CN106590947A - 一种金刚线线切设备机床内部清洗剂 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种金刚线线切设备机床内部清洗剂,该一种金刚线线切设备机床内部清洗剂包括:碱20~30重量份;渗透剂3~5重量份;分散剂10~15重量份;消泡剂0.1~0.5重量份;水50~67重量份。实施本发明实施例,具有如下有益效果:本发明可快速有效的完成机床内部部件的清洗,可以彻底剥离垢物,并降低后续加工过程中在机床部件壁面的二次附着,从而延长机器持续工作时间。

Description

一种金刚线线切设备机床内部清洗剂
技术领域
本发明涉及一种清洗剂,尤其涉及一种金刚线线切设备机床内部清洗剂。
背景技术
金刚线线切设备由于长期进行切割之后,在机床工作台、冷却液循环管道、缸体和换热器均会产生不同程度的硅粉垢物、树脂板碎屑、冷却液消泡剂等物质在这些部件表面残留,量大之后就会造成设备堵塞,循环流量供给不足,设备循环泵出口压力过大而停机,同时由于循环液体冲刷,会将结垢的硅粉冲至线切割线网上,影响正常的切片过程,会导致切割不合格硅片数量增多,严重时会造成断线,导致硅棒报废,增加切割成本。故需要在定期进行金刚线切割设备机床内部清洗,目前所有厂家均采用强碱进行循环洗涤,但是碱液渗透能力较差,仅依靠碱性将附着避免的硅粉垢物反应消耗,同时反应后会形成硅酸盐覆盖在垢物表面,也会影响对垢物的清洗,从而严重影响了设备的使用效率,影响生产产能。
发明内容
本发明实施例所要解决的技术问题在于,针对现有厂家均采用强碱进行循环洗涤,但碱液渗透能力较差,仅依靠碱性将附着避免的硅粉垢物反应消耗,同时反应后会形成硅酸盐覆盖在垢物表面,也会影响对垢物的清洗的问题,提出了一种金刚线线切设备机床内部清洗剂。
为了解决上述技术问题,本发明实施例提供了一种金刚线线切设备机床内部清洗剂,该一种金刚线线切设备机床内部清洗剂包括:碱20~30重量份;渗透剂0.5~1重量份;分散剂10~15重量份;消泡剂0.1~0.5重量份;缓蚀剂:0.01~0.1;水45~70重量份。
其中,碱为无机强碱。
其中,无机强碱为氢氧化钠、氢氧化钾或二者的混合。
其中,渗透剂为耐碱渗透剂AEP、耐碱渗透剂OEP-70、Silok Wet 8008、Silok Wet8035、Silok Dispers 7455中的一种或多种。
其中,分散剂为马来酸酐-丙烯酸共聚物钠盐(MA/AA钠盐)、水解聚马来酸钠盐(HPMA钠盐)、丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐(AA/AMPS钠盐)、丙烯酸-马来酸-2-甲基-2丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐(AA/MA/AMPS钠盐)、丙烯酸-丙烯酸羟丙酯共聚物钠盐(AA/HPA钠盐)中的一种或多种。
其中,消泡剂为有机硅类消泡剂、聚醚类消泡剂中的一种或多种。
其中,缓蚀剂为乌洛托品、硫脲中的一种或多种。
实施本发明实施例,具有如下有益效果:本发明通过加入渗透剂改善溶液在垢物与机器部件的渗透性能达到垢物大面积剥离脱落,同时加入分散剂,辅助增强对垢物的悬浮分散及剥离性能,防止垢物在部件表面的二次附着,本发明可快速有效的完成机床内部部件的清洗,可以彻底剥离垢物,并降低后续加工过程中在机床部件壁面的二次附着,从而延长机器持续工作时间,同时加入缓蚀剂,降低了强碱性体系对机床内部金属类材质的部件腐蚀。
具体实施方式
下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
本发明的一种金刚线线切设备机床内部清洗剂包括:碱20~30重量份;渗透剂0.5~1重量份;分散剂10~15重量份;消泡剂0.1~0.5重量份;缓蚀剂:0.01~0.1;水45~70重量份。
其中,碱为无机强碱,并优选为固体无机强碱。无机强碱可以为氢氧化钠、氢氧化钾或二者的混合。
其中,渗透剂为耐碱渗透剂AEP、耐碱渗透剂OEP-70、Silok Wet 8008、Silok Wet8035、Silok Dispers 7455中的一种或多种。
其中,分散剂为马来酸酐-丙烯酸共聚物钠盐(MA/AA钠盐)、水解聚马来酸钠盐(HPMA钠盐)、丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐(AA/AMPS钠盐)、丙烯酸-马来酸-2-甲基-2丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐(AA/MA/AMPS钠盐)、丙烯酸-丙烯酸羟丙酯共聚物钠盐(AA/HPA钠盐)中的一种或多种。
其中,消泡剂为有机硅类消泡剂、聚醚类消泡剂中的一种或多种。
其中,缓蚀剂为乌洛托品、硫脲中的一种或多种。
实施例1
配方的重量份如下(总重量份为100):
氢氧化钠 25
耐碱渗透剂AEP 0.5
AA/MA钠盐:12
有机硅消泡剂:0.1
乌洛托品:0.07
水:余量
实施例2
配方的重量份如下(总重量份为100):
氢氧化钠:10
氢氧化钾:11
耐碱渗透剂OEP-70:0.7
AA/AMPS钠盐:7
HPMA钠盐:5
有机硅类消泡剂:0.1
乌洛托品:0.04
水:余量
实施例3
配方的重量份如下(总重量份为100):
氢氧化钾:22
Silok Wet 8008:0.5
MA/AA钠盐:7
AA/HPA钠盐:6
聚醚类消泡剂:0.1
硫脲:0.03
水:余量
实施例4
配方的重量份如下(总重量份为100):
氢氧化钠:25
Silok Dispers 7455:0.8
AA/MA/AMPS钠盐:5
AA/HPA钠盐:10
有机硅类消泡剂:0.2
硫脲:0.05
水:余量
实施例5
配方的重量份如下(总重量份为100):
氢氧化钠:17
氢氧化钾:10
耐碱渗透剂OEP-70:0.5
Silok Wet 8035:0.1
MA/AA钠盐:4
AA/AMPS钠盐:9
有机硅类消泡剂:0.2
乌洛托品:0.08
水:余量
通过现场金刚线切机试验,试验结果如表1。
表1金刚线线切设备机床内部清洗剂使用试验结果
序号 产品配方 添加浓度 试验结果
1 实施例1配方 0.5% 机床清洗周期为47天
2 实施例2配方 0.5% 机床清洗周期为50天
3 实施例3配方 0.5% 机床清洗周期为49天
4 实施例4配方 0.5% 机床清洗周期为52天
5 实施例5配方 0.5% 机床清洗周期为53天
6 碱液 1% 机床清洗周期为30天
由表1中的数据可以看出,通过目前现场使用碱液清洗的方法,在使用本发明配方的药剂,浓度为碱液清洗浓度一半的条件下,机床清洗周期从30天,提升了50%以上的天数,缩减了因机床内部硅粉结垢耽误线切机工作的时间,提升了机器的加工效率。
以上仅为本发明的较佳实施例而已,并不用以限制本发明,凡在本发明的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种金刚线线切设备机床内部清洗剂,其特征在于,所述一种金刚线线切设备机床内部清洗剂包括:碱20~30重量份;渗透剂0.5~1重量份;分散剂10~15重量份;消泡剂0.1~0.5重量份;缓蚀剂:0.01~0.1;水45~70重量份。
2.根据权利要求1所述的金刚线线切设备机床内部清洗剂,其特征在于,所述碱为无机强碱。
3.根据权利要求2所述的金刚线线切设备机床内部清洗剂,其特征在于,所述无机强碱为氢氧化钠、氢氧化钾或二者的混合。
4.根据权利要求1所述的金刚线线切设备机床内部清洗剂,其特征在于,所述渗透剂为耐碱渗透剂AEP、耐碱渗透剂OEP-70、Silok Wet 8008、Silok Wet 8035、Silok Dispers7455中的一种或多种。
5.根据权利要求1所述的金刚线线切设备机床内部清洗剂,其特征在于,所述分散剂为马来酸酐-丙烯酸共聚物钠盐、水解聚马来酸钠盐、丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐、丙烯酸-马来酸-2-甲基-2丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐、丙烯酸-丙烯酸羟丙酯共聚物钠盐中的一种或多种。
6.根据权利要求1所述的金刚线线切设备机床内部清洗剂,其特征在于,所述消泡剂为有机硅类消泡剂、聚醚类消泡剂中的一种或多种。
7.根据权利要求1所述的金刚线线切设备机床内部清洗剂,其特征在于,所述缓蚀剂为乌洛托品、硫脲中的一种或多种。
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