CN106569037B - 一种基于mems技术的感应式电导率传感器及其制造方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器及其制造方法,属于微电子机械系统制造及海洋测量领域。该电导率传感器包括一个导流管、一个电导池、两个环绕在导流管外壁的MEMS螺线管电感,所述导流管呈圆环柱形,其内部供液体流通的圆柱形空腔即为电导池,两个MEMS螺线管电感相互平行并间隔一段距离,两个螺线管分别通过连接引线与外界测试电路相连。本发明采用MEMS加工工艺来制造传感器,具有体积小、功耗低、成本低、可大批量生产的优点;本发明提供的传感器结构简单,操作方便,抗污染能力高,耐腐蚀性强,通用性强,可靠性高,适用于海水等高浓度水体的电导率测量。
Description
技术领域
本发明涉及一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器及其制造方法,涉及微电子机械系统制造及海洋测量领域。
背景技术
海水电导率是海洋水体最基本的物理要素,海洋中的各种现象、过程,海洋生物的生存与繁殖,以及人类的海上活动,包括海上军事活动,几乎都与海水电导率的时空分布直接或间接相关。
海水电导率传感器主要分为电极式和感应式,其中,电极式电导率传感器由于后续处理电路简单、测量精度高、使用方便,广泛用于各种水体的电导率测量中。与电极式电导率传感器相比,感应式电导率传感器不存在电极极化与电极被污染的问题,抗污染能力和抗腐蚀能力强,适合于应用在海水等高浓度水体中。
现有技术中,感应式电导率传感器都是采用传统机械加工技术制造而成,加工精度低、加工难度大、加工成本高、不适合大批量制造,而如果采用MEMS工艺来制造电导率传感器,将具有体积小、功耗低、成本低、可大批量生产、易于与电子电路实现交互等优点,是感应式电导率传感器的发展方向。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器及其制造方法,克服了传统机械加工技术的不足。本发明的电导率传感器结构简单,体积小巧,操作方便,成本较低,抗污染能力高,耐腐蚀性强,通用性强,可靠性高,适用于海水等高浓度水体的电导率测量。
本发明为解决上述技术问题采用以下技术方案:
一方面,本发明提供一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器,包括一个导流管、一个电导池和两个环绕在导流管外壁的MEMS螺线管电感,其中,所述导流管呈圆环柱形,其内部供液体流通的圆柱形空腔即为电导池;两个所述MEMS螺线管电感分别为发射线圈和接收线圈,用于施加激励和接收响应,发射线圈和接收线圈相互平行且两者之间存在间隔;两个所述MEMS螺线管电感分别通过连接引线与外界测试电路相连。
作为本发明的进一步优化方案,所述导流管为玻璃材料通过正压热成型工艺制成。
作为本发明的进一步优化方案,所述MEMS螺线管电感为SU-8胶外覆铜/金材料制成。
作为本发明的进一步优化方案,两个所述MEMS螺线管电感的大小相同。
另一方面,本发明还提供一种上述基于MEMS技术的感应式电导率传感器的制造方法,包括以下步骤:
(1)在玻璃片a的正面制作两个相互平行、大小相同(长为l,宽为w)的MEMS螺线管电感,其中,MEMS螺线管电感的长为l,宽为w,且两个螺线管电感之间间隔一段距离d;
(2)选用与玻璃片a尺寸一致的基底硅片,在基底硅片上刻蚀长方形凹槽,其中,凹槽的长度大于l、宽度大于2w+d;
(3)将玻璃片a的背面和刻槽后的基底硅片进行阳极键合;
(4)使用高温炉加热步骤(3)键合后的器件,高温作用下玻璃熔融,长方形凹槽内的气体被加热产生压力发生膨胀,使玻璃片a形成半圆环柱形玻璃盖和半圆柱形空腔;
(5)使用选择性腐蚀剂腐蚀掉基底硅片,保留玻璃片结构;
(6)重复步骤(1)~(5),在玻璃片b的相同位置上制作出两个相互平行、大小相同的MEMS螺线管电感,其中,MEMS螺线管电感的长为l、宽为w,两个MEMS螺线管电感的间距为d,并使玻璃片b形成同样的半圆环柱形玻璃盖和半圆柱形空腔;
(7)将步骤(1)中玻璃片a上的两个MEMS螺线管电感与步骤(6)中玻璃片b上的两个MEMS螺线管电感一一对齐,并将两个半圆环柱形玻璃盖对齐,对两个玻璃盖的端面进行键合,形成完整的圆环柱形的导流管和圆柱形空腔;
(8)采用电镀工艺将玻璃片a上的MEMS螺线管电感与玻璃片b上相应的MEMS螺线管电感相连,形成环绕在导流管外壁的发射线圈和接收线圈;
(9)分别沿着圆环柱形导流管的长度方向和横截面方向对玻璃片a和玻璃片b进行切除,保留圆环柱形导流管、圆柱形空腔、发射线圈和接收线圈,使圆环柱形导流管沿长度方向的两端露出;在进行测量时,将电导率传感器浸入海水中,海水可从圆环柱形导流管的两端流入圆柱形空腔内,该圆柱形空腔即为电导率传感器的电导池。
作为本发明的进一步优化方案,所述玻璃片a、玻璃片b和基底硅片的热膨胀系数相同。
作为本发明的进一步优化方案,步骤(1)中在玻璃片a的正面制作两个相互平行、大小相同的MEMS螺线管电感,具体为:
A.在玻璃片的正面淀积一层铬作为电镀种子层,然后淀积一层二氧化硅作为钝化层,再在二氧化硅上淀积一层钛/铜/钛作为牺牲层,刻蚀二氧化硅和钛/铜/钛,露出电感的下电极的位置,形成覆盖三层基底层的玻璃片a;
B.旋涂一层SU-8胶,SU-8胶的厚度用于定义电感的高度,针对电感的连接柱区域进行大剂量曝光,针对电感的上横梁区域进行小剂量曝光;
C.光刻SU-8胶,形成两组门形结构,在SU-8门形结构表面和基底层表面溅射铬/金种子层;
D.电镀铜/金层,并将钛/铜/钛移除,铜/金层将覆盖SU-8门形结构和下电极区域,形成螺线管电感,螺线管电感的每一个上横梁分别连接两个连接柱,这两个连接柱分别与两个下电极的一端相连,形成立体交叉螺旋的结构;
E.移除二氧化硅层和未被电感覆盖的铬层,将两组电感相互孤立出来,完成螺线管电感的制作。
本发明采用以上技术方案与现有技术相比,具有以下技术效果:本发明提供的一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器,具有体积小、功耗低、成本低、可大批量生产、抗污染能力高,耐腐蚀性强,通用性强,可靠性高等优点,适用于海水等高浓度水体的电导率测量。
附图说明
图1为MEMS感应式电导率传感器的结构示意图。
图2为覆盖了铬、二氧化硅、钛/铜/钛的玻璃片a的A-A剖面图。
图3为覆盖了SU-8胶并曝光的玻璃片a的A-A剖面图。
图4为光刻SU-8胶并溅射铬/金种子层的玻璃片a的A-A剖面图。
图5为电镀铜/金层并移除钛/铜/钛层的玻璃片a的A-A剖面图。
图6为移除铬和二氧化硅层的玻璃片a的A-A剖面图。
图7为图6所示玻璃片a的俯视图。
图8为刻蚀凹槽的基底硅片a的B-B剖面图。
图9为玻璃片a和基底硅片a阳极键合后的B-B剖面图。
图10为玻璃片a和基底硅片a高温加温后的B-B剖面图。
图11为玻璃片a和玻璃片b键合后的MEMS感应式电导率传感器B-B剖面图。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的技术方案做进一步的详细说明:
一种MEMS感应式电导率传感器的结构,如图1所示,包括一个导流管1、一个电导池2和两个MEMS螺线管电感3、4。所述导流管1呈圆环柱形,其内部供液体流通的圆柱形空腔即为电导池2;所述两个MEMS螺线管电感3、4呈环形环绕在导流管外壁,分别为发射线圈和接收线圈,用于施加激励和接收响应;发射线圈和接收线圈相互平行并间隔一段距离;两个螺线管3、4分别通过连接引线与外界测试电路相连。
其中,导流管1为玻璃材料通过正压热成型工艺制成,MEMS螺线管电感3、4为SU-8胶外覆铜/金材料制成。
本发明中还提供一种上述基于MEMS技术的感应式电导率传感器的制造方法,包括以下步骤:
(1)在玻璃片a的正面制作两个相互平行、大小相同(长为l,宽为w)的MEMS螺线管电感3a、4a,且两个螺线管电感3a、4a之间间隔一段距离d,具体步骤为:
A.在玻璃片a的正面淀积一层铬5a作为电镀种子层,然后淀积一层二氧化硅6a作为钝化层,在二氧化硅6a上淀积一层钛/铜/钛7a作为牺牲层,刻蚀二氧化硅6a和钛/铜/钛7a,露出电感的下电极的位置,如图2所示,形成覆盖三层基底层的玻璃片a;
B.如图3所示,旋涂一层SU-8胶8a,SU-8胶8a的厚度用于定义电感的高度,针对电感的连接柱区域301a、401a进行大剂量曝光,针对电感的上横梁区域302a、402a进行小剂量曝光;
C.如图4所示,光刻SU-8胶8a,形成两组门形结构,在SU-8门形结构表面和基底层表面溅射铬/金9a种子层;
D.如图5所示,电镀铜/金层10a并将钛/铜/钛7a移除,铜/金层10a将覆盖SU-8门形结构和下电极区域,形成螺线管电感,螺线管电感的每一个上横梁分别连接两个连接柱,这两个连接柱分别与两个下电极的一端相连,形成立体交叉螺旋的结构;
E.如图6所示,移除二氧化硅层6a和未被电感覆盖的铬层5a,将两组电感3a、4a相互孤立出来,完成螺线管电感的制作;如图7所示为玻璃片a的俯视图,两组电感3a、4a相互平行,大小相等,长为l,宽为w,两组电感之间的间距为d;
(2)如图8所示,选用与玻璃片a尺寸一致的基底硅片11a,在基底硅片上刻蚀长方形凹槽12a,凹槽的长度大于l,宽度大于2w+d;(一般来说,选取凹槽的长度略大于l、宽度略大于2w+d,以方便在后续的步骤(8)采用电镀工艺将两个螺线管电感相连,且连接后的电感性能更好);
(3)如图9所示,将玻璃片a的背面和刻槽后的基底硅片11a进行阳极键合,玻璃片a和基底硅片11a的热膨胀系数相同;
(4)如图10所示,使用高温炉加热键合后的器件,高温作用下玻璃熔融,长方形凹槽12a内的气体被加热产生压力发生膨胀,使玻璃片a形成半圆环柱形玻璃盖1a和半圆柱形空腔2a;
(5)使用选择性腐蚀剂腐蚀掉基底硅片11a,保留玻璃片结构;
(6)重复步骤(1)~(5),在另一片玻璃片b的相同位置上制造出大小相同(长为l,宽为w,间距为d)的两个MEMS螺线管电感,并使玻璃片b形成同样的半圆环柱形玻璃盖1b和半圆柱形空腔2b;
(7)如图11所示,将步骤(1)中的两个螺线管电感与步骤(6)中的两个螺线管电感一一对齐,同时将两个半圆环柱形玻璃盖1a、1b对齐,对玻璃盖1a、1b的端面进行键合,形成完整的圆环形导流管1和圆柱形空腔2;
(8)使用电镀工艺,将玻璃片a上的螺线管电感与玻璃片b上相对应的螺线管电感相连,形成环绕在导流管外壁的发射线圈3和接收线圈4;
(9)分别沿着圆环柱形导流管的长度方向和横截面方向对玻璃片a和玻璃片b进行切除,保留圆环柱形导流管1、圆柱形空腔2、发射线圈3和接收线圈4,使圆环柱形导流管1沿长度方向的两端露出;进行测量时,将电导率传感器浸入海水中,海水可从圆环柱形导流管1的两端流入圆柱形空腔2内,该圆柱形空腔2即为电导率传感器的电导池。
通过本发明提供的一种基于MEMS技术的感应式低电导率传感器,克服了传统机械加工技术的不足,采用MEMS加工技术制造电导率传感器,具有体积小、功耗低、成本低、可大批量生产、抗污染能力高,耐腐蚀性强,通用性强,可靠性高等优点,适用于海水等高浓度水体的电导率测量。
以上所述,仅为本发明中的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉该技术的人在本发明所揭露的技术范围内,可理解想到的变换或替换,都应涵盖在本发明的包含范围之内,因此,本发明的保护范围应该以权利要求书的保护范围为准。
Claims (3)
1.一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器的制造方法,所述感应式电导率传感器包括一个导流管、一个电导池和两个环绕在导流管外壁的MEMS螺线管电感,其中,所述导流管呈圆环柱形,其内部供液体流通的圆柱形空腔即为电导池;两个所述MEMS螺线管电感分别为发射线圈和接收线圈,用于施加激励和接收响应,发射线圈和接收线圈相互平行且两者之间存在间隔;两个所述MEMS螺线管电感分别通过连接引线与外界测试电路相连,其特征在于,该制造方法包括以下步骤:
(1)在玻璃片a的正面制作两个相互平行、大小相同的MEMS螺线管电感,其中,MEMS螺线管电感的长为l,宽为w,且两个MEMS螺线管电感之间间隔一段距离d;
(2)选用与玻璃片a尺寸一致的基底硅片,在基底硅片上刻蚀长方形凹槽,其中,长方形凹槽的长度大于l、宽度大于2w+d;
(3)将玻璃片a的背面和刻槽后的基底硅片进行阳极键合;
(4)使用高温炉加热步骤(3)键合后的器件,高温作用下玻璃熔融,长方形凹槽内的气体被加热产生压力发生膨胀,使玻璃片a形成半圆环柱形玻璃盖和半圆柱形空腔;
(5)使用选择性腐蚀剂腐蚀掉基底硅片,保留玻璃片a结构;
(6)重复步骤(1)~(5),在玻璃片b的相同位置上制作出两个相互平行、大小相同的MEMS螺线管电感,其中,MEMS螺线管电感的长为l、宽为w,两个MEMS螺线管电感的间距为d,并使玻璃片b形成同样的半圆环柱形玻璃盖和半圆柱形空腔;
(7)将步骤(1)中玻璃片a上的两个MEMS螺线管电感与步骤(6)中玻璃片b上的两个MEMS螺线管电感一一对齐,并将两个半圆环柱形玻璃盖对齐,对两个半圆环柱形玻璃盖的端面进行键合,形成完整的圆环柱形的导流管和圆柱形空腔;
(8)采用电镀工艺将玻璃片a上的MEMS螺线管电感与玻璃片b上相应的MEMS螺线管电感相连,形成环绕在导流管外壁的发射线圈和接收线圈;
(9)分别沿着圆环柱形导流管的长度方向和横截面方向对玻璃片a和玻璃片b进行切除,保留圆环柱形导流管、圆柱形空腔、发射线圈和接收线圈,使圆环柱形导流管沿长度方向的两端露出;在进行测量时,将电导率传感器浸入海水中,海水可从圆环柱形导流管的两端流入圆柱形空腔内,该圆柱形空腔即为电导率传感器的电导池。
2.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器的制造方法,其特征在于,所述玻璃片a、玻璃片b和基底硅片的热膨胀系数相同。
3.根据权利要求1所述的一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器的制造方法,其特征在于,步骤(1)中在玻璃片a的正面制作两个相互平行、大小相同的MEMS螺线管电感,具体为:
A.在玻璃片a的正面淀积一层铬作为电镀种子层,然后淀积一层二氧化硅作为钝化层,再在二氧化硅上淀积一层钛/铜/钛作为牺牲层,刻蚀二氧化硅和钛/铜/钛,露出电感的下电极的位置,形成覆盖三层基底层的玻璃片;
B.旋涂一层SU-8胶,SU-8胶的厚度用于定义电感的高度,针对电感的连接柱区域进行大剂量曝光,针对电感的上横梁区域进行小剂量曝光;
C.光刻SU-8胶,形成两组门形结构,在SU-8门形结构表面和基底层表面溅射铬/金种子层;
D.电镀铜/金层,并将钛/铜/钛移除,铜/金层将覆盖SU-8门形结构和下电极区域,形成MEMS螺线管电感,MEMS螺线管电感的每一个上横梁分别连接两个连接柱,这两个连接柱分别与两个下电极的一端相连,形成立体交叉螺旋的结构;
E.移除二氧化硅层和未被电感覆盖的铬层,将两组电感相互孤立出来,完成MEMS螺线管电感的制作。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611006207.5A CN106569037B (zh) | 2016-11-16 | 2016-11-16 | 一种基于mems技术的感应式电导率传感器及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
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Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106569037A CN106569037A (zh) | 2017-04-19 |
CN106569037B true CN106569037B (zh) | 2019-02-26 |
Family
ID=58541974
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201611006207.5A Active CN106569037B (zh) | 2016-11-16 | 2016-11-16 | 一种基于mems技术的感应式电导率传感器及其制造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106569037B (zh) |
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---|---|
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Date | Code | Title | Description |
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PB01 | Publication | ||
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SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
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GR01 | Patent grant | ||
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