CN106526881A - 一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法 - Google Patents

一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106526881A
CN106526881A CN201611163605.8A CN201611163605A CN106526881A CN 106526881 A CN106526881 A CN 106526881A CN 201611163605 A CN201611163605 A CN 201611163605A CN 106526881 A CN106526881 A CN 106526881A
Authority
CN
China
Prior art keywords
cross
graduation plate
fixed mirror
guide rail
collimating telescope
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201611163605.8A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106526881B (zh
Inventor
万敏
赵菲菲
赵江涛
赵凯生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Luoyang Institute of Electro Optical Equipment AVIC
Original Assignee
Luoyang Institute of Electro Optical Equipment AVIC
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Luoyang Institute of Electro Optical Equipment AVIC filed Critical Luoyang Institute of Electro Optical Equipment AVIC
Priority to CN201611163605.8A priority Critical patent/CN106526881B/zh
Publication of CN106526881A publication Critical patent/CN106526881A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106526881B publication Critical patent/CN106526881B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/32—Fiducial marks and measuring scales within the optical system
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/02—Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices involving prisms or mirrors

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Astronomy & Astrophysics (AREA)
  • Telescopes (AREA)

Abstract

本发明提出一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，利用内调焦准直望远镜，借助固定镜十字分划板、运动镜十字分划板、二维平移台，将固定镜安装基准孔的轴线转化为内调焦准直望远镜光轴的十字中心轴线，同时借助直线导轨滑块上运动镜框上的运动镜安装孔将直线导轨的方向转换为运动镜安装孔的中心轴，借助外径与运动镜安装孔精密配做的运动镜十字分划板，利用内调焦准直望远镜进行观测，通过调整直线导轨的俯仰角度、方位角度以及平移，使运动镜框中的运动镜十字分划板在全行程运动范围内的准直像、分划像均与内调焦准直望远镜中的十字线重合，由此实现直线导轨相对于固定镜基准孔轴线平行度的装调。按照本方法，可以实现直线导轨相对于固定镜基准孔轴线平行度小于0.02mm。

Description

一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法
技术领域
本发明属于光机装调技术领域，涉及一种连续变焦热像仪中直线导轨相对于透镜安装孔轴线平行度的装调方法。
背景技术
传统红外连续变焦热像仪中运动透镜采用的支撑导向机构一般通过透镜镜筒的内外圆柱面的配合或者轴套、光杆的配合来实现，但这给零件加工、配合精度提出了很高要求。随着技术发展，由于滚动直线导轨具有结构简单、动摩擦系数小、导向精度高、精度保持性好等优点，近年来，在航空航天光学仪器中，滚动直线导轨逐渐开始得到应用，但是关于如何实现直线导轨与透镜安装基准孔轴线平行度的装调方法还很少见诸报道。当直线导轨与透镜安装基准孔轴线平行度不满足设计指标要求时，会导致图像质量差，光轴一致性不达标等问题。
发明内容
为解决现有技术存在的问题，本发明提出了一种连续变焦热像仪中直线导轨相对于透镜安装孔轴线平行度的装调方法，利用内调焦准直望远镜，借助高精度十字分划板、二维平移台等，实现非接触式装调直线导轨与透镜安装基准孔轴线平行度的方法。该方法不需要传统的机械接触式测量工具，对空间要求较小，适合于空间要求紧凑的光学仪器中直线导轨的装调。
本发明的技术方案为：
所述一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤1：将连续变焦热像仪底座1安装在操作台上，并使底座1上固定透镜安装孔ΦD与固定在平移台7上的内调焦准直望远镜6的光轴粗同轴；所述内调焦准直望远镜6内置十字分划板，具备自准直仪的测角功能；
步骤2：利用固定镜压圈8将固定镜十字分划板3安装在底座1中的固定透镜安装孔ΦD中，压紧固定镜压圈8，保证固定镜十字分划板3的后端面与孔ΦD的端面紧密贴合；所述固定镜十字分划板3中十字分划线所在侧镀有反射膜，十字分划线中心与固定镜十字分划板外圆柱轴线重合，固定镜十字分划板反射面与自身另外一侧端面平行；
步骤3：利用内调焦准直望远镜6进行监测，通过调整底座1的方位、俯仰角度，使固定镜十字分划板3的反射面相对于内调焦准直望远镜6的光轴垂直；然后通过微调平移台7，使内调焦准直望远镜6中的光轴十字与固定镜十字分划板3上的十字分划线的像重合；
步骤4：锁定平移台7，并将底座1固定在操作台上；
步骤5：从底座1中取下固定镜压圈8、固定镜十字分划板3；将运动镜框4利用固定安装在直线导轨2的滑块上，利用运动镜压圈9将运动镜十字分划板5安装在运动镜框4中并紧密贴合；所述运动镜十字分划板5中十字分划线所在侧镀有反射膜，十字分划线中心与运动镜十字分划板外圆柱轴线重合，运动镜十字分划板反射面与自身另外一侧端面平行；
步骤6：利用内调焦准直望远镜6进行观测，通过调整直线导轨2的方位、俯仰角度，保证运动镜十字分划板5在直线导轨2上运动全程内的自准直像始终与内调焦准直望远镜6内的十字线重合，运动镜十字分划板5的十字分划像也与内调焦准直望远镜6内的十字线重合；固定直线导轨2。
进一步的优选方案，所述一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，其特征在于：平移台7为二维平移台；内调焦准直望远镜6的光轴与二维平移台7的某一方向平行。
进一步的优选方案，所述一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，其特征在于：内调焦准直望远镜6采用CCD进行图像的接收，通过显示器进行观察与显示。
进一步的优选方案，所述一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，其特征在于：固定镜十字分划板3的外径与底座1中固定透镜安装孔ΦD配做，实现紧密配合；运动镜十字分划板5的外径与运动镜框4基准孔配做，实现紧密配合。
有益效果
本发明的优点在于：
1.本发明采用内调焦准直望远镜进行测量监测，相比于传统的接触测量方式，可以实现较小空间内的非接触式测量。
2.本发明利用高精度十字分划板将传统的圆孔轴线转化为了光学准直面与十字分划线的交点，利于使用光学手段进行圆孔轴线的测量，提供了一种较精确的直线导轨平行度的装调方法。
3.本方法同样适用于多导轨的相互平行度装调。
本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。
附图说明
本发明的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施例的描述中将变得明显和容易理解，其中：
图1是本发明的最终状态示意图；
图2是本发明的实现方法剖视图；
图3是本发明的实现方法侧视图；
附图标记：1-底座、2-直线导轨、3-固定镜十字分划板、4-运动镜框、5-运动镜十字分划板、6-内调焦准直望远镜、7-二维平移台、8-固定镜压圈、9-运动镜压圈。
具体实施方式
下面详细描述本发明的实施例，所述实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。
本发明提供一种连续变焦热像仪中直线导轨相对于透镜安装孔轴线平行度的装调方法，具体如附图1、图2中所示。一种连续变焦热像仪的光学设计要求光学系统中运动透镜的光轴在运行全过程中相对于固定透镜光轴的同轴度不大于Φ0.03mm，根据设计需要选用直线导轨对运动透镜进行支撑，本发明提供了一种通过非接触装调实现直线导轨相对于固定透镜安装孔ΦD轴线的平行度小于0.02mm的装调方法。
如图1、图2所示，底座1中的孔ΦD为安装固定透镜的基准孔，直线导轨2用于支撑运动镜框4，运动镜框4中的基准孔用于安装运动透镜，运动透镜沿直线导轨2前后运动。
本方法首先需要建立装调基准：将底座1安装在操作平台上，并且保证底座上基准孔ΦD与固定在二维平移台7上的内调焦准直望远镜6的光轴大致同轴。
将底座1上基准孔ΦD的轴线转化为通过固定镜十字分划板3十字分划线交点的分划板反射面的法线：利用固定镜压圈8将固定镜十字分划板3安装在底座1中的固定透镜安装孔ΦD中，压紧固定镜压圈8，保证固定镜十字分划板3的后端面与孔ΦD的端面紧密贴合。
上述固定镜十字分划板3中十字线所在侧镀反射膜，固定镜十字分划板3的外径与底座1中基准孔ΦD配做，保证紧密配合，十字分划线中心与其外圆柱轴线重合，分划板反射面与其另外一侧端面平行。
将基准孔ΦD的轴线转化为内调焦准直望远镜6的光轴中心线：利用内调焦准直望远镜6进行监测，通过调整底座1的方位、俯仰角度，保证固定镜十字分划板3的反射面相对于内调焦准直望远镜6的光轴垂直。然后通过微调二维平移台7，使内调焦准直望远镜6中的光轴十字中心与固定镜十字分划板3上的十字分划线的像重合。
上述内调整准直望远镜6的光轴与二维平移台的一个平移方向平行，与二维平移台的另一个移动方向垂直。
装调基准建立好后，锁定二维平移台7，保证其在后续操作中没有晃动，利用瞬干胶固定底座1在操作平台上，保证后续操作中底座1相对于二维平移台无相对运动。
将直线导轨方向转化为通过运动镜十字分划板5十字分划线交点的分划板反射面的法线：从底座1中取下固定镜压圈8、固定镜十字分划板3，将运动镜框4利用螺钉安装在直线导轨2的滑块上，利用运动镜压圈9将运动镜十字分划板5安装在运动镜框4中，保证贴合紧密。
上述运动镜框4中用于安装运动镜十字分划板5的基准孔轴线与直线导轨2平行。
上述运动镜十字分划板5的外径与运动镜框4中的基准孔配做，保证配合紧密，十字分划线中心与其外圆柱轴线重合，分划板反射面与其另外一侧端面平行。
调整运动镜十字分划板5的自准像、分划像与内调焦准直望远镜6的光轴中心重合：利用内调焦准直望远镜6进行观测，通过调整直线导轨2的方位、俯仰角度，保证运动镜十字分划板5在直线导轨2上运动全程内的自准直像始终与内调焦准直望远镜6内的十字线重合，运动镜十字分划板5的十字分划像也与内调焦准直望远镜6内的十字线重合，随后固定直线导轨2。
装调结果复测：从运动镜框4中拆下运动镜压圈9、运动镜十字分划板5，利用三坐标测量机复测运动镜框4中用于安装运动镜十字分划板5的基准孔在直线导轨2上运动全行程范围内与底座1上用于安装固定镜的基准孔ΦD的同轴度，经过测量可达到不大于Φ0.02mm，从而保证了直线导轨2相对于固定镜基准孔ΦD中心轴的平行度。
尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在不脱离本发明的原理和宗旨的情况下在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (4)

1.一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，其特征在于：包括以下步骤：
步骤1：将连续变焦热像仪底座1安装在操作台上，并使底座1上固定透镜安装孔ΦD与固定在平移台7上的内调焦准直望远镜6的光轴粗同轴；所述内调焦准直望远镜6内置十字分划板，具备自准直仪的测角功能；
步骤2：利用固定镜压圈8将固定镜十字分划板3安装在底座1中的固定透镜安装孔ΦD中，压紧固定镜压圈8，保证固定镜十字分划板3的后端面与孔ΦD的端面紧密贴合；所述固定镜十字分划板3中十字分划线所在侧镀有反射膜，十字分划线中心与固定镜十字分划板外圆柱轴线重合，固定镜十字分划板反射面与自身另外一侧端面平行；
步骤3：利用内调焦准直望远镜6进行监测，通过调整底座1的方位、俯仰角度，使固定镜十字分划板3的反射面相对于内调焦准直望远镜6的光轴垂直；然后通过微调平移台7，使内调焦准直望远镜6中的光轴十字与固定镜十字分划板3上的十字分划线的像重合；
步骤4：锁定平移台7，并将底座1固定在操作台上；
步骤5：从底座1中取下固定镜压圈8、固定镜十字分划板3；将运动镜框4利用固定安装在直线导轨2的滑块上，利用运动镜压圈9将运动镜十字分划板5安装在运动镜框4中并紧密贴合；所述运动镜十字分划板5中十字分划线所在侧镀有反射膜，十字分划线中心与运动镜十字分划板外圆柱轴线重合，运动镜十字分划板反射面与自身另外一侧端面平行；
步骤6：利用内调焦准直望远镜6进行观测，通过调整直线导轨2的方位、俯仰角度，保证运动镜十字分划板5在直线导轨2上运动全程内的自准直像始终与内调焦准直望远镜6内的十字线重合，运动镜十字分划板5的十字分划像也与内调焦准直望远镜6内的十字线重合；固定直线导轨2。
2.根据权利要求1所述一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，其特征在于：平移台7为二维平移台；内调焦准直望远镜6的光轴与二维平移台7的某一方向平行。
3.根据权利要求1所述一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，其特征在于：内调焦准直望远镜6采用CCD进行图像的接收，通过显示器进行观察与显示。
4.根据权利要求1所述一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法，其特征在于：固定镜十字分划板3的外径与底座1中固定透镜安装孔ΦD配做，实现紧密配合；运动镜十字分划板5的外径与运动镜框4基准孔配做，实现紧密配合。
CN201611163605.8A 2016-12-16 2016-12-16 一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法 Active CN106526881B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611163605.8A CN106526881B (zh) 2016-12-16 2016-12-16 一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611163605.8A CN106526881B (zh) 2016-12-16 2016-12-16 一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106526881A true CN106526881A (zh) 2017-03-22
CN106526881B CN106526881B (zh) 2018-11-16

Family

ID=58339694

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611163605.8A Active CN106526881B (zh) 2016-12-16 2016-12-16 一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106526881B (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109239884A (zh) * 2018-09-18 2019-01-18 昆明北方红外技术股份有限公司 变倍光学系统中导轨的定位系统及方法
CN109298500A (zh) * 2018-11-13 2019-02-01 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种轴向变倍机构的装调方法
CN109396820A (zh) * 2018-11-08 2019-03-01 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种双导轨装调工装及双导轨装调方法
CN110763343A (zh) * 2019-10-30 2020-02-07 济南和普威视光电技术有限公司 一种制冷热像仪
CN110954084A (zh) * 2019-11-04 2020-04-03 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种移动镜组姿态测量装置及测量方法
CN110989157A (zh) * 2019-12-17 2020-04-10 孝感华中精密仪器有限公司 一种校折转变焦摄像镜头后固定组光轴一致性的方法
CN112285944A (zh) * 2020-10-29 2021-01-29 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种光机分光棱镜的装调装置及装调方法
CN112285943A (zh) * 2020-10-29 2021-01-29 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种卡式望远系统与透射系统的穿轴装调方法及装调设备
CN113776463A (zh) * 2021-09-07 2021-12-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种回转角度误差的测量方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008090561A2 (en) * 2007-01-24 2008-07-31 Nanomotion Ltd. Zoom camera configurations
CN101246263A (zh) * 2007-12-28 2008-08-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 检测变焦距镜头视轴晃动的双十字丝分划板及使用方法
CN202182704U (zh) * 2011-06-30 2012-04-04 湖北三江航天万峰科技发展有限公司 一种热像仪光轴的校准装置
CN104567738A (zh) * 2014-12-30 2015-04-29 北京航天控制仪器研究所 光轴平行度精确测量系统及方法
CN105157619A (zh) * 2015-07-10 2015-12-16 中国科学院西安光学精密机械研究所 车床旋转轴与车床刀架导轨平行度误差检测系统及方法
CN105353493A (zh) * 2015-12-01 2016-02-24 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种连续变焦热像仪的变倍补偿装置及其加工工艺
CN105414957A (zh) * 2015-12-03 2016-03-23 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种轴系部件同轴装配方法及同轴度检测方法
CN106052599A (zh) * 2016-08-10 2016-10-26 南京理工大学 一种测量直线导轨精度的装置及非接触式测量方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2008090561A2 (en) * 2007-01-24 2008-07-31 Nanomotion Ltd. Zoom camera configurations
CN101246263A (zh) * 2007-12-28 2008-08-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 检测变焦距镜头视轴晃动的双十字丝分划板及使用方法
CN202182704U (zh) * 2011-06-30 2012-04-04 湖北三江航天万峰科技发展有限公司 一种热像仪光轴的校准装置
CN104567738A (zh) * 2014-12-30 2015-04-29 北京航天控制仪器研究所 光轴平行度精确测量系统及方法
CN105157619A (zh) * 2015-07-10 2015-12-16 中国科学院西安光学精密机械研究所 车床旋转轴与车床刀架导轨平行度误差检测系统及方法
CN105353493A (zh) * 2015-12-01 2016-02-24 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种连续变焦热像仪的变倍补偿装置及其加工工艺
CN105414957A (zh) * 2015-12-03 2016-03-23 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种轴系部件同轴装配方法及同轴度检测方法
CN106052599A (zh) * 2016-08-10 2016-10-26 南京理工大学 一种测量直线导轨精度的装置及非接触式测量方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109239884A (zh) * 2018-09-18 2019-01-18 昆明北方红外技术股份有限公司 变倍光学系统中导轨的定位系统及方法
CN109239884B (zh) * 2018-09-18 2021-05-04 昆明北方红外技术股份有限公司 变倍光学系统中导轨的定位系统及方法
CN109396820A (zh) * 2018-11-08 2019-03-01 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种双导轨装调工装及双导轨装调方法
CN109298500A (zh) * 2018-11-13 2019-02-01 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种轴向变倍机构的装调方法
CN109298500B (zh) * 2018-11-13 2020-09-11 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种轴向变倍机构的装调方法
CN110763343A (zh) * 2019-10-30 2020-02-07 济南和普威视光电技术有限公司 一种制冷热像仪
CN110954084A (zh) * 2019-11-04 2020-04-03 中国科学院西安光学精密机械研究所 一种移动镜组姿态测量装置及测量方法
CN110989157A (zh) * 2019-12-17 2020-04-10 孝感华中精密仪器有限公司 一种校折转变焦摄像镜头后固定组光轴一致性的方法
CN112285944A (zh) * 2020-10-29 2021-01-29 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种光机分光棱镜的装调装置及装调方法
CN112285943A (zh) * 2020-10-29 2021-01-29 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种卡式望远系统与透射系统的穿轴装调方法及装调设备
CN112285943B (zh) * 2020-10-29 2022-10-25 中国航空工业集团公司洛阳电光设备研究所 一种卡式望远系统与透射系统的穿轴装调方法及装调设备
CN113776463A (zh) * 2021-09-07 2021-12-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种回转角度误差的测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN106526881B (zh) 2018-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106526881A (zh) 一种连续变焦热像仪中直线导轨平行度的装调方法
CN105698713B (zh) 一种标定精密轴系回转轴线的装置及标定方法
CN1304880C (zh) 漂移量靶标反馈控制的长距离二维光电自准直装置和方法
CN201110761Y (zh) 激光对中及准直系统
EP2980526B1 (de) Koordinatenmessgerät und Verfahren zum Messen von Koordinaten
CN102313642B (zh) 一种高精度长焦距透镜的焦距检测装置
EP3249350A1 (en) Laser measurement system and method capable of detecting 21 geometric errors
JP6290854B2 (ja) 改良された光学式走査プローブ
CN101562693B (zh) 双ccd图像拼接探测器的光学成像拼接装置
CN106840025B (zh) 管状部件内圆度仪
CN103064195B (zh) 一种非共轴光学系统的装调方法
CN108919513B (zh) 一种同轴光学系统装调装置以及装调方法
CN104567750A (zh) 一种高精度陶瓷插芯同轴度检测仪
CN107702644A (zh) 一种基于双psd的多自由度测量装置
CN108196378A (zh) 一种卡式光学系统装调方法
CN109239885A (zh) 连续变倍热像仪的导向定位装置
CN204301699U (zh) 光电目视一体化自准直仪
CN116908217B (zh) 一种深孔测量与三维重建系统及其使用方法
CN102878933A (zh) 一种基于白光干涉定位原理的比较仪及其检测方法
CN110307805B (zh) 一种用于表面三维形貌测量的白光干涉系统
CN104536148B (zh) 一种实现镜面定位仪光束快速对准装置及对准方法
CN103542790B (zh) 可实现离轴反射镜离轴量精确测量的系统及方法
RU2519512C1 (ru) Устройство измерения угловых и линейных координат объекта
CN104570376B (zh) 多视场敏感器光学系统共轴的装调系统及装调方法
CN110440698B (zh) 一种测量任意表面形位误差的激光测量测头装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant