CN106526785B - 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法 - Google Patents

偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106526785B
CN106526785B CN201611224947.6A CN201611224947A CN106526785B CN 106526785 B CN106526785 B CN 106526785B CN 201611224947 A CN201611224947 A CN 201611224947A CN 106526785 B CN106526785 B CN 106526785B
Authority
CN
China
Prior art keywords
deflection
piezoelectric ceramics
elastic
axis
speculum
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201611224947.6A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106526785A (zh
Inventor
徐明龙
宋思扬
田征
冯勃
邵恕宝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xi'an Langwei Technology Co ltd
Original Assignee
Xian Jiaotong University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xian Jiaotong University filed Critical Xian Jiaotong University
Priority to CN201611224947.6A priority Critical patent/CN106526785B/zh
Publication of CN106526785A publication Critical patent/CN106526785A/zh
Priority to PCT/CN2017/099189 priority patent/WO2018120877A1/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106526785B publication Critical patent/CN106526785B/zh
Priority to US16/411,047 priority patent/US10634871B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/10—Scanning systems
    • G02B26/101—Scanning systems with both horizontal and vertical deflecting means, e.g. raster or XY scanners
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/18—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors
    • G02B7/182—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors
    • G02B7/198—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements for prisms; for mirrors for mirrors with means for adjusting the mirror relative to its support
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
    • G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
    • G02B26/0816—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements
    • G02B26/0833—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD
    • G02B26/0858—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light by means of one or more reflecting elements the reflecting element being a micromechanical device, e.g. a MEMS mirror, DMD the reflecting means being moved or deformed by piezoelectric means

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
  • Prostheses (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Abstract

一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法，该偏转装置主要由三个部分组成：用于固定安装的底座和固定支座；提供偏转驱动的弹性筝形环和偏转支撑座，以及反射镜承载台、反射镜以及约束反射镜承载台产生偏转位移的柔性铰链和其连接台；本发明使用四个压电陶瓷实现偏转角度的输出控制，具有控制精度高，响应快的特点；压电陶瓷分为两组，采用差动的方式驱动同组的压电陶瓷，即可实现对应的单轴偏转位移，同时驱动四个压电陶瓷即可实现反射镜的双轴偏转；该装置采用反射镜沉降的结构形式，偏转轴相交于反射镜表面，因此减少了偏转时镜面纵向位移所带来的光路控制误差；同时，结构具有低矮、紧凑的结构特征，所需的安装使用空间小。

Description

偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法
技术领域
本发明涉及一种双轴偏转反射镜装置及其实施方法，具体为一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法。
背景技术
近年来，天文望远镜、显微镜、等精密光学系统在航天工程、生育技术等领域中的应用日益广泛，对精密光路控制提出了更高的使用需求。针对这种需求，可以使用压电陶瓷与柔性铰链结构配合实现多轴偏转，但是目前的技术仍然存在一些问题，首先，目前市面上的压电偏转机构纵向尺寸一般较高，所需要的安装空间纵深较大，同时高度也限制了结构基频，降低了可靠性。其次，受限于目前所采用的柔性铰链位置设计，反射镜输出偏角时，镜面中心会产生高度方向的位移，反射光点所在的镜面中心与结构偏转轴不相交，因此精度还有待提高。
发明内容
为了克服上述现有技术存在的问题，消除反射光点与结构偏转轴不重合所造成的光路控制误差，同时降低结构高度，本发明的目的在于提供一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法，使用压电陶瓷对反射镜装置进行驱动，采用沉降式反射镜安装结构，使得结构偏转中心位于反射镜面上，同时，该装置还具有紧凑的结构形式，特别是具有高度较低，偏转响应速度快，精度高的特点。
为达到上述目的，本发明所采用的技术方案是：
一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置，包括底座1，安装在底座1上的第一固定支座2‐1、第二固定支座2‐2、第三固定支座2‐3和第四固定支座2‐4，一端固定在第一固定支座2‐1上的第一弹性筝形环3‐1，一端固定在第二固定支座2‐2上的第二弹性筝形环3‐2，一端固定在第三固定支座2‐3上的第三弹性筝形环3‐3，一端固定在第四固定支座2‐4上的第四弹性筝形环3‐4，水平安装于第一弹性筝形环3‐1内的第一压电陶瓷4‐1，水平安装于第二弹性筝形环3‐2内的第二压电陶瓷4‐2，水平安装于第三弹性筝形环3‐3内的第三压电陶瓷4‐3，水平安装于第四弹性筝形环3‐4内的第四压电陶瓷4‐4，通过柔性铰链与第一弹性筝形环3‐1、第二弹性筝形环3‐2，第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4连接的偏转支撑座5，与偏转支撑座5固定连接的反射镜承载台6，放置在反射镜承载台6上方的反射镜7，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第一固定支座2‐1上的第一连接台8‐1，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第二固定支座2‐2上的第二连接台8‐2，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第三固定支座2‐3上的第三连接台8‐3，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第四固定支座2‐4上的第四连接台8‐4；所述第一弹性筝形环3‐1和第二弹性筝形环3‐2位于X轴上且关于Y轴对称，第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4位于Y轴上且关于X轴对称；所述反射镜7采用了沉降的安装方式，安装在反射镜承载台6的内部，且反射镜7的上表面与第一连接台8‐1、第二连接台8‐2、第三连接台8‐3和第四连接台8‐4所连接的柔性铰链中线处于同一平面，以保证偏转轴线交汇于反射镜表面。
所述的偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置实现双轴偏转的方法，差动驱动第三压电陶瓷4‐3与第四压电陶瓷4‐4，推动偏转支撑座5运动，即实现围绕X轴方向的偏转；差动驱动第一压电陶瓷4‐1与第二压电陶瓷4‐2，推动偏转支撑座5运动，即实现围绕y轴方向的偏转，实现偏转轴相交于反射镜7表面的双轴偏转。
具体方法为：使反射镜7镜面绕X轴正向偏转时，第三压电陶瓷4‐3与第四压电陶瓷4‐4采用差动的方式工作，第四压电陶瓷4‐4伸长，第三压电陶瓷4‐3等量缩短，压电陶瓷的线性位移输出加载于第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4上，第三弹性筝形环3‐3短轴方向伸长，第四弹性筝形环3‐4短轴方向缩短，推动偏转支撑座5沿Y轴负向产生位移，偏转支撑座5以及反射镜承载台6由于受到第一连接台8‐1、第二连接台8‐2、第三连接台8‐3、第四连接台8‐4及其柔性铰链的约束作用，承载反射镜7绕X轴正向偏转；与之原理相同，绕X轴负向偏转时，第三压电陶瓷4‐3与第四压电陶瓷4‐4也采用差动的方式工作，第四压电陶瓷4‐4缩短，第三压电陶瓷4‐3等量伸长，即实现承载反射镜7绕X轴负向偏转；
同理，第一压电陶瓷4‐1与第二压电陶瓷4‐2采用差动方式工作，一个压电陶瓷伸长时另一个压电陶瓷等量缩短，即实现承载反射镜7绕Y轴双向偏转；第一压电陶瓷4‐1、第二压电陶瓷4‐2、第三压电陶瓷4‐3和第四压电陶瓷4‐4协同工作，即实现对反射镜双轴偏转的控制，由于偏转轴X和偏转轴Y相交于反射镜7上表面，因此减少了由于镜面纵向位移所带来的光路控制误差。
和现有技术相比较，本发明具有如下优点：
1、采用压电陶瓷推动柔性铰链实现镜面偏转，无摩擦、间隙所带来的误差，偏转调节响应速度快，精度高。
2、结构纵向高度较低，结构紧凑，便于在狭小空间，特别是纵向深度较低的场合安装使用。
3、偏转轴相互正交，且偏转轴与镜面共面，减小了镜面纵向平移所导致的光路控制误差。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明的爆炸示意图。
图3为本发明的俯视图。
图4为本发明的原理示意图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细说明。
如图1、图2和图3所示，本发明一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置，包括底座1，安装在底座1上的第一固定支座2‐1、第二固定支座2‐2、第三固定支座2‐3和第四固定支座2‐4，一端固定在第一固定支座2‐1上的第一弹性筝形环3‐1，一端固定在第二固定支座2‐2上的第二弹性筝形环3‐2，一端固定在第三固定支座2‐3上的第三弹性筝形环3‐3，一端固定在第四固定支座2‐4上的第四弹性筝形环3‐4，水平安装于第一弹性筝形环3‐1内的第一压电陶瓷4‐1，水平安装于第二弹性筝形环3‐2内的第二压电陶瓷4‐2，水平安装于第三弹性筝形环3‐3内的第三压电陶瓷4‐3，水平安装于第四弹性筝形环3‐4内的第四压电陶瓷4‐4，通过柔性铰链与第一弹性筝形环3‐1、第二弹性筝形环3‐2，第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4连接的偏转支撑座5，与偏转支撑座5固定连接的反射镜承载台6，放置在反射镜承载台6上方的反射镜7，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第一固定支座2‐1上的第一连接台8‐1，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第二固定支座2‐2上的第二连接台8‐2，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第三固定支座2‐3上的第三连接台8‐3，通过柔性铰链与反射镜承载台6连接且固定在第四固定支座2‐4上的第四连接台8‐4；所述第一弹性筝形环3‐1和第二弹性筝形环3‐2位于X轴上且关于Y轴对称，第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4位于Y轴上且关于X轴对称；所述反射镜7采用了沉降的安装方式，安装在反射镜承载台6的内部，且反射镜7的上表面与第一连接台8‐1、第二连接台8‐2、第三连接台8‐3和第四连接台8‐4所连接的柔性铰链中线处于同一平面，以保证偏转轴线交汇于反射镜表面。
上述所述的偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置，能实现以镜面中心作为偏转中心的双轴偏转；使反射镜(7)镜面绕X轴正向偏转时，第三压电陶瓷4‐3与第四压电陶瓷4‐4采用差动的方式工作，第四压电陶瓷4‐4伸长，第三压电陶瓷4‐3等量缩短，压电陶瓷的线性位移输出加载于第三弹性筝形环3‐3和第四弹性筝形环3‐4上，第三弹性筝形环3‐3短轴方向伸长，第四弹性筝形环3‐4短轴方向缩短，推动偏转支撑座5沿Y轴负向产生位移，偏转支撑座5以及反射镜承载台6由于受到第一连接台8‐1、第二连接台8‐2，第三连接台8‐3，第四连接台8‐4及其柔性铰链的约束作用，承载反射镜7绕X轴正向偏转；与之原理相同，绕X轴负向偏转时，第三压电陶瓷4‐3与第四压电陶瓷4‐4也采用差动的方式工作，第四压电陶瓷4‐4缩短，第三压电陶瓷4‐3等量伸长，即实现承载反射镜7绕X轴负向偏转。
同理，第一压电陶瓷4‐1与第二压电陶瓷4‐2采用差动方式工作，一个压电陶瓷伸长时另一个压电陶瓷等量缩短，即实现承载反射镜7绕Y轴双向偏转；第一压电陶瓷4‐1、第二压电陶瓷4‐2、第三压电陶瓷4‐3和第四压电陶瓷4‐4协同工作，即实现对反射镜双轴偏转的控制，由于偏转轴X和偏转轴Y相交于反射镜7上表面，因此减少了由于镜面纵向位移所带来的光路控制误差。
如图4所示，描述了该装置推动反射镜7偏转的工作原理，当结构推动反射镜7围绕与镜面共面的Y轴发生偏转时，第一压电陶瓷4‐1伸长，带动第一弹性筝形环3‐1长轴方向伸长，短轴方向缩短，第二压电陶瓷4‐2缩短，带动第二弹性筝形环长轴方向缩短，短轴方向伸长，弹性筝形环3‐1的短轴方向缩短拉动偏转支撑座5，弹性筝形环3‐2的短轴方向伸长推动偏转支撑座5，偏转支撑座5、反射镜承载台6以及反射镜7在第一连接台8‐1及其柔性铰链，以及第二连接台8‐2及其柔性铰链的约束下，将围绕与反射镜7共面的Y轴发生偏转。

Claims (3)

1.一种偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置，其特征在于：包括底座(1)，安装在底座(1)上的第一固定支座(2‐1)、第二固定支座(2‐2)、第三固定支座(2‐3)和第四固定支座(2‐4)，一端固定在第一固定支座(2‐1)上的第一弹性筝形环(3‐1)，一端固定在第二固定支座(2‐2)上的第二弹性筝形环(3‐2)，一端固定在第三固定支座(2‐3)上的第三弹性筝形环(3‐3)，一端固定在第四固定支座(2‐4)上的第四弹性筝形环(3‐4)，水平安装于第一弹性筝形环(3‐1)内的第一压电陶瓷(4‐1)，水平安装于第二弹性筝形环(3‐2)内的第二压电陶瓷(4‐2)，水平安装于第三弹性筝形环(3‐3)内的第三压电陶瓷(4‐3)，水平安装于第四弹性筝形环(3‐4)内的第四压电陶瓷(4‐4)，通过柔性铰链与第一弹性筝形环(3‐1)、第二弹性筝形环(3‐2)，第三弹性筝形环(3‐3)和第四弹性筝形环(3‐4)连接的偏转支撑座(5)，与偏转支撑座(5)固定连接的反射镜承载台(6)，放置在反射镜承载台(6)上方的反射镜(7)，通过柔性铰链与反射镜承载台(6)连接且固定在第一固定支座(2‐1)上的第一连接台(8‐1)，通过柔性铰链与反射镜承载台(6)连接且固定在第二固定支座(2‐2)上的第二连接台(8‐2)，通过柔性铰链与反射镜承载台(6)连接且固定在第三固定支座(2‐3)上的第三连接台(8‐3)，通过柔性铰链与反射镜承载台(6)连接且固定在第四固定支座(2‐4)上的第四连接台(8‐4)；所述第一弹性筝形环(3‐1)和第二弹性筝形环(3‐2)位于X轴上且关于Y轴对称，第三弹性筝形环(3‐3)和第四弹性筝形环(3‐4)位于Y轴上且关于X轴对称；所述反射镜(7)采用了沉降的安装方式，安装在反射镜承载台(6)的内部，且反射镜(7)的上表面与第一连接台(8‐1)、第二连接台(8‐2)、第三连接台(8‐3)和第四连接台(8‐4)所连接的柔性铰链中线处于同一平面，以保证偏转轴线交汇于反射镜表面。
2.一种利用权利要求1所述的偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置实现双轴偏转的方法，其特征在于：差动驱动第三压电陶瓷(4‐3)与第四压电陶瓷(4‐4)，推动偏转支撑座(5)运动，即实现围绕X轴方向的偏转；差动驱动第一压电陶瓷(4‐1)与第二压电陶瓷(4‐2)，推动偏转支撑座(5)运动，即实现围绕y轴方向的偏转，实现偏转轴相交于反射镜(7)表面的双轴偏转。
3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于：所述实现围绕X轴方向的偏转的具体方法为：使反射镜(7)镜面绕X轴正向偏转时，第三压电陶瓷(4‐3)与第四压电陶瓷(4‐4)采用差动的方式工作，第四压电陶瓷(4‐4)伸长，第三压电陶瓷(4‐3)等量缩短，压电陶瓷的线性位移输出加载于第三弹性筝形环(3‐3)和第四弹性筝形环(3‐4)上，第三弹性筝形环(3‐3)短轴方向伸长，第四弹性筝形环(3‐4)短轴方向缩短，推动偏转支撑座(5)沿Y轴负向产生位移，偏转支撑座(5)以及反射镜承载台(6)由于受到第一连接台(8‐1)、第二连接台(8‐2)、第三连接台(8‐3)、第四连接台(8‐4)及其柔性铰链的约束作用，承载反射镜(7)绕X轴正向偏转；与之原理相同，绕X轴负向偏转时，第三压电陶瓷(4‐3)与第四压电陶瓷(4‐4)也采用差动的方式工作，第四压电陶瓷(4‐4)缩短，第三压电陶瓷(4‐3)等量伸长，即实现承载反射镜(7)绕X轴负向偏转；
所述实现围绕y轴方向的偏转，同理，第一压电陶瓷(4‐1)与第二压电陶瓷(4‐2)采用差动方式工作，一个压电陶瓷伸长时另一个压电陶瓷等量缩短，即实现承载反射镜(7)绕Y轴双向偏转；
第一压电陶瓷(4‐1)、第二压电陶瓷(4‐2)、第三压电陶瓷(4‐3)和第四压电陶瓷(4‐4)协同工作，即实现对反射镜双轴偏转的控制，由于偏转轴X和偏转轴Y相交于反射镜(7)上表面，因此减少了由于镜面纵向位移所带来的光路控制误差。
CN201611224947.6A 2016-12-27 2016-12-27 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法 Active CN106526785B (zh)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611224947.6A CN106526785B (zh) 2016-12-27 2016-12-27 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法
PCT/CN2017/099189 WO2018120877A1 (zh) 2016-12-27 2017-08-26 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法
US16/411,047 US10634871B2 (en) 2016-12-27 2019-05-13 Low-profile dual-axis deflection device having deflection axes intersecting at mirror surface and method for achieving dual-axila deflection

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201611224947.6A CN106526785B (zh) 2016-12-27 2016-12-27 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106526785A CN106526785A (zh) 2017-03-22
CN106526785B true CN106526785B (zh) 2017-09-12

Family

ID=58337451

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201611224947.6A Active CN106526785B (zh) 2016-12-27 2016-12-27 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US10634871B2 (zh)
CN (1) CN106526785B (zh)
WO (1) WO2018120877A1 (zh)

Families Citing this family (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106526785B (zh) * 2016-12-27 2017-09-12 西安交通大学 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法
CN107526159B (zh) * 2017-07-27 2019-09-10 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种大口径偏摆镜
CN108448809B (zh) * 2018-04-26 2019-11-19 长春萨米特光电科技有限公司 一种基于挠杆和柔性环组成的两轴转动机构
CN110733658A (zh) * 2019-10-24 2020-01-31 南京申威光电技术研究院有限公司 一种视轴稳定装置
CN111755942B (zh) * 2020-07-31 2024-11-26 中国人民解放军国防科技大学 光纤端帽高精度大位移电动调节装置
CN112327503B (zh) * 2020-11-11 2022-07-08 中国科学院上海光学精密机械研究所 一种光路指向精密调节装置
CN113189737B (zh) * 2021-04-27 2022-12-30 重庆大学 一种滑轨组装型复合控制式的快速反射镜
CN113009686B (zh) * 2021-04-27 2022-12-30 重庆大学 一种快速反射镜装置
CN113540975B (zh) * 2021-05-28 2022-11-18 中国电子科技集团公司第四十一研究所 一种光栅俯仰角度定心微调装置
CN115657146B (zh) * 2022-11-11 2025-06-17 西安交通大学 具有冗余设计的极低法向耦合偏转机构及其控制方法
CN116300050A (zh) * 2023-02-15 2023-06-23 中国科学院光电技术研究所 一种稳光程的超高精度倾斜镜
CN116338938A (zh) * 2023-04-23 2023-06-27 星准电子信息技术(上海)有限公司 一种三压电驱动快反镜
CN117047737B (zh) * 2023-06-12 2024-01-12 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 基于热膨胀原理的差动式六自由度并联微动平台
CN118465962B (zh) * 2024-07-09 2024-09-10 安徽瑞控信光电技术股份有限公司 一种二维大角度高精度音圈电机快反镜

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102981243A (zh) * 2012-11-02 2013-03-20 华中科技大学 一种二维快速控制反射镜
CN104849858A (zh) * 2015-05-18 2015-08-19 西安交通大学 旋转中心处于反射面的快速偏转反射镜控制机构及方法
CN105301762A (zh) * 2015-10-30 2016-02-03 西安交通大学 一种低厚度含二级放大的二维快速偏转装置及其偏转方法
CN105301761A (zh) * 2015-10-30 2016-02-03 西安交通大学 基于粗压电纤维复合材料的二维偏转装置及其偏转方法
CN105403999A (zh) * 2015-12-23 2016-03-16 深圳先进技术研究院 基于psd反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3150337A (en) * 1961-02-27 1964-09-22 Armec Corp Electro-mechanical resonant device
US4732440A (en) * 1985-10-22 1988-03-22 Gadhok Jagmohan S Self resonant scanning device
US5550669A (en) * 1993-04-19 1996-08-27 Martin Marietta Corporation Flexure design for a fast steering scanning mirror
US5535047A (en) * 1995-04-18 1996-07-09 Texas Instruments Incorporated Active yoke hidden hinge digital micromirror device
US7233424B2 (en) * 2004-08-30 2007-06-19 Dot Intellectual Properties, Llc Steering assembly with electromagnetic actuators
JP4851443B2 (ja) * 2005-04-11 2012-01-11 パナソニック株式会社 微小機械構造体
KR101291624B1 (ko) * 2007-04-12 2013-08-01 톰슨 라이센싱 이중축 거울 컬러 선택 마이크로 거울 이미저
JP5076232B2 (ja) * 2007-05-09 2012-11-21 船井電機株式会社 形状可変ミラー、光ピックアップ装置
JP5172364B2 (ja) * 2008-01-16 2013-03-27 スタンレー電気株式会社 光偏向器
JP5876345B2 (ja) * 2012-03-23 2016-03-02 スタンレー電気株式会社 光偏向器
US9052511B1 (en) * 2012-08-10 2015-06-09 Jeffrey Knirck Method and apparatus for resonant rotational oscillator
CN102981245A (zh) * 2012-12-25 2013-03-20 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种二维透射式快速反射镜
CN103913838B (zh) * 2014-02-21 2015-01-21 西安交通大学 二维快速偏转反射镜作动机构及其作动方法
CN104375258B (zh) * 2014-11-14 2016-06-22 中国工程物理研究院总体工程研究所 反射镜背支撑两自由度旋转柔性铰链
CN106195556B (zh) * 2016-09-22 2017-12-29 中国工程物理研究院总体工程研究所 一种XYθ平面三自由度精密定位平台
US10203475B2 (en) * 2016-10-20 2019-02-12 Raytheon Company Curved magnetic actuators, and systems, and methods for mounting tilt platforms
CN106526785B (zh) * 2016-12-27 2017-09-12 西安交通大学 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102981243A (zh) * 2012-11-02 2013-03-20 华中科技大学 一种二维快速控制反射镜
CN104849858A (zh) * 2015-05-18 2015-08-19 西安交通大学 旋转中心处于反射面的快速偏转反射镜控制机构及方法
CN105301762A (zh) * 2015-10-30 2016-02-03 西安交通大学 一种低厚度含二级放大的二维快速偏转装置及其偏转方法
CN105301761A (zh) * 2015-10-30 2016-02-03 西安交通大学 基于粗压电纤维复合材料的二维偏转装置及其偏转方法
CN105403999A (zh) * 2015-12-23 2016-03-16 深圳先进技术研究院 基于psd反馈的二维快速控制反射镜及其控制系统

Also Published As

Publication number Publication date
US10634871B2 (en) 2020-04-28
CN106526785A (zh) 2017-03-22
US20190271827A1 (en) 2019-09-05
WO2018120877A1 (zh) 2018-07-05

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106526785B (zh) 偏转轴相交于反射镜表面的低高度双轴偏转装置及方法
CN104595642B (zh) 一种二自由度压电驱动纳米定位平台
CN106847346A (zh) XYθ三自由度大行程高频响精密定位平台
CN106773021A (zh) 一种转动中心与镜面中心重合的偏转反射镜装置及方法
CN105301762B (zh) 一种低厚度含二级放大的二维快速偏转装置及其偏转方法
CN108362221B (zh) 一种自由曲面形貌纳米精度检测方法与装置
CN104849858B (zh) 旋转中心处于反射面的快速偏转反射镜控制机构及方法
CN108582035B (zh) 应用于光电子封装的三自由度柔性并联运动平台
CN105006255B (zh) 一种三自由度微定位工作台
CN104950797A (zh) 一种3-prrs六自由度并联定位平台
CN204966059U (zh) 一种三自由度微定位工作台
CN104362888A (zh) 一种压电驱动的八绞同轴微位移放大机构
CN112068309A (zh) 一种含双抛物面镜动态聚焦模块的三维扫描系统
CN110246537A (zh) 用于空间三自由度纳米定位平台的传动机构
CN105629423A (zh) 用于天文望远镜副镜位置控制的高精度五维调节机构
CN102878394A (zh) 一种部分解耦的平面三自由度并联精密定位平台
CN113719704B (zh) 一种大行程二维纳米定位平台
CN105301763A (zh) 一种基于二级桥式位移放大器的二维快速偏转装置及方法
CN104090359A (zh) 在极端环境下工作的五自由度天文望远镜副镜调整机构
CN105252525A (zh) 一种二自由度球面并联机构
CN113791493B (zh) 一种基于宏微两级复合作动的快速反射镜
CN108389603B (zh) 一种双复合柔性平行四杆机构
CN116381892A (zh) 一种基于直驱式气浮平台的二级宏微相机镜头调焦装置
CN110568581A (zh) 一种高精度电动反射镜架
CN107942503A (zh) 超大型望远镜高度轴系支撑和驱动液压whiffletree控制机载系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20201116

Address after: 1 / F, 11 science and technology Northwest Building, No. 532, Shenzhou Third Road, national civil aerospace industrial base, Xi'an City, Shaanxi Province 710100

Patentee after: XI'AN LANGWEI TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Address before: Beilin District Xianning West Road 710049, Shaanxi city of Xi'an province No. 28

Patentee before: XI'AN JIAOTONG University

TR01 Transfer of patent right
PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right

Denomination of invention: Low height biaxial deflection device and method with deflection axis intersecting the surface of the reflector

Granted publication date: 20170912

Pledgee: China Construction Bank Corporation Xixian New Area Branch

Pledgor: XI'AN LANGWEI TECHNOLOGY Co.,Ltd.

Registration number: Y2025980016051

PE01 Entry into force of the registration of the contract for pledge of patent right