CN106768893A - 凹面光栅衍射效率测试仪 - Google Patents

凹面光栅衍射效率测试仪 Download PDF

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CN106768893A CN201611248041.8A CN201611248041A CN106768893A CN 106768893 A CN106768893 A CN 106768893A CN 201611248041 A CN201611248041 A CN 201611248041A CN 106768893 A CN106768893 A CN 106768893A
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齐向东
李晓天
卢禹先
于海利
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Abstract

本发明公开了一种凹面光栅衍射效率测试仪，包括光源系统、测量单色仪和傅里叶光谱测量系统；所述傅里叶光谱测量系统包括开始有第二入射孔的第二壳体、设置于所述第二壳体内的沿光路传输方向依次布置的准直镜、分光立方体A、固定角锥体A、移动角锥体A以及聚光镜；经所述第一入射孔进入第一壳体的光能够直接照射在所述支撑台上的待测元件上，并由待测元件汇聚到出射臂上，进而经过出射臂照射在主探测器上。该凹面光栅衍射效率测试仪可以有效地避免待测凹面光栅与标准反射镜出射光谱宽度不一致、光栅叠级、仪器杂散光较大、光源稳定性较差影响测量精度的问题。

Description

凹面光栅衍射效率测试仪
技术领域
本发明涉及光谱技术领域，更具体地说，涉及一种凹面光栅衍射效率测试仪。
背景技术
凹面光栅作为光谱仪器的核心分光器件，其在光谱分析、前沿交叉学科、社会民生等领域均具有广泛应用。凹面光栅兼具色散分光与光束聚焦功能，其具有简化光路的作用，极大地推动了光谱仪器的小型化和轻型化。随着凹面光栅制作工艺的发展，具有像差校正、低杂散光、无鬼线和高信噪比等优秀性能的凹面光栅在光谱仪器应用领域重要性日益突出，因此高质量凹面光栅的制造及测量技术显得尤为关键。
凹面光栅的衍射效率分为绝对衍射效率和相对衍射效率，其中绝对衍射效率多应用于光栅的设计领域，而相对衍射效率则多用于光栅实际测量领域。因此，作为凹面光栅最重要的技术指标之一，在投入使用前凹面光栅均需要进行衍射效率的测试。
现有的凹面光栅衍射效率测试仪器中，普遍采用双单色仪的结构形式，如图1所示，其光路结构包括光源、前置单色仪、测量单色仪。其中光源为钨灯。前置单色仪包括入射狭缝02、凹面准直镜03、分光光栅04、反射聚光镜05。测量单色仪包括传输光纤06、入射臂07、待测元件支撑台08、出射臂010、探测器011。其中标号09为待测元件(凹面标准反射镜或凹面光栅)。
使用图1中的测试仪时，光源出射连续光经前置单色仪为测量提供单色光，其出射端与传输光纤06相连接，根据待测元件09的测量需要控制光纤在入射臂07、出射臂010的位置以及待测元件转台08的转动角度。探测器011用于接收凹面光栅的衍射光通量和凹面标准反射镜的反射光通量，其比值即为凹面光栅的相对衍射效率，以此类推实现不同波长处凹面光栅相对衍射效率的测量。
然而使用上述测试仪器无法同时测量凹面光栅的绝对、相对衍射效率，其检测待测元件的面积有限并且无法避免待测光栅和标准反射镜出射光谱宽度不一致、光栅叠级、仪器杂散光较大以及光源稳定性较差影响测量精度的问题，同时前置单色仪需定期定标、一次测量单波长模式又影响其检测效率。
综上所述，如何有效地避免待测凹面光栅与标准反射镜出射光谱宽度不一致、光栅叠级、仪器杂散光较大以及光源稳定性较差影响测量精度的问题，是目前本领域技术人员急需解决的问题。
发明内容
有鉴于此，本发明的目的在于提供一种凹面光栅衍射效率测试仪，该凹面光栅衍射效率测试仪的结构设计可以有效地避免待测凹面光栅与标准反射镜出射光谱宽度不一致、光栅叠级、仪器杂散光较大以及光源稳定性较差影响测量精度的问题。
为了达到上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种凹面光栅衍射效率测试仪，包括光源系统、测量单色仪和傅里叶光谱测量系统；
所述测量单色仪包括开设有第一入射孔的第一壳体、设置于所述第一壳体内部的用于支撑待测元件的支撑台、设置于所述第一壳体内部的出射臂和主探测器；
所述傅里叶光谱测量系统包括开始有第二入射孔的第二壳体、设置于所述第二壳体内的沿光路传输方向依次布置的准直镜、分光立方体A、固定角锥体A、移动角锥体A以及聚光镜；
所述光源系统发出的光经所述第二入射孔进入到所述第二壳体后，经所述准直镜准直、分光立方体A分光、固定角锥体A和移动角锥体A反射最终由聚光镜汇聚于第一入射孔处；
经所述第一入射孔进入第一壳体的光能够直接照射在所述支撑台上的待测元件上，并由待测元件汇聚到出射臂上，进而经过出射臂照射在主探测器上。
优选地，上述凹面光栅衍射效率测试仪中，所述傅里叶光谱测量系统还包括设置于所述聚光镜的出射光路上的分束镜和位于所述分束镜的分束光路上且位于所述聚光镜的焦平面上的辅助探测器。
优选地，上述凹面光栅衍射效率测试仪中，还包括参考干涉系统，其包括稳频激光器、激光反射镜、分光立方体B、固定角锥体B、运动角锥体B和参考探测器；
所述稳频激光器发出的激光经激光反射镜反射、分光立方体B分光、固定角锥体B及运动角锥体B反射最终汇集在参考探测器；
优选地，上述凹面光栅衍射效率测试仪中，所述移动角锥体A和固定角锥体B相对设置，还包括动镜系统，其能够带动所述移动角锥体A和固定角锥体B同时做直线移动以使主光路与参考光路的光程差同时发生变化，所述主探测器、辅助探测器、参考探测器分别同时接收并记录随光程差变化的干涉光强。
优选地，上述凹面光栅衍射效率测试仪中，所述支撑台包括能够带动所述待测元件转动的转台和能够带动所述待测元件滑动的滑台，所述滑台能够使待测元件沿着第一直线滑动，所述第一直线过所述聚光镜的焦点且垂直于所述分光立方体A的出光光路；所述转台能够使待测元件围绕第二直线转动，所述第二直线垂直于所述第一直线且垂直于所述分光立方体A的出光光路。
优选地，上述凹面光栅衍射效率测试仪中，所述出射臂能够转动，且其转动的轴线沿着所述待测元件的接收光路方向设置且垂直于第二直线。
优选地，上述凹面光栅衍射效率测试仪中，所述测量单色仪还包括用于带动所述主探测器沿着所述出射臂的长度方向滑动的移动平台。
优选地，上述凹面光栅衍射效率测试仪中，还包括数据处理系统，其能够对采集数据进行光谱还原并计算得出待测凹面光栅的相对衍射效率和绝对衍射效率。
本发明提供的凹面光栅衍射效率测试仪包括光源系统、测量单色仪和傅里叶光谱测量系统。其中，测量单色仪系统包括第一壳体、用于支撑待测元件的支撑台、出射臂和主探测器。支撑台、出射臂和主探测器均设置在第一壳体内部，并且第一壳体上开设有第一入射孔。
傅里叶光谱测量系统包括第二壳体、准直镜、分光立方体A、固定角锥体A、移动角锥体A以及聚光镜，且准直镜、分光立方体A、固定角锥体A、移动角锥体A以及聚光镜设置在第二壳体内部，第二壳体开设有第二入射孔。准直镜、分光立方体A、固定角锥体A、移动角锥体A以及聚光镜沿光路传输方向依次布置。
光源系统发出的光经第二入射孔进入到第二壳体后，经准直镜准直、分光立方体A分光、固定角锥体A和移动角锥体A反射最终由聚光镜汇聚于第一入射孔处。
经第一入射孔进入第一壳体的光直接照射在支撑台上的待测元件上，并由待测元件汇聚到出射臂上，进而经过出射臂照射在主探测器上。主探测器用于接收并记录干涉光强。
应用本发明提供的凹面光栅衍射效率测试仪时，由于采用了傅里叶光谱测量系统，因此采用傅里叶方法能够避免待测光栅和标准反射镜出射光谱宽度不一致、存在光栅叠级、仪器杂散光较大等问题，从而提高凹面光栅衍射效率的测量精度。同时进入第一壳体的光可以直接照射在待测元件上，自始至终光并没有通过传输光纤进行传输，增加了该测试仪的测量面积。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有技术中凹面光栅衍射效率测试仪的结构示意图；
图2为本发明实施例提供的凹面光栅衍射效率测试仪的结构示意图。
在图1中：
01-钨灯、02-入射狭缝、03-凹面准直镜、04-分光光栅、05-反射聚光镜、06-传输光线、07-入射臂、08-待测元件支撑台、09-待测元件、010-出射臂、011-探测器；
在图2中：
1-钨灯、2-平面反射镜、3-凹面聚光镜、4-第二入射孔、5-准直镜、6-分光立方体A、7-固定角锥体A、8-移动角锥体A、9-孔径光阑、10-聚光镜、11-分束镜、12-辅助探测器、13-第一入射孔、14-支撑台、15-滑台、16-转台、17-待测元件、18-驱动转台、19-移动平台、20-主探测器、21-稳频激光器、22-激光反射镜、23-分光立方体B、24-固定角锥体B、25-运动角锥体B、26-动镜系统、27-参考探测器。
具体实施方式
本发明的目的在于提供一种凹面光栅衍射效率测试仪，该凹面光栅衍射效率测试仪的结构设计可以有效地避免待测凹面光栅与标准反射镜出射光谱宽度不一致、光栅叠级、仪器杂散光较大以及光源稳定性较差影响测量精度的问题。
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图2，本发明实施例提供的凹面光栅衍射效率测试仪包括光源系统、测量单色仪和傅里叶光谱测量系统。其中，测量单色仪系统包括第一壳体、用于支撑待测元件17的支撑台14、出射臂和主探测器20。支撑台14、出射臂和主探测器20均设置在第一壳体内部，并且第一壳体上开设有第一入射孔13。第一入射孔13的直径可以为1mm。支撑台14位于第一入射孔13的入射光路上。
傅里叶光谱测量系统包括第二壳体、准直镜5、分光立方体A6、固定角锥体A7、移动角锥体A8以及聚光镜10，且准直镜5、分光立方体A6、固定角锥体A7、移动角锥体A8以及聚光镜10设置在第二壳体内部，第二壳体开设有第二入射孔4。准直镜5、分光立方体A6、固定角锥体A7、移动角锥体A8以及聚光镜10沿光路传输方向依次布置。
第二入射孔4位于准直镜5的入射光路上，且第二入射孔4位于凹面聚光镜3和准直镜5共同的焦面上；第一入射孔13位于待测元件17的入射光路上且位于聚光镜10和待测元件17共同的焦面上。
光源系统发出的光经第二入射孔4进入到第二壳体后，经准直镜5准直、分光立方体A6分光、固定角锥体A7和移动角锥体A8反射最终由聚光镜10汇聚于第一入射孔13处。
经第一入射孔13进入第一壳体的光直接照射在支撑台14上的待测元件17上，并由待测元件17汇聚到出射臂上，进而经过出射臂最终汇聚到主探测器20上。主探测器20用于接收并记录出射臂出射光的干涉光强。
应用本发明提供的凹面光栅衍射效率测试仪时，由于采用了傅里叶光谱测量系统，因此采用傅里叶算法能够避免待测光栅和标准反射镜出射光谱宽度不一致、存在光栅叠级、仪器杂散光较大、光源稳定性较差等问题，从而提高凹面光栅衍射效率的测量精度，并且可实现单次多波长测量。同时进入第一壳体的光可以直接照射在待测元件上，自始至终光并没有通过传输光纤进行传输，增加了该测试仪的测量面积。
进一步地，傅里叶光谱测量系统还可以包括位于聚光镜10的入射光路上的并可调节光束直径的孔径光阑9。如此更加便于调节照射聚光镜10的入射光的光束直径，根据待测光栅的检测要求选择合适的孔径光阑9。该孔径光阑9也位于第二壳体内部。
上述实施例中，傅里叶光谱测量系统还包括设置于聚光镜10的出射光路上的分束镜11和位于分束镜11的分束光路上且位于聚光镜10的焦平面上的辅助探测器12。即辅助探测器12不仅位于分束镜11的分束光路上还位于聚光镜10的焦平面上，辅助探测器12用于接收并记录分束镜11的分束光的干涉光强。该分束镜11位于第二壳体内部。辅助探测器12可以位于第二壳体外部，第二壳体设置有出射孔，分束镜11的分束光经出射孔照射在辅助探测器12上。
准直镜5可以为90°离轴准直镜，聚光镜10可以为90°离轴聚光镜。如此，傅里叶光谱测量系统设置在第二入射孔4的传播方向上，光源系统发出的光经第二入射孔4进入到第二壳体后，经90°离轴准直镜准直、分束立方体分束、固定角锥体A7及运动角锥体A反射以及孔径光阑9，最终由90°离轴聚光镜汇聚于测量第一入射孔13处。分束镜11位于聚光镜10的聚焦光束方向，辅助探测器12位于分束镜11的分束方向且位于聚光镜10的焦平面处。
辅助探测器12接收并记录入射到其上的干涉光强，同时主探测器20接收并记录入射到其上的干涉光强。
进一步地，该凹面光栅衍射效率测试仪还包括参考干涉系统，参考干涉系统包括稳频激光器21、激光反射镜22、分光立方体B23、固定角锥体B24、运动角锥体B25和参考探测器27。其中，稳频激光器21发出的激光经激光反射镜22反射、分光立方体B23分光、固定角锥体B24及运动角锥体B25反射最终汇集在参考探测器27。移动角锥体A8和固定角锥体B24相对设置。参考干涉系统还包括动镜系统26，动镜系统26能够带动移动角锥体A8和移动角锥体B同时做直线移动以使主光路与参考光路的光程差同时发生变化，主探测器20、辅助探测器12、参考探测器27分别同时接收并记录随光程差变化的干涉光强。动镜系统26可以采用一维运动的压电陶瓷平移台Q-545.140，其定位精度高并且具有良好的程序编译功能。
即主光路的运动角锥体A与参考光路的运动角锥体B25相对设置，通过动镜系统26带动主光路运动角锥体A与参考光路运动角锥体B25一起运动，支撑台14上分别放置待测凹面光栅与标准凹面反射镜，主探测器20和辅助探测器12同时采集随光程差变化的干涉光强。放置待测凹面光栅时，辅助探测器12采集的干涉光强为Ig12，主探测器20采集的干涉光强为Ig20；放置标准凹面反射镜时，辅助探测器12采集的干涉光强为Ir12，主探测器20采集的干涉光强为Ir20。对采集的干涉光强数据Ig12、Ig20、Ir12、Ir20进行去直流、切趾、相位校正及傅里叶变换处理可得波长λ处的还原光谱Bg12(λ)、Bg12(λ)；Br12(λ)、Br12(λ)。因此待测凹面光栅的绝对衍射效率可表示为：Bg20(λ)/Bg12(λ)；相对衍射效率可表示为：Bg20(λ)Br12(λ)/Br20(λ)Bg12(λ)。如此，傅里叶光谱测量系统中增加分束镜11和辅助探测器12，有效解决了傅里叶光谱测量系统动镜倾斜误差、横移误差、光源稳定性等因素降低测量精度的问题，同时使得该仪器能够同时完成待测凹面光栅绝对、相对衍射效率的测量功能。
傅里叶光谱测量系统布置在测量单色仪前。参考干涉系统布置在傅里叶光谱测量系统的一侧，而非共路放置，避免了由于共路造成的实际可测待测光栅面积的减小。
具体实施例中，第一入射孔13和第二入射孔4的直径为1mm，提高了测试仪的入射光通量，改善了系统的信噪比；主探测器20有效探测面积为Ф4mm，扩宽了单次检测的波长范围从而提高了仪器的工作效率。第一壳体和第二壳体内部为均匀涂黑、粗糙面用以降低系统杂散光影响、提高仪器的信噪比。
进一步地，支撑台14可以包括能够带动待测元件17转动的转台16和能够带动待测元件17滑动的滑台15。并且，滑台15能够使待测元件17沿着第一直线滑动，第一直线过聚光镜10的焦点且垂直于分光立方体A6的出光光路。转台16能够使待测元件17围绕第二直线转动，第二直线垂直于第一直线且垂直于分光立方体A6的出光光路。如此设置，可以使第一直线与待测元件17(凹面光栅或者标准凹面反射镜)的主光轴重合设置，待测元件17沿着第一直线滑动时靠近或者远离第一入射孔13。如此通过滑台15和转台16可以实现不同规格待测光栅衍射效率的测量需要。
滑台15的下方可设置滑轨，滑轨与滑台15的底端滑动配合以实现滑台15沿着滑轨滑动。转台16设置在滑台15上，转台16可以相对于滑台15转动，两者转动连接。
其中，出射臂可以能够转动，并且出射臂的转动的轴线沿着待测元件17的接收光路方向设置且垂直于第二直线。具体可以设置带动出射臂转动的驱动转台18，驱动转台18设置在待测元件17的接收光束传播方向上并可与光学元件转动平台发生相对转动。
该测量单色仪还包括用于带动主探测器20沿着出射臂的长度方向滑动的移动平台19。即移动平台19带动主探测器20沿着主探测器20接受光束的方向移动，移动至合适位置后，最终主探测器20固定在在探测器移动平台19上并位于待测元件17的焦面上。
具体根据不同待测元件17(待测凹面光栅或标准反射镜)的半径确定待测元件17滑台15和主探测器20移动平台19的位置，根据不同待测元件17的检测波长确定光学元件转台16和出射臂驱动转台18的转动角度。最终主探测器20设置在待测元件17的光束传播方向上。该凹面光栅衍射效率测试仪可实现400nm－1600nm宽波段范围的凹面光栅绝对、相对衍射效率测量。
优选地，凹面光栅衍射效率测试仪还可以包括数据处理系统，其能够对采集数据进行光谱还原并计算得出待测凹面光栅的相对衍射效率和绝对衍射效率。具体地，对采集的数据进行去直流、切趾、相位校正及傅里叶变换处理以实现光谱还原。
其中，光源模块包括钨灯1、平面反射镜2和凹面聚光镜3，钨灯1的光线经平面反射镜2反射到凹面聚光镜3上，再经凹面聚光镜3反射后聚焦在第二入射孔4。
使用本发明的凹面光栅衍射效率测试仪进行测试时，将待测元件17放置于支撑台14上，根据待测凹面光栅的检测面积要求选择相应的孔径光阑9。从钨灯1出射的光经平面反射镜2、凹面聚光镜3，最终聚焦于第二入射孔4上，汇聚光通过傅里叶光谱测量系统最终形成干涉光再次聚焦于第一入射孔13并进入测量单色仪，测量单色仪的支撑台14、出射臂驱动转台18、主探测器20移动平台19可发生相对运动以满足不同凹面光栅规格的测量需要。调整完毕后保持其他部件不动，控制傅里叶光谱测量系统中的动镜系统26运动一个周期，由于主光路运动角锥体A与参考光路运动角锥体B25相对设置在动镜系统26上，利用参考探测器27采集的干涉光强可实现主探测器20、辅助探测器12的等光程差触发采样，最后分别对主探测器20和辅助探测器12采集的数据进行数据处理即可得到待测凹面光栅的入射光谱及衍射光谱；同理，将待测元件17更换为凹面标准反射镜并调整相应光学元件支撑台14、出射臂驱动转台18、主探测器20移动平台19的角度，再驱动动镜系统26运动一个周期并进行数据处理可得凹面标准反射镜的入射光谱和反射光谱，分别对待测凹面光栅的入射光谱、衍射光谱及凹面标准反射镜的入射光谱、反射光谱进行相应计算即可得到待测凹面光栅的绝对、相对光栅衍射效率。
由上可知，使用本发明提供的凹面光栅衍射率测试仪，避免了待测凹面光栅与标准反射镜出射光谱宽度不一致、光栅叠级、仪器杂散光较大以及光源稳定性较差影响测量精度的问题，同时解决了傅里叶光谱测量系统中动镜倾斜误差、横移误差等因素降低测量精度的问题，可完成对待侧凹面光栅的绝对、相对衍射效率的测量功能，同时具有高光谱分辨率、低杂散光影响、高测量波长定位精度、无需定期标定等优势。
本说明书中各个实施例采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似部分互相参见即可。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (8)

1.一种凹面光栅衍射效率测试仪，其特征在于，包括光源系统、测量单色仪和傅里叶光谱测量系统；
所述测量单色仪包括开设有第一入射孔(13)的第一壳体、设置于所述第一壳体内部的用于支撑待测元件(17)的支撑台(14)、设置于所述第一壳体内部的出射臂和主探测器(20)；
所述傅里叶光谱测量系统包括开始有第二入射孔(4)的第二壳体、设置于所述第二壳体内的沿光路传输方向依次布置的准直镜(5)、分光立方体A(6)、固定角锥体A(7)、移动角锥体A(8)以及聚光镜(10)；
所述光源系统发出的光经所述第二入射孔(4)进入到所述第二壳体后，经所述准直镜(5)准直、分光立方体A(6)分光、固定角锥体A(7)和移动角锥体A(8)反射最终由聚光镜(10)汇聚于第一入射孔(13)处；
经所述第一入射孔(13)进入第一壳体的光能够直接照射在所述支撑台(14)上的待测元件(17)上，并由待测元件(17)汇聚到出射臂上，进而经过出射臂照射在主探测器(20)上。
2.根据权利要求1所述的凹面光栅衍射效率测试仪，其特征在于，所述傅里叶光谱测量系统还包括设置于所述聚光镜(10)的出射光路上的分束镜(11)和位于所述分束镜(11)的分束光路上且位于所述聚光镜(10)的焦平面上的辅助探测器(12)。
3.根据权利要求1所述的凹面光栅衍射效率测试仪，其特征在于，还包括参考干涉系统，其包括稳频激光器(21)、激光反射镜(22)、分光立方体B(23)、固定角锥体B(24)、运动角锥体B(25)和参考探测器(27)；
所述稳频激光器(21)发出的激光经激光反射镜(22)反射、分光立方体B(23)分光、固定角锥体B(24)及运动角锥体B(25)反射最终汇集在参考探测器(27)。
4.根据权利要求3所述的凹面光栅衍射效率测试仪，其特征在于，所述移动角锥体A(8)和固定角锥体B(24)相对设置，还包括动镜系统(26)，其能够带动所述移动角锥体A(8)和固定角锥体B(24)同时做直线移动以使主光路与参考光路的光程差同时发生变化，所述主探测器(20)、辅助探测器(12)、参考探测器(27)分别同时接收并记录随光程差变化的干涉光强。
5.根据权利要求1所述的凹面光栅衍射效率测试仪，其特征在于，所述支撑台(14)包括能够带动所述待测元件(17)转动的转台(16)和能够带动所述待测元件(17)滑动的滑台(15)，所述滑台(15)能够使待测元件(17)沿着第一直线滑动，所述第一直线过所述聚光镜(10)的焦点且垂直于所述分光立方体A(6)的出光光路；所述转台(16)能够使待测元件(17)围绕第二直线转动，所述第二直线垂直于所述第一直线且垂直于所述分光立方体A(6)的出光光路。
6.根据权利要求5所述的凹面光栅衍射效率测试仪，其特征在于，所述出射臂能够转动，且其转动的轴线沿着所述待测元件(17)的接收光路方向设置且垂直于第二直线。
7.根据权利要求6所述的凹面光栅衍射效率测试仪，其特征在于，所述测量单色仪还包括用于带动所述主探测器(20)沿着所述出射臂的长度方向滑动的移动平台(19)。
8.根据权利要求1所述的凹面光栅衍射效率测试仪，其特征在于，还包括数据处理系统，其能够对采集数据进行光谱还原并计算得出待测凹面光栅的相对衍射效率和绝对衍射效率。
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