CN106653670A

CN106653670A - 一种静电吸盘装置

Info

Publication number: CN106653670A
Application number: CN201510423110.3A
Authority: CN
Inventors: 吴狄; 户高良二
Original assignee: Advanced Micro Fabrication Equipment Inc Shanghai
Current assignee: Medium and Micro Semiconductor Equipment (Shanghai) Co., Ltd.
Priority date: 2015-07-17
Filing date: 2015-07-17
Publication date: 2017-05-10
Anticipated expiration: 2035-07-17
Also published as: CN106653670B; TW201712795A; TWI581365B

Abstract

本发明提供了一种静电吸盘装置，包括：静电吸盘、用于支撑所述静电吸盘的支撑结构以及用于测量静电吸盘温度的光纤温度传感器，所述光纤温度传感器包括传输光纤，所述传输光纤包括相互分离的第一传输光纤和第二传输光纤；当将所述静电吸盘组装到所述支撑结构上时，安装有第一传输光纤的所述静电吸盘的下表面与安装有第二传输光纤的所述支撑结构的上表面相对放置，所述第一传输光纤的第一端与所述第二传输光纤的第一端对接。本发明提供的静电吸盘装置减少了传输光纤被损坏的几率，保证了传输光纤的稳定性，降低了静电吸盘装置的硬件成本。

Description

一种静电吸盘装置

技术领域

本发明涉及半导体加工设备领域，尤其涉及一种静电吸盘装置。

背景技术

通常情况下，静电吸盘装置包括静电吸盘ESC以及用于支撑该静电吸盘的支撑结构。在半导体加工过程中，需要将待加工处理的晶圆固定在静电吸盘上。并且，为了得到较好的处理效果，还需要测量静电吸盘的温度。因此，静电吸盘装置还包括用于测量静电吸盘温度的温度检测装置。

目前，在半导体加工技术中，温度检测装置通常采用热电耦测量元件。热电耦测量元件直接测量静电吸盘的温度，并把温度信号转换成热电动势信号，通过电气仪表(二次仪表)转换成静电吸盘的温度。也就是说，热电偶在测温过程中要用到电压信号。然而，在半导体加工过程中，由于会用到射频能源，这些射频能源会产生电磁信号，因此，在半导体加工过程中，这些电磁信号会干扰热电耦测量元件测温过程中产生的电压信号，从而会影响热电偶测量元件的测量精度。为了准确地测量静电吸盘的温度，在半导体加工领域，开始采用光纤探测器测量静电吸盘的温度。

然而，现有的光纤探测器的传输光纤为一整根细长的光纤，通常情况下，光纤探测器的传输光纤的一端固定在支撑结构上，另一端为测量端，该测量端从支撑结构的上表面伸出。在组装静电吸盘和支撑结构时，静电吸盘穿过传输光纤的测量端，将靠近测量端的一段传输光纤安装在静电吸盘内，从而实现静电吸盘和支撑结构的组装。当拆卸静电吸盘装置时，也需要将静电吸盘穿过传输光纤的测量端。因此，在静电吸盘装置的组装和拆卸过程中，静电吸盘要穿过传输光纤的测量端，所以，在安装和拆卸静电吸盘装置的过程中，静电吸盘很容易触碰到安装在传输光纤测量端的探头，降低光纤温度传感器的测量精度，并且，由于该细长的传输光纤很脆，在安装和拆卸静电吸盘装置的过程中，传输光纤很容易损坏，导致硬件设备成本的提高。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种新的静电吸盘装置，以降低光纤探测器被损坏的几率，降低硬件成本。

为了解决上述技术问题，本发明采用了如下技术方案：

一种静电吸盘装置，包括：静电吸盘、用于支撑所述静电吸盘的支撑结构以及用于测量静电吸盘温度的光纤温度传感器，其中，所述光纤温度传感器包括传输光纤，所述传输光纤包括相互分离的第一传输光纤和第二传输光纤；

所述静电吸盘上设置有用于安装所述第一传输光纤的第一安装结构；

所述支撑结构上设置有用于安装所述第二传输光纤的第二安装结构；

当将所述静电吸盘组装到所述支撑结构上时，安装有第一传输光纤的所述静电吸盘的下表面与安装有第二传输光纤的所述支撑结构的上表面相对放置，所述第一传输光纤的第一端与所述第二传输光纤的第一端对接；

其中，所述第一传输光纤的第一端位于所述静电吸盘的下表面的一侧；所述第二传输光纤的第一端位于所述支撑结构的上表面的一侧。

可选地，所述第一传输光纤的第一端与所述静电吸盘的下表面相平，所述第二传输光纤的第一端与所述支撑结构的上表面相平。

可选地，所述第一传输光纤的第一端从所述静电吸盘的下表面伸出第一长度，所述第二传输光纤的第一端从所述支撑结构的上表面缩进第一长度。

可选地，所述第一长度不大于2毫米。

可选地，所述第一传输光纤的第一端从所述静电吸盘的下表面缩进第二长度，所述第二传输光纤的第一端从所述支撑结构的上表面缩进第二长度。

可选地，所述第二长度不大于2毫米。

可选地，所述第一传输光纤和所述第二传输光纤的材料不同。

可选地，用于制作所述第一传输光纤的材料能够承受静电吸盘工作时的温度，用于制作所述第二传输光纤的材料能够承受所述支撑结构工作时的温度。

可选地，所述静电吸盘的下表面侧设置有第一定位结构，所述支撑结构的上表面侧设置有第二定位结构，当组装所述静电吸盘和所述支撑结构时，所述第一定位结构和所述第二定位结构适配对准时，所述第一传输光纤的第一端和所述第二传输光纤的第一端对接。

一种静电吸盘装置，包括：静电吸盘、用于支撑所述静电吸盘的支撑结构以及用于测量静电吸盘温度的光纤温度传感器，其中，所述光纤温度传感器包括传输光纤，所述传输光纤包括第一传输光纤段和第二传输光纤段；所述第一传输光纤段的材料与所述第二传输光纤段的材料不同；

当将所述静电吸盘组装到所述支撑结构上时，所述第一传输光纤段安装在所述静电吸盘上，所述第二传输光纤段安装在所述支撑结构上。

可选地，，用于制作所述第一传输光纤的材料能够承受静电吸盘工作时的温度，用于制作所述第二传输光纤的材料能够承受所述支撑结构工作时的温度。

相较于现有技术，本发明具有以下有益效果：

在本发明提供的静电吸盘装置中，其传输光纤包括相互分离的第一传输光纤和第二传输光纤。在组装静电吸盘和支撑结构之前，可以预先将第一传输光纤安装在静电吸盘上的第一安装结构上，将第二传输光纤安装在支撑结构的第二安装结构上，然后再将静电吸盘和支撑结构组装在一起。如此，在组装静电吸盘和支撑结构的过程中，只需将安装在静电吸盘上的第一传输光纤的一端和安装在支撑结构上的第二传输光纤的一端实现对接即可，静电吸盘无需穿过一细长的传输光纤。而且，在拆卸静电吸盘装置的过程中，静电吸盘也无需穿过细长的传输光纤，因此，相较于现有技术，本发明提供的静电吸盘装置减少了传输光纤被损坏的几率，保证了传输光纤的稳定性，降低了静电吸盘装置的硬件成本。

此外，设置在静电吸盘上的第一安装结构和设置在支撑结构上的第二安装结构除了起到安装固定第一传输光纤和第二传输光纤的作用外，还能够起到保护第一传输光纤和第二传输光纤的作用。当将第一传输光纤安装在第一安装结构中，将第二传输光纤安装在第二安装结构中后，能够避免整条第一传输光纤和整条第二传输光纤突出在外。因此，从这方面来说，本发明提供的静电吸盘装置也有利于减少传输光纤被损坏的几率。

另外，在组装和拆卸本发明提供的静电吸盘装置的过程中，静电吸盘不会触碰位于第一传输光纤测量端的探头，因此，本发明提供的静电吸盘装置能够保证光纤温度传感器的测量精度。

附图说明

为了清楚地理解本发明的技术方案，下面对描述本发明的具体实施方式时用到的附图做一简要说明。显而易见地，这些附图仅是本发明的部分实施例，本领域技术人员在不付出创造性劳动的前提下，还可以获得其它附图。

图1A和图1B分别为本发明实施例一提供的静电吸盘装置的结构分解图和组装图；

图2A和图2B分别为本发明实施例二提供的静电吸盘装置的结构分解图和组装图；

图3A和图3B分别为本发明实施例三提供的静电吸盘装置的结构分解图和组装图；

图4A和图4B分别为本发明实施例四提供的静电吸盘装置的结构分解图和组装图；

图5A和图5B分别为本发明实施例五提供的静电吸盘装置的结构分解图和组装图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术手段和技术效果更加清楚、完整，下面结合附图对本发明的具体实施方式进行描述。

需要说明的是，在对待处理晶圆进行加工处理时，需要将该待处理晶圆放置在反应腔室内的静电吸盘ESC的上表面上。通过静电吸盘ESC的吸附将待处理晶圆固定。为了精确控制加工工艺条件，提高待处理晶圆的处理质量，需要知道待处理晶圆的温度。本领域技术人员通常将待处理晶圆背面温度作为待处理晶圆的温度。

由于待处理晶圆放置在静电吸盘的上表面上，当知道静电吸盘的上表面的温度后，就可获取到待处理晶圆背面的温度，该待处理晶圆背面的温度即为待处理晶圆的温度。

为了测量到待处理晶圆背面的温度，用于固定待处理晶圆的静电吸盘装置上还包括测温装置。通常情况下，静电吸盘装置的测温装置设置在静电吸盘装置的底部。测温装置的测量探头从底部的支撑结构延伸到静电吸盘的上表面。从而实现对静电吸盘上表面温度的测量。

为了能够保证温度测量的准确性，本发明实施例采用光纤温度传感器进行测量。利用传输光纤将测量探头测量到的静电吸盘上表面的信号传输到光线温度传感器。

另外，为了防止将静电吸盘组装在支撑结构上的过程中或者将静电吸盘从支撑结构上拆卸的过程中，静电吸盘触碰到光纤温度传感器的传输光纤和测量探头，本发明提供了一种静电吸盘装置的新结构。具体参见以下实施例。

实施例一

图1A是本发明实施例一提供的静电吸盘装置的结构分解图。图1B为静电吸盘和支撑结构组装后的静电吸盘装置的结构示意图。

如图1A所示，本发明实施例一提供的静电吸盘装置包括静电吸盘11、支撑结构12和用于测量静电吸盘温度的光纤温度传感器13。

其中，支撑结构12可以为上表面平整的支撑柱或支撑台。图1A所示的支撑结构12为支撑台。

其中，光纤温度传感器13包括用于传输信号的传输光纤，所述传输光纤包括第一传输光纤131和第二传输光纤132。

静电吸盘11上设置有用于安装第一传输光纤131的第一安装结构111；该第一安装结构111为从形成在静电吸盘11的下表面的开口向静电吸盘11内部延伸形成的空腔结构，在该空腔结构的底部接近静电吸盘11的上表面。

支撑结构12上设置有用于安装第二传输光纤132的第二安装结构121。

其中，第一安装结构111和第二安装结构121还能够对安装在其中的第一传输光纤131和第二传输光纤132起到固定作用。此外，第一安装结构111和第二安装结构121的结构还可以相互适配，以在静电夹盘11和支撑结构12组装时起到定位作用。

其中，第一传输光纤131的一端为光纤温度传感器的测量端，在该测量端包括光纤温度传感器的测量探头。

由于第一安装结构111为从形成在静电吸盘11的下表面的开口向静电吸盘11内部延伸形成的空腔结构，所以可以将第一传输光纤131的测量端插入到第一安装结构111的内部，实现第一传输光纤131与静电吸盘的组装。组装后，第一传输光纤131的测量端位于静电吸盘的上表面一侧，与测量端相对的第一传输光纤131的第一端位于静电吸盘11下表面一侧。并且，如图1A所示，组装后的第一传输光纤131的第一端与所述静电吸盘11的下表面相平。

需要说明的是，在静电吸盘装置尺寸不变的情况下，现有技术中的传输光纤为一整根传输光纤，相较于现有技术中的一整根传输光纤，本发明提供的第一传输光纤的长度较短，因此，在安装第一传输光纤的过程中，减少了第一传输光纤被损坏的几率。安装完成后，第一传输光纤的测量端的测量探头能够测量到位于静电吸盘上表面上的晶圆背面的温度。

另外，第二传输光纤32的一端为第一端，当将第二传输光纤32安装到第二安装结构22上以后，第二传输光纤32的第一端位于支撑结构02的上表面一侧，并且如图1A所示，第二传输光纤32的第一端与支撑结构02的上表面相平。

当将静电吸盘01组装到支撑结构02上后，如图1B所示，即静电吸盘01放置在支撑结构02上，并且静电吸盘01的下表面与支撑结构02的上表面相对放置，并且第一传输光纤31的第一端与第二传输光纤32的第一端对接。

对接后的第一传输光纤31和第二传输光纤32之间能够进行信号传输，如此，第一传输光纤31上的信号能够传输到第二传输光纤32上，第二传输光纤32上的信号能够传输到第一传输光纤31上，因此，对接后的第一传输光纤31和第二传输光纤32相当于现有技术中的一整根传输光纤。

如此，第一传输光纤31的测量端的测量探头测量到位于静电吸盘上方的待处理晶圆背面的温度，得到一测量信号，该测量信号通过第一传输光纤31以及与第一传输光纤31对接的第二传输光纤32传输到光纤温度传感器中，光纤温度传感器对该测量信号进行处理，得到测量的待处理晶圆背面的温度。

因此，通过本发明提供的带有第一传输光纤31和第二传输光纤32的光纤温度传感器能够测量到待处理晶圆的背面温度，从而能够为准确地控制加工工艺提供依据。

另外，本发明提供的静电吸盘装置，在将静电吸盘组装到支撑结构上时，或者将静电吸盘从支撑结构上拆卸下来时，静电吸盘均无需穿过安装在支撑结构上的细长传输光纤，因此，降低了传输光纤被损坏的可能。另外，在组装和拆卸静电吸盘时，静电吸盘也不会触碰到光线温度传感器测量端的测量探头，因此，本发明提供的静电吸盘装置能够保证光纤温度传感器测量温度的准确性。

以上为本发明实施例一提供的静电吸盘装置。实施例一所示的静电吸盘装置中，安装到静电吸盘11的第一安装结构111上的第一传输光纤131的第一端与静电吸盘11的下表面相平，由于静电吸盘11的下表面以及支撑结构12的上表面一般为平整表面，所以，为了实现第一传输光纤131和第二传输光纤132的对接，相应地，安装到第二安装结构122上的第二传输光纤132的第一端与支撑结构12的上表面相平。需要说明的是，本发明实施例提供的静电吸盘装置，不限于实施例一所示的结构，为了实现第一传输光纤131和第二传输光纤132的对接，本发明实施例还提供了静电吸盘装置的其它方式。具体参见以下实施例二和实施例三。

实施例二

图2A是本发明实施例二提供的静电吸盘装置的结构分解示意图，图2B是本发明实施例二提供的组装后的静电吸盘装置的结构示意图。

与实施例一类似，实施例二所述的静电吸盘装置也包括：静电吸盘21、用于支撑静电吸盘21的支撑结构22以及用于测量静电吸盘表面温度的光纤温度传感器23，其中，光纤温度传感器包括相互分离的第一传输光纤231和第二传输光纤232。

另外，在静电吸盘21上还设置有用于安装第一传输光纤231的第一安装结构212，在支撑结构22上设置有用于安装第二传输光纤232的第二安装结构222。

需要说明的是，实施例二所述的静电吸盘装置的结构与实施例一所述的静电吸盘装置的结构有诸多相似之处，为了简要起见，本实施例仅对其不同之处进行着重描述，其相同之处请参见实施例一的描述。

本实施例与实施例一的不同之处，仅在于安装后的第一传输光纤231的第一端与静电吸盘21下表面的位置关系，以及安装后的第二传输光纤132的第一端与支撑结构22上表面的位置关系。其位置关系具体如下：

如图2A所示，安装到静电吸盘21上的第一安装结构211上的第一传输光纤231的第一端从静电吸盘21的下表面伸出第一长度，相应地，安装到支撑结构22上的第二安装结构221上的第二传输光纤232的第一端从支撑结构22的上表面缩进第一长度。如此，当静电吸盘21组装到支撑结构22上时，如图2B所示，从静电吸盘21的下表面伸出的传输光纤段插入到第二安装结构222中，与安装在第二安装结构222中的第二传输光纤232的第一端实现对接。

其中，为了防止在插入过程中，损坏第一传输光纤231，第一长度可以不大于2毫米。

实施例二所示的静电吸盘装置中，第一传输光纤231的第一端突出在静电吸盘21之外，相应地，第二传输光纤232的第一端缩进支撑结构22的内部。作为本发明的又一实施例，也可以相反地，第一传输光纤231的第一端缩进静电吸盘21的内部，而第二传输光纤232的第二端突出支撑结构22之外，具体参见实施例三。

实施例三

图3A是本发明实施例三提供的静电吸盘装置的结构分解示意图，图3B是本发明实施例三提供的组装后的静电吸盘装置的结构示意图。

与实施例一类似，实施例三所述的静电吸盘装置也包括：静电吸盘31、用于支撑静电吸盘31的支撑结构32以及用于测量静电吸盘31表面温度的光纤温度传感器33，其中，光纤温度传感器包括相互分离的第一传输光纤331和第二传输光纤332。

另外，在静电吸盘31上还设置有用于安装第一传输光纤331的第一安装结构312，在支撑结构32上设置有用于安装第二传输光纤332的第二安装结构322。

需要说明的是，实施例三所述的静电吸盘装置的结构与实施例一所述的静电吸盘装置的结构有诸多相似之处，为了简要起见，本实施例仅对其不同之处进行着重描述，其相同之处请参见实施例一的描述。

本实施例与实施例一的不同之处，仅在于安装后的第一传输光纤331的第一端与静电吸盘31下表面的位置关系，以及安装后的第二传输光纤332的第一端与支撑结构32上表面的位置关系。其位置关系具体如下：

如图3A所示，安装到第一安装结构311上的第一传输光纤331的第一端位于静电吸盘31的内部，并且第一传输光纤331的第一端距离静电吸盘31下表面的距离为第二长度，相应地，安装到第二安装结构321上的第二传输光纤332的第一端从支撑结构32的上表面伸出第二长度，为了实现第一传输光纤331和第二传输光纤332的对接。并且，防止在将第二传输光纤332插入到第一安装结构311中损坏第二传输光纤，第二长度可以不大于2毫米。

以上为本发明实施例三提供的静电吸盘装置的结构。

需要说明的是，本发明实施例提供的静电吸盘装置中，安装后的第一传输光纤与静电吸盘的位置关系以及安装后的第二传输光纤与支撑结构的位置关系不限于上述三个实施例所述的位置关系，只要在将静电吸盘组装到支撑结构上后，能够实现第一传输光纤和第二传输光纤的端头对接即可。

另外，在以上任意一个实施例所述的静电吸盘装置中，第一传输光纤和第二传输光纤的材料可以相同。此外，第一传输光纤和第二传输光纤的材料也可以不同。

并且，研究表明，远离测量探头的传输光纤对测量精度的影响程度比靠近测量探头的传输光纤对测量精度的影响程度小，因此，在不影响测量精度的前提下，相较于第一传输光纤，第二传输光纤可以选用成本较低的材料制作。

另外，研究还表明，通常情况下，静电吸盘内的温度与支撑结构内的温度一般不同，所以，第一传输光纤和第二传输光纤的工作温度不同。为了适应不同的工作温度，第一传输光纤和第二传输光纤可以采用不同材料。具体地，用于制作第一传输光纤的材料能够承受静电吸盘内的温度，用于制作第二传输光纤的材料能够承受支撑结构内的温度。

此外，为了比较方便地实现第一传输光纤和第二传输光纤的对接，还可以在上述任一实施例提供的静电吸盘装置的静电吸盘和支撑结构上设置有相互配合的定位结构。具体参见实施例四。

实施例四

图4A是本发明实施例四提供的静电吸盘装置的分解结构图，图4B是本发明实施例四提供的组装后的静电吸盘装置结构示意图。

需要说明的是，实施例四是在实施例一提供的静电吸盘装置的基础上进行改进得到的静电吸盘装置。所以，实施例四提供的静电吸盘装置与实施例一提供的静电吸盘装置具有诸多相似之处，为了简要起见，在此，仅描述与实施例一的不同之处，其相似之处请参见实施例一的相应描述。

如图4A所示，实施例四所述的静电吸盘装置除了具有实施例一所述的结构以外，还可以包括以下结构：

设置在静电吸盘下表面侧的第一定位结构412，以及设置在支撑结构上表面侧的第二定位结构422。

当将静电吸盘组装到支撑结构上时，如图4B所示，第一定位结构412和第二定位结构422适配对准，当第一定位结构412和第二定位结构422对准后，第一传输光纤431和第二传输光纤432也就完成了对接。

因此，第一定位结构412和第二定位结构422的设置，有利于第一传输光纤131和第二传输光纤132的对接效率。

作为本发明的一个具体实施例，第一定位结构412可以为凹进到静电吸盘内部的结构，相应地，第二定位结构422可以为由支撑结构表面向外突出的结构。并且凹进结构的尺寸和形状与突出结构的尺寸和形状相对应。

另外，在静电吸盘装置中，在光纤温度传感器工作时，传输光纤靠近测量端的光纤段安装在静电吸盘内，远离测量端的光纤段安装在支撑结构内。由于在半导体加工过程中，静电吸盘和支撑结构的工作温度不同，这就要求安装在静电吸盘内的传输光纤和安装在支撑结构内的传输光纤具有不同的耐温能力。为了使得光纤温度传感器的传输光纤的光纤段具有不同的耐温能力，本发明还提供了实施例五。

实施例五

图5A是本发明实施例五提供的静电吸盘装置的分解结构图，图5B是本发明实施例五提供的组装后的静电吸盘装置结构示意图。

如图5A所示，该静电吸盘装置包括静电吸盘51、支撑结构52和用于测量静电吸盘上表面温度的光纤温度传感器53。其中，光纤温度传感器包括用于传输信号的传输光纤，其中，所述传输光纤为一整根传输光纤。并且，传输光纤包括第一传输光纤段531和第二传输光纤段532。

另外，在静电吸盘51上设置有用于安装固定第一传输光纤段531的第一安装结构511，在支撑结构52上设置有用于安装固定第二传输光纤段532的第二安装结构521。

如图5B所示，当需要将静电吸盘51组装到支撑结构52上时，预先将传输光纤的第二传输光纤段安装到第二安装结构521上，安装后，第一传输光纤段531突出在支撑结构的外部。然后，将第一传输光纤段531安装到第一安装结构511中，从而实现静电吸盘51与支撑结构52的组装。

由于在加工过程中，静电吸盘51和支撑结构52的工作温度不同，这就要求安装在其内部的第一传输光纤段531和第二传输光纤段532具有不同的耐温能力。为了使得第一传输光纤531和第二传输光纤段532具有不同的耐温能力，在本发明实施例中，制造第一传输光纤段531和第二传输光纤段532的材料可以为不同的光纤材料。如此，就可以根据静电吸盘51和支撑结构52的工作温度来分别选择不同耐温能力的光纤材料制造第一传输光纤段531和第二传输光纤段532。

具体地说，根据静电吸盘51的工作温度选择用于制造第一传输光纤段531的材料，例如，若静电吸盘51的工作温度范围在50至90℃之间，则选择能够承受温度范围在50到90℃的光纤材料来制作第一传输光纤段531。另外，根据支撑结构52的工作温度选择用于制造第二传输光纤段532的材料，例如，若支撑结构52的工作温度范围在20至70℃之间，则选择能够承受温度范围在20至70℃之间的光纤材料制作第二传输光纤段532。

以上所述仅是本发明的具体实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims

1.一种静电吸盘装置，包括：静电吸盘、用于支撑所述静电吸盘的支撑结构以及用于测量静电吸盘温度的光纤温度传感器，其特征在于，所述光纤温度传感器包括传输光纤，所述传输光纤包括相互分离的第一传输光纤和第二传输光纤；

2.根据权利要求1所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一传输光纤的第一端与所述静电吸盘的下表面相平，所述第二传输光纤的第一端与所述支撑结构的上表面相平。

3.根据权利要求1所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一传输光纤的第一端从所述静电吸盘的下表面伸出第一长度，所述第二传输光纤的第一端从所述支撑结构的上表面缩进第一长度。

4.根据权利要求3所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一长度不大于2毫米。

5.根据权利要求1所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一传输光纤的第一端从所述静电吸盘的下表面缩进第二长度，所述第二传输光纤的第一端从所述支撑结构的上表面缩进第二长度。

6.根据权利要求5所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第二长度不大于2毫米。

7.根据权利要求1-6任一项所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述第一传输光纤和所述第二传输光纤的材料不同。

8.根据权利要求7所述的静电吸盘装置，其特征在于，用于制作所述第一传输光纤的材料能够承受静电吸盘工作时的温度，用于制作所述第二传输光纤的材料能够承受所述支撑结构工作时的温度。

9.根据权利要求1-6任一项所述的静电吸盘装置，其特征在于，所述静电吸盘的下表面侧设置有第一定位结构，所述支撑结构的上表面侧设置有第二定位结构，当组装所述静电吸盘和所述支撑结构时，所述第一定位结构和所述第二定位结构适配对准时，所述第一传输光纤的第一端和所述第二传输光纤的第一端对接。

10.一种静电吸盘装置，其特征在于，包括：静电吸盘、用于支撑所述静电吸盘的支撑结构以及用于测量静电吸盘温度的光纤温度传感器，其中，所述光纤温度传感器包括传输光纤，所述传输光纤包括第一传输光纤段和第二传输光纤段；所述第一传输光纤段的材料与所述第二传输光纤段的材料不同；

11.根据权利要求10所述的静电吸盘装置，其特征在于，用于制作所述第一传输光纤的材料能够承受静电吸盘工作时的温度，用于制作所述第二传输光纤的材料能够承受所述支撑结构工作时的温度。