CN106587582B - 一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法 - Google Patents

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Abstract

一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，包括以下步骤：一、将玻璃板放在陶瓷承载盘上，玻璃板连同陶瓷承载盘传送至设置有多个长方形开孔的冷却板的正上方；二、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载盘接触第一退火时间使得玻璃板降至第一退火温度；三、控制上下动作机构，将冷却板下移，使冷却板与陶瓷承载盘分离；四、移动陶瓷承载盘位置，使陶瓷承载盘相对于原位置移动第一距离；五、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载板接触第二退火时间使得玻璃板降至第二退火温度减小快速降温过程中玻璃板的温度差，避免了因玻璃板的温差过大导致的微凹。

Description

一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法
技术领域
本发明本发明属于液晶显示技术领域，具体涉及一种使玻璃板快速热退火导致的表面微凹的改善方法。
背景技术
在直线型快速热退火(Inline Rapid Thermal Annealing)设备中玻璃板(Glass)放在承载盘上传送，承载盘载着玻璃板从高温腔室(Chamber)出来后温度为400～500℃，此时需快速冷却腔室对承载盘快速降温到100～150℃，否则后面机构部件因高温而受损。当承载盘载着玻璃板到达快速冷却单元，上下作动机构使冷却板向上动作贴合到承载盘。冷却板中布满冷却水(PCW)管路，可使承载盘温度迅速下降，经过一定时间冷却板下降，承载盘与滚动轮(Roller)接触后移动到后面单元，同时下一片承载盘载着玻璃板进入到快速冷却单元。
但因为滚动轮的存在，冷却板表面有开孔。冷却板贴合到承载盘做快速降温时，受表面开孔影响，承载盘温度下降不一致，开孔处承载盘温度下降慢，其它地方温度下降快，承载盘上玻璃板会受到同样的影响。开孔处外围玻璃板温度下降快收缩快，开孔处玻璃板温度下降慢收缩慢，导致开孔处外围玻璃板挤压开孔处玻璃板，造成玻璃板背面受损。待到玻璃板做薄化处理后，会发现对应到开孔处点位的微凹。
发明内容
本发明的目的在于克服上述冷却造成的开孔处点位微凹的缺陷，设计出一种两次降温的方法，改善快速热退火导致的表面微凹的情况。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案实现的：
一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，包括以下步骤：
一、将玻璃板放在陶瓷承载盘上，将玻璃板连同陶瓷承载盘传送至冷却板的正上方；
二、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载盘接触第一退火时间使得玻璃板降至第一退火温度；
三、控制上下动作机构，将冷却板下移，使冷却板与陶瓷承载盘分离；
四、移动陶瓷承载盘位置，使陶瓷承载盘相对于原位置移动第一距离；
五、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载板接触第二退火时间使得玻璃板降至第二退火温度。
步骤二中，冷却板与陶瓷承载盘接触的第一退火时间为40秒，第一退火温度为250℃～350℃。
步骤三中，冷却板与陶瓷板分离时间为5秒。
步骤五中，冷却板与陶瓷板接触的第二退火时间为55秒，第二退火温度为100℃～150℃。
步骤一中，所述冷却板上设置有多个呈两条平行的直线排布的长方形开孔，长方形开孔之间的间距至少为长方形开孔长度的两倍。
步骤四中，陶瓷承载盘移动的第一距离为长方形开孔长度的1.5倍。
冷却板连同陶瓷承载盘通过滚动轮传送移动，所述长方形开孔用于使滚动轮通过。
所述冷却板内设置有冷却水管，所述冷却水管为流动的冷却水。
还包括步骤六：控制上下动作机构，将冷却板下移，使陶瓷承载盘与冷却板分离，移动陶瓷承载盘，将陶瓷承载盘移动出冷却板。
所述滚动轮通过滚动轮固定架与腔室底部连接。
本发明具有以下优点和有益效果：通过二次降温，将原400～500℃的玻璃板先降低到中温，再进行第二次降温，将中温的玻璃板降低到100～150℃，减小快速降温过程中玻璃板的温度差，避免了因玻璃板的温差过大导致的微凹。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中：
图1是本发明步骤一的示意图；
图2是冷却板的俯视图；
图3是本发明步骤二的示意图；
图4是本发明步骤三的示意图；
图5是本发明步骤四的示意图；
图6是本发明步骤五的示意图。
在附图中，相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
如图1和图2所示，为本发明步骤一的示意图，包括玻璃板1、陶瓷承载盘2、冷却板3、上下动作机构4、滚动轮5、滚动轮固定架6、腔室底部7，冷却时，承载盘载着玻璃板从高温chamber出来后通过滚动轮传送至设置有长方形开孔8的冷却板的正上方；
如图3所示，控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载盘接触第一退火时间使得玻璃板降至第一退火温度。第一次退火降温，温度由高温降到中温(第一退火温度)，减小快速降温过程中玻璃板的温度差。
如图4所示，控制上下动作机构，将冷却板下移，使冷却板与陶瓷承载盘分离。
如图5所示，控制滚动轮，使陶瓷承载盘相对于原位置移动第一距离，使得原位于长方形开孔的位置移动至新位置，使得原长方形开孔位置能够接触冷却板，充分降温。
如图6所示，控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载板接触第二退火时间使得玻璃板降至第二退火温度。分两次降温，减小快速降温过程中玻璃板的温度差，避免了玻璃板温差过大导致的表面dimple。
其中冷却板与陶瓷承载盘接触的第一退火时间为40秒，第一退火温度为250℃～350℃。冷却时间相对于一次降温直接由高温400℃～500℃降至100℃～150℃的退火时间100秒缩短为40秒，避免了冷却板长方形开孔位置造成的温度差过大导致的微凹。
所述冷却板与陶瓷板分离时间为5秒。
所述陶瓷板移动的第一距离为长方形开孔长度的1.5倍，将原陶瓷板位于长方形开孔的位置移动长方形开孔长度的1.5倍距离，使原开孔处位置能够完全接触分降温。
所述冷却板与陶瓷板接触的第二退火时间为55秒，第二退火温度为100℃～150℃。继续进行退火降温，使得原开孔处位置能够完全接触冷却板充分降温，减小了快速降温过程中的玻璃板温度差。
然后，控制向下动作机构，将冷却板下移，使陶瓷承载盘与冷却板分离，控制滚动轮，将陶瓷承载盘移动出冷却板。
其中，所述冷却板内设置有冷却水管。
所述冷却水管为流动的冷却水。使得冷却板能够充分的给玻璃板降温，带走热量。
所述开孔用于使滚动轮通过。方便移动陶瓷板，使陶瓷板均匀受热。
所述滚动轮通过滚动轮固定架与腔室底部连接，给冷却板上下移动的空间，方便对陶瓷板的移动和降温。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述，但在不脱离本发明的范围的情况下，可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是，只要不存在结构冲突，各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例，而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。

Claims (10)

1.一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：包括以下步骤：
一、将玻璃板放在陶瓷承载盘上，将玻璃板连同陶瓷承载盘传送至冷却板的正上方；
二、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载盘接触第一退火时间使得玻璃板降至第一退火温度；
三、控制上下动作机构，将冷却板下移，使冷却板与陶瓷承载盘分离；
四、移动陶瓷承载盘位置，使陶瓷承载盘相对于原位置移动第一距离；
五、控制上下动作机构，将冷却板上移，使冷却板与陶瓷承载板接触第二退火时间使得玻璃板降至第二退火温度。
2.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：步骤二中，冷却板与陶瓷承载盘接触的第一退火时间为40秒，第一退火温度为250℃～350℃。
3.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：步骤三中，冷却板与陶瓷板分离时间为5秒。
4.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：步骤五中，冷却板与陶瓷板接触的第二退火时间为55秒，第二退火温度为100℃～150℃。
5.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：步骤一中，所述冷却板上设置有多个呈两条平行的直线排布的长方形开孔，长方形开孔之间的间距至少为长方形开孔长度的两倍。
6.根据权利要求5所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：步骤四中，陶瓷承载盘移动的第一距离为长方形开孔长度的1.5倍。
7.根据权利要求5所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：冷却板连同陶瓷承载盘通过滚动轮传送移动，所述长方形开孔用于使滚动轮通过。
8.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：所述冷却板内设置有冷却水管，所述冷却水管为流动的冷却水。
9.根据权利要求1所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：还包括步骤六：控制上下动作机构，将冷却板下移，使陶瓷承载盘与冷却板分离，移动陶瓷承载盘，将陶瓷承载盘移动出冷却板。
10.根据权利要求7所述的一种快速热退火导致的玻璃板表面微凹的改善方法，其特征在于：所述滚动轮通过滚动轮固定架与腔室底部连接。
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