CN106706227A - 一种旁通式氦质谱检漏仪 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种旁通式氦质谱检漏仪，包括分子泵、前级泵、质谱室、电磁阀、旁通阀。质谱室连接分子泵高真空口，分子泵的排气口安装真空规管，分子泵的排气口通过电磁阀连接前级泵，前级泵进气口端再连接的电磁阀分别连接在分子泵的精检口、中检口，公共管道处再并联连接旁通阀。仪器上的旁通阀与仪器上的电磁阀组合成多种抽空模式。抽空模式可以分为：低抽空模式，中抽空模式，高抽空模式。实现仪器的多种形式抽空，满足复杂工件或工况的抽空检漏需求。
Description
技术领域
本发明涉及氦质谱检漏仪领域，具体是一种旁通式氦质谱检漏仪。
背景技术
氦质谱检漏仪是一种常见的分析仪器，在电力行业、航天行业、核工业等广泛运用，是真空检漏技术中常用的检漏仪器。现市场上氦质谱检漏仪的运行过程为，仪器按开始键检漏，仪器打开抽空阀对检漏口进行抽空，待检漏口的压力达到某一真空度，开启相应的检漏阀，利用仪器的逆扩散原理，对检漏口上连接的被检件进行检漏。氦质谱检漏仪的前级泵上连接单个抽空阀，对检漏口部分进行抽空，抽空方式单一，难以满足复杂工件或工况的抽空检漏需求。
发明内容 本发明的目的是提供一种旁通式氦质谱检漏仪，以弥补已有技术的缺陷，实现多种抽空方式，满足复杂工件或工况的抽空检漏需求。
为了达到上述目的，本发明所采用的技术方案为：
一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：包括质谱室、分子泵、前级泵、第一至第六电磁阀、旁通阀、检漏口，所述质谱室的出气口通过管路与分子泵的进气口连接，分子泵的排气口通过管路与前级泵的进气口连接，第二电磁阀安装在分子泵、前级泵之间的管路上，第二电磁阀与前级泵进气口之间还通过旁路管路与第一电磁阀的一端连接，第二电磁阀与分子泵排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管，所述分子泵的中检口通过管路与第三电磁阀的一端连接，分子泵的精检口通过管路与第四电磁阀的一端连接，所述第一电磁阀的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀、第四电磁阀的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀连接处还通过旁路管路与第五电磁阀的一端连接，公共管路与第四电磁阀连接处还通过旁路管路与第六电磁阀的一端连接，第六电磁阀的另一端通过螺纹连接标准漏孔，标准漏孔用于对仪器进行漏率标定，所述检漏口通过管路旁路连接在公共管路与第四电磁阀连接处，所述旁通阀一端连接至第二电磁阀、前级泵进气口之间，旁通阀另一端旁路连接在检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的管路上。
所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：所述检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的管路上还旁路连接有真空计。
所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：由旁通阀与第一至第四电磁阀配合组合成多种抽空模式。
所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：抽空模式可以分为：低抽空模式，中抽空模式，高抽空模式；
低抽空模式下旁通阀与第一电磁阀同时打开，当第三电磁阀打开时，旁通阀关闭；中抽空模式下旁通阀与第一电磁阀同时打开，当第四电磁阀打开时，旁通阀关闭；高抽空模式下旁通阀与第一电磁阀同时打开，而后的检漏状态旁通阀一直打开，直至仪器停止检漏关闭。
所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：前级泵可以作为分子泵的前级泵，前级泵也可以与旁通阀组合对被检件进行预抽空起到预抽泵的作用，待被检件达到一定压力，开启检漏阀检漏。
所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：还包括旁通阀座，旁通阀座内四角位置分别设有沿前后水平方向贯通旁通阀座的安装孔，旁通阀座前侧向旁通阀座内沿前后水平方向设有第一腰形孔、第二腰形孔，其中第一腰形孔与第一电磁阀的出口端相通，所述的第一电磁阀的出口端为第一电磁阀6与第二电磁阀7、前级泵2进气口之间连接的一端，旁通阀座左侧向旁通阀座内沿左右水平方向设有工艺孔，工艺孔的孔口中堵入有堵片，所述第一腰形孔的低端与工艺孔连通，旁通阀座顶部前侧向旁通阀座内竖直设有第一单孔，旁通阀座顶部后侧向旁通阀座内竖直设有内、外孔结构的上安装孔，所述工艺孔还与上安装孔的内孔相通，所述第二腰形孔与公共管路中公共管路与第四电磁阀连接的一端相通，第二腰形孔的低端分别依次与第一单孔、上安装孔的外孔连通，旁通阀座底部向旁通阀座内竖直设有第二单孔，第二单孔周围设有多个下安装孔，且第二单孔通过多个下安装孔与前级泵的抽空管道连接，旁通阀座顶部还设有多个环绕第一单孔的检漏口安装孔、多个环绕上安装孔的旁通阀安装孔，所述检漏口通过多个检漏口安装孔安装并连通在第一单孔上，所述旁通阀通过多个旁通阀安装孔安装并连通在上安装孔上。
本发明的优点是：旁通阀与其他电磁阀组合可以实现多种形式的抽空，低抽空模式、中抽空模式、高抽空模式。满足复杂工件或工况的抽空检漏需求。检漏口安装在旁通阀座上，这样设计可以避免检漏口的颗粒物及杂质，进入主阀座内而进入分子泵的进气口，导致分子泵的损坏。
附图说明
图1为本发明结构原理图。
图2为本发明旁通阀座正视图。
图3为本发明旁通阀座后视图。
具体实施方式
如图1所示，一种旁通式氦质谱检漏仪，包括质谱室4、分子泵3、前级泵2、第一至第六电磁阀6、7、8、9、10、11、旁通阀5、检漏口14，质谱室4的出气口通过管路与分子泵3的进气口连接，分子泵3的排气口通过管路与前级泵2的进气口连接，第二电磁阀7安装在分子泵3、前级泵2之间的管路上，第二电磁阀7与前级泵2进气口之间还通过旁路管路与第一电磁阀6的一端连接，第二电磁阀7与分子泵3排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管1，分子泵3的中检口通过管路与第三电磁阀8的一端连接，分子泵3的精检口通过管路与第四电磁阀9的一端连接，第一电磁阀6的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀8、第四电磁阀9的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀8连接处还通过旁路管路与第五电磁阀10的一端连接，公共管路与第四电磁阀9连接处还通过旁路管路与第六电磁阀11的一端连接，第六电磁阀11的另一端通过螺纹连接标准漏孔12，标准漏孔12用于对仪器进行漏率标定。检漏口14通过管路旁路连接在公共管路与第四电磁阀9连接处，旁通阀5一端连接至第二电磁阀7、前级泵2进气口之间，旁通阀5另一端旁路连接在检漏口14向公共管路、第四电磁阀9连接处的管路上。
检漏口14向公共管路、第四电磁阀9连接处的管路上还旁路连接有真空计13。
由旁通阀5与第一至第四电磁阀6、7、8、9配合组合成多种抽空模式。
抽空模式可以分为：低抽空模式，中抽空模式，高抽空模式；
低抽空模式下旁通阀5与第一电磁阀6同时打开，当第三电磁阀8打开时，旁通阀5关闭；中抽空模式下旁通阀5与第一电磁阀6同时打开，当第四电磁阀9打开时，旁通阀5关闭；高抽空模式下旁通阀5与第一电磁阀6同时打开，而后的检漏状态旁通阀5一直打开，直至仪器停止检漏关闭。
前级泵2可以作为分子泵的前级泵，前级泵2也可以与旁通阀5组合对被检件进行预抽空起到预抽泵的作用，待被检件达到一定压力，开启检漏阀检漏。
如图2、图3所示，还包括旁通阀座，旁通阀座内四角位置分别设有沿前后水平方向贯通旁通阀座的安装孔29，旁通阀座前侧向旁通阀座内沿前后水平方向设有第一腰形孔21、第二腰形孔22，其中第一腰形孔21与第一电磁阀6的出口端相通，所述的第一电磁阀6的出口端为第一电磁阀6与第二电磁阀7、前级泵2进气口之间连接的一端，旁通阀座左侧向旁通阀座内沿左右水平方向设有工艺孔26，工艺孔26的孔口中堵入有堵片，第一腰形孔21的低端与工艺孔26连通，旁通阀座顶部前侧向旁通阀座内竖直设有第一单孔23，旁通阀座顶部后侧向旁通阀座内竖直设有内、外孔结构的上安装孔24，工艺孔26还与上安装孔24的内孔相通，第二腰形孔22与公共管路中公共管路与第四电磁阀9连接的一端相通，第二腰形孔22的低端分别依次与第一单孔23、上安装孔24的外孔连通，旁通阀座底部向旁通阀座内竖直设有第二单孔25，第二单孔25周围设有多个下安装孔20，且第二单孔25通过多个下安装孔20与前级泵2的抽空管道连接，旁通阀座顶部还设有多个环绕第一单孔23的检漏口安装孔27、多个环绕上安装孔24的旁通阀安装孔28，检漏口14通过多个检漏口安装孔27安装并连通在第一单孔23上，旁通阀5通过多个旁通阀安装孔28安装并连通在上安装孔24上。
仪器上电，前级泵2工作，第二电磁阀7打开，待真空规管1达到要求的压力时，分子泵3开始启动，分子泵3完成预定转速后，质谱室4中器件上电，仪器进入待机状态。在检漏口14连接被检工件，开始检漏。
仪器上的旁通阀5与仪器上的第一电磁阀6、第二电磁阀7、第三电磁阀8、第四电磁阀9组合成多种抽空模式，可以分为：低抽空模式，中抽空模式，高抽空模式。
氦质谱检漏仪的抽空模式选择为低抽空模式时，仪器按下开始键，仪器关闭第二电磁阀7，打开第一电磁阀6、旁通阀5，前级泵2对仪器的检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到1500Pa时，打开第二电磁阀7,进入仪器的低精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行低精度检测，仪器继续对检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到200Pa时，关闭第一电磁阀6、旁通阀5，打开第三电磁阀8，进入仪器的,中精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行中精度检测，仪器通过第三电磁阀8继续对检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到40Pa时，关闭第三电磁阀8，打开第四电磁阀9，进入仪器的高精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行高精度检测。待仪器检漏完成，按下仪器的停止键，关闭第四电磁阀9，打开第五电磁阀10，对检漏口14连接的被检工件进行放气破真空。
氦质谱检漏仪的抽空模式选择为中抽空模式时，仪器按下开始键，仪器关闭第二电磁阀7，打开第一电磁阀6、旁通阀5，前级泵2对仪器的检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到1500Pa时，打开第二电磁阀7,进入仪器的低精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行低精度检测，仪器继续对检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到200Pa时，关闭第一电磁阀6，打开第三电磁阀8，进入仪器的,中精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行中精度检测，仪器通过第三电磁阀8、旁通阀5继续对检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到40Pa时，关闭第三电磁阀8、旁通阀5，打开第四电磁阀9，进入仪器的高精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行高精度检测。待仪器检漏完成，按下仪器的停止键，关闭第四电磁阀9，打开第五电磁阀10，对检漏口14连接的被检工件进行放气破真空。
氦质谱检漏仪的抽空模式选择为高抽空模式时，仪器按下开始键，仪器关闭第二电磁阀7，打开第一电磁阀6、旁通阀5，前级泵2对仪器的检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到1500Pa时，打开第二电磁阀7,进入仪器的低精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行低精度检测，仪器继续对检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到200Pa时，关闭第一电磁阀6，打开第三电磁阀8，进入仪器的,中精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行中精度检测，仪器通过第三电磁阀8、旁通阀5继续对检漏口14部分抽空，待真空计13的检测压力达到40Pa时，关闭第三电磁阀8，打开第四电磁阀9，进入仪器的高精度检漏状态，这时可以对检漏口14连接的被检工件进行高精度检测。待仪器检漏完成，按下仪器的停止键，关闭第四电磁阀9、旁通阀5，打开第五电磁阀10，对检漏口14连接的被检工件进行放气破真空。
Claims (6)
1.一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：包括质谱室、分子泵、前级泵、第一至第六电磁阀、旁通阀、检漏口，所述质谱室的出气口通过管路与分子泵的进气口连接，分子泵的排气口通过管路与前级泵的进气口连接，第二电磁阀安装在分子泵、前级泵之间的管路上，第二电磁阀与前级泵进气口之间还通过旁路管路与第一电磁阀的一端连接，第二电磁阀与分子泵排气口之间还通过旁路管路连接有真空规管，所述分子泵的中检口通过管路与第三电磁阀的一端连接，分子泵的精检口通过管路与第四电磁阀的一端连接，所述第一电磁阀的另一端通过公共管路分别与第三电磁阀、第四电磁阀的另一端连接，其中公共管路与第三电磁阀连接处还通过旁路管路与第五电磁阀的一端连接，公共管路与第四电磁阀连接处还通过旁路管路与第六电磁阀的一端连接，第六电磁阀的另一端通过螺纹连接标准漏孔，标准漏孔用于对仪器进行漏率标定，所述检漏口通过管路旁路连接在公共管路与第四电磁阀连接处，所述旁通阀一端连接至第二电磁阀、前级泵进气口之间，旁通阀另一端旁路连接在检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的管路上。
2.根据权利要求1所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：所述检漏口向公共管路、第四电磁阀连接处的管路上还旁路连接有真空计。
3.根据权利要求1所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：由旁通阀与第一至第四电磁阀配合组合成多种抽空模式。
4.根据权利要求3所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：抽空模式可以分为：低抽空模式，中抽空模式，高抽空模式；
低抽空模式下旁通阀与第一电磁阀同时打开，当第三电磁阀打开时，旁通阀关闭；中抽空模式下旁通阀与第一电磁阀同时打开，当第四电磁阀打开时，旁通阀关闭；高抽空模式下旁通阀与第一电磁阀同时打开，而后的检漏状态旁通阀一直打开，直至仪器停止检漏关闭。
5.根据权利要求1所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：前级泵可以作为分子泵的前级泵，前级泵也可以与旁通阀组合对被检件进行预抽空起到预抽泵的作用，待被检件达到一定压力，开启检漏阀检漏。
6.根据权利要求1所述的一种旁通式氦质谱检漏仪，其特征在于：还包括旁通阀座，旁通阀座内四角位置分别设有沿前后水平方向贯通旁通阀座的安装孔，旁通阀座前侧向旁通阀座内沿前后水平方向设有第一腰形孔、第二腰形孔，其中第一腰形孔与第一电磁阀的出口端相通，所述的第一电磁阀的出口端为第一电磁阀6与第二电磁阀7、前级泵2进气口之间连接的一端，旁通阀座左侧向旁通阀座内沿左右水平方向设有工艺孔，工艺孔的孔口中堵入有堵片，所述第一腰形孔的低端与工艺孔连通，旁通阀座顶部前侧向旁通阀座内竖直设有第一单孔，旁通阀座顶部后侧向旁通阀座内竖直设有内、外孔结构的上安装孔，所述工艺孔还与上安装孔的内孔相通，所述第二腰形孔与公共管路中公共管路与第四电磁阀连接的一端相通，第二腰形孔的低端分别依次与第一单孔、上安装孔的外孔连通，旁通阀座底部向旁通阀座内竖直设有第二单孔，第二单孔周围设有多个下安装孔，且第二单孔通过多个下安装孔与前级泵的抽空管道连接，旁通阀座顶部还设有多个环绕第一单孔的检漏口安装孔、多个环绕上安装孔的旁通阀安装孔，所述检漏口通过多个检漏口安装孔安装并连通在第一单孔上，所述旁通阀通过多个旁通阀安装孔安装并连通在上安装孔上。
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| CN201611100696.0A CN106706227A (zh) | 2016-12-05 | 2016-12-05 | 一种旁通式氦质谱检漏仪 |
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| CN201611100696.0A Withdrawn CN106706227A (zh) | 2016-12-05 | 2016-12-05 | 一种旁通式氦质谱检漏仪 |
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| CN (1) | CN106706227A (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN107643150A (zh) * | 2017-09-19 | 2018-01-30 | 芜湖炬胜机电设备厂 | 模拟阀门真实工况泄漏检测工装 |
| CN112051012A (zh) * | 2019-06-06 | 2020-12-08 | Asm Ip私人控股有限公司 | 包括气体检测器的气相反应器系统 |
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2016
- 2016-12-05 CN CN201611100696.0A patent/CN106706227A/zh not_active Withdrawn
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|---|---|---|---|---|
| CN107643150A (zh) * | 2017-09-19 | 2018-01-30 | 芜湖炬胜机电设备厂 | 模拟阀门真实工况泄漏检测工装 |
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