CN106653552B - 一种等离子体射流发生装置 - Google Patents

一种等离子体射流发生装置 Download PDF

Info

Publication number
CN106653552B
CN106653552B CN201611095340.2A CN201611095340A CN106653552B CN 106653552 B CN106653552 B CN 106653552B CN 201611095340 A CN201611095340 A CN 201611095340A CN 106653552 B CN106653552 B CN 106653552B
Authority
CN
China
Prior art keywords
discharge tube
branch pipe
tracheae
electric discharge
generating means
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201611095340.2A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106653552A (zh
Inventor
刘东平
田恩强
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dalian Minzu University
Original Assignee
Dalian Nationalities University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Dalian Nationalities University filed Critical Dalian Nationalities University
Priority to CN201611095340.2A priority Critical patent/CN106653552B/zh
Publication of CN106653552A publication Critical patent/CN106653552A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106653552B publication Critical patent/CN106653552B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32431—Constructional details of the reactor
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
    • H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
    • H05H1/24—Generating plasma
    • H05H1/26—Plasma torches
    • H05H1/32—Plasma torches using an arc
    • H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
    • H05H1/3405—Arrangements for stabilising or constricting the arc, e.g. by an additional gas flow

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Plasma Technology (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

一种等离子体射流发生装置，气管的出气端通过螺纹连接由绝缘材料制成的放电座，由放电座的非连接端向内开设空腔，空腔内具有由绝缘材料制成的放电管，放电管的一端为进气端，另一端为喷射端，放电管的进气端通过一根由绝缘材质制成的中间管与上述气管内部连通；放电座上具有一根与其内部空腔相通的支管，该支管由绝缘材料制成，支管内具有一个高压电极，高压电机的一端伸出支管，另一端伸入至上述放电管内部，本发明与现有技术相比具有喷射距离长，等离子体密度大，持续放电性强等优点。

Description

一种等离子体射流发生装置
技术领域
本发明属于等离子体发生领域，尤其涉及一种等离子体射流发生装置。
背景技术
等离子体是不同于固体、液体和气体的物质第四态，低温等离子体可以有效的杀灭存在于空气中以及物体表面的细菌微生物等。现有的等离子体射流发生装置在放电过程中电压大，形成的等离子羽流长度短，等离子体射流装置管内能量损耗较多，进而减少了等离子体射流的能量，使得等离子体射流羽流长度变短且能量较低。
发明内容
本发明的目的在于提供一种喷射距离长，等离子体密度大，持续放电性强，产生等离子体均匀稳定的等离子体射流发生装置。
本发明的具体技术方案如下：
本发明主要包括有气管、放电座、放电管、高压电极、中间管以及支管，所述气管由绝缘材料制成，其一端为进气端，另一端为出气端，气管的出气端通过螺纹连接由绝缘材料制成的放电座，由放电座的非连接端向内开设空腔，空腔内具有由绝缘材料制成的放电管，放电管的一端为进气端，另一端为喷射端，该放电管的进气端通过一根由绝缘材质制成的中间管与上述气管内部连通；所述放电座上具有一根与其内部空腔相通的支管，该支管由绝缘材料制成，支管内具有一个高压电极，该高压电极的一端伸出支管，另一端伸入至上述放电管内部。
作为本发明的另一个优选方案，所述放电管为变径管，其进气端的内径小于喷射端的内径。
作为本发明的另一个优选方案，所述气管为变径管，其进气端的内径小于出气端的内径。
更优选的，所述高压电极采用导电性能良好的金属材质，例如钨丝、铂丝、金丝等。
更优选的，所述放电管由石英制成。
更优选的，所述气管和放电座均由聚四氟乙烯制成。
本发明的工作大致如下：将本发明通过试管夹固定在铁架台的适当位置，高压电极通过高压线与电源连接，高压电极与电源连通后构成高压供电部分，高压电极提供合适的放电频率和放电电压，由气管处通入工作气体，从而产生等离子体射流。
本发明与现有技术相比具有如下优点：
1、产生等离体均匀稳定，可持续放电，且等离子体射流喷射距离较长，等离子体密度较大；
2、放电管采用了变径管，工作气体由细管流入粗管，由于等离子体射流的产生及传播机理，等离子体羽流在粗管内比细管内更容易传播，所以在变径处传播速度增加，使得射流更容易在管口喷出来，进而增加了等离子体射流的喷射距离；
3、放电管采用变径管，相比细管，更容易在粗管内进行放电，所述设计方法减少了放电前段的能量损失，使得能量更集中于高压电极末端即喷射管口附近，进而使得射流更容易喷出来，增加了等离子体羽流的长度；
4、高压电极只有末端固定长度部分裸露在工作气体中，进而减少了放电管前端的能量损失，使能量更集中与放电管后端进而射流更容易喷出，喷射距离更大。
附图说明
图1为本发明的剖视图(主视方向)。
具体实施方式
接下来就结合附图对本发明作详细说明
如图1所示的一种等离子体射流发生装置，气管101是由绝缘材料制成变径管，其一端为进气端，另一端为出气端，其进气端的内径小于出气端的内径，所述气管的出气端通过螺纹连接由绝缘材料制成的放电座201，由放电座的非连接端向内开设空腔202，空腔内具有由绝缘材料制成的放电管301，该放电管为变径管，放电管的一端为进气端，另一端为喷射端，其进气端的内径小于喷射端的内径；该放电管的进气端通过一根由绝缘材质制成的中间管401与上述气管内部连通；所述放电座上具有一根与其内部空腔相通的支管501，该支管由绝缘材料制成，支管内具有一个高压电极601，该高压电极的一端伸出支管，另一端伸入至上述放电管内部。

Claims (4)

1.一种等离子体射流发生装置，包括气管、放电座、放电管、高压电极、中间管以及支管，所述气管由绝缘材料制成，其一端为进气端，另一端为出气端，气管的出气端通过螺纹连接由绝缘材料制成的放电座，由放电座的非连接端向内开设空腔，空腔内具有由绝缘材料制成的放电管，放电管的一端为进气端，另一端为喷射端，该放电管的进气端通过一根由绝缘材质制成的中间管与上述气管内部连通；所述放电座上具有一根与其内部空腔相通的支管，该支管由绝缘材料制成，支管内具有一个高压电极，该高压电极的一端伸出支管，另一端伸入至上述放电管内部；所述放电管为变径管，其进气端的内径小于喷射端的内径；其特征是：所述气管为变径管，其进气端的内径小于出气端的内径。
2.根据权利要求1所述的等离子体射流发生装置，其特征是：所述高压电极的材质是钨丝或铂丝或金丝。
3.根据权利要求2所述的等离子体射流发生装置，其特征是：所述放电管由石英制成。
4.根据权利要求3所述的等离子体射流发生装置，其特征是：所述气管和放电座均由聚四氟乙烯制成。
CN201611095340.2A 2016-12-02 2016-12-02 一种等离子体射流发生装置 Active CN106653552B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611095340.2A CN106653552B (zh) 2016-12-02 2016-12-02 一种等离子体射流发生装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611095340.2A CN106653552B (zh) 2016-12-02 2016-12-02 一种等离子体射流发生装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106653552A CN106653552A (zh) 2017-05-10
CN106653552B true CN106653552B (zh) 2018-02-13

Family

ID=58814897

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611095340.2A Active CN106653552B (zh) 2016-12-02 2016-12-02 一种等离子体射流发生装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106653552B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107301938A (zh) * 2017-07-29 2017-10-27 苏州志佳电子科技有限公司 离子流的发生方法以及具有螺旋放电电极的离子发生器

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4120087B2 (ja) * 1999-03-30 2008-07-16 松下電工株式会社 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
JP2008198583A (ja) * 2007-02-09 2008-08-28 Kazuo Terajima プラズマ発生装置
JP2008237047A (ja) * 2007-03-26 2008-10-09 Masaru Hori 殺虫殺菌方法及び殺虫殺菌装置
CN101466194A (zh) * 2009-01-13 2009-06-24 大连理工大学 预电离大气压低温等离子体射流发生器
CN103848484A (zh) * 2014-03-07 2014-06-11 南京大学 一种低温等离子体协同钼酸铋催化剂降解抗生素废水的装置及方法
CN105253948A (zh) * 2015-08-05 2016-01-20 中国科学院等离子体物理研究所 一种自由基分离式水处理方法
CN105895489A (zh) * 2016-05-04 2016-08-24 中国科学技术大学 基于大气压等离子体喷管的并行无掩模扫描微纳米加工装置和方法

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4120087B2 (ja) * 1999-03-30 2008-07-16 松下電工株式会社 プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法
JP2008198583A (ja) * 2007-02-09 2008-08-28 Kazuo Terajima プラズマ発生装置
JP2008237047A (ja) * 2007-03-26 2008-10-09 Masaru Hori 殺虫殺菌方法及び殺虫殺菌装置
CN101466194A (zh) * 2009-01-13 2009-06-24 大连理工大学 预电离大气压低温等离子体射流发生器
CN103848484A (zh) * 2014-03-07 2014-06-11 南京大学 一种低温等离子体协同钼酸铋催化剂降解抗生素废水的装置及方法
CN105253948A (zh) * 2015-08-05 2016-01-20 中国科学院等离子体物理研究所 一种自由基分离式水处理方法
CN105895489A (zh) * 2016-05-04 2016-08-24 中国科学技术大学 基于大气压等离子体喷管的并行无掩模扫描微纳米加工装置和方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106653552A (zh) 2017-05-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103179772B (zh) 产生大气压直流辉光放电的方法及其专用装置
CN102149247B (zh) 多级电离产生低能量高密度等离子体的装置及方法
CN201528464U (zh) 一种新型大气压射流冷等离子发生器
CN204168591U (zh) 一种空气大气压低温等离子体产生装置
CN104411083B (zh) 一种产生连续低温大截面大气压等离子体羽的装置及方法
CN203574924U (zh) 一种大气压单电极低温等离子体射流装置
CN203761669U (zh) 一种可用于伤口愈合的常压冷等离子体发生装置
CN105848399A (zh) 一种辉光放电射流等离子体生成结构
CN106653552B (zh) 一种等离子体射流发生装置
DE50200894D1 (de) Plasmadüse
CN106488639B (zh) 大尺度脉冲冷等离子体射流产生装置
CN106793438B (zh) 环式电极变径射流发生装置
CN105792495A (zh) 一种产生大气压均匀等离子体刷的装置和方法
CN202103933U (zh) 多级电离产生低能量高密度等离子体的装置
CN205726631U (zh) 一种用于低温等离子体废气处理系统的高压放电装置
CN201839502U (zh) 电弧等离子体发生器的阳极
CN108566716B (zh) 一种气体放电等离子体喷流装置
CN207134613U (zh) 一种纳米水离子发生装置
CN212076416U (zh) 一种臭氧发生器电晕管
CN203764438U (zh) 一种电弧喷枪
CN112004304B (zh) 一种电晕复合介质阻挡放电等离子体射流发生装置
CN205812485U (zh) 一种滑动弧放电等离子体射流装置
CN104796038B (zh) 一种基于荷电团簇迁移的动能‑电能转换装置
CN105514792B (zh) 一种高能射流激发器
CN103480519A (zh) 抗断电的电弧喷枪

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant