座上,石墨舟上沿其整个宽度并列设置有多个槽,每个槽沿所述石墨舟的整个长度延伸,每个槽内放置有硅片,侧向出舟机构带动石墨舟运动,该倒片检测装置包括多个反光座和多个光电开关,所述石墨舟的下方沿其整个长度间隔设置所述多个反光座,所述石墨舟的上方沿其整个宽度设置所述多个光电开关,每个光电开关对应于所述石墨舟上的一个槽。该具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构能够检测到石墨舟中的倒片,并将具有倒片的石墨舟进行退舟并返回至自动插片机予以人工纠正,避免因石墨舟中存在倒片而导致硅片镀膜不良而造成和硅片浪费。

Description

一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构
技术领域
本发明涉及PECVD设备的侧向出舟机构技术领域,更具体地说是涉及一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构。
背景技术
目前PECVD设备的侧向出舟机构与自动插片机进行衔接,实现了全自动化作业。侧向出舟机构设置在PECVD设备的暂存区下方,侧向出舟机构通过同步带传输与自动插片机进行衔接并进行自动插片,进行自动插片后侧向出舟机构在传输至侧出舟同步带的过程中,由于机械振动,硅片在石墨舟内会出现倒片的情况,如果此时继续进行工艺,就会导致硅片镀膜不良而造成硅片浪费。
因此亟待一种能够检测到石墨舟内出现倒片的装置。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,能够检测到石墨舟内的倒片,从而对具有倒片的石墨舟进行退舟,避免因石墨舟中存在倒片而导致硅片镀膜不良而造成硅片浪费。
本发明的技术方案为:一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,石墨舟放置于侧向出舟机构的石墨舟承载座上,石墨舟上沿其整个宽度并列设置有多个槽,每个槽沿所述石墨舟的整个长度延伸,每个槽内放置有硅片,侧向出舟机构带动石墨舟运动,该倒片检测装置包括多个反光座和多个光电开关,所述石墨舟的下方沿其整个长度间隔设置所述多个反光座,所述石墨舟的上方沿其整个宽度设置所述多个光电开关,每个光电开关对应于所述石墨舟上的一个槽。
所述倒片检测装置还包括底座、顶座和用于固定所述多个光电开关的固定组件,所述底座呈门拱形,具有顶板和分别设于所述顶板两端的两个侧板,所述顶板位于所述石墨舟的上方并横跨所述石墨舟的整个宽度,所述两个侧板的下端固定在所述侧向出舟机构上;所述顶座固定在所述底座的顶板上,所述顶座具有容置腔,所述固定组件和所述多个光电开关放置于所述容置腔内。
所述容置腔的开口处固定有盖板。
所述固定组件包括多个固定座、连接座和两根串接棒,所述两根串接棒依次交替的穿过所述多个光电开关、所述多个固定座,所述连接座与所述多个固定座连接。
所述多个固定座分别具有L型凹槽,所述L型凹槽上开设有与所述两根串接棒相适配的通孔,所述多个光电开光的一端分别设置块状连接部,所述块状连接部上开设有与所述两根串接棒相适配的通孔,所述多个光电开光上的块状连接部对应放置于所述多个固定座上的L型凹槽内。
所述多个反光座固定在所述石墨舟承载座上。
本发明提出的具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,通过在石墨舟的下方设置多个反光座,在石墨舟的上方设置多个光电开关,能够检测到石墨舟中的倒片,并将具有倒片的石墨舟进行退舟并返回至自动插片机予以人工纠正,避免因石墨舟中存在倒片而导致硅片镀膜不良而造成和硅片浪费。
附图说明
图1为本发明侧向出舟机构上安装倒片检测装置的结构图;
图2为本发明倒片检测装置的结构图;
图3为本发明固定组件与光电开关的连接示意图;
图4为本发明光电开关和固定座通过串接棒连接在一起的示意图;
图5为本发明光电开关与固定座拆分开的示意图;
图6为本发明光电开关与固定座组合在一起的示意图;
图7为本发明从顶座底部看的倒片检测装置的示意图。
具体实施方式
如图1,本发明提出的具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,石墨舟3放置于侧向出舟机构1的石墨舟承载座2上,石墨舟3上沿其整个宽度并列设置有多个槽,每个槽沿石墨舟的整个长度延伸,每个槽内放置有硅片,侧向出舟机构1带动石墨舟3运动。该倒片检测装置包括底座6、顶座7、多个反光座4、多个光电开关5和用于固定多个光电开关的固定组件,石墨舟3的下方沿其整个长度间隔设置多个反光座4,使整个石墨舟都能被检测到,石墨舟3的上方沿其整个宽度设置多个光电开关5,每个光电开关对应与石墨舟上的一个槽。例如,石墨舟上并列设置有22个槽,那么对应的就有22个光电开光,以保证石墨舟上的每个槽内都能被光电开关照射到。
多个反光座4固定在石墨舟承载座2上。
如图2,底座6呈门拱形,具有顶板61和分别设于顶板61两端的两个侧板62,顶板61位于石墨舟上方并横跨石墨舟的整个宽度,两个侧板62的下端固定在侧向出舟机构上,优选为螺钉连接。顶座7固定在底座6的顶板61上,顶座7具有容置腔71,容置腔71的开口处固定有盖板72。本实施例中,盖板通过L型固定件与顶座固定连接。
固定组件和多个光电开关放置于容置腔内,这样多个光电开关可以覆盖石墨舟的整个宽度。
如图3和图4,固定组件包括多个固定座(本实施例中为22个,与光电开关的数量对应)9、连接座10和两根串接棒11,两根串接棒11依次交替的穿过多个光电开关5、多个固定座9,即两根串接棒穿过一个固定座后,再穿过一个一个光电开关,依次类推,直至两根串接棒穿过所有的光电开光和固定座,从而将多个光电开关和多个固定座连接。连接座10与多个固定座9连接,优选为螺钉连接,从而将连接座、多个固定座和多个光电开关连接在一起。
如图5和图6,本实施例中,多个固定座9分别具有L型凹槽91,L型凹槽91上开设有与两根串接棒相适配的通孔,多个光电开光5的一端分别设置块状连接部51,块状连接部51上开设有与两根串接棒相适配的通孔,多个光电开光5上的块状连接部51对应放置于多个固定座9上的L型凹槽91内。
如图7,顶座容置腔的底面和底座顶板上对应设有窗口8,使多个光电开关5露出,便于光电开光发出的光能照射出去以及接受到反光座反射回的光。
底座和顶座有钣金件制成。
本发明中石墨舟在运动到光电开光下方时,如果石墨舟内没有倒片,光电开关发出的光能够穿过石墨舟上的槽后照射到反光座上并反射回光电开关上。如果石墨舟内有倒片,那么光电开关发出的光就会被槽内的倒片挡住无法照射到反光座上,也就无法反射回光电开关上,此时光电开关就会发出信号,让侧向出舟机构带动石墨舟自动退舟,并返回至自动插片机予以人工纠正,同时在侧向出舟机构上导入新的石墨舟,在此过程中整个设备的运行不会中断,对设备的运行效率没有影响。
本发明提出的具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,能够检测到石墨舟中的倒片,并将具有倒片的石墨舟进行退舟并返回至自动插片机予以人工纠正,避免因石墨舟中存在倒片而导致硅片镀膜不良而造成和硅片浪费。
以上的具体实施例仅用以举例说明本发明的构思,本领域的普通技术人员在本发明的构思下可以做出多种变形和变化,这些变形和变化均包括在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种具有倒片检测装置的石墨舟侧向出舟机构,石墨舟放置于侧向出舟机构的石墨舟承载座上,石墨舟上沿其整个宽度并列设置有多个槽,每个槽沿所述石墨舟的整个长度延伸,每个槽内放置有硅片,侧向出舟机构带动石墨舟运动,该倒片检测装置包括多个反光座和多个光电开关,所述石墨舟的下方沿其整个长度间隔设置所述多个反光座,所述石墨舟的上方沿其整个宽度设置所述多个光电开关,每个光电开关对应于所述石墨舟上的一个槽,其特征在于,所述多个反光座固定在所述石墨舟承载座上。
2.根据权利要求1所述的石墨舟侧向出舟机构,其特征在于,所述倒片检测装置还包括底座、顶座和用于固定所述多个光电开关的固定组件,所述底座呈门拱形,具有顶板和分别设于所述顶板两端的两个侧板,所述顶板位于所述石墨舟的上方并横跨所述石墨舟的整个宽度,所述两个侧板的下端固定在所述侧向出舟机构上;所述顶座固定在所述底座的顶板上,所述顶座具有容置腔,所述固定组件和所述多个光电开关放置于所述容置腔内。
3.根据权利要求2所述的石墨舟侧向出舟机构,其特征在于,所述容置腔的开口处固定有盖板。
4.根据权利要求2所述的石墨舟侧向出舟机构,其特征在于,所述固定组件包括多个固定座、连接座和两根串接棒,所述两根串接棒依次交替的穿过所述多个光电开关、所述多个固定座,所述连接座与所述多个固定座连接。
5.根据权利要求4所述的石墨舟侧向出舟机构,其特征在于,所述多个固定座分别具有L型凹槽,所述L型凹槽上开设有与所述两根串接棒相适配的通孔,所述多个光电开光的一端分别设置块状连接部,所述块状连接部上开设有与所述两根串接棒相适配的通孔,所述多个光电开光上的块状连接部对应放置于所述多个固定座上的L型凹槽内。
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