CN106583295A - Cmp后清洗设备清洗刷同心卡接结构及使用方法 - Google Patents
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Abstract
一种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构及使用方法，该结构包括清洗刷、与清洗刷呈锥孔定位且呈矩形槽传力的惰轴结构、与清洗刷呈锥孔定位且呈四方匀性传力的可伸缩式驱动轴结构、支撑惰轴结构的左摆架和支撑可伸缩式驱动轴结构的右摆架。所述清洗刷包括刷轴和套在刷轴上的刷子。刷轴右端带有与可伸缩式驱动轴结构同心的定心锥轴和方形轴，刷轴左端带有与惰轴结构同心的定心锥轴和矩形轴，定心锥轴中心设有与刷轴内腔连通的纯水入口。本发明结构紧凑简练，使清洗刷卡接布局方式得以优化，可有效提升其卡接同心度、纯水贯通接口端密封性，并具有便捷的快换性。
Description
技术领域
本发明涉及一种CMP后清洗设备清洗刷的同心卡接结构，以及该同心卡接结构的使用方法。
背景技术
CMP(chemical mechanical Polishing)后清洗设备,是在电子器件晶片表面进行高精度抛光处理后，进行表面精密清洗的设备。CMP后清洗工艺中，通过刷子结合喷剂介质进行擦洗，是清除晶片表面污染物的有效方式。
目前可见的后清洗设备国外原型机，对清洗刷卡接方式为：清洗刷惰轴单元与清洗刷驱动轴单元叠加一体。该卡接方式造成设备结构复杂，功能偏于集中，尤其与清洗刷两端对接采用四方定位造成同心度偏值较大，对清洗刷卡接效果不好，清洗刷更换不方便。
现有后清洗设备对清洗刷浸润时纯水引入方式为：呈径向进水，通过环形间隔孔进入惰轴内腔通道。该方式流畅性不足，对清洗刷浸润效果不好。此外，现有后清洗设备原型机选用塑料轴承，不仅刚性差且无消隙处理，造成惰轴定心旋转时偏摆及轴窜。尤其与清洗刷对接的惰轴采用四方定位造成同心度偏值较大。
发明内容
本发明提供一种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构及使用方法，要解决现有CMP后清洗设备清洗刷卡接结构复杂，清洗刷两端对接同心度偏值较大，清洗刷浸润效果差，清洗刷卡接效果不好、更换不方便的技术问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：
这种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，包括清洗刷、与清洗刷呈锥孔定位且呈矩形槽传力的惰轴结构、与清洗刷呈锥孔定位且呈四方匀性传力的可伸缩式驱动轴结构、支撑惰轴结构的左摆架和支撑可伸缩式驱动轴结构的右摆架；
所述清洗刷包括刷轴和套在刷轴上的刷子；所述刷轴右端带有与可伸缩式驱动轴结构同心的定心锥轴和方形轴；刷轴左端带有与惰轴结构同心的定心锥轴和矩形轴，定心锥轴中心设有与刷轴内腔连通的纯水入口，刷轴四周沿轴向间隔开有纯水出口槽，并在纯水出口槽内沿轴向间隔开有与刷轴内腔连通的纯水出口孔。
所述惰轴结构包括腔体单元以及与腔体单元呈套接组合的惰轴单元；
所述腔体单元包括腔座、组合轴承、外隔圈、内隔圈、压盖和直角接头；所述组合轴承呈孔轴定位方式压入腔座内；所述外隔圈和内隔圈在组合轴承的轴承之间，对轴承进行轴向消隙；所述压盖前端口与腔座后端口呈螺纹方式旋紧密封；所述直角接头穿入压盖后端口内并与压盖呈螺纹方式旋紧密封；
所述惰轴单元包括惰轴、格莱圈、隔套、锁母；所述惰轴头部开有卡接清洗刷用的矩形槽，并在矩形槽中心设有与惰轴内腔连通的定心锥孔，惰轴颈部有一圈套接格莱圈用的箍环槽；所述格莱圈卡套于惰轴的箍环槽上；所述隔套套穿于惰轴外侧，隔套与格莱圈端面贴合；所述锁母套于惰轴后端并呈螺纹方式旋紧；
所述惰轴单元呈孔轴定位方式穿入腔体单元的组合轴承，且使组合轴承位于惰轴单元的锁母和隔套之间；由惰轴单元中的锁母与腔体单元中的压盖配合轴承之间的内隔圈和外隔圈，实现对组合轴承的轴向消隙。
所述压盖前端口与腔座后端口之间设有O形圈，并由O形圈贴合旋紧密封。
所述格莱圈由与腔座呈孔轴方式配合的耐磨外圈和卡套于惰轴的箍环槽上的内O形圈构成。
所述组合轴承采用陶瓷材质。
所述左摆架套于惰轴结构的腔座上。
所述可伸缩式驱动轴结构包括驱动单元以及与驱动单元呈套接组合的驱动轴单元；
所述驱动单元包括电机+减速器、电机座、直通接头和固定套；所述固定套后部与电机座前部呈孔轴定位方式套接，电机座后部与电机+减速器呈孔轴定位方式贴合，所述直通接头与电机座侧面呈螺纹方式旋接，直通接头引入大气并与电机座内腔相连通；
所述驱动轴单元包括驱动轴、压簧、锁钉和定心卡套，驱动轴前部穿入定心卡套内，定心卡套与驱动轴呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴后部穿入驱动单元的固定套和电机座内，并与电机+减速器的输出轴串接一体并锁定；
所述驱动轴前部为方形滑轴，驱动轴后部为与电机+减速器的输出轴连接的主轴，在方形滑轴与主轴之间带有开口朝前的压簧环槽；
所述定心卡套由前到后设有与清洗刷定心的锥形孔、与清洗刷滑动串接的方形孔a、与方形滑轴滑动串接的方形孔b；
所述压簧套于驱动轴上，压簧后部定位于驱动轴的压簧环槽内，压簧前部定位于定心卡套上；
所述锁钉与方形滑轴前端呈螺纹方式旋紧，锁钉头部在定心卡套的方形孔b前方限位卡紧，使压簧的预紧力被施加。
所述定心卡套后部还带有压簧卡口，压簧卡口套于压簧环槽外侧。
所述右摆架套于可伸缩式驱动轴结构的电机座上。
这种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构的使用方法，使用步骤如下：
步骤一，将左摆架与惰轴结构连接，右摆架与可伸缩式驱动轴结构连接；
步骤二：将清洗刷中刷轴的方形轴贯穿入可伸缩式驱动轴结构对应的方形孔中，至刷轴的定心锥轴贴合于可伸缩式驱动轴结构对应的锥形孔中；
步骤三：利用可伸缩式驱动轴结构的伸缩空隙将清洗刷中刷轴的矩形轴卡入惰轴结构对应的矩形槽中，至刷轴的定心锥轴贴合于惰轴结构对应的定心锥孔中；
步骤四：依托可伸缩式驱动轴结构的压簧复位力，完成清洗刷的同心卡接。
本发明的有益效果如下：
本发明结构紧凑简练，使清洗刷卡接布局方式得以优化，可有效提升其卡接同心度、纯水贯通接口端密封性，并具有便捷的快换性。
惰轴结构的腔体单元可为清洗刷浸润的纯水提供引入，并对旋转轴承提供支撑定位。惰轴单元的外部工作环境处于纯水介质中，惰轴单元可有效对清洗刷进行在线浸润，并对清洗刷旋转提供定心支撑及定心卡接。
惰轴结构以轴向引入纯水的方式，可显著提高其流畅性以便高效浸润清洗刷。惰轴结构在轴向加装消隙措施，惰轴单元后端的锁母与腔体单元中压盖配合内隔圈和外隔圈，可实现对组合轴承的轴向消隙，显著提升了惰轴的轴向刚度。惰轴颈部的箍环槽上卡套有格莱圈，即能够确保密封性，又可起到辅助惰轴定心旋转支撑的作用。惰轴结构与清洗刷卡接方式为定心卡接，可明显提升其同心度。腔体单元中定心旋转支撑组合轴承采用陶瓷材质，能够确保防水特性又提高其刚性。由上述几种措施的综合优势可有效对清洗刷进行在线浸润及定心卡接。
可伸缩式驱动轴结构的驱动单元能够同心联动驱动轴单元，并经直通接头引入大气起到气密作用。
可伸缩式驱动轴结构的驱动轴单元的外部工作环境处于喷剂介质中，驱动轴单元可联动清洗刷旋转并提供可伸缩式定心卡接。驱动轴单元的驱动轴前部为方形滑轴，定心卡套通过方形孔b与方形滑轴滑动串接。弹簧轴向设置，且通过与驱动轴呈螺纹方式旋紧的锁钉使压簧的预紧力被施加，同时防止定心卡套被弹出。驱动轴单元的驱动轴与定心卡套呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力。
可伸缩式驱动轴结构直接将伸缩式定心卡接功能与驱动单元融合，结构紧凑简练，同时明显提升其卡接同心度、四方匀性力传递及轴向滑动，引入气阻隔离功能确保了封性。由上述几种措施的综合优势可有效便捷对清洗刷进行伸缩式定心卡接。
本发明可有效便捷对CMP后清洗设备清洗刷进行同心卡接及快换。
附图说明
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
图1是本发明的结构轴测示意图。
图2是本发明的结构剖视示意图。
图3是清洗刷的轴测示意图。
图4是刷轴右端轴测示意图。
图5是刷轴左端轴测示意图。
图6是惰轴结构的结构轴测示意图。
图7是惰轴结构的结构剖面示意图。
图8是腔体单元的剖面结构示意图。
图9是惰轴单元的剖面结构示意图。
图10是惰轴的结构示意图。
图11是可伸缩式驱动轴结构的结构轴测示意图。
图12是可伸缩式驱动轴结构的结构剖面示意图。
图13是驱动单元的剖面结构示意图。
图14是驱动轴单元的剖面结构示意图。
图15是驱动轴的结构示意图。
图16是定心卡套的结构示意图。
附图标记：1－清洗刷；
2－惰轴结构、2-1－腔体单元、2-2－惰轴单元、2-3－腔座、2-4－压盖、2-5－外隔圈、2-6－内隔圈、2-7－组合轴承、2-8－O形圈、2-9－直角接头、2-10－惰轴、2-10.1-定心锥孔、2-10.2－矩形槽、2-10.3－箍环槽、2-11－隔套、2-12－锁母、2-13－格莱圈；
3－可伸缩式驱动轴结构、3-1－驱动单元、3-2－的驱动轴单元、3-3－电机+减速器、3-4－电机座、3-5－直通接头、3-6－固定套、3-7－驱动轴、3-7.1-方形滑轴、3-7.2-压簧环槽、3-7.3-主轴、3-8－压簧、3-9－锁钉、3-10－定心卡套、3-10.1-锥形孔、3-10.2-方形孔a、3-10.3-方形孔b、3-10.4-压簧卡口；
4－左摆架；5－右摆架；6－刷轴、6.1-定心锥轴、6.2-方形轴、6.3-定心锥轴、6.4-矩形轴、6.5-纯水入口、6.6-纯水出口槽、6.7-纯水出口孔。
具体实施方式
实施例参见图1、图2所示，这种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，包括清洗刷1、与清洗刷1呈锥孔定位且呈矩形槽传力的惰轴结构2、与清洗刷1呈锥孔定位且呈四方匀性传力的可伸缩式驱动轴结构3、支撑惰轴结构2的左摆架4和支撑可伸缩式驱动轴结构3的右摆架5。所述左摆架4套于惰轴结构2的腔座2-3上。右摆架5套于可伸缩式驱动轴结构3的电机座3-4上。
参见图3～5所示，所述清洗刷1包括刷轴6和套在刷轴6上的刷子7；所述刷轴6右端带有与可伸缩式驱动轴结构3同心的定心锥轴6.1和方形轴6.2；刷轴6左端带有与惰轴结构2同心的定心锥轴6.3和矩形轴6.4，定心锥轴6.3中心设有与刷轴6内腔连通的纯水入口6.5，刷轴6四周沿轴向间隔开有纯水出口槽6.6，并在纯水出口槽6.6内沿轴向间隔开有与刷轴内腔连通的纯水出口孔6.7。
参见图6、图7所示，所述惰轴结构2包括腔体单元2-1以及与腔体单元2-1呈套接组合的惰轴单元2-2。
参见图8所示，所述腔体单元2-1包括腔座2-3、组合轴承2-7、外隔圈2-5、内隔圈2-6、压盖2-4和直角接头2-9；所述组合轴承2-7采用陶瓷材质，组合轴承2-7呈孔轴定位方式压入腔座2-3内；所述外隔圈2-5和内隔圈2-6在组合轴承2-7的轴承之间，对轴承进行轴向消隙；所述压盖2-4前端口与腔座2-3后端口之间设有O形圈2-8，并由O形圈2-8贴合旋紧密封。所述直角接头2-9穿入压盖2-4后端口内并与压盖2-4呈螺纹方式旋紧密封。
参见图9、图10所示，所述惰轴单元2-2包括惰轴2-10、格莱圈2-13、隔套2-11、锁母2-12；所述惰轴2-10头部开有卡接清洗刷用的矩形槽2-10.2，并在矩形槽2-10.2中心设有与惰轴内腔连通的定心锥孔2-10.1，惰轴2-10颈部有一圈套接格莱圈2-13用的箍环槽2-10.3；所述格莱圈2-13由与腔座2-3呈孔轴方式配合的耐磨外圈和卡套于惰轴2-10的箍环槽2-10.3上的内O形圈构成；所述隔套2-11套穿于惰轴2-10外侧，隔套2-11与格莱圈2-13端面贴合；所述锁母2-12套于惰轴2-10后端并呈螺纹方式旋紧。
参见图7所示，所述惰轴单元2-2呈孔轴定位方式穿入腔体单元2-1的组合轴承2-7，且使组合轴承2-7位于惰轴单元2-2的锁母2-12和隔套2-11之间；由惰轴单元2-2中的锁母2-12与腔体单元2-1中的压盖2-4配合轴承之间的内隔圈2-6和外隔圈2-5，实现对组合轴承2-7的轴向消隙。
参见图11、图12所示，所述可伸缩式驱动轴结构3包括驱动单元3-1以及与驱动单元3-1呈套接组合的驱动轴单元3-2。
参见图13所示，所述驱动单元3-1包括电机+减速器3-3、电机座3-4、直通接头3-5和固定套3-6；所述固定套3-6后部与电机座3-4前部呈孔轴定位方式套接，电机座3-4后部与电机+减速器3-3呈孔轴定位方式贴合，所述直通接头3-5与电机座3-4侧面呈螺纹方式旋接，直通接头3-5引入大气并与电机座3-4内腔相连通。
参见图14所示，所述驱动轴单元3-2包括驱动轴3-7、压簧3-8、锁钉3-9和定心卡套3-10，驱动轴3-7前部穿入定心卡套3-10内，定心卡套3-10与驱动轴3-7呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴3-7后部穿入驱动单元3-1的固定套3-6和电机座3-4内，并与电机+减速器3-3的输出轴串接一体并锁定。
参见图12、图15所示，所述驱动轴3-7前部为方形滑轴3-7.1，驱动轴3-7后部为与电机+减速器的输出轴连接的主轴3-7.3，在方形滑轴3-7.1与主轴3-7.3之间带有开口朝前的压簧环槽3-7.2。
参见图14、图16所示，所述定心卡套3-10由前到后设有与清洗刷定心的锥形孔3-10.1、与清洗刷滑动串接的方形孔a 3-10.2、与方形滑轴3-7.1滑动串接的方形孔b 3-10.3。定心卡套3-10后部还带有压簧卡口3-10.4，压簧卡口3-10.4套于压簧环槽3-7.2外侧。
参见图14所示，所述压簧3-8套于驱动轴3-7上，压簧3-8后部定位于驱动轴3-7的压簧环槽3-7.2内，压簧3-8前部定位于定心卡套3-10上。
参见图14所示，所述锁钉3-9与方形滑轴3-7.1前端呈螺纹方式旋紧，锁钉3-9头部在定心卡套3-10的方形孔b3-10.3前方限位卡紧，使压簧的预紧力被施加。
这种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构的使用方法，使用步骤如下：
步骤一，将左摆架4与惰轴结构2连接，右摆架5与可伸缩式驱动轴结构3连接；
步骤二：将清洗刷1中刷轴6的方形轴6.2贯穿入可伸缩式驱动轴结构3的方形孔a3-10.2中，至刷轴6的定心锥轴6.1贴合于锥形孔3-10.1中；
步骤三：利用可伸缩式驱动轴结构3的伸缩空隙将清洗刷1中刷轴6的矩形轴6.4卡入惰轴结构2的矩形槽2-10.2中，至刷轴6的定心锥轴6.3贴合于定心锥孔2-10.1中；
步骤四：依托可伸缩式驱动轴结构3的压簧复位力，完成清洗刷1的同心卡接。
Claims (10)
1.一种CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：包括清洗刷（1）、与清洗刷（1）呈锥孔定位且呈矩形槽传力的惰轴结构（2）、与清洗刷（1）呈锥孔定位且呈四方匀性传力的可伸缩式驱动轴结构（3）、支撑惰轴结构（2）的左摆架（4）和支撑可伸缩式驱动轴结构（3）的右摆架（5）；
所述清洗刷（1）包括刷轴（6）和套在刷轴（6）上的刷子（7）；所述刷轴（6）右端带有与可伸缩式驱动轴结构（3）同心的定心锥轴（6.1）和方形轴（6.2）；刷轴（6）左端带有与惰轴结构（2）同心的定心锥轴（6.3）和矩形轴（6.4），定心锥轴（6.3）中心设有与刷轴（6）内腔连通的纯水入口（6.5），刷轴（6）四周沿轴向间隔开有纯水出口槽（6.6），并在纯水出口槽（6.6）内沿轴向间隔开有与刷轴内腔连通的纯水出口孔（6.7）。
2.根据权利要求1所述的CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：所述惰轴结构（2）包括腔体单元（2-1）以及与腔体单元（2-1）呈套接组合的惰轴单元（2-2）；
所述腔体单元（2-1）包括腔座（2-3）、组合轴承（2-7）、外隔圈（2-5）、内隔圈（2-6）、压盖（2-4）和直角接头（2-9）；所述组合轴承（2-7）呈孔轴定位方式压入腔座（2-3）内；所述外隔圈（2-5）和内隔圈（2-6）在组合轴承（2-7）的轴承之间，对轴承进行轴向消隙；所述压盖（2-4）前端口与腔座（2-3）后端口呈螺纹方式旋紧密封；所述直角接头（2-9）穿入压盖（2-4）后端口内并与压盖（2-4）呈螺纹方式旋紧密封；
所述惰轴单元（2-2）包括惰轴（2-10）、格莱圈（2-13）、隔套（2-11）、锁母（2-12）；所述惰轴（2-10）头部开有卡接清洗刷用的矩形槽（2-10.2），并在矩形槽（2-10.2）中心设有与惰轴内腔连通的定心锥孔（2-10.1），惰轴（2-10）颈部有一圈套接格莱圈（2-13）用的箍环槽（2-10.3）；所述格莱圈（2-13）卡套于惰轴（2-10）的箍环槽（2-10.3）上；所述隔套（2-11）套穿于惰轴（2-10）外侧，隔套（2-11）与格莱圈（2-13）端面贴合；所述锁母（2-12）套于惰轴（2-10）后端并呈螺纹方式旋紧；
所述惰轴单元（2-2）呈孔轴定位方式穿入腔体单元（2-1）的组合轴承（2-7），且使组合轴承（2-7）位于惰轴单元（2-2）的锁母（2-12）和隔套（2-11）之间；由惰轴单元（2-2）中的锁母（2-12）与腔体单元（2-1）中的压盖（2-4）配合轴承之间的内隔圈（2-6）和外隔圈（2-5），实现对组合轴承（2-7）的轴向消隙。
3.根据权利要求2所述的CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：所述压盖（2-4）前端口与腔座（2-3）后端口之间设有O形圈（2-8），并由O形圈（2-8）贴合旋紧密封。
4.根据权利要求2所述的CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：所述格莱圈（2-13）由与腔座（2-3）呈孔轴方式配合的耐磨外圈和卡套于惰轴（2-10）的箍环槽（2-10.3）上的内O形圈构成。
5.根据权利要求2所述的CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：所述组合轴承（2-7）采用陶瓷材质。
6.根据权利要求2所述的CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：所述左摆架（4）套于惰轴结构（2）的腔座（2-3）上。
7.根据权利要求1所述的CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：所述可伸缩式驱动轴结构（3）包括驱动单元（3-1）以及与驱动单元（3-1）呈套接组合的驱动轴单元（3-2）；
所述驱动单元（3-1）包括电机+减速器（3-3）、电机座（3-4）、直通接头（3-5）和固定套（3-6）；所述固定套（3-6）后部与电机座（3-4）前部呈孔轴定位方式套接，电机座（3-4）后部与电机+减速器（3-3）呈孔轴定位方式贴合，所述直通接头（3-5）与电机座（3-4）侧面呈螺纹方式旋接，直通接头（3-5）引入大气并与电机座（3-4）内腔相连通；
所述驱动轴单元（3-2）包括驱动轴（3-7）、压簧（3-8）、锁钉（3-9）和定心卡套（3-10），驱动轴（3-7）前部穿入定心卡套（3-10）内，定心卡套（3-10）与驱动轴（3-7）呈轴孔滑动定位且呈正四边形轴孔贯穿式匀性传力，驱动轴（3-7）后部穿入驱动单元（3-1）的固定套（3-6）和电机座（3-4）内，并与电机+减速器（3-3）的输出轴串接一体并锁定；
所述驱动轴（3-7）前部为方形滑轴（3-7.1），驱动轴（3-7）后部为与电机+减速器的输出轴连接的主轴（3-7.3），在方形滑轴（3-7.1）与主轴（3-7.3）之间带有开口朝前的压簧环槽（3-7.2）；
所述定心卡套（3-10）由前到后设有与清洗刷定心的锥形孔（3-10.1）、与清洗刷滑动串接的方形孔a（3-10.2）、与方形滑轴（3-7.1）滑动串接的方形孔b（3-10.3）；
所述压簧（3-8）套于驱动轴（3-7）上，压簧（3-8）后部定位于驱动轴（3-7）的压簧环槽（3-7.2）内，压簧（3-8）前部定位于定心卡套（3-10）上；
所述锁钉（3-9）与方形滑轴（3-7.1）前端呈螺纹方式旋紧，锁钉（3-9）头部在定心卡套（3-10）的方形孔b（3-10.3）前方限位卡紧，使压簧的预紧力被施加。
8.根据权利要求7所述的CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：所述定心卡套（3-10）后部还带有压簧卡口（3-10.4），压簧卡口（3-10.4）套于压簧环槽（3-7.2）外侧。
9.根据权利要求7所述的CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构，其特征在于：所述右摆架（5）套于可伸缩式驱动轴结构（3）的电机座（3-4）上。
10.一种如权利要求1～9任意一项所述CMP后清洗设备清洗刷同心卡接结构的使用方法，其特征在于步骤如下：
步骤一，将左摆架（4）与惰轴结构（2）连接，右摆架（5）与可伸缩式驱动轴结构（3）连接；
步骤二：将清洗刷（1）中刷轴（6）的方形轴（6.2）贯穿入可伸缩式驱动轴结构（3）对应的方形孔中，至刷轴（6）的定心锥轴（6.1）贴合于可伸缩式驱动轴结构（3）对应的锥形孔中；
步骤三：利用可伸缩式驱动轴结构（3）的伸缩空隙将清洗刷（1）中刷轴（6）的矩形轴（6.4）卡入惰轴结构（2）对应的矩形槽中，至刷轴（6）的定心锥轴（6.3）贴合于惰轴结构（2）对应的定心锥孔中；
步骤四：依托可伸缩式驱动轴结构（3）的压簧复位力，完成清洗刷（1）的同心卡接。
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