CN106773072A - 激光整形系统与激光整形系统的检测装置 - Google Patents

Abstract

本发明实施例提供一种激光整形系统与激光整形系统的检测装置，该装置包括：1/2波片，用于改变前级激光器出射的激光的偏振态；偏振分光棱镜，用于将1/2波片出射的激光的大部分引导至1/4波片，剩余部分引导至第一检测组件；1/4波片，用于改变激光的偏振态，并将该激光出射至受激布里渊散射相位共轭镜SBS‑PCM；第一分光元件，SBS‑PCM反射回1/4波片的激光经偏振分光棱镜引导至该分光元件，该分光元件用于将该激光的大部分引导至后级激光器，剩余部分引导至第二检测组件；第一检测组件与第二检测组件，用于检测激光的参数。本发明实施例能够检测激光经SBS‑PCM整形前后的参数变化。

Description

激光整形系统与激光整形系统的检测装置

技术领域

本发明涉及激光器技术领域，特别是涉及一种激光整形系统与激光整形系统的检测装置。

背景技术

受激布里渊散射(SBS，Stimulated Brillouin scattering)技术在高功率激光器中有着广阔的应用前景。受激布里渊散射相位共轭镜(SBS-PCM)技术不仅可以用于控制激光光束和修正任意波前畸变，还可以用于激光脉冲压缩。在双程或多程放大器中，利用SBS-PCM可以实时补偿激光放大器和放大光路中的动态和静态波前畸变，从而改善高能高功率激光器的输出光束质量。同时，研究表明，SBS-PCM激光脉冲压缩技术具有简单实用，压缩率和能量转化率高的特点。

SBS-PCM应用于高能高功率激光系统时，需要观察光束的各项参数发生了哪些变化。同时还需对SBS-PCM自身的特性进行了解，例如，能量反射率是描述受激布里渊散射过程的一个重要参数，它的大小直接反映了SBS相位共轭镜的效率，是SBS在应用过程中首要考虑的一个因素。但是，传统的SBS-PCM激光系统中，缺少参数变化的检测功能。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种激光整形系统与激光整形系统的检测装置，能够检测激光经SBS-PCM整形前后的参数变化。

为解决上述技术问题，本发明实施方式采用的一个技术方案是：提供一种激光整形系统，包括：

前级激光器与后级激光器；

1/2波片，用于改变前级激光器出射的激光的偏振态；

偏振分光棱镜，用于将1/2波片出射的激光的大部分引导至第一光路出射，剩余部分引导至第二光路出射；

1/4波片，用于改变第一光路出射的激光的偏振态；

受激布里渊散射相位共轭镜SBS-PCM，用于对1/4波片出射的激光整形后反射回该1/4波片；

第一分光元件，反射回1/4波片的激光经偏振分光棱镜引导至该分光元件，该分光元件用于将该激光的大部分引导至后级激光器，剩余部分引导至第三光路出射；

第一检测组件，用于检测第二光路出射的激光的参数；

第二检测组件，用于检测第三光路出射的激光的参数。

其中，第一检测组件包括第二分光元件、第一能量计，第二分光元件用于将第二光路出射的激光的部分光出射至第一能量计，剩余光引导至第四光路出射；第二检测组件包括第三分光元件、第二能量计，第三分光元件用于将第三光路出射的激光的部分光出射至第二能量计，剩余光引导至第五光路出射。

其中，第一检测组件还包括第四分光元件、第一远场分布测量器，第四分光元件用于将第四光路出射的激光的部分光出射至第一远场分布测量器，剩余光引导至第六光路出射；第二检测组件还包括第五分光元件、第二远场分布测量器，第五分光元件用于将第五光路出射的激光的部分光出射至第二远场分布测量器，剩余光引导至第七光路出射。

其中，第一检测组件还包括第六分光元件、第一时间波形分布测量器，第六分光元件用于将第六光路出射的激光的部分光出射至第一时间波形分布测量器，剩余光引导至第八光路出射；第二检测组件还包括第七分光元件、第二时间波形分布测量器，第七分光元件用于将第七光路出射的激光的部分光出射至第二时间波形分布测量器，剩余光引导至第九光路出射。

其中，第一检测组件还包括第八分光元件、第一波前相位分布测量器，第八分光元件用于将第八光路出射的激光的部分光出射至第一波前相位分布测量器，剩余光引导至第十光路出射；第二检测组件还包括第九分光元件、第二波前相位分布测量器，第九分光元件用于将第九光路出射的激光的部分光出射至第二波前相位分布测量器，剩余光引导至第十一光路出射。

其中，第一检测组件还包括第一近场分布测量器，用于接收第十光路出射的激光；第二检测组件还包括第二近场分布测量器，用于接收第十一光路出射的激光。

其中，第一检测组件包括第一能量计，且第二检测组件包括第二能量计；或，第一检测组件包括第一远场分布测量器，且第二检测组件包括第二远场分布测量器；或，第一检测组件包括第一近场分布测量器，且第二检测组件包括第二近场分布测量器；或，第一检测组件包括第一时间波形分布测量器，且第二检测组件包括第二时间波形分布测量器；或，第一检测组件包括第一波前相位分布测量器，且第二检测组件包括第二波前相位分布测量器。

其中，系统还包括：调整器件，用于调整1/2波片，以改变入射该1/2波片的激光的偏振方向与该1/2波片的晶片光轴的夹角。

为解决上述技术问题，本发明实施方式采用的另一个技术方案是：提供一种激光整形系统的检测装置，包括：

1/2波片，用于改变前级激光器出射的激光的偏振态；

偏振分光棱镜，用于将1/2波片出射的激光的大部分引导至第一光路出射，剩余部分引导至第二光路出射；

1/4波片，用于改变第一光路出射的激光的偏振态，并将该激光出射至受激布里渊散射相位共轭镜SBS-PCM；

第一分光元件，SBS-PCM反射回1/4波片的激光经偏振分光棱镜引导至该分光元件，该分光元件用于将该激光的大部分引导至后级激光器，剩余部分引导至第三光路出射；

第一检测组件，用于检测第二光路出射的激光的参数；

第二检测组件，用于检测第三光路出射的激光的参数。

与现有技术相比，本发明实施例包括如下有益效果：

本发明实施例中，通过1/2波片与偏振分光棱镜的配合，将入射SBS-PCM之前的待整形激光分出少部分给第一检测组件；并通过第一分光元件将SBS-PCM整形之后的激光分出少部分给第二检测组件，使得系统能够单发次(即一个脉冲)检测激光经SBS-PCM整形前后的参数变化。例如，系统能够检测激光经SBS-PCM整形前后的能量变化，从而能够计算出SBS-PCM的反射率。并且，基本是在激光整形系统的原有光路中将光导出进行测量，对系统自身光路影响较小。

附图说明

一个或多个实施例通过与之对应的附图中的图片进行示例性说明，这些示例性说明并不构成对实施例的限定，附图中具有相同参考数字标号的元件表示为类似的元件，除非有特别申明，附图中的图不构成比例限制。

图1是本发明激光整形系统的一个实施例的结构示意图；

图2是本发明激光整形系统的另一实施例的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

下面结合附图和实施方式对本发明实施例进行详细说明。

实施例一

本发明提供一种激光整形系统。请参阅图1，图1是本发明激光整形系统的一个实施例的结构示意图。如图1所示，激光整形系统100包括：前级激光器110、1/2波片120、偏振分光棱镜130、1/4波片140、受激布里渊散射相位共轭镜(SBS-PCM)150、透镜151、第一分光元件160、后级激光器170、第一检测组件180与第二检测组件190。

前级激光器110用于出射待整形的激光，1/2波片120用于接收该激光，并改变该激光的偏振态。偏振分光棱镜130用于将1/2波片出射的激光的大部分透射至第一光路出射，剩余部分反射至第二光路出射至第一检测组件180。具体地，本实施例中，前级激光器110出射的待整形激光为P偏振光，1/2波片120改变该激光的偏振态，使得该激光的99％能量为P偏振光，被偏振分光棱镜130透射至1/4波片140，1％为S偏振光，被偏振分光棱镜130反射至第一检测组件180。

由于第一检测组件检测所需的光束能量只需少量，所以应让激光少量地被偏振分光棱镜130反射，因此应调整1/2波片120使得入射偏振分光棱镜130的激光的大部分能量为P偏振光。优选地，入射偏振分光棱镜的激光的偏振态与P偏振光的夹角大于等于-1度且小于等于1度。当然，在不考虑能量损耗的情况下，入射偏振分光棱镜的激光也可以是与P偏振光的夹角较大的线偏振光、也可以是圆偏振光或者自然光等。

1/4波片140用于接收第一光路出射的激光，并改变第一光路出射的激光的偏振态，具体地，入射1/4波片的激光的偏振方向与1/4波片的晶片光轴的夹角为45度角。1/4波片140出射的激光经透镜151聚焦后入射SBS-PCM150，SBS-PCM用于对该激光整形后反射回透镜151至该1/4波片140。激光来回两次经过1/4波片140，偏振方向被改变90度，因此从1/4波片140回到偏振分光棱镜130的激光被偏振分光棱镜130引导至第一分光元件160。具体地，本实施例中，激光来回两次经过1/4波片140后，由P偏振光变为S偏振光，该S偏振光被偏振分光棱镜130反射至第一分光元件160。

第一分光元件160用于将来自偏振分光棱镜130的激光的大部分引导至后级激光器170，剩余部分引导至第三光路出射至第二检测组件190。具体地，本实施例中，第一分光元件160将来自偏振分光棱镜130的S偏振光的98％透射至后级激光器170，2％反射至第二检测组件190。第一分光元件160可以是各种类型的分光滤光片，例如对激光具有一定透射率的波长分光滤光片；第一分光元件也可以是中央贴有反射膜的透明玻璃。

第一检测组件180用于检测第二光路出射的激光的参数，第二检测组件190用于检测第三光路出射的激光的参数。激光的参数可以包括光的能量、远场分布、近场分布、时间波形分布与波前相位分布的至少一种。因此，第一检测组件与第二检测组件可以是用于检测各种参数的器件。

例如，第一检测组件包括用于检测光能量的第一能量计，且第二检测组件包括用于检测光能量的第二能量计，使得系统能够检测激光经SBS-PCM150整形前后的光能量变化。或者，第一检测组件包括第一远场分布测量器；第二检测组件包括第二远场分布测量器，使得系统能够检测激光经SBS-PCM150整形前后的远场分布变化。或者，第一检测组件包括第一近场分布测量器；第二检测组件包括第二近场分布测量器，使得系统能够检测激光经SBS-PCM150整形前后的近场分布变化。或者，第一检测组件包括第一时间波形分布测量器；第二检测组件包括第二时间波形分布测量器，使得系统能够检测激光经SBS-PCM150整形前后的时间波形分布变化。或者，第一检测组件包括第一波前相位分布测量器；第二检测组件包括第二波前相位分布测量器，使得系统能够检测激光经SBS-PCM150整形前后的波前相位分布变化。

可见，本实施例中，通过1/2波片120与偏振分光棱镜130的配合，将入射SBS-PCM150之前的待整形激光分出少部分给第一检测组件；并通过第一分光元件将SBS-PCM150整形之后的激光分出少部分给第二检测组件，使得系统能够单发次(即一个脉冲)检测激光经SBS-PCM150整形前后的各项参数变化。例如，系统能够检测激光经SBS-PCM150整形前后的能量变化，从而能够计算出SBS-PCM的反射率。并且，基本是在激光整形系统的原有光路中将光导出进行测量，对系统自身光路影响较小。

当然，在其它实施例中，也可以将1/4波片140、SBS-PCM150、透镜151的位置与第一检测组件180的位置互换，并且通过1/2波片120与偏振分光棱镜130的配合，使得偏振分光棱镜130将1/2波片出射的激光的大部分反射至第一光路出射至1/4波片，剩余部分透射至第二光路出射至第一检测组件。

此外，在其它实施例中，系统还可以包括调整器件，用于调整1/2波片120，以改变入射1/2波片的激光的偏振方向与1/2波片的晶片光轴的夹角，使得用户可以控制分多少光能量至第一检测组件。

实施例二

请参阅图2，图2是本发明激光整形系统的另一实施例的结构示意图。如图2所示，激光整形系统200包括：前级激光器210、1/2波片220、偏振分光棱镜230、1/4波片240、SBS-PCM250、透镜251、第一分光元件260、后级激光器270、第一检测组件与第二检测组件。

本实施例与图1所示实施例的区别之处包括：

(1)第一检测组件包括第二分光元件281、第一能量计282，第二分光元件281用于将第二光路出射的激光(即来自偏振分光棱镜230的激光)的部分光透射至第一能量计282，剩余光反射至第四光路出射；第二检测组件包括第三分光元件291、第二能量计292，第三分光元件291用于将第三光路出射的激光(即来自第一分光元件260的激光)的部分光反射至第二能量计292，剩余光透射至第五光路出射。通过第一能量计282与第二能量计292的检测，使得系统能够检测激光经SBS-PCM250整形前后的光能量变化。

举例来说，假设分光元件281的透射率为t1％，分光元件260的反射率记为r2％，分光元件291的反射率记为r3％，能量计282处测得的能量记为E1，能量计292处测得的能量记为E2，则SBS-PCM的反射率R＝(E2/r2％/r3％)/(E1/t1％/1％)。若分光元件260、231、291的透射率均为98％，反射率均为2％，且在E1处测得的能量为60.83mJ，在E2处测得的能量为2.12mJ，那么，SBS-PCM的反射率R＝(2.12/0.02/0.02)/(60.83/0.98/0.01)＝85.39％。

(2)第一检测组件还包括透镜2831、第四分光元件283、反射镜2841、第一远场分布测量器284，透镜2831用于将第四光路出射的激光汇聚至第四分光元件283，第四分光元件283用于将来自透镜2831的激光的部分光经反射镜2841反射至第一远场分布测量器284，将来自透镜2831的激光的剩余光透射至第六光路出射。第二检测组件还包括透镜2931、第五分光元件293、反射镜2941、第二远场分布测量器294，透镜2931用于将第五光路出射的激光汇聚至第五分光元件293，第五分光元件293用于将透镜2931出射的激光的部分光经反射镜2941反射至第二远场分布测量器294，将透镜2931出射的激光的剩余光透射至第七光路出射。

优选地，L1+L2+L3＝f1。在第一检测组件中，f1为透镜2831的焦距，L1为透镜2831与第四分光元件283之间的距离，L2为第四分光元件283与反射镜2841之间的距离，L3为反射镜2841与第一远场分布测量器284之间的距离。在第二检测组件中，f1为透镜2931的焦距，L1为透镜2931与第五分光元件293之间的距离，L2为第五分光元件293与反射镜2941之间的距离，L3为反射镜2941与第二远场分布测量器294之间的距离。

远场分布测量器具体可以是图像传感器(CCD，Charge-coupled Device)，利用远场CCD284与远场CCD294采集远场光斑，使得系统能够检测激光经SBS-PCM250整形前后的远场分布变化。若进入远场CCD前的能量过大，CCD前可以加衰减片以对能量进行衰减。

(3)第一检测组件还包括第六分光元件285、第一时间波形分布测量器286，第六分光元件285用于将第六光路出射的激光(即来自第四分光元件283的激光)的部分光反射至第一时间波形分布测量器286，剩余光透射至第八光路出射。第二检测组件还包括第七分光元件295、第二时间波形分布测量器296，第七分光元件295用于将第七光路出射的激光(即来自第五分光元件293的激光)的部分光反射至第二时间波形分布测量器296，剩余光透射至第九光路出射。时间波形分布测量器具体可以是能够采集脉冲波形的时间波形探头。利用第一时间波形分布测量器286与第二时间波形分布测量器296的检测，使得系统能够检测激光经SBS-PCM250整形前后的时间波形分布变化。

(4)第一检测组件还包括透镜2871、第八分光元件287、第一波前相位分布测量器288，透镜2871用于将第八光路出射的激光(即来自第六分光元件285的激光)中继至第八分光元件287，第八分光元件287用于将第八光路出射的激光的部分光反射至第一波前相位分布测量器288，将第八光路出射的激光的剩余光透射至第十光路出射。第二检测组件还包括透镜2971、第九分光元件297、第二波前相位分布测量器298，透镜2971用于将第九光路出射的激光(即来自第七分光元件295的激光)中继至第九分光元件297，第九分光元件297用于将第九光路出射的激光的部分光反射至第二波前相位分布测量器298，将第九光路出射的激光的剩余光透射至第十一光路出射。

优选地，L4+L5＝f2。在第一检测组件中，f2为透镜2871的焦距，L4为透镜2871与第八分光元件287之间的距离，L5为第八分光元件287与第一波前相位分布测量器288之间的距离。在第二检测组件中，f2为透镜2971的焦距，L4为透镜2871与第九分光元件297之间的距离，L5为第九分光元件297与第二波前相位分布测量器298之间的距离。

波前相位分布测量器具体可以是波前传感器。通过第一波前相位分布测量器288与第二波前相位分布测量器298的检测，使得系统能够检测激光经SBS-PCM250整形前后的波前相位分布变化。

(5)第一检测组件还包括第一近场分布测量器289，用于接收第十光路出射的激光(即来自第八分光元件287的激光)。第二检测组件还包括第二近场分布测量器299，用于接收第十一光路出射的激光(即来自第九分光元件297的激光)。优选地，L4+L5＝f2。在第一检测组件中，f2为透镜2871的焦距，L4为透镜2871与第八分光元件287之间的距离，L5为第八分光元件287与第一近场分布测量器289之间的距离。在第二检测组件中，f2为透镜2971的焦距，L4为透镜2871与第九分光元件297之间的距离，L5为第九分光元件297与第二近场分布测量器299之间的距离。

近场分布测量器具体可以是图像传感器(CCD，Charge-coupled Device)，利用近场CCD289与近场CCD299采集近场光斑，使得系统能够检测激光经SBS-PCM250整形前后的近场分布变化。若进入近场CCD前的能量过大，CCD前可以加衰减片以对能量进行衰减。

透镜2831(2931)和透镜2871(2971)组成一个缩束镜组，进入透镜2831(2931)之前的光束是平行光，从透镜2871(2971)出来的光束也是平行光，只是光束的口径较进入透镜2831(2931)的光束口径要小很多，其大小和近场CCD的探测面口径相匹配。

本实施例中，通过1/2波片220与偏振分光棱镜230的配合，将入射SBS-PCM之前的待整形激光分出少部分给第一检测组件；并通过第一分光元件将SBS-PCM整形之后的激光分出少部分给第二检测组件，使得系统能够单发次(即一个脉冲)检测激光经SBS-PCM整形前后的能量、远场分布、时间波形分布、波前相位分布与近场分布这些参数变化情况。

具体地，上述分光元件均可以是对激光具有一定透射率的楔板，楔板的反射率和透射率可以根据各检测装置的灵敏度的具体情况而定。

实施例三

在本发明实施例中，还提供了一种激光整形系统的检测装置，包括：

1/2波片，用于改变前级激光器出射的激光的偏振态；

偏振分光棱镜，用于将1/2波片出射的激光的大部分引导至第一光路出射，剩余部分引导至第二光路出射；

1/4波片，用于改变第一光路出射的激光的偏振态，并将该激光出射至受激布里渊散射相位共轭镜SBS-PCM；

第一分光元件，SBS-PCM反射回1/4波片的激光经偏振分光棱镜引导至该分光元件，该分光元件用于将该激光的大部分引导至后级激光器，剩余部分引导至第三光路出射；

第一检测组件，用于检测第二光路出射的激光的参数；

第二检测组件，用于检测第三光路出射的激光的参数。

本实施例中的各元器件参见图1与图2实施例中的详细说明，此处不作赘述。

本实施例中，通过1/2波片与偏振分光棱镜的配合，将入射SBS-PCM之前的待整形激光分出少部分给第一检测组件；并通过第一分光元件将SBS-PCM整形之后的激光分出少部分给第二检测组件，使得系统能够单发次(即一个脉冲)检测激光经SBS-PCM整形前后的各项参数变化。例如，系统能够检测激光经SBS-PCM整形前后的能量变化，从而能够计算出SBS-PCM的反射率。并且，基本是在激光整形系统的原有光路中将光导出进行测量，对系统自身光路影响较小。

此外，在其它实施例中，系统还可以包括调整器件，用于调整1/2波片，以改变入射1/2波片的激光的偏振方向与1/2波片的晶片光轴的夹角，使得用户可以控制分多少光能量至第一检测组件。

以上所述仅为本发明的实施方式，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种激光整形系统，其特征在于，包括：

前级激光器与后级激光器；

1/2波片，用于改变所述前级激光器出射的激光的偏振态；

偏振分光棱镜，用于将所述1/2波片出射的激光的大部分引导至第一光路出射，剩余部分引导至第二光路出射；

1/4波片，用于改变第一光路出射的激光的偏振态；

受激布里渊散射相位共轭镜SBS-PCM，用于对所述1/4波片出射的激光整形后反射回该1/4波片；

第一分光元件，所述反射回1/4波片的激光经所述偏振分光棱镜引导至该分光元件，该分光元件用于将该激光的大部分引导至所述后级激光器，剩余部分引导至第三光路出射；

第一检测组件，用于检测第二光路出射的激光的参数；

第二检测组件，用于检测第三光路出射的激光的所述参数。

2.根据权利要求1所述的激光整形系统，其特征在于：

第一检测组件包括第二分光元件、第一能量计，第二分光元件用于将第二光路出射的激光的部分光出射至第一能量计，剩余光引导至第四光路出射；

第二检测组件包括第三分光元件、第二能量计，第三分光元件用于将第三光路出射的激光的部分光出射至第二能量计，剩余光引导至第五光路出射。

3.根据权利要求2所述的激光整形系统，其特征在于：

第一检测组件还包括第四分光元件、第一远场分布测量器，第四分光元件用于将第四光路出射的激光的部分光出射至第一远场分布测量器，剩余光引导至第六光路出射；

第二检测组件还包括第五分光元件、第二远场分布测量器，第五分光元件用于将第五光路出射的激光的部分光出射至第二远场分布测量器，剩余光引导至第七光路出射。

4.根据权利要求3所述的激光整形系统，其特征在于：

第一检测组件还包括第六分光元件、第一时间波形分布测量器，第六分光元件用于将第六光路出射的激光的部分光出射至第一时间波形分布测量器，剩余光引导至第八光路出射；

第二检测组件还包括第七分光元件、第二时间波形分布测量器，第七分光元件用于将第七光路出射的激光的部分光出射至第二时间波形分布测量器，剩余光引导至第九光路出射。

5.根据权利要求4所述的激光整形系统，其特征在于：

第一检测组件还包括第八分光元件、第一波前相位分布测量器，第八分光元件用于将第八光路出射的激光的部分光出射至第一波前相位分布测量器，剩余光引导至第十光路出射；

第二检测组件还包括第九分光元件、第二波前相位分布测量器，第九分光元件用于将第九光路出射的激光的部分光出射至第二波前相位分布测量器，剩余光引导至第十一光路出射。

6.根据权利要求5所述的激光整形系统，其特征在于：

第一检测组件还包括第一近场分布测量器，用于接收第十光路出射的激光；

第二检测组件还包括第二近场分布测量器，用于接收第十一光路出射的激光。

7.根据权利要求1所述的激光整形系统，其特征在于：

第一检测组件包括第一能量计，且第二检测组件包括第二能量计；或，

第一检测组件包括第一远场分布测量器，且第二检测组件包括第二远场分布测量器；或，

第一检测组件包括第一近场分布测量器，且第二检测组件包括第二近场分布测量器；或，

第一检测组件包括第一时间波形分布测量器，且第二检测组件包括第二时间波形分布测量器；或，

第一检测组件包括第一波前相位分布测量器，且第二检测组件包括第二波前相位分布测量器。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的激光整形系统，其特征在于，该系统还包括：

调整器件，用于调整所述1/2波片，以改变入射该1/2波片的激光的偏振方向与该1/2波片的晶片光轴的夹角。

9.一种激光整形系统的检测装置，其特征在于，包括：

1/2波片，用于改变前级激光器出射的激光的偏振态；

偏振分光棱镜，用于将所述1/2波片出射的激光的大部分引导至第一光路出射，剩余部分引导至第二光路出射；

1/4波片，用于改变第一光路出射的激光的偏振态，并将该激光出射至受激布里渊散射相位共轭镜SBS-PCM；

第一分光元件，所述SBS-PCM反射回1/4波片的激光经所述偏振分光棱镜引导至该分光元件，该分光元件用于将该激光的大部分引导至所述后级激光器，剩余部分引导至第三光路出射；

第一检测组件，用于检测第二光路出射的激光的参数；

第二检测组件，用于检测第三光路出射的激光的所述参数。

10.根据权利要求9所述的激光整形系统的检测装置，其特征在于，该装置还包括：

调整器件，用于调整所述1/2波片，以改变入射该1/2波片的激光的偏振方向与该1/2波片的晶片光轴的夹角。